JP2009537344A - 高められた機械的抵抗を有するキャップによって区切られた空洞を備えた超小型構成体 - Google Patents
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Abstract
Description
11 基板
12 キャップ
12a 頂部壁
12b 補剛部材
12c 凹状領域
13 キャビティ
14 端部
16 裏打ち壁
16.2 オリフィス
20 犠牲材料
20.1 犠牲材料(チャンネル層)
20.2 犠牲材料(主犠牲層)
20.3 犠牲材料(構造化犠牲層)
24 凹状のパターン
25 キャップ層
25.1 裏打ち層
26 オリフィス
26.1 オリフィス
26.2 オリフィス
27 シール層
27.1 プラグ
Claims (22)
- 基板(11)によって支持された動作部分(10)を囲んでいるキャップ(12)によって仕切られているキャビティ(13)を備えている超小型構成体において、
前記キャップ(13)は、少なくとも1つの突出した補剛部材(12b)を有する補剛手段が設けられた頂部壁(12a)を備えており、
前記突出した補剛部材(12b)は、前記頂部壁(12a)の2つの凹状領域(12c)の間に配置され、前記基板(11)と接触することなく、前記凹状領域(12c)から所定距離離隔した端部(14)を有していることを特徴とする超小型構成体。 - 前記突出した補剛部材(12b)は、モールディング又はブロックであることを特徴とする請求項1に記載の超小型構成体。
- 前記モールディング又は前記ブロックは、矩形状の断面、台形状の断面、又は丸められた断面であることを特徴とする請求項2に記載の超小型構成体。
- 前記頂部壁(12a)は、前記頂部壁(12a)の縁部に沿って略平行な、幾つかのモールディングを備えていることを特徴とする請求項2又は3に記載の超小型構成体。
- 前記頂部壁(12a)は、十字状に配置された2つのモールディングを備えていることを特徴とする請求項2又は3に記載の超小型構成体。
- 前記頂部壁(12a)は、幾つかのハニカム状のモールディングを備えていることを特徴とする請求項2又は3に記載の超小型構成体。
- 前記頂部壁(12a)は、マトリックス状に配置された複数のブロックを備えていることを特徴とする請求項2又は3に記載の超小型構成体。
- 前記突出した補剛部材(12b)の突出部は、前記頂部壁(12a)の薄肉部によって形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の超小型構成体。
- 前記突出した補剛部材(12b)の突出部は、前記頂部壁(12a)の湾曲部によって形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の超小型構成体。
- 前記突出した補剛部材(12b)は、前記キャビティ(13)の内側又は外側に面していることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の超小型構成体。
- 前記突出した補剛部材(12b)の前記端部(14)が自由であることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の超小型構成体。
- 前記キャップ(12)は、前記頂部壁(12a)を裏打ちする裏打ち壁(16)を備えており、
前記突出した補剛部材(12b)の前記端部(14)が、前記裏打ち壁(16)に接触していることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の超小型構成体。 - 前記頂部壁(12a)と、設けられている場合には裏打ち壁(16)とが、少なくとも1つのオリフィス(26.1,16.2)を備えており、
前記頂部壁(12a)のオリフィス(26.2)と前記裏打ち壁(16)の前記オリフィス(26.1)とが互いに連通していることを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項に記載の超小型構成体。 - 前記キャップ(13)の最外壁の前記オリフィス(26.2)は、前記頂部壁(12a)と前記裏打ち壁(16)との間でプラグの側面に配置されていることを特徴とする請求項13に記載の超小型構成体。
- 請求項1〜14のいずれか一項に記載のキャップ(12)によって仕切られた、超小型構成体の前記キャビティを製造するための方法において、
前記超小型構成体の前記基板(11)及び前記動作部分(10)の上に犠牲材料(20.1,20.2,20.3)を蒸着するステップと、
前記犠牲材料を仕切り、前記補剛手段の前記突出した補剛部材の表面に形成された少なくとも1つの反転された凹状のパターン(24)の表面に製造するステップと、
前記キャップ及び前記頂部壁を形成する少なくとも1つのキャップ層(25)を前記犠牲材料(20)上に蒸着するステップと、
前記キャップ層(25)内に少なくとも1つのオリフィス(26)を形成するステップと、
前記オリフィス(26)を介して前記犠牲材料(20)を排出するステップと、
前記オリフィス(26)を密閉するステップと、
を備えていることを特徴とする方法。 - 前記凹状のパターン(24)は、前記犠牲材料(20)にエンボス加工することによって製造されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記犠牲材料(20)は、幾つかの層(20.1,20.2)に蒸着されており、
第1の層、いわゆるチャンネル層(20.1)は、前記キャビティの周囲に配置された犠牲材料排出チャンネルを形成するために利用されることを特徴とする請求項15又は16に記載の方法。 - 前記犠牲材料(20)は、前記キャップの場合にモールドとして部分的に利用される主犠牲層(20.2)を含む、幾つかの層(20.2,20.3)に蒸着されており、
前記主犠牲層(20.2)は、凹状のパターン(24)が形成される構造化犠牲層(20.3)によって覆われていることを特徴とする請求項15又は16に記載の方法。 - 少なくとも1つの裏打ち層(25.1)が、前記構造化犠牲層(20.3)を蒸着する前に前記主犠牲層(20.2)上に蒸着され、
前記裏打ち層(25.1)は、裏打ち壁を形成するように機能することを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 少なくとも1つの前記オリフィスが、前記犠牲材料(20)を排出するために前記裏打ち層(25.1)内に形成され、
前記オリフィス(26.1)が、前記キャップ層(25)の前記オリフィス(26.2)と連通していることを特徴とする請求項19に記載の方法。 - 前記キャップ層の前記オリフィス(26)は、少なくとも1つのシール層(27)を前記キャップ層(25)に蒸着することによって密閉されていることを特徴とする請求項15〜20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シール層(27)は、前記オリフィス(26)上方の所定領域を除いてエッチングされており、前記オリフィスの頂部にプラグ(27.1)が形成されていることを特徴とする請求項21に記載の方法。
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