JP2014225711A5 - - Google Patents

Description

本発明の実施形態に係る基板検出装置は、基部と、前記基部に対して揺動支点部材を中心に揺動自在に取り付けられている揺動部材と、前記揺動部材の一端部に回転可能に設けられる検出ローラと、搬送される基板が前記検出ローラを押し下げて、前記基板が前記検出ローラに当たる前の前記揺動部材の初期位置から前記揺動部材が回転方向へ回転すると、前記基板を検出したことを示す検出信号を出す検出センサと、を有する基板検出装置において、前記揺動部材の前記初期位置では、前記揺動部材を前記基板の搬送方向と交差する垂直線に対して傾斜して保持する揺動ストッパを有し、この揺動ストッパは、前記揺動部材を、前記初期位置において、前記垂直線に対して３０度から５０度の範囲の傾斜角度で保持することを特徴とする。

図１と図２に示す検出ローラ６は、例えば樹脂製であり、取り付け軸部１２を用いて揺動部材５の一端部５Ａに、回転可能に取り付けられている。揺動部材５の他端部５Ｂは、金属製のウエイト５Ｃを固定している。ウエイト５Ｃは、検出ローラ６との重量バランスを取るために設けられている。マグネット７は、好ましくはウエイト５Ｃの中に取り付けられている。

このように、基板Ｂが検出ローラ６から離れると、揺動部材５が重力の力で検出位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に逆回転方向Ｒ１に回転するので、レスポンス良く直ちに初期位置Ｐ１に復帰できる。しかも、揺動部材５の下側側面部５Ｄは、揺動ストッパ１１に当接する。

Claims (4)

1. 基部と、
   前記基部に対して揺動支点部材を中心に揺動自在に取り付けられている揺動部材と、
   前記揺動部材の一端部に回転可能に設けられる検出ローラと、
   搬送される基板が前記検出ローラを押し下げて、前記基板が前記検出ローラに当たる前の前記揺動部材の初期位置から前記揺動部材が回転方向へ回転すると、前記基板を検出したことを示す検出信号を出す検出センサと、
   を有する基板検出装置において、
   前記揺動部材の前記初期位置では、前記揺動部材を前記基板の搬送方向と交差する垂直線に対して傾斜して保持する揺動ストッパを有し、
   この揺動ストッパは、前記揺動部材を、前記初期位置において、前記垂直線に対して３０度から５０度の範囲の傾斜角度で保持することを特徴とする基板検出装置。
2. 前記揺動部材は、他端部にウエイトが設けられ、
   前記検出ローラの取り付け軸部と前記揺動支点部材との間の距離が、前記揺動支点部材と前記ウエイト間の距離にくらべて、短いことを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
3. 前記揺動部材の前記初期位置における傾斜方向は、前記揺動部材の前記一端部が前記基板の搬送方向上流側に傾斜する方向であることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の基板検出装置。
4. 請求項１乃至３のいずれかに記載の基板検出装置と、
   前記基板を搬送する搬送ローラを備えた搬送シャフトと、
   前記搬送シャフトを回転させる駆動部と、
   を有する基板処理装置。