JP2014524053A - マスク及びこれを含む光学フィルタの製造装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (16)
- 曲面に沿って移動する基材フィルムにパターンを形成するロールツーロール(Roll to Roll)工程で使用されるマスクにおいて、
前記基材フィルムが巻かれるロールと対向する面は、曲面で形成され、反対面は、平面で形成されるマスク本体を含むことを特徴とするマスク。 - 前記マスク本体の曲面と前記ロールの曲面は、一定な間隔を有することを特徴とする請求項1に記載のマスク。
- 前記マスク本体の曲面には、金属薄膜層が蒸着されることを特徴とする請求項1または2に記載のマスク。
- 前記金属薄膜層は、クロムまたはアルミニウム薄膜であることを特徴とする請求項3に記載のマスク。
- 前記金属薄膜層には、前記基材フィルムにパターンを形成するための一つ以上の開口部が形成されることを特徴とする請求項3または4に記載のマスク。
- 前記開口部は、レーザーダイレクトライティング方式により加工されることを特徴とする請求項5に記載のマスク。
- 前記開口部の内壁は、下部に行くほど幅が狭く形成されることを特徴とする請求項5または6に記載のマスク。
- 前記開口部の内壁には、光の直進度を高めるための全反射層が形成されることを特徴とする請求項5から7の何れか1項に記載のマスク。
- 前記マスク本体及び金属薄膜層には、前記基材フィルムにパターンを形成するための開口部が形成されることを特徴とする請求項3から8の何れか1項に記載のマスク。
- 前記マスク本体に形成された曲面は、前記ロールと同一な曲率を有することを特徴とする請求項1から9の何れか1項に記載のマスク。
- 前記基材フィルムとマスク本体は、100μm以下の間隔で維持されることを特徴とする請求項1から10の何れか1項に記載のマスク。
- 前記マスク本体の両側に具備されてジグに固定されるジグ固定部を含むことを特徴とする請求項1から11の何れか1項に記載のマスク。
- 前記ジグ固定部は、曲面が形成されたマスク本体の両側を段差形態で加工して形成し、前記ジグ固定部には、複数個の装着孔が形成されることを特徴とする請求項12に記載のマスク。
- 曲面に沿って移動する基材フィルムにパターンを形成するロールツーロール(Roll to Roll)工程を利用した光学フィルタの製造装置であって、
露光のために光を発生させる光源と、
前記光源の出射側に設置され、前記光源から発生した光を偏光させる偏光板と、
請求項1から請求項13のいずれか一項によるマスクと、を含むことを特徴とする光学フィルタの製造装置。 - 前記光源は、UVランプであることを特徴とする請求項14に記載の光学フィルタの製造装置。
- 前記偏光板は、ワイヤグリッド偏光板(WGP)であることを特徴とする請求項14または15に記載の光学フィルタの製造装置。
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