JP5435199B2 - 機能デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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- 基板と、前記基板上に配置された機能構造体と、前記機能構造体が配置された空洞部と、前記空洞部を被覆する被覆部とを具備する機能デバイスにおいて、
前記被覆部は、少なくとも前記空洞部を覆う被覆範囲を横断するリブ状部若しくは溝状部を含む凹凸構造を備え、
前記被覆部は、
前記空洞部側に配置され前記空洞部に臨む開孔を備えている第1被覆層と、
前記第1被覆層の前記開孔を閉塞する第2被覆層と、を有し、
前記第2被覆層の外面上に、前記リブ状部若しくは溝状部が配置され、
前記第1被覆層の前記被覆部の前記空洞部に臨む内面、前記第1被覆層の外面、および前記第2被覆層の前記内面は、平坦に構成されていることを特徴とする機能デバイス。 - 前記凹凸構造は相互に並行する複数の前記リブ状部若しくは溝状部を含むことを特徴とする請求項1に記載の機能デバイス。
- 前記凹凸構造は少なくとも前記被覆範囲において波板状に構成されていることを特徴とする請求項2に記載の機能デバイス。
- 前記被覆部には複数の前記開孔が分散配置され、前記リブ状部若しくは溝状部が前記開孔の間を直線状に延在することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の機能デバイス。
- 前記空洞部が減圧封止されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の機能デバイス。
- 前記機能構造体はその機能に伴って動作する可動部を前記被覆部の側に備え、
前記凹凸構造は、前記可動部と平面的に重なる範囲を前記リブ状部若しくは前記溝状部が横断するように構成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の機能デバイス。 - 前記機能構造体はその機能に伴って動作する可動部を前記被覆部の側に備え、
前記開孔は、前記可動部と平面的に重なる範囲を避けて配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の機能デバイス。 - 基板と、前記基板上に形成された機能構造体と、前記機能構造体が配置された空洞部と、前記空洞部を被覆する被覆部とを具備する機能デバイスの製造方法において、
前記機能構造体を犠牲層とともに形成する構造体形成工程と、
前記機能構造体上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記絶縁膜上に開孔を有する第1被覆層を形成する第1被覆層形成工程と、
前記第1被覆層の前記開孔を通して前記機能構造体上の前記絶縁膜及び前記犠牲層を除去するリリース工程と、
前記第1被覆層の前記開孔を閉鎖し、リブ状部若しくは溝状部を備えている第2被覆層を形成する被覆工程と、
を具備し、
前記第2被覆層の前記第1被覆層側の内面と反対側の外面上に、前記リブ状部若しくは溝状部が形成され、
前記第1被覆層の前記被覆部の前記空洞部に臨む内面、前記第1被覆層の外面、および前記第2被覆層の前記内面は、平坦に構成されていることを特徴とする機能デバイスの製造方法。 - 前記被覆工程で前記第2被覆層が減圧された空間内で気相成長法により成膜されることにより前記空洞部が減圧封止されることを特徴とする請求項8に記載の機能デバイスの製造方法。
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