JP5408447B2 - 電子装置 - Google Patents
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Description
なお、耐食性層としては他に、W、Au、Ptまたはそれぞれの合金を採用することができる。
ここで、機能構造体としては、例えば特定の周波数帯で共振するMEMS構造体である。
ここで、機能構造体としては、例えば特定の周波数帯で共振するMEMS構造体である。
(実施形態1)
図4に示すように、MEMS構造体3X及び下部包囲壁3Y上に、酸化シリコン(例えば、TEOS;テトラエチルオルトシリケート等を原料ガスとするCVD膜)等の絶縁体よりなる層間絶縁層4、アルミニウム等の導電体よりなる配線層5、酸化シリコン等の絶縁体よりなる層間絶縁層6を順次に形成する。この積層構造は、通常のCMOSプロセスと同様の方法で形成されていく。この積層構造は、最終的にMEMS構造体3Xを収容する空洞部を画成するための被覆構造を構成するものである。また、配線層5の一部は、上層構造に導電接続するためのスルーホール6aによって露出された状態とされている。なお、層間絶縁層4、配線層5及び層間絶縁層6といった積層構造の積層数は必要に応じて適宜に構成される。例えば、実際のCMOSプロセスでは、さらに多くの配線層がそれぞれ層間絶縁層を介して積層される場合もある。
(実施形態2)
図13は、実施形態2に係る電子装置の概略構成を示す平面レイアウト図である。図13において、電子装置200は、基板11上に機能構造体領域150とCMOS回路部領域160とが併設され構成されている。なお、CMOS回路部領域160と機能構造体領域150それぞれの一部が断面方向に交差する構造としてもよい。なお、以降、機能構造体領域をMEMS構造体領域と表すことがある。
図14は、実施形態2に係る電子装置の主要部概略構造を示す断面図である。図14において、本実施形態では、シリコンや化合物半導体などの半導体基板等よりなる基板11が用いられる。ただし、基板11はガラス、セラミックス、サファイア、ダイヤモンド、合成樹脂等の他の素材で構成される場合も有り得る。
図15は、本実施形態に係るMEMS構造体領域の概略構造を示す平面レイアウト図である。図15において、MEMS構造体領域150の略中央部には、下部構造部13Aと上部構造部15Aとが形成されている。下部構造部13Aと上部構造部15Aそれぞれの一部が、断面的に交差し、且つ離間して配設される(図14、参照)。
以上が、機能構造体(MEMS構造体)を犠牲層14Aとともに形成する機能構造体形成工程と、CMOSトランジスタを形成する工程である。
Claims (15)
- 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、TiN層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTiN層、Al−Cu層、Ti層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、TiN層、Al−Cu層、Ti層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTiN層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1
被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、TiN層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最下層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTiN層、Al−Cu層、Ti層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最下層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、TiN層、Al−Cu層、Ti層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最下層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ
前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最下層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTiN層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最下層に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、TiN層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層と最下層とに設けられた層で構成されることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTiN層、Al−Cu層、Ti層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層と最下層とに設けられた層で構成されることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成
する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、TiN層、Al−Cu層、Ti層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層と最下層とに設けられた層で構成されることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTi層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層と最下層とに設けられた層で構成されることを特徴とする電子装置。 - 基板と、該基板上に形成された機能構造体と、該機能構造体が配置された空洞部を画成する被覆部と、前記基板上に形成されるCMOS回路部と、が備えられる電子装置であって、
前記被覆部が、前記空洞部の側壁をなす側壁部と、前記空洞部の上方被覆部をなす第1被覆層及び第2被覆層と、を備え、
前記第1被覆層は、前記空洞部に貫通する孔部を有するとともに、前記空洞部を臨む面からTiN層、Al−Cu層、TiN層の順に積層されている積層構造で構成され、
前記第2被覆層は、前記孔部を閉鎖しており、
前記側壁部が、ガードリングと、層間絶縁層及び配線層の少なくとも一方を含み、かつ前記側壁部が含む前記層間絶縁層及び前記配線層の少なくとも一方が、前記CMOS回路部の層間絶縁層または配線層の一部であり、
前記積層構造の少なくとも一層が、前記第1被覆層の最上層と最下層とに設けられた層で構成されることを特徴とする電子装置。
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