JP2014229689A - モジュールおよびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】感光性樹脂と封止樹脂層との隙間に部品と配線基板とを接続する半田が流出して、隣接する実装電極同士が短絡するのを防止することができるモジュールを提供する。
【解決手段】モジュール1は、配線基板2と、該配線基板2の一方主面に形成された部品実装用の複数の実装電極3と、配線基板2の一方主面に実装され、実装電極3に半田接続された複数の部品4と、実装電極3を構成するめっき電極層3bが露出した状態で、配線基板2の一方主面を被覆して設けられた感光性樹脂であるソルダーレジスト5と、配線基板2の一方主面に実装電極3に接続された部品4およびソルダーレジスト5を被覆して設けられた封止樹脂層6とを備え、実装電極3のめっき電極層3bとソルダーレジスト5との境界に断面楔形状の凹部9を有し、封止樹脂層6の樹脂が、凹部9に充填されている。
【選択図】図2

Description

本発明は、配線基板に部品を実装し、該部品を封止樹脂で被覆したモジュールおよびこのモジュールの製造方法に関する。
従来より、配線基板に半田を用いて部品が実装されたモジュールが知られている。この種のモジュールは、配線基板の表面に形成された配線電極を保護するなどの目的で、配線基板の主面に感光性樹脂であるソルダーレジストなどの保護膜が形成されるとともに、配線基板に実装された部品を保護するなどの目的で、ソルダーレジストおよび部品を被覆する封止樹脂が設けられる。このようなモジュールの構造においては、ソルダーレジストと封止樹脂との界面およびソルダーレジストと配線基板との界面に浸透した水分が、モジュールを外部のマザー基板等に実装した際に水蒸気となって、そのときの水蒸気の膨張力により、これらの界面に隙間が発生する場合がある。このような場合、モジュールのマザー基板への実装時の熱により再溶融した、部品と配線基板とを接続する半田が、これらの界面の隙間に流れ出し、隣接する部品間などが短絡する、所謂、半田スプラッシュが発生するという問題があった。
そこで、特許文献1では、この半田スプラッシュの防止を目的としたモジュールが開示されている。このモジュール100は、図10に示すように、配線基板101の一方主面の外周部上のソルダーレジスト102を除去して、配線基板101に実装された部品103、ソルダーレジスト102および該ソルダーレジスト102の除去により露出した配線基板101の一方主面の外周部を、封止樹脂層104により被覆している。封止樹脂層104と配線基板101との密着力は、ソルダーレジスト102と配線基板101との密着力よりも強いことが知られており、このように、配線基板101の外周部のソルダーレジスト102を除去して、配線基板101の外周部を封止樹脂層104で被覆することで、モジュール100の外部から水分が浸透するのを防止するとともに、封止樹脂層104と配線基板101との密着力を強くすることができるため、半田スプラッシュの原因となる配線基板101と封止樹脂層104との界面に隙間が発生するのを防止することができる。
特開2005−183430号公報(段落0030〜0040、図1等参照)
しかしながら、従来のモジュール100の構造でも、配線基板101と封止樹脂層104との界面に水分が浸透して、モジュール100をマザー基板に実装した際に、この界面に隙間が発生する場合がある。そうすると、水分が蒸気化したときの膨張力が、内部のソルダーレジスト102と封止樹脂層104との界面に伝搬し、ソルダーレジスト102と封止樹脂層104との界面に隙間ができる。また、封止樹脂層104とソルダーレジスト102との線膨張係数の違いなどから両者の界面で剥離が生じて隙間ができる場合もあり、このような場合には、半田スプラッシュの問題が発生する。
本発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、感光性樹脂と封止樹脂層との隙間に部品と配線基板とを接続する半田が流出して、隣接する実装電極同士が短絡するのを防止することができるモジュールを提供することを目的とする。
上記した目的を達成するために、本発明のモジュールは、配線基板と、前記配線基板の一方主面に形成された部品実装用の実装電極と、前記配線基板の一方主面に実装され、前記実装電極に半田接続された部品と、少なくとも前記実装電極の前記部品との接続面が露出した状態で、前記配線基板の一方主面を被覆して設けられた感光性樹脂と、前記配線基板の一方主面に前記実装電極に接続された前記部品および前記感光性樹脂を被覆して設けられた封止樹脂層とを備え、前記実装電極と前記感光性樹脂との境界に断面楔形状の凹部を有し、前記封止樹脂層の樹脂が、前記凹部に充填されていることを特徴としている。
この場合、モジュールは、部品実装用の実装電極と感光性樹脂との境界に断面楔形状の凹部を有し、該凹部に封止樹脂層の樹脂が充填される。このようにすると、凹部に封止樹脂層の樹脂が充填されることにより得られるアンカー効果で、当該凹部において、封止樹脂層と感光性樹脂との密着強度が向上するため、封止樹脂層と感光性樹脂との界面に水分が浸透するのを防止することができ、これにより、モジュールを外部のマザー基板等に実装する際に封止樹脂層と感光性樹脂との界面に隙間が発生するのを抑制することができる。また、上記した界面に隙間が発生した場合であっても、隣接する実装電極間を繋ぐ隙間の経路が一直線状にならず、該経路が、楔形状の凹部を有する分、長くなるため、溶融した半田が、隣接する実装電極に到達して両実装電極間が短絡するのを防止することができる。さらに、凹部に発生する感光性樹脂と封止樹脂層との隙間の経路はV字状になるため、凹部の隙間の経路中で溶融した半田をせき止める効果も期待できる。
また、前記実装電極は、前記配線基板上に形成された表面電極層と、前記表面電極に積層されためっき電極層との2層構造で形成されていてもよい。例えば、表面電極層をCu層で形成するとともに、めっき電極層をNi/Au層で形成すると、めっき電極層により表面電極層が酸化または腐食するのを防止することができる。また、Ni/Au層はCu層よりも半田との相互拡散係数が高いため、実装電極の半田の濡れ性が向上する。
また、前記一方主面に直交する方向から見た前記めっき電極層の面積が、前記表面電極層の面積よりも小さく、前記凹部は、前記めっき電極層と前記感光性樹脂との境界に形成されていてもよい。このように、実装電極が、表面電極と、配線基板の一方主面に直交する方向から見た面積が表面電極層よりも小さいめっき電極層とで構成されている場合であっても、めっき電極層と感光性樹脂との境界に断面楔形状の凹部が形成することにより、上記同様、当該凹部により得られるアンカー効果で、感光性樹脂と封止樹脂層との界面の密着強度が向上するため、この界面に半田スプラッシュの原因となる隙間が発生するのを防止することができる。また、感光性樹脂と封止樹脂層との界面に隙間が発生しても、隣接する実装電極間を繋ぐ隙間の経路が長くなるため、半田スプラッシュの発生を防止することができる。
また、前記めっき電極層が、前記表面電極層の前記配線基板との接触面を除く外側面を被覆して形成されていてもよい。このような構成でも、めっき電極層と感光性樹脂との境界で断面楔形状の凹部が形成されるため、半田スプラッシュが発生するのを防止することができる。
前記実装電極の表面が、半田膜で被覆されていてもよい。このようにすると、半田膜と感光性樹脂との境界に断面楔形状の凹部が形成されることになるため、上記同様、半田スプラッシュが発生するのを防止することができる。
また、前記感光性樹脂の表面が粗面化されていてもよい。このように、感光性樹脂の表面が粗面化されていると、感光性樹脂と封止樹脂層との密着強度がさらに向上するため、半田スプラッシュの防止効果がさらに向上する。
また、前記配線基板が、樹脂基板、ガラスエポキシ樹脂基板、セラミック基板のいずれかであってもかまわない。この場合、配線基板として一般的に用いられる基板を用いることができるため実用的である。また、前記感光性樹脂が、ソルダーレジストであってもよい。この場合、感光性樹脂としてソルダーレジストを用いることができる。
また、本発明のモジュールの製造方法は、配線基板を準備する工程と、前記配線基板の一方主面に部品実装用の実装電極を構成する表面電極層を形成する工程と、前記配線基板の前記一方主面に、前記表面電極層上に開口部を有する感光性樹脂を形成する工程と、前記開口部に前記実装電極を構成するめっき電極層を形成する工程と、熱処理により前記感光性樹脂を縮合させて、前記感光性樹脂と前記めっき電極層との境界に間隙を形成する工程と、前記実装電極の前記めっき電極層表面に半田を塗布する工程と、前記配線基板の前記実装電極に部品を搭載する工程と、リフローによる熱処理を行うことにより、前記部品と前記実装電極とを半田接続させるとともに、前記感光性樹脂を軟化させて、前記感光性樹脂と前記めっき電極層との間隙に断面楔形状の凹部を形成する工程と、前記実装電極に実装された前記部品および前記感光性樹脂を封止樹脂により被覆し、前記凹部に前記封止樹脂を充填して封止樹脂層を形成する工程とを備えることを特徴としている。
この場合、熱処理により感光性樹脂を縮合させて、感光性樹脂と実装電極を構成するめっき電極層との境界に間隙を形成した上で、リフローによる熱処理を行うことにより、部品と実装電極とを半田接続させるとともに、感光性樹脂を軟化させて、感光性樹脂とめっき電極層との間隙に断面楔形状の凹部を形成することができる。したがって、実装電極と感光性樹脂との境界に断面楔形状の凹部を有し、半田スプラッシュを防止することができるモジュールを製造することができる。
また、本発明のモジュールの他の製造方法は、配線基板を準備する工程と、前記配線基板の一方主面に部品実装用の実装電極を構成する表面電極層を形成する工程と、前記配線基板の前記一方主面に、ネガ型の感光性樹脂を形成する工程と、前記感光性樹脂に対して行う、前記表面電極層に積層される前記実装電極を構成するめっき電極層を形成するためのパターンニング露光を、前記感光性樹脂が完全に光反応する露光量よりも低い露光量で行う工程と、現像処理およびアフターベーキングを行って、前記感光性樹脂の前記表面電極上の領域に開口部を形成する工程と、前記開口部に前記めっき電極層を形成する工程と、前記実装電極の前記めっき電極層表面に半田を塗布する工程と、前記配線基板の前記実装電極に部品を搭載する工程と、熱処理により、前記部品と前記実装電極とを半田接続するとともに、前記感光性樹脂の前記露光による未反応部分を軟化させて前記感光性樹脂と前記めっき電極層との境界に断面楔形状の凹部を形成する工程と、ウェット式またはドライ式の洗浄処理により、前記感光性樹脂の前記未反応部分を除去する工程と、前記実装電極に実装された前記部品および前記感光性樹脂を封止樹脂により被覆し、前記凹部に前記封止樹脂を充填して封止樹脂層を形成する工程とを備えることを特徴としている。
この場合、ネガ型の感光性樹脂に対して行う、表面電極層に積層されるめっき電極層を形成するためのパターンニング露光を、感光性樹脂が完全に光反応する露光量よりも低い露光量で行い、熱処理により、部品と実装電極とを半田接続するとともに、感光性樹脂の露光による未反応部分を軟化させて感光性樹脂とめっき電極層との境界に断面楔形状の凹部を形成することで、実装電極と感光性樹脂との境界に、断面楔形状の凹部を有するモジュールを製造することができるため、半田スプラッシュを防止することができるモジュールを製造することができる。
また、前記配線基板の一方主面に前記感光性樹脂を形成した後に、プラズマ処理により前記感光性樹脂の表面を粗面化する工程をさらに備えていてもよい。このようにすることで、感光性樹脂と封止樹脂層との密着強度が向上するため、半田スプラッシュの防止効果がさらに向上したモジュールを製造することができる。
本発明によれば、モジュールは、部品実装用の実装電極と感光性樹脂との境界に断面楔形状の凹部を有し、該凹部に封止樹脂層の樹脂が充填される。このようにすると、凹部に封止樹脂層の樹脂が充填されることにより得られるアンカー効果で、当該凹部において、封止樹脂層と感光性樹脂との密着強度が向上するため、封止樹脂層と感光性樹脂との界面に水分が浸透するのを防止することができ、これにより、モジュールを外部のマザー基板等に実装する際に封止樹脂層と感光性樹脂との界面に隙間が発生するのを防止することができる。また、仮に、上記した界面に隙間が発生した場合であっても、隣接する実装電極間を繋ぐ隙間の経路が一直線状にならず、該経路が、楔形状の凹部を有する分、長くなるため、溶融した半田が、隣接する実装電極に到達して両実装電極間が短絡するのを防止することができる。
本発明の第1実施形態にかかるモジュールの断面図である。 図1のモジュールの部分断面図である。 図1のモジュールの製造方法を説明するための図である。 図1のモジュールの製造方法を説明するための図である。 本発明の第2実施形態にかかるモジュールの製造方法の説明図である。 本発明の第2実施形態にかかるモジュールの製造方法の説明図である。 本発明の第3実施形態にかかるモジュールの部分断面図である。 本発明の第4実施形態にかかるモジュールの部分断面図である。 本発明の第5実施形態にかかるモジュールの部分断面図である。 従来のモジュールの断面図である。
<第1実施形態>
本発明の第1実施形態にかかるモジュール1について、図1および図2を参照して説明する。なお、図1は第1実施形態にかかるモジュール1の断面図、図2はモジュール1の部分断面拡大図である。
この実施形態にかかるモジュールは1、図1に示すように、配線基板2と、該配線基板2の一方主面に形成された複数の実装電極3と、配線基板2の一方主面に実装され、所定の実装電極3に半田接続された複数の部品4と、配線基板2の一方主面を被覆して設けられた感光性樹脂の一例であるソルダーレジスト5と、各部品4およびソルダーレジスト5を被覆して設けられた封止樹脂層6とを備え、例えば、携帯電話などの電子機器のマザー基板に実装される。
配線基板2は、それぞれ、ガラスエポキシ樹脂や低温同時焼成セラミック(LTCC)などの絶縁材料で形成された複数の絶縁層が積層されて成る多層基板であり、上記したように、その一方主面に各実装電極3が形成される。また、内部にはビア導体(図示せず)や各種配線電極(図示せず)が形成されるとともに、他方主面には、外部との接続用の複数の外部電極7が形成される。なお、配線基板2は、単層基板であってもかまわない。
各実装電極3は、図1および図2に示すように、配線基板2の一方主面上に形成された表面電極層3aと、該表面電極層3aに積層されためっき電極層3bとの2層構造で形成されており、配線基板2の一方主面に直交する方向から見ためっき電極層3bの面積が、表面電極層3aの面積よりも小さく形成される。なお、この実施形態では、表面電極層3aがCu、めっき電極層3bがNi/Auめっきで形成されている。
各部品4は、SiやGaAsなどで形成された半導体素子であるICや、チップキャパシタやチップインダクタなどのチップ部品であり、配線基板2の一方主面に周知の表面実装技術を用いて実装される。このとき、各部品4が有する端子が所定の実装電極3に半田8により接続される。
ソルダーレジスト5は、少なくとも各実装電極3の各部品4との接続面が露出した状態で、配線基板2の一方主面を被覆し、各実装電極3それぞれにおいて、ソルダーレジスト5との境界の、当該実装電極3の接続面寄りの位置に断面楔形状の凹部9が形成される。ここで、断面楔形状とは、図2に示すように、配線基板2の一方主面に平行な方向から見た凹部9の断面形状が楔型の形状であることを指す。以下、断面楔形状と呼ぶ。具体的には、ソルダーレジスト5は、表面電極層3aの表面のうち、めっき電極層3bと接触していない部分を被覆した状態で、配線基板2の一方主面を被覆しており、これにより、めっき電極層3bとソルダーレジスト5との境界に、断面楔形状の凹部9が形成される。なお、ソルダーレジスト5に代えて、感光性ポリイミドなどの種々の感光性樹脂を用いてもよい。
封止樹脂層6は、例えば、エポキシ樹脂で形成され、配線基板2の一方主面に実装された各部品4およびソルダーレジスト5を被覆して設けられる。このとき、上記した凹部9にも、封止樹脂層6の樹脂(本発明の封止樹脂に相当)が充填される。
(モジュール1の製造方法1)
次に、モジュール1の製造方法について、図3および図4を参照して説明する。なお、図3および図4はモジュール1の製造方法の説明図であり、モジュール1の部分断面図である。また、図3(a)〜(d)は製造方法の各工程を示し、図4(a)および(b)は、図3に続く各工程を示す。
まず、その内部にビア導体や各種配線電極が形成された配線基板2を準備し、その一方主面に部品実装用の実装電極3を構成する複数の表面電極層3aを形成するとともに、他方主面に外部接続用の複数の外部電極7を形成する。このとき、各表面電極層3aを、Cuなどを含む導体ペーストを使用した印刷技術や、フォトリソグラフィ技術などを用いたパターンエッチングにより形成する。なお、各表面電極層3aおよび各外部電極7は、積層される前の各絶縁層が単体状態のときに形成してもかまわない。
次に、図3(a)に示すように、配線基板2の一方主面に、表面電極層3a上に開口部10を有するソルダーレジスト5を形成する。この場合、例えば、印刷技術などを用いて配線基板2の一方主面の全面にソルダーレジスト5を形成した後、フォトリソグラフィ技術などを用いて表面電極層3a上のソルダーレジスト5を除去して開口部10を形成する。
次に、図3(b)に示すように、ソルダーレジスト5の開口部10に実装電極3を構成するめっき電極層3bを形成する。具体的には、開口部10により露出した表面電極層3a上に無電解めっきにより、Ni膜を成膜し、同じく、無電解めっきにより、Ni膜上にAu膜を成膜して、Ni/Au膜から成るめっき電極層3bを表面電極層3a上に積層する。
次に、図3(c)に示すように、熱処理により、ソルダーレジスト5の硬化度を上げるとともに、ソルダーレジスト5を縮合させて、ソルダーレジスト5とめっき電極層3bとの境界に間隙11を形成する。このとき、めっき電極層3b形成時においては、めっき電極層3bとソルダーレジスト5とが接着した状態であるため、上記した熱処理により、めっき電極層3bとソルダーレジスト5との界面剥離を行う。なお、熱処理の条件は、100℃以上、30分間以上に設定するのが好ましい。
次に、図3(d)に示すように、印刷技術などを用いて、めっき電極層3b表面に半田8を塗布し、配線基板2の所定の実装電極3上に、部品搭載装置などを用いて各部品4を搭載する。
次に、図4(a)に示すように、リフロー炉などを用いた熱処理を行うことで、各部品4と所定の実装電極3とを半田接続させるとともに、ソルダーレジスト5を軟化させて、ソルダーレジスト5とめっき電極層3bとの間隙11に断面楔形状の凹部9を形成する。このとき、リフロー炉の温度を、ソルダーレジスト5の軟化する温度であるガラス転移温度(例えば、200℃〜230℃)以上に設定する。このようにすることで、ソルダーレジスト5の開口部10の内壁の傾斜が鈍化し、上記した間隙11に断面楔形状の凹部9が形成される。
次に、フラックスの残渣等の有機物を、ウェット式やドライ式の洗浄処理により洗浄・除去する。このとき、ウェット式の洗浄処理としては、例えば、有機溶剤を含有する洗浄液による洗浄が挙げられ、ドライ式の洗浄処理としては、例えば、プラズマ洗浄が挙げられる。
最後に、図4(b)に示すように、各部品4およびソルダーレジスト5を、エポキシ樹脂などにより被覆し、凹部9に当該エポキシ樹脂を充填して封止樹脂層6を形成することでモジュール1を製造する。なお、封止樹脂層6は、塗布方式、印刷方式、コンプレッションモールド方式、トランスファモールド方式などにより形成することができる。
なお、ソルダーレジスト5を形成した後に、プラズマ処理(プラズマアッシング)により、ソルダーレジスト5の表面を粗面化するようにしてもよい。このようにすると、ソルダーレジスト5と封止樹脂層6との密着強度がさらに向上するため、半田スプラッシュの防止効果がさらに向上する。なお、プラズマ処理としては、酸素プラズマやアルゴンプラズマ処理などが挙げられる。
したがって、上記した実施形態によれば、モジュール1は、実装電極3を構成するめっき電極層3bとソルダーレジスト5との境界に断面楔形状の凹部9を有し、該凹部9に封止樹脂層6の樹脂が充填される。このようにすると、凹部9に封止樹脂層6の樹脂が充填されることにより得られるアンカー効果で、凹部9において、封止樹脂層6とソルダーレジスト5との密着強度が向上するため、封止樹脂層6とソルダーレジスト5との界面に水分が浸透するのを防止することができ、これにより、モジュール1を外部のマザー基板等に実装する際に封止樹脂層6とソルダーレジスト5との界面に隙間が発生するのを防止することができる。また、仮に両者の界面に隙間が発生した場合であっても、隣接する実装電極3間を繋ぐ隙間の経路が一直線状にならず、凹部9における隙間の経路がV字状になる分だけ、長くなるため、溶融した半田8が、隣接する実装電極3に到達して両実装電極3間が短絡するのを防止することができる。さらに、凹部9に発生する隙間の経路がV字状になることにより、凹部9の隙間の経路中で溶融した半田8をせき止める効果も期待できる。
また、表面電極層3aがCuで形成されるとともに、めっき電極層3bがNi/Au膜で形成されるため、めっき電極層3bにより表面電極層3aが酸化または腐食するのを防止することができる。また、Ni/Au膜はCuよりも半田8との相互拡散係数が高いため、実装電極3の半田8の濡れ性が向上する。
また、上記したモジュール1の製造方法によれば、熱処理によりソルダーレジスト5を縮合させて、ソルダーレジスト5と実装電極3を構成するめっき電極層3bとの境界に間隙11を形成した上で、リフロー炉などを用いた熱処理により、ソルダーレジスト5とめっき電極層3bとの間隙11に、断面楔形状の凹部9を形成することができるため、半田スプラッシュを防止することができるモジュール1を製造することができる。
<第2実施形態>
本発明の第2実施形態にかかるモジュール1について、図5および図6を参照して説明する。なお、図5および図6はモジュール1の製造方法の説明図であり、それぞれモジュール1の部分断面図である。また、図5(a)〜(e)は製造方法の各工程を示し、図6(a)〜(c)は図5(e)に続く各工程を示す。
この実施形態にかかるモジュール1が、図1〜図4を参照して説明した第1実施形態のモジュールと異なるところは、その製造方法が異なる点である。その他の構成は第1実施形態のモジュール1と同じであるため、同一符号を付すことにより説明を省略する。以下、その製造方法について説明する。
(モジュール1の製造方法2)
まず、その内部にビア導体や各種配線電極が形成された配線基板2を準備し、その一方主面に部品実装用の実装電極3を構成する複数の表面電極層3aを形成するとともに、他方主面に外部接続用の複数の外部電極7を形成する。このとき、各表面電極層3aを、Cuなどを含む導体ペーストを使用した印刷技術や、各表面電極層3aを、Cuなどを含む導体ペーストを使用した印刷技術や、フォトリソグラフィ技術などを用いたパターンエッチングにより形成する。なお、各表面電極層3aおよび各外部電極7は、積層される前の各絶縁層が、単体状態のときに形成してもかまわない。
次に、図5(a)に示すように、印刷技術などを用いて配線基板2の一方主面の全面にネガ型のソルダーレジスト5を形成した後、図5(b)に示すように、マスク12を用いて、ソルダーレジスト5に対して、表面電極層3aに積層されるめっき電極層3bを形成するためのパターンニング露光を行う。このとき、その露光量をソルダーレジスト5が完全に光反応する露光量よりも低い露光量、例えば、ソルダーレジスト5の光反応度が80〜90%程度になるように設定する。
次に、図5(c)に示すように、現像処理およびアフターベーキングを行って、ソルダーレジスト5の表面電極層3a上の領域に開口部10を形成する。
次に、図5(d)に示すように、第1実施形態のモジュール1の製造方法(図3(b)参照)と同じ要領で、ソルダーレジスト5の開口部10にめっき電極層3bを形成し、図5(e)に示すように、めっき電極層3bの表面に半田8を塗布する。この場合も第1実施形態のモジュール1の製造方法と同じ要領で半田8を塗布する(図3(d)参照)。
次に、図6(a)に示すように、第1実施形態のモジュール1の製造方法(図4(a)参照)と同じ要領で、配線基板2の所定の実装電極3上に、各部品4を搭載し、リフロー炉などを用いた熱処理により、各部品4と所定の実装電極3とを半田接続させる。このとき、熱によりソルダーレジスト5のパターニング露光による未反応部分が軟化するとともに縮合反応が進んで、ソルダーレジスト5とめっき電極層3bとの境界に断面楔形状の凹部9が形成される。
次に、図6(b)に示すように、第1実施形態のモジュール1の製造方法と同じ要領で洗浄処理を行う。このとき、ソルダーレジスト5のパターンニング露光による未反応部分を除去する。このとき、凹部9のソルダーレジスト5の未反応部分が除去されることにより、凹部9の深さが深くなる。最後に、図6(c)に示すように、第1実施形態のモジュール1の製造方法(図4(b)参照)と同じ要領で、封止樹脂層6を形成して、モジュール1を製造する。なお、この実施形態でも、ソルダーレジスト5を形成した後に、プラズマ処理(プラズマアッシング)により、ソルダーレジスト5の表面を粗面化するようにしてもよい。
以上のように、ネガ型のソルダーレジスト5を用いて、パターンニング露光時に、ソルダーレジスト5の光未反応部分を形成して、洗浄処理により当該未反応部分を除去することで、ソルダーレジスト5と実装電極3を構成するめっき電極層3bとの境界に断面楔形状の凹部9を形成することができるため、第1実施形態と同様の効果を得ることができるモジュール1を製造することができる。
<第3実施形態>
本発明の第3実施形態にかかるモジュール1aについて、図7を参照して説明する。なお、図7はモジュール1aの部分断面図である。
この実施形態にかかるモジュール1aが、図1および図2を参照して説明した第1実施形態と異なるところは、図7に示すように、モジュール1aが、実装電極3を構成する表面電極層3aとソルダーレジスト5との境界に断面楔形状の凹部9を有する点である。その他の構成は、第1実施形態と同じであるため、同一符号を付すことにより説明を省略する。
このように、ソルダーレジスト5と実装電極3を構成する表面電極層3aとの境界で断面楔形状の凹部9が形成された場合であっても、凹部9に封止樹脂層6の樹脂が充填されることにより得られるアンカー効果で、当該凹部において、封止樹脂層6とソルダーレジストとの密着強度が向上するため、封止樹脂層6とソルダーレジスト5との界面に水分が浸透するのを防止することができる。また、仮に封止樹脂層6とソルダーレジスト5との界面に水分が浸透し、この界面に隙間が発生した場合であっても、凹部9により、隣接する実装電極3とを繋ぐ隙間の経路の長さが、第1および第2実施形態のモジュール1と同様に長くなるため、半田スプラッシュを防止することができる。
なお、配線基板2の一方主面に直交する方向から見ためっき電極層3bの面積を、表面電極層3aの面積と略同じになるように、表面電極層3aおよびめっき電極層3bを形成してもよい。また、この場合は、ソルダーレジスト5が表面電極層3aの側面を被覆した状態で、めっき電極層3bとソルダーレジスト5との境界に凹部9を形成してもよい。
<第3実施形態>
本発明の第3実施形態にかかるモジュール1bについて、図8を参照して説明する。なお。図8はモジュール1bの部分断面図である。
この実施形態にかかるモジュール1bが、図1および図2を参照して説明した第1実施形態のモジュール1と異なるところは、図8に示すように、実装電極3のめっき電極層3bが、表面電極層3aの配線基板2との接触面を除く外側面を被覆して形成されている点である。その他の構成は、第1実施形態のモジュール1と同じであるため、同一符号を付すことにより説明を省略する。
この場合、めっき電極層3bが表面電極層3aの外側面を被覆し、表面電極層3bの側面を被覆するめっき電極層3bとソルダーレジスト5との境界に断面楔形状の凹部9が形成される。このように構成しても、第1実施形態のモジュール1と同様の効果を得ることができる。また、第1および第2実施形態のモジュール1と比較して、めっき電極層3bの表面積が増えるため、部品4との接続面積が増加して配線基板2(実装電極3)と部品4との接続強度が向上する。
<第4実施形態>
本発明の第4実施形態のモジュール1cについて、図9を参照して説明する。なお、図9はモジュール1cの部分断面図である。
この実施形態にかかるモジュール1cが、図8を参照して説明した第3実施形態のモジュール1bと異なるところは、図9に示すように、実装電極3の表面が、半田膜8aで被覆されている点である。その他の構成は、第3実施形態のモジュール1bと同じであるため、同一符号を付すことにより説明を省略する。
この場合、実装電極3を構成するめっき電極層3bの表面が半田膜8aで被覆されて、半田膜8aとソルダーレジスト5との境界に断面楔形状の凹部9が形成される。このように構成しても、第3実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、本発明は上記した各実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上記したもの以外に種々の変更を行なうことが可能である。
また、本発明は、配線基板に部品が半田接続されてなる種々のモジュールに適用することができる。
1,1a,1b,1c モジュール
2 配線基板
3 実装電極
3a 表面電極層
3b めっき電極層
4 部品
5 ソルダーレジスト(感光性樹脂)
6 封止樹脂層
8 半田
8a 半田膜
9 凹部
10 開口部
11 間隙

Claims (11)

  1. 配線基板と、
    前記配線基板の一方主面に形成された部品実装用の実装電極と、
    前記配線基板の一方主面に実装され、前記実装電極に半田接続された部品と、
    少なくとも前記実装電極の前記部品との接続面が露出した状態で、前記配線基板の一方主面を被覆して設けられた感光性樹脂と、
    前記配線基板の一方主面に前記実装電極に接続された前記部品および前記感光性樹脂を被覆して設けられた封止樹脂層とを備え、
    前記実装電極と前記感光性樹脂との境界に断面楔形状の凹部を有し、
    前記封止樹脂層の樹脂が、前記凹部に充填されている
    ことを特徴とするモジュール。
  2. 前記実装電極は、
    前記配線基板上に形成された表面電極層と、
    前記表面電極に積層されためっき電極層との2層構造で形成されていることを特徴とする請求項1に記載のモジュール。
  3. 前記一方主面に直交する方向から見た前記めっき電極層の面積が、前記表面電極層の面積よりも小さく、
    前記凹部は、前記めっき電極層と前記感光性樹脂との境界に形成されていることを特徴とする請求項2に記載のモジュール。
  4. 前記めっき電極層が、前記表面電極層の前記配線基板との接触面を除く外側面を被覆して形成されることを特徴とする請求項2に記載のモジュール。
  5. 前記実装電極の表面が、半田膜で被覆されていることを特徴とする請求項1に記載のモジュール。
  6. 前記感光性樹脂の表面が粗面化されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のモジュール。
  7. 前記配線基板が、樹脂基板、ガラスエポキシ樹脂基板、セラミック基板のいずれかであることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載のモジュール。
  8. 前記感光性樹脂が、ソルダーレジストであることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載のモジュール。
  9. 配線基板を準備する工程と、
    前記配線基板の一方主面に部品実装用の実装電極を構成する表面電極層を形成する工程と、
    前記配線基板の前記一方主面に、前記表面電極層上に開口部を有する感光性樹脂を形成する工程と、
    前記開口部に前記実装電極を構成するめっき電極層を形成する工程と、
    熱処理により前記感光性樹脂を縮合させて、前記感光性樹脂と前記めっき電極層との境界に間隙を形成する工程と、
    前記実装電極の前記めっき電極層表面に半田を塗布する工程と、
    前記配線基板の前記実装電極に部品を搭載する工程と、
    リフローによる熱処理を行うことにより、前記部品と前記実装電極とを半田接続させるとともに、前記感光性樹脂を軟化させて、前記感光性樹脂と前記めっき電極層との間隙に断面楔形状の凹部を形成する工程と、
    前記実装電極に実装された前記部品および前記感光性樹脂を封止樹脂により被覆し、前記凹部に前記封止樹脂を充填して封止樹脂層を形成する工程と
    を備えることを特徴とするモジュールの製造方法。
  10. 配線基板を準備する工程と、
    前記配線基板の一方主面に部品実装用の実装電極を構成する表面電極層を形成する工程と、
    前記配線基板の前記一方主面に、ネガ型の感光性樹脂を形成する工程と、
    前記感光性樹脂に対して行う、前記表面電極層に積層される前記実装電極を構成するめっき電極層を形成するためのパターンニング露光を、前記感光性樹脂が完全に光反応する露光量よりも低い露光量で行う工程と、
    現像処理およびアフターベーキングを行って、前記感光性樹脂の前記表面電極上の領域に開口部を形成する工程と、
    前記開口部に前記めっき電極層を形成する工程と、
    前記実装電極の前記めっき電極層表面に半田を塗布する工程と、
    前記配線基板の前記実装電極に部品を搭載する工程と、
    熱処理により、前記部品と前記実装電極とを半田接続するとともに、前記感光性樹脂の前記露光による未反応部分を軟化させて前記感光性樹脂と前記めっき電極層との境界に断面楔形状の凹部を形成する工程と、
    ウェット式またはドライ式の洗浄処理により、前記感光性樹脂の前記未反応部分を除去する工程と、
    前記実装電極に実装された前記部品および前記感光性樹脂を封止樹脂により被覆し、前記凹部に前記封止樹脂を充填して封止樹脂層を形成する工程と
    を備えることを特徴とするモジュールの製造方法。
  11. 前記配線基板の一方主面に前記感光性樹脂を形成した後に、プラズマ処理により前記感光性樹脂の表面を粗面化する工程をさらに備えることを特徴とする請求項8または9に記載のモジュールの製造方法。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015220676A1 (de) * 2015-10-22 2017-04-27 Zf Friedrichshafen Ag Leiterplatte und Anordnung mit einer Leiterplatte
KR101771822B1 (ko) * 2015-12-29 2017-08-25 삼성전기주식회사 칩 저항 소자 및 칩 저항 소자 어셈블리
CN106132113B (zh) * 2016-07-05 2018-12-07 惠州市金百泽电路科技有限公司 一种覆盖膜保护化金内置元器件pcb板的制作方法
KR102123813B1 (ko) * 2017-08-23 2020-06-18 스템코 주식회사 연성 회로 기판 및 그 제조 방법
JP7202785B2 (ja) * 2018-04-27 2023-01-12 新光電気工業株式会社 配線基板及び配線基板の製造方法
US10861785B2 (en) * 2018-06-18 2020-12-08 Canon Kabushiki Kaisha Electronic module, electronic device, manufacturing method for electronic module, and manufacturing method for electronic device
JP7334198B2 (ja) * 2021-02-01 2023-08-28 プライムプラネットエナジー&ソリューションズ株式会社 電極端子および該電極端子を備えた二次電池

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0638275U (ja) * 1992-10-20 1994-05-20 新電元工業株式会社 混成集積回路基板
JP2014216559A (ja) * 2013-04-26 2014-11-17 株式会社デンソー 多層基板およびこれを用いた電子装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1265691C (zh) * 1996-12-19 2006-07-19 揖斐电株式会社 多层印刷布线板及其制造方法
JP3346263B2 (ja) 1997-04-11 2002-11-18 イビデン株式会社 プリント配線板及びその製造方法
TW538279B (en) * 1998-10-23 2003-06-21 Hitachi Ltd A reflective color liquid crystal display apparatus
JP3757172B2 (ja) * 2002-01-31 2006-03-22 富士通株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP2005183430A (ja) 2003-12-16 2005-07-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品内蔵モジュール
WO2005093817A1 (ja) * 2004-03-29 2005-10-06 Nec Corporation 半導体装置及びその製造方法
JP4630114B2 (ja) * 2005-04-18 2011-02-09 新光電気工業株式会社 リーダライタ及びその製造方法
JP4753642B2 (ja) * 2005-07-04 2011-08-24 株式会社リコー 電子部品実装体の製造方法
TWI331388B (en) * 2007-01-25 2010-10-01 Advanced Semiconductor Eng Package substrate, method of fabricating the same and chip package
CN101911271B (zh) * 2008-01-17 2012-05-30 株式会社村田制作所 电子部件

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0638275U (ja) * 1992-10-20 1994-05-20 新電元工業株式会社 混成集積回路基板
JP2014216559A (ja) * 2013-04-26 2014-11-17 株式会社デンソー 多層基板およびこれを用いた電子装置

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