JP2014231639A5 - - Google Patents
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(位置ずれ)
本発明に係るLi含有酸化物ターゲット接合体の位置ずれ(ターゲット接合体の基準位置からのずれ、詳細は後述する。)は少ない程良く、好ましくは1.0mm以下、より好ましくは0.5mm以下である。上記位置ずれが上記範囲を超えると、スパッタ面に対する再付着膜の堆積面積率が50%以上となり、膜欠陥が増加し、成膜歩留まりが低下する。
本発明に係るLi含有酸化物ターゲット接合体の位置ずれ(ターゲット接合体の基準位置からのずれ、詳細は後述する。)は少ない程良く、好ましくは1.0mm以下、より好ましくは0.5mm以下である。上記位置ずれが上記範囲を超えると、スパッタ面に対する再付着膜の堆積面積率が50%以上となり、膜欠陥が増加し、成膜歩留まりが低下する。
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