JP2016219812A5 - - Google Patents

Description

サブシステム１６は、自律単位として設計されるが、たとえばデータネットワークハブ上の中央ディスクまたはメモリからブートするように設計され得る。こうすることにより、各サブシステム内の個々のハードディスクまたは不揮発性メモリの信頼性問題およびコストが下がり、中心的場所にサブシステムのブートイメージをアップデートすることによって、サブシステムをより簡単にソフトウェアアップグレードすることが可能になる。

Claims (16)

1. １つまたは複数のリソグラフィ要素を備えるリソグラフィシステムであって、
   各リソグラフィ要素は、パターンデータに従って基板を独立して露光するために用意され、各リソグラフィ要素は、複数のリソグラフィサブシステムを備え、
   前記リソグラフィシステムは、制御情報の通信のために、前記複数のリソグラフィサブシステムと少なくとも１つの要素制御ユニットとの間に制御ネットワーク経路を形成する制御ネットワークをさらに備え、
   前記リソグラフィシステムは、
   １つまたは複数のウエハの露光のために前記リソグラフィサブシステムのうちの１つまたは複数の動作を制御するための制御情報を、前記少なくとも１つの要素制御ユニットに発行し、
   前記要素制御ユニットにプロセスプログラムを発行するために用意され、
   前記プロセスプログラムは、あらかじめ規定されたコマンドおよび関連パラメータのセットを備え、各コマンドは、前記リソグラフィサブシステムのうちの１つまたは複数によって実施されるべき、あらかじめ規定された１つのアクションまたは一連のアクションに対応し、前記パラメータは、前記１つのアクションまたは一連のアクションがどのように実施されるべきかをさらに定義し、
   前記プロセスプログラム中のあらかじめ規定されたコマンドのセットは、前記リソグラフィサブシステムのうちの１つまたは複数の、ソフトウェアをアップデートすることまたはアップグレードすることを備える、システム。
2. 前記リソグラフィシステムは、データを収集し、記憶し、管理するためのデータネットワークと、前記データネットワークを介して前記複数のリソグラフィサブシステムに接続されるデータネットワークハブとをさらに備え、
   前記複数のリソグラフィサブシステムは、前記ネットワークハブからブートするように構成され、したがって、前記データネットワークハブ上の前記リソグラフィサブシステムのためのブートイメージをアップデートすることにより、前記ソフトウェアをアップデートすることまたはアップグレードすることが実施される、請求項１に記載のシステム。
3. 前記要素制御ユニットは、前記プロセスプログラムをスケジュールし、前記リソグラフィサブシステムに送信された先行コマンドの実行状況にかかわらず、前記スケジュールにしたがって、前記プロセスプログラムのコマンドをリソグラフィサブシステムに送信するように用意される、請求項１または２に記載のシステム。
4. 前記要素制御ユニットは、前記リソグラフィサブシステムのうちの１つまたは複数によって実行するための対応するプロセスジョブを生成するように、前記プロセスプログラムをスケジューリングするために用意される、請求項１から３のいずれかに記載のシステム。
5. 前記ソフトウェアをアップデートまたはアップグレードするための、リソグラフィサブシステム中のソフトウェアの修正は、プロセスジョブを実行することによって実施される、請求項４に記載のシステム。
6. 前記複数のリソグラフィサブシステムは、中央ディスクまたはメモリからブートするように構成され、したがって、前記中央ディスクまたはメモリ中の前記リソグラフィサブシステムに対してブートイメージをアップデートすることによって、リソグラフィサブシステム中のソフトウェアの修正が実施される、請求項１から５のいずれかに記載のシステム。
7. 新規機能性による前記リソグラフィシステムの拡張またはアップグレードは、前記リソグラフィシステムのうちの１つまたは複数の中のソフトウェアの修正により、および、アップデートされたプロセスプログラムを発行することにより実施される、請求項１から６のいずれかに記載のシステム。
8. 前記リソグラフィシステムのうちの１つまたは複数の中のソフトウェアの修正の後、前記リソグラフィシステムのうちの１つまたは複数は、実行可能なコマンドの情報を前記要素制御ユニットに送信するように構成されている、請求項７に記載のシステム。
9. 前記リソグラフィシステムの拡張またはアップグレードは、前記要素制御ユニット中のソフトウェアの修正を要求しない、請求項７に記載のシステム。
10. 前記複数のリソグラフィサブシステムの設定を含むデータを収集し、記憶し、管理するためのデータネットワークをさらに備え、前記リソグラフィサブシステムは、前記データネットワークを介してデータネットワークハブに接続される、請求項１から９のいずれかに記載のシステム。
11. 前記制御ネットワークと前記データネットワークは、別個のネットワークを形成する、請求項１０に記載のシステム。
12. 前記データネットワークハブによって記憶される前記データは、タイムスタンプによりタグ付けされる、請求項１０に記載のシステム。
13. パターンデータを生成するパターンデータ処理システムをさらに備え、前記データ処理システムは、前記制御ネットワークおよび前記データネットワークとは別個のデータ経路を介して、前記パターンデータを前記リソグラフィシステムのうちの１つまたは複数に送信するように用意されている、請求項１０に記載のシステム。
14. 前記要素制御ユニットは、一連の繰り返されるコマンドを前記リソグラフィサブシステムに送信するように構成され、シーケンス中のコマンドが時間期間内に実行されない場合、前記リソグラフィサブシステムは、前記シーケンス中のコマンドを破棄する、請求項１から１３のいずれかに記載のシステム。
15. 前記プロセスプログラムは、対応する第１のコマンドについての第１の所定の時間期間を定義し、前記要素制御ユニットは、前記期間の時間切れまで、前記第１のコマンドの実行状況にかかわらず、前記第１のコマンドに続く次のコマンドの開始を遅らせるように用意される、請求項１から１４のいずれかに記載のシステム。
16. 前記制御ネットワークは、リアルタイムの通信プロトコルを使わずに準リアルタイム性能を提供する、請求項１から１５のいずれかに記載のシステム。