JP2014231639A5 - - Google Patents

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（位置ずれ）
本発明に係るＬｉ含有酸化物ターゲット接合体の位置ずれ（ターゲット接合体の基準位置からのずれ、詳細は後述する。）は少ない程良く、好ましくは１．０ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以下である。上記位置ずれが上記範囲を超えると、スパッタ面に対する再付着膜の堆積面積率が５０％以上となり、膜欠陥が増加し、成膜歩留まりが低下する。
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