JPH10265026A - ワーク通過検出装置 - Google Patents

ワーク通過検出装置

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JPH10265026A
JPH10265026A JP8863697A JP8863697A JPH10265026A JP H10265026 A JPH10265026 A JP H10265026A JP 8863697 A JP8863697 A JP 8863697A JP 8863697 A JP8863697 A JP 8863697A JP H10265026 A JPH10265026 A JP H10265026A
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JP
Japan
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lever
work
passage
pure water
conveyor
Prior art date
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Pending
Application number
JP8863697A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenji Yumiba
賢治 弓場
Shinji Sugizaki
真二 杉崎
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワークの通過時には軽い負荷で容易にレバー
が変位し、かつワークが通過した後には、確実にレバー
が原点位置に復帰する。 【構成】 通過検出装置10はローラコンベア1におけ
るワーク3の搬送領域におけるほぼ中央部に立設したポ
スト11に支点ピン13を中心として揺動するレバー1
4を装着して、このレバー14には、支点ピン13より
上部位置でワーク3の搬送方向の前方にローラ15が、
支点ピン13より下方の位置において、この支点ピン1
3よりワーク3の搬送方向の後方側に向けて突出するよ
うに受け板20が設けられており、受け板20の上方位
置に純水噴射ノズル21が設けられて、受け板20に純
水が常時噴射するようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの基板
を構成する透明なガラス板等からなるワークをコンベア
に沿って搬送する間に、このワークが所定の位置を通過
したことを検出するワーク通過検出装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】例えば、液晶パネルは上下2枚の透明基
板間に液晶を封入したものから構成され、少なくとも一
方の透明基板にドライバICを接続すると共に、このド
ライバICのアウタリードはプリント回路基板に接続さ
れる。この液晶パネルを製造するに当っては、所定の形
状にした2枚の透明ガラスからなる透明基板を用いる
が、これら透明基板は、所定の形状に切断したガラス板
から製造される。この2枚の透明基板を、例えばTFT
基板とカラーフィルタとすることにより液晶パネルが形
成される。TFT基板を構成する一方のガラス板は、成
膜、露光、膜剥離等の工程を複数回繰り返すことにより
形成され、またカラーフィルタもガラス板に顔料による
フィルタ膜を成膜した上で露光するようになし、この工
程を複数回繰り返すことにより形成される。このよう
に、TFT基板やカラーフィルタ等、液晶パネルを構成
するガラス基板は、種々の工程を経て製造されるが、ま
たウエット処理を行う関係で、ガラス板の表面には常に
純水をシャワリングさせながらコンベアに沿って搬送し
て、各工程に供給する場合もある。
【0003】以上のように、液晶パネルを構成する透明
基板を製造する場合におけるガラス板等のワークは、搬
送手段として、例えばローラコンベア等により水平搬送
されて、所要の処理ステーション等に供給され、かつ当
該の処理ステーションでの処理が完了すると、コンベア
に戻されて、次の処理ステーションに供給される。ここ
で、処理の自動化を図るには、ワークの搬送時には適宜
の位置にワークの通過を検出する手段を設けて、その通
過を検出して、装置全体の制御を行う必要がある。この
ために、コンベアにはワークの通過検出手段を設けて、
その通過の検出を行うようにしている。
【0004】ここで、ワークの通過を検出する機構とし
ては、前述したようなガラス板等にあっては、透明な部
材であるから、光学的な検出機構を用いることはでき
ず、また無機物であることから、磁気センサ等で通過を
検出することもできない。従って、このようなガラス板
等のワークの通過を検出するのは、通常は接触タイプの
センサが用いられる。この接触タイプの通過センサとし
ては、所謂振り子センサと呼ばれるものが従来から用い
られている。
【0005】振り子センサは、揺動支点を中心として揺
動可能なレバーの先端にローラを設け、このローラをコ
ンベアにおけるワークの搬送面より高い位置に配置して
おき、ワークがセンサの配設位置にまで搬送されると、
その先端がローラに当接して、このローラを搬送方向前
方に押動することになって、このローラを装着したレバ
ーが揺動支点を中心として回動することになる。従っ
て、このレバーが回動変位したことを検出することによ
って、ワークの通過を検出することができる。ここで、
レバーの変位を検出する機構としては、種々のセンサを
用いることができるが、被検出部材を非透明体で形成し
て、光学センサでこのレバーの変位を検出することがで
き、また磁性体や金属で構成すれば、磁気センサ,金属
センサ等を用いることによって、レバーの動きを容易
に、しかも確実に検出することができる。
【0006】ここで、振り子センサにあっては、コンベ
アに沿って搬送されるワークでレバーに連結したローラ
を押動することにより揺動させるが、ワークが通過した
後にはレバーを元の位置に復帰させなければならない。
このために、レバーには原点復帰手段を設けて、常時所
定の原点位置に復帰させる方向の力を加える必要があ
る。この原点復帰手段としては、例えばばね等の付勢手
段を用いることができるが、またレバーの基端部にカウ
ンタウエイトを設けることによっても、原点位置方向へ
の復帰力を加えることができる。従って、レバーが原点
位置にある状態から、ワークの搬送によりこのレバーを
揺動変位させるには、この付勢手段による付勢力やカウ
ンタウエイトの重量に抗して押動しなければならない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、コンベアに
沿って搬送されるワークが重量物であれば、原点復帰手
段を構成する付勢手段による付勢力を強くしたり、カウ
ンタウエイトの重量を重くしても、レバーの変位が可能
となるから、従ってワークが通過した後に、レバーは確
実に原点位置に復帰させることができる。しかしなが
ら、コンベアに沿って搬送されるワークが小型で軽量な
ものである場合には、振り子センサの位置を通過する際
に、レバーに連結したローラにワークが乗り上げてしま
うおそれがあり、そうなるとワークの通過を検出できな
くなる。従って、軽量なワークの場合には、レバーが軽
い力で容易に揺動変位するように、原点復帰手段の力を
弱める必要がある。しかしながら、原点復帰手段による
レバーの原点復帰力を弱くすると、ワークが通過した後
におけるレバーの原点復帰動作が安定せず、甚だしい場
合には、原点位置が行われない状態になることもある。
このように、レバーの原点位置への復帰遅れや、全く復
帰しないという事態が生じると、次に搬送されるワーク
の通過検出を行えなくなってしまう。とりわけ、ワーク
の搬送間隔が短い場合等においては、レバーを迅速かつ
確実に原点位置に復帰させる必要性が極めて高い。従っ
て、ワークが軽量なものである場合には、振り子センサ
による通過検出を行えないという問題点がある。
【0008】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、ワークの通過時には
軽い負荷で容易にレバーが変位し、かつワークが通過し
た後には、確実にレバーが原点位置に復帰するようにす
ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、平板状のワークをコンベアに沿って
搬送する間に、このワークの通過を検出するものであっ
て、ワークの通過時に、このワークに押動されて揺動変
位するレバーと、このレバーに設けた被検出体と、この
被検出体の変位を検出する変位センサとからなる振り子
センサと、コンベアの上部に設けられ、前記ワークが通
過した後に、前記レバーを原点位置に復帰させるため
に、このレバーに液体を供給するノズルとを備える構成
としたことをその特徴とするものである。
【0010】ここで、レバーにはワークに当接するロー
ラを設けておき、コンベアに沿って搬送されるワーク
は、このローラを押動するように構成するのが、ワーク
に対する損傷等の防止の観点から好ましい。そして、レ
バーが原点位置にあるときに、ワークに当接するローラ
は、このレバーの揺動支点より上方の位置で、コンベア
の搬送方向の前方側の位置に設け、またこのレバーの揺
動支点より下方の位置でコンベアの搬送方向後方側の位
置に、ノズルからの液体を受ける復帰作動部を設ける構
成とするのが好ましい。
【0011】レバーを原点復帰させるために液体を用い
ることから、ワークをウエットプロセスにより所定の処
理を行うための工程に搬送するコンベアにおけるワーク
通過検出装置として用いると、ワークに液体が付着して
も何等の問題もない。ここで、ノズルから供給される液
体は、プロセスに応じて種々のものから選択されるが、
純水を用いるのが最も好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の一形態について説明する。まず、図1に搬送装置の
概略構成を示す。図中において、1は搬送手段としての
ローラコンベアを示し、このローラコンベア1は搬送方
向に所定のピッチ間隔をもって多数のローラ2が配置さ
れており、これら各ローラ2はモータ等、適宜の駆動手
段により回転駆動されて、このローラコンベア1上に設
置したワーク3を矢印A方向に搬送することができるよ
うになっている。そして、このローラコンベア1による
搬送ラインの上部位置には、純水シャワー部4が設けら
れており、この純水シャワー部4からワーク3の表面に
純水のシャワリングを行うことによって、ウエット状態
に保たれながら搬送される。
【0013】ローラコンベア1における純水シャワー部
4の設置箇所より搬送方向前方の位置には、ワーク3の
通過検出装置10が設けられている。この通過検出装置
10は、図2及び図3に示した構成となっている。これ
らの図から明らかなように、ローラコンベア1における
ワーク3の搬送領域におけるほぼ中央部にポスト11が
立設されている。このポスト11の上端部には台板11
aが連結して設けられており、この台板11aには左右
の支持板12,12が立設されている。そして、この支
持板12,12間には支点ピン13が掛け渡すように設
けられており、この支点ピン13にレバー14が揺動自
在に装着されている。レバー14には、その上端部にロ
ーラ15が軸16により回転自在に装着されており、下
端部には被検出体17が装着されている。ここで、レバ
ー14は鉛直状態が原点位置であり、このレバー14が
原点位置となっている状態では、ローラ15がローラコ
ンベア1におけるワーク3の搬送面より高い位置に配置
される。ただし、ローラ15の搬送面より突出している
のは、その半円部分以下とする。また、被検出体17は
磁性体からなり、この被検出体17が近接したことを検
出するセンサとして、例えば磁気センサ18がポスト1
1の台板11aに装着されている。なお、図中におい
て、19は磁気センサ18に接続した信号ケーブルであ
る。
【0014】レバー14には、また支点ピン13の位置
より下方に復帰作動部として機能する受け板20が設け
られている。而して、レバー14の支点ピン13への連
結部を基準として、ローラ15は、支点ピン13より上
部位置であり、かつワーク3の搬送方向の前方に位置し
ている。また、受け板20は、支点ピン13より下方の
位置において、この支点ピン13よりワーク3の搬送方
向の後方側に向けて突出しており、レバー14が鉛直状
態となった原点位置にある時には、この受け板20は略
水平な状態となるようにして連結されている。そして、
これらの各装着部材を含めたレバー14全体の重心位置
Gは、レバー14の原点位置で、支点ピン13の僅かに
下方となる位置に存在している。従って、自由状態で
は、レバー14は原点位置に保持されるが、ローラ15
に僅かな力が加わっただけでも、支点ピン13を中心と
して揺動することになる。
【0015】従って、レバー14に対して何等の外力も
作用しない時には、このレバー14が鉛直状態の原点位
置に保持されるようになり、この状態では、被検出体1
7は磁気センサ18に最も接近しているから、磁気セン
サ18による検出電圧または電流が最大になる。そし
て、レバー14が支点ピン13を中心として前後いずれ
かの方向に揺動変位すると、このレバー14に連結して
設けた被検出体17が磁気センサ18から離間すること
になるから、磁気センサ18の出力レベルが低下する。
従って、レバー14がワーク3に押動されて、振り子動
作することにより磁気センサ18の出力電圧値乃至電流
値のレベルが変化するから、この出力レベルの変化を検
出することにより、ワーク3の通過が検出されることに
なり、レバー14と被検出体16とによって、振り子セ
ンサが構成される。
【0016】さらに、受け板20の上方位置には、純水
噴射ノズル21が設けられており、この純水噴射ノズル
21からは、純水が常時下方に向けて噴射するようにな
っている。そして、純水噴射ノズル21から噴射される
純水は受け板20で受けられることによって、この受け
板20に連結したレバー14は常時鉛直状態になるよう
に保持される。そして、支持板12には、ストッパピン
22が設けられており、このストッパピン22によっ
て、レバー14は鉛直状態の原点位置に保持されて、ロ
ーラ15がワーク3の搬送方向の後方側に傾くのを防止
している。
【0017】本発明の実施の形態は以上のように構成さ
れるものであって、振り子センサを構成するレバー14
は、その重心位置Gが、鉛直状態の原点位置にある時
に、支点ピン13の僅かに下方位置にあるために、常時
においては、この原点位置に保持されて、ストッパピン
22に当接しており、このレバー14に設けた被検出体
17が磁気センサ18に対して最も近接した位置に保持
される。なお、ストッパピン22によりレバー14のオ
ーバーランが規制されるようになっているから、重心位
置Gは多少ワーク3の搬送方向の後方側にずれていて
も、格別問題とはならない。また、レバー14に連結し
て設けた受け板20には、常時純水噴射ノズル21から
の純水が噴射されるようになっているから、その液圧で
レバー14は多少揺動するが、受け板20は略水平な状
態になっているから、大きく揺動することはない。従っ
て、磁気センサ18による検出レベルは多少上下するも
のの、大きく変化することはない。
【0018】ローラコンベア1には、ワーク3が順次載
置されて、ローラ2の回転によって、純水シャワー部4
によりその表面に純水がシャワリングされて、ウエット
な状態にして図1の矢印A方向に搬送されて、図4に示
したように、通過検出装置10の位置に至る。この通過
検出装置10の位置にまでワーク3が搬送されると、ま
ずこのワーク3の先端が純水噴射ノズル21の下部位置
に至ることから、図5に示したように、レバー14に連
結して設けた受け板20の上部がワーク3により覆われ
ることになって、この受け板20への純水の噴射は阻止
されることになる。ただし、レバー14及びローラ15
には外力が作用していないから、その重心位置Gの関係
で、鉛直状態の原点位置に保たれる。
【0019】ワーク3の搬送により純水の受け板20に
向けての噴射を遮断した後に、その先端が、ローラコン
ベア1におけるワーク3の搬送面より突出しているロー
ラ15と当接する。これによって、ローラ15が押動さ
れることになり、このローラ15が連結されているレバ
ー14はワーク3の搬送方向前方に向けて揺動して、図
6の状態になる。ここで、レバー14全体の重心位置G
は支点ピン13より僅かに下方に位置しているから、僅
かな外力が加わっただけでも、揺動することになる。こ
の結果、被検出体17がポスト11の台板11aに固定
的に設けた磁気センサ18から離間することになるか
ら、磁気センサ18による検出電圧値または電流値が所
定レベル以下にまで低下する。これによって、ワーク3
が通過検出装置10の位置を通過中であることが検出さ
れる。
【0020】ワーク3が通過検出装置10の位置を通過
すると、純水噴射ノズル21からの純水の噴射を遮断す
るものがなくなるから、純水は受け板20に供給される
ことになる。この液圧の受け板20への作用の結果、傾
いた状態になっているレバー14が前述とは逆の方向に
回動することになり、レバー14は図4の状態に復帰す
る。ここで、受け板20はレバー14が鉛直状態となっ
た時に略水平な状態になり、かつストッパピン22にレ
バー14が当接するから、この液圧によりレバー14が
オーバーランして回動し過ぎるということはなく、迅速
かつ確実に原点位置に復帰することになる。従って、比
較的短い間隔でワーク3が搬送されても、順次搬送され
るワーク3の通過を確実に検出することができる。
【0021】以上のように、振り子センサを用いた通過
検出装置10を用いることによって、ガラス板のよう
に、透明で、無機物からなるワークであっても、極めて
簡単な構成で、確実にその通過を検出することができ
る。しかも、レバー14は僅かな外力が作用するだけ
で、容易に揺動するようになるから、薄くて軽量なワー
クであっても、その通過時には確実にレバー14を揺動
変位させることができる。さらに、レバー14は容易に
揺動する不安定な状態になっていはいるものの、ワーク
3が通過した後には、純水噴射ノズルから噴射される純
水により強制的に鉛直状態に復帰することになるから、
その原点復帰が迅速かつ確実に行われることになり、従
ってワーク3を狭い間隔で順次搬送させたとしても、そ
れらの通過を確実に検出できるようになる。
【0022】なお、前述した実施の形態では、磁気セン
サを用いるようにしたが、光学的,電気的等種々の検出
手段を用いて、レバーの動きを検出することができる。
従って、例えばレバーの動きを光学的に検出するため
に、透過センサを用いる場合にあっては、レバーそれ自
体を被検出体とすることも可能である。また、ワークの
種類としては、ガラス板に限定されず、種々の材質のワ
ークにも適用できるが、透明であり、かつ無機物である
ガラス板は、通常の非接触タイプの検出手段を用いるこ
とができないことから、本発明の通過検出装置を用いる
のが特に有利である。また、レバー14に純水を噴射さ
せるようにしたが、プロセス等の関係からこれ以外の液
体を噴射させるようにしても良い。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、レバー
を有する振り子センサと、そのレバーを原点位置に復帰
させるために、このレバーに液体を供給するノズルとを
備える構成としたので、ワークの通過時に、このワーク
によりレバーが軽い力で容易に揺動できるようにして
も、ノズルから供給される液体により迅速かつ確実に原
点位置に復帰することになるから、小型で、軽量なワー
クでも確実にその通過の検出を行える等の効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態を示す通過検出装置を装
着したワークの搬送装置の構成説明図である。
【図2】通過検出装置の正面図である。
【図3】図2のX−X断面図である。
【図4】通過検出装置の作動説明図である。
【図5】通過検出装置の他の状態を示す作動説明図であ
る。
【図6】通過検出装置のさらに別の状態を示す作動説明
図である。
【符号の説明】
1 ローラコンベア 3 ワーク 10 通過検出装置 11 ポスト 11a 台板 12 支持板 13 支点ピン 14 レバー 15 ローラ 17 被検出体 18 磁気センサ 20 受け板 21 純水噴射ノズル

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 平板状のワークをコンベアに沿って搬送
    する間に、このワークの通過を検出するものにおいて、
    前記ワークが所定の位置を通過する時に、このワークに
    押動されて揺動変位するレバーと、このレバーに設けた
    被検出体と、この被検出体の変位を検出するセンサとか
    らなる振り子センサと、コンベアの上部に設けられ、前
    記ワークが通過した後に、前記レバーを原点位置に復帰
    させるために、このレバーに液体を供給するノズルとを
    備える構成としたことを特徴とするワーク通過検出装
    置。
  2. 【請求項2】 前記レバーはその原点位置にあるとき
    に、このレバーの揺動支点より上方の位置で、前記コン
    ベアの搬送方向の前方側の位置に前記ワークに当接する
    ローラを設け、またこのレバーの揺動支点より下方の位
    置で前記コンベアの搬送方向後方側の位置に、前記ノズ
    ルからの液体を受ける復帰作動部を設ける構成としたこ
    とを特徴とする請求項1記載のワーク通過検出装置。
  3. 【請求項3】 前記コンベアは、前記ワークをウエット
    プロセスにより所定の処理を行うための工程に搬送する
    ものであることを特徴とする請求項1記載のワーク通過
    検出装置。
  4. 【請求項4】 前記ノズルからは純水を噴射するもので
    あることを特徴とする請求項1記載のワーク通過検出装
    置。
  5. 【請求項5】 前記ワークはガラス板であることを特徴
    とする請求項1記載のワーク通過検出装置。
JP8863697A 1997-03-25 1997-03-25 ワーク通過検出装置 Pending JPH10265026A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014041897A (ja) * 2012-08-22 2014-03-06 Shibaura Mechatronics Corp 基板処理装置
CN103776477A (zh) * 2014-01-24 2014-05-07 深圳市华星光电技术有限公司 一种摇摆式传感器组件
CN104016105A (zh) * 2014-06-19 2014-09-03 张家港市超声电气有限公司 对流水线上的工件进行监测和报警的装置
JP2014225711A (ja) * 2014-09-10 2014-12-04 芝浦メカトロニクス株式会社 基板検出装置および基板処理装置

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