JP2014511775A - 変更した応力特性を有する薄膜を形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
[0001]本発明は、微小電気機械システム(MEMS)圧力センサデバイスまたは薄膜を組み込んだ半導体デバイスなどの薄膜ベースのデバイスに関する。
Claims (16)
- 薄膜の応力特性を変更する方法であって、
薄膜層を用意するステップと、
所望の応力変更を決定するステップと、
前記決定した所望の応力変更に基づいて前記薄膜層内に少なくとも1つのトラフを形成するステップと
を含む方法。 - 前記薄膜層の下にあるハンドル層から前記薄膜層をリリースするステップ
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、
前記決定した所望の応力変更に基づいて前記少なくとも1つのトラフについてのトラフ幾何学的形状を決定するステップ
を含む、請求項1に記載の方法。 - トラフ幾何学的形状を決定するステップが、
前記決定した所望の応力変更に基づいて前記少なくとも1つのトラフの幅、深さ、および形状を決定するステップ
を含む、請求項3に記載の方法。 - 所望の応力変更を決定するステップが、前記薄膜の応力集中領域を決定するステップを含み、
少なくとも1つのトラフを形成するステップが、
前記決定した応力集中領域に基づいてトラフパターンを決定するステップと、
前記決定したトラフパターンに基づいて少なくとも1つのトラフを形成するステップと
を含む、請求項1に記載の方法。 - 所望の応力変更を決定するステップが、前記薄膜の応力分離領域を決定するステップを含み、
少なくとも1つのトラフを形成するステップが、
前記決定した応力分離領域に基づいてトラフパターンを決定するステップと、
前記決定したトラフパターンに基づいて少なくとも1つのトラフを形成するステップと
を含む、請求項1に記載の方法。 - 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、前記決定した所望の応力変更に基づいてトラフパターンを決定するステップと、
前記決定したトラフパターンに基づいて少なくとも1つのトラフを形成するステップと
を含む、請求項3に記載の方法。 - 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、前記薄膜層の薄膜部分に隣接した位置のところに少なくとも1つのトラフを形成するステップを含む、請求項7に記載の方法。
- 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、前記薄膜層の薄膜部分の内側の位置のところに少なくとも1つのトラフを形成するステップを含む、請求項7に記載の方法。
- 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、前記薄膜層の薄膜部分の端部に平行に少なくとも1つのトラフを形成するステップを含む、請求項7に記載の方法。
- 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、
第1のトラフ深さを有する第1のトラフを形成するステップと、
第2のトラフ深さを有する第2のトラフを形成するステップとを含み、前記第1のトラフ深さが前記第2のトラフ深さよりも深い、
請求項7に記載の方法。 - 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、
前記薄膜層の薄膜部分の端部に平行に第1のトラフの少なくとも一部分を形成するステップと、
前記薄膜層の前記薄膜部分の前記端部に平行に第2のトラフの少なくとも一部分を形成するステップと
を含む、請求項7に記載の方法。 - 前記第1のトラフの前記少なくとも一部分が、前記第2のトラフの前記少なくとも一部分に平行である、請求項12に記載の方法。
- 前記第1のトラフが、前記第2のトラフと一部だけ重なる、請求項13に記載の方法。
- 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、少なくとも1つの湾曲したトラフを形成するステップ
を含む、請求項7に記載の方法。 - 少なくとも1つのトラフを形成するステップが、
前記薄膜層の上側表面を通る第1のトラフを形成するステップと、
前記薄膜層の下側表面を通る第2のトラフを形成するステップと
を含む、請求項7に記載の方法。
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