JP2014225711A - 基板検出装置および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板処理装置1の基板検出装置2は、揺動部材5の一端部の検出ローラ6と、揺動部材5の他端部のウエイト5Cとマグネット7と、基板Bが検出ローラ6に当たる前の揺動部材の初期位置P1から揺動部材5が回転方向Rへ回転すると、マグネット7が発生している磁界の変化を検出して検出信号DSを出す検出センサ8と、揺動部材5の初期位置P1では、揺動部材5を垂直線Z1に対して傾斜して保持する状態を維持するために揺動部材5を当てる揺動ストッパ11を備え、揺動部材5の初期位置P1では、揺動部材5が垂直線Z1に対して傾斜して保持されている。
【選択図】 図2
Description
(第1実施形態)
図1は、本発明の基板処理装置の好ましい第1実施形態を示す図である。図2は、図1に示す基板処理装置に設けられている基板検出装置2の構造例と動作例を示す図である。
次に、本発明の基板処理装置の好ましい第2実施形態を説明する。
図7(A)は、本発明の第2実施形態の基板処理装置が備える基板検出装置102を示す正面図であり、図7(B)は、図7(A)に示す基板処理装置102を矢印HJから見た側面図である。
次に、本発明の基板処理装置の好ましい第3実施形態を説明する。
図8は、本発明の第3実施形態の基板処理装置が備える基板検出装置202を示す正面図である。図8に示す基板検出装置202の構造は、図7(A)と図7(B)に示す基板検出装置102の構造とほぼ同じであるが、次の点が異なる。
2 基板処理装置の基板検出装置
4 基部
5 揺動部材
6 検出ローラ
7 マグネット
8 検出センサ
10 揺動支点部材
11 揺動ストッパ
P1 揺動部材の初期位置
P2 揺動部材の検出位置
DS 検出センサの検出信号
R 揺動部材の回転方向
R1 揺動部材の逆回転方向
Claims (4)
- 基部と、
前記基部に対して揺動支点部材を中心に揺動自在に取り付けられている揺動部材と、
前記揺動部材の一端部に設けられ、搬送される基板に当てる検出ローラと、
搬送される前記基板が前記検出ローラを押し下げて、前記基板が前記検出ローラに当たる前の前記揺動部材の初期位置から前記揺動部材が回転方向へ回転すると、前記基板を検出したことを示す検出信号を出す検出センサと、
を有する前記基板検出装置において、
前記揺動部材の前記初期位置では、前記揺動部材における前記揺動支点部材より下方の部分が前記基板の搬送方向と交差する垂直線に対して傾斜して前記基部に保持されてなることを特徴とする基板検出装置。 - 前記揺動部材は、他端部にウエイトが設けられ、
前記検出ローラの取り付け軸部と前記揺動支点部材との間の距離が、前記揺動支点部材と前記ウエイト間の距離にくらべて、短いことを特徴とする請求項1記載の基板検出装置。 - 前記揺動部材の前記初期位置での傾斜角度は、30度から50度の範囲であることを特徴とする請求項1または2記載の基板検出装置。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の基板検出装置と、
前記基板を搬送する搬送ローラを備えた搬送シャフトと、
前記搬送シャフトを回転させる駆動部と、
を有する基板処理装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110620062A (zh) * | 2018-06-20 | 2019-12-27 | 芝浦机械电子株式会社 | 基板检测装置及基板处理装置 |
JP2020167260A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板処理装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10265026A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-06 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ワーク通過検出装置 |
JPH1111640A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-19 | Okamura Corp | ローラコンベヤにおける搬送物検出装置 |
JPH11314072A (ja) * | 1998-05-07 | 1999-11-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2007066985A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の検出装置及び処理装置 |
WO2009063562A1 (ja) * | 2007-11-15 | 2009-05-22 | Hirata Corporation | 基板搬送装置 |
JP2010133884A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Sharp Corp | 振り子センサ |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10265026A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-06 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ワーク通過検出装置 |
JPH1111640A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-19 | Okamura Corp | ローラコンベヤにおける搬送物検出装置 |
JPH11314072A (ja) * | 1998-05-07 | 1999-11-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2007066985A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の検出装置及び処理装置 |
WO2009063562A1 (ja) * | 2007-11-15 | 2009-05-22 | Hirata Corporation | 基板搬送装置 |
JP2010133884A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Sharp Corp | 振り子センサ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110620062A (zh) * | 2018-06-20 | 2019-12-27 | 芝浦机械电子株式会社 | 基板检测装置及基板处理装置 |
JP2020167260A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板処理装置 |
CN111755366A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 芝浦机械电子株式会社 | 基板处理装置 |
CN111755366B (zh) * | 2019-03-29 | 2024-02-02 | 芝浦机械电子株式会社 | 基板处理装置 |
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