JP2014515885A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. パターンデータに従って基板を独立して露光するように構成されている１つまたは複数のリソグラフィ要素（１０）を備えるクラスタ化リソグラフィシステムであって、
   各リソグラフィ要素は、複数のリソグラフィサブシステム（１６）を備え、
   前記クラスタ化リソグラフィシステムは、
   前記複数のリソグラフィサブシステムと少なくとも１つの要素制御ユニット（１２）との間における制御情報の通信のための制御ネットワーク（１２０）と、ここで、前記要素制御ユニットは、前記複数のリソグラフィサブシステムに複数のコマンドを送信するように構成され、前記複数のリソグラフィサブシステムは、前記要素制御ユニットに複数の応答を送信するように構成されている、
   オペレータコンソールまたはホストシステム（２、４）とのインターフェースのためのクラスタフロントエンド（６）であって、１つまたは複数のウエハの露光のために前記１つまたは複数のリソグラフィサブシステムの動作を制御する制御情報を、前記少なくとも１つの要素制御ユニットに発行するように構成されている、クラスタフロントエンド（６）と、
   をさらに備え、
   前記クラスタフロントエンドは、前記要素制御ユニットにプロセスプログラムを発行するように構成され、
   前記プロセスプログラムは、あらかじめ規定された複数のコマンドからなるセットおよび関連する複数のパラメータを備え、
   各コマンドは、前記複数のリソグラフィサブシステムのうちの１つまたは複数によって実施されるべき、あらかじめ規定された１つのアクションまたは一連のアクションに対応し、
   前記複数のパラメータは、前記１つのアクションまたは一連のアクションがどのように実施されるべきかをさらに定義し、
   前記要素制御ユニットは、リソグラフィサブシステムに送信された先行するコマンドの実行状況にかかわらず、前記プロセスプログラムのコマンドをリソグラフィサブシステムに送信するように構成されている、クラスタ化リソグラフィシステム。
2. 前記要素制御ユニットが、前記複数のリソグラフィサブシステムによって実行するための対応するプロセスジョブを生成するように前記プロセスプログラムをスケジューリングするように構成され、
   前記プロセスジョブが、前記プロセスプログラムの前記複数のコマンドからなるセットと、前記複数のコマンドの各々についてのスケジュールされた実行時間とを備える、請求項１に記載のシステム。
3. 前記要素制御ユニットが、前記プロセスプログラムの前記複数のコマンドからなるセットと、前記複数のコマンドの各々について、前記コマンドを実行するようにスケジュールされたリソグラフィサブシステムの識別情報と、を備える前記プロセスジョブを生成するように構成される、請求項２に記載のシステム。
4. 前記要素制御ユニットが、前記プロセスジョブの前記複数のコマンドの各々を、前記複数のコマンドの各々に対して前記スケジュールされた実行時間に、識別されたリソグラフィサブシステムに送信することによって前記プロセスジョブを実行するように構成される、請求項３に記載のシステム。
5. 前記要素制御ユニットが、前記プロセスジョブの前記複数のコマンドの各々を、前記プロセスジョブの先行コマンドの実行状況にかかわらず、前記複数のコマンドの各々に対して前記スケジュールされた実行時間に、識別されたリソグラフィサブシステムに送信するように構成される、請求項４に記載のシステム。
6. 前記プロセスプログラムが、対応するコマンドについての所定の期間を定義し、
   前記要素制御ユニットが、前記複数のリソグラフィサブシステムによって実行するためのプロセスジョブを生成するように前記プロセスプログラムをスケジューリングするように構成され、
   前記プロセスジョブが、各コマンドについてのスケジュールされた実行時間を備え、
   前記所定の期間が、前記プロセスジョブ中の前記対応するコマンドについての前記スケジュールされた時間を決定するために使われる、請求項１に記載のシステム。
7. 前記プロセスプログラムが、対応する第１のコマンドについての第１の所定の期間を定義し、
   前記要素制御ユニットが、前記期間の時間切れまで、前記第１のコマンドの実行状況にかかわらず、前記第１のコマンドに続く次のコマンドの開始を遅らせるように構成される、請求項１に記載のシステム。
8. 前記要素制御ユニットが、１つのアクションまたは複数のアクションについての前記１つまたは複数のパラメータを、前記制御ネットワークを介して前記サブシステムに送り、その後、前記１つのアクションまたは複数のアクションに対応する前記コマンドを前記サブシステムに送ることによって、前記複数のリソグラフィサブシステムのうちの１つによって前記１つのアクションまたは一連のアクションを開始するように構成される、請求項１に記載のシステム。
9. 前記要素制御ユニットが、前記コマンドを実行するためのスケジュールされた時間より一定期間だけ前に、前記サブシステムに前記１つまたは複数のパラメータを送るように構成され、
   前記期間は、前記コマンドが前記サブシステムに送られる前に前記サブシステムが前記１つまたは複数のパラメータを受信したことを保証するのに十分である、請求項８に記載のシステム。
10. 前記要素制御ユニットによって発行されたコマンドに対応する１つのアクションまたは一連のアクションが完了すると、前記１つのアクションまたは一連のアクションを完了した前記リソグラフィサブシステムが、前記要素制御ユニットに前記完了を通知するように構成され、前記要素制御ユニットから命令を受信すると、前記１つのアクションまたは一連のアクションの実行に関するデータを発行するように構成される、請求項１に記載のシステム。
11. 前記プロセスプログラムが条件ステップを含まない、請求項１に記載のシステム。
12. 前記プロセスプログラムが、複数の代替コマンドとしてプログラムされた複数の条件ステップを含み、
    前記要素制御ユニットが、前記複数のリソグラフィサブシステムによる実行のためにプロセスジョブを生成するように、前記プロセスプログラムをスケジューリングするように構成され、
    前記プロセスジョブが、各コマンドについてのスケジュールされた実行時間を備え、
    前記複数の代替コマンドが、前記プロセスジョブ内で並行してスケジュールされ、
    前記プロセスジョブの前記実行時間が全体として、どの代替コマンドが実行のために選択されるかによって変わらないように、各代替コマンドには、同じ実行時間が割り当てられる、請求項１に記載のシステム。
13. ソフトウェアをアップデートまたはアップグレードするための、リソグラフィサブシステム内の前記ソフトウェアの修正が、前記要素制御ユニット内でプロセスジョブを実行することによって実施される、請求項１に記載のシステム。
14. 前記制御ネットワークが、リアルタイムの通信プロトコルを使わずに準リアルタイム性能を提供する、請求項１に記載のシステム。
15. 前記要素制御ユニットおよび前記複数のリソグラフィサブシステムが、前記制御ネットワーク上で複数のメッセージシーケンスを送信するように構成され、
    メッセージシーケンスの第１のメッセージが２つの要素を備え、
    第１の要素が、メッセージタイプをもつストリングを含み、
    第２の要素が、前記メッセージについての複数の名前付き引数をもつ辞書を含む、請求項１に記載のシステム。