JP2010133884A - 振り子センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】振り子体の回転軸とブロックの軸受け部に薬液等が結晶化してこびり付いても、これが振り子体の傾動の妨げとならず、振り子体の傾動が良好になされる振り子センサを提供すること。
【解決手段】水平方向に搬送される基板の端部に押されて回転軸2aを中心に傾動する振り子体2と、振り子体2の傾動を検出するセンサ8と、振り子体2の回転軸2aが遊挿される軸受け部5aを有したブロック5とを備え、振り子体2には第1の永久磁石3が設けられると共にブロック5には第2の永久磁石6が設けられ、両永久磁石3,6の斥力によって振り子体2の回転軸2aがブロック5の軸受け部5a内で浮上されている。
【選択図】図1
【解決手段】水平方向に搬送される基板の端部に押されて回転軸2aを中心に傾動する振り子体2と、振り子体2の傾動を検出するセンサ8と、振り子体2の回転軸2aが遊挿される軸受け部5aを有したブロック5とを備え、振り子体2には第1の永久磁石3が設けられると共にブロック5には第2の永久磁石6が設けられ、両永久磁石3,6の斥力によって振り子体2の回転軸2aがブロック5の軸受け部5a内で浮上されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、液晶表示パネルに用いられるガラス基板などの基板が水平に搬送される際に、その基板が所定の位置を通過したことを検出する振り子センサに関する。
近年、コンピュータやテレビなどの家電製品の表示部として、液晶表示パネルが広く用いられている。液晶表示パネルは、一般的に薄膜トランジスタ(TFT)基板とカラーフィルタ(CF)基板とからなる一対のガラス基板が所定の間隔を置いて平行に対向配置され、両基板間に液晶が充填された構成をなしている。
例えばTFT基板を製造するにあたっては、ガラス基板表面への成膜処理、レジスト膜形成処理、露光処理、レジスト現像処理、エッチング処理、レジスト剥離処理等の複数の処理工程を順次経ることによりガラス基板表面にTFT等が形成される。
このようなガラス基板は、上述したような種々の処理工程を実施する複数の基板処理装置を使用して製造されるが、ローラコンベアでガラス基板を水平に搬送しながら例えばエッチング液などの薬液をガラス基板表面にシャワー状に供給する基板処理装置では、その装置の自動化を図るために、ガラス基板が装置内の所定の位置を通過したことを検出する手段が備えられている。
このような基板処理装置内で搬送されるガラス基板の通過を検出する手段としては下記特許文献に開示されるような振り子センサが用いられている。
図4に示されるように、振り子センサ31は、左右のブロック32,32に貫通孔の軸受け部32a,32aを開口形成し、その軸受け部32a,32aに振り子体33の回転軸33a,33aを挿入して回転可能に軸支した構成となっている。この場合、振り子体33の回転軸33aは、振り子体33の重心位置よりも上方に設けられているので、振り子体33は回転軸33aを中心に前後に傾動可能になっている。また、振り子体33の上端にはローラ34が設けられており、図5に示されるようにローラコンベア41に沿って搬送されるガラス基板42の端部によってローラ34が押されることで振り子体33は傾動されるようになっている。
また振り子体33の下側の内部には永久磁石35が設けられている。そして、振り子体35の下端よりも下方には、ステム36がブロック32に取り付けられて固定されている。ステム36は、図6に示されるように、樹脂製のパイプ37で覆われた板バネ38を有する板バネ式の有接点スイッチである。
この場合、図6(a)に示されるように振り子体33の永久磁石35の磁力によりステム36のパイプ37内の板バネ38が吸引されると、接点39が開放となり導通しないが、図6(b)に示されるように振り子体33の傾動によりステム36から永久磁石35が離間して、ステム36のパイプ37内の接点39が永久磁石35の磁力がおよぶ範囲を超えると、板バネ38の復元力により接点39が導通されることによって振り子体33の傾動が検出されるようになっている。
しかしながら、基板処理装置で用いられるエッチング液などの薬液やガラス基板42から除去された被エッチング材料が、振り子センサ31の振り子体33の回転軸33aとブロック32の軸受け部32aに付着した状態で結晶化し、その結晶が回転軸33aと軸受け部32aの摺動部分に詰まってしまうことがある。このように回転軸33aと軸受け部32aの摺動部分に結晶が詰まると、ガラス基板42が通過した後でも振り子体33が傾動したままになってしまい、結果、基板処理装置が常にガラス基板有りの状態と認識してしまうことがあった。
このような場合は、回転軸33aと軸受け部32aの摺動部分に詰まった結晶を取り除くべく振り子センサ31を清掃することが行われるのであるが、振り子センサ31を基板処理装置から取り外す手間が煩わしく、また、取り外しても振り子センサ31は振り子体33とブロック32とが一体形式になった構成であるため分解清掃ができず、振り子センサ31を新品に交換する場合もあった。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、振り子体の回転軸とブロックの軸受け部に薬液等が結晶化してこびり付いても、これが振り子体の傾動の妨げとならず、振り子体の傾動が良好になされる振り子センサを提供することである。
上記課題を解決するため、本発明に係る振り子センサは、水平方向に搬送される基板の端部に押されて回転軸を中心に傾動する振り子体と、該振り子体の傾動を検出するセンサと、前記振り子体の回転軸が遊挿される軸受け部を有したブロックとを備え、前記振り子体には第1の磁石が設けられると共に前記ブロックには第2の磁石が設けられ、両磁石の斥力によって前記振り子体の回転軸が前記ブロックの軸受け部内で浮上されていることを要旨とするものである。この場合、前記センサは、前記振り子体の傾動に伴う第1の磁石の近接および離間による磁束密度の変化を検出する磁気センサである構成にすると良い。
上記構成を有する振り子センサによれば、第1の磁石が設けられた振り子体の回転軸が、第2の磁石が設けられたブロックの軸受け部内で、両永久磁石の斥力によって浮上されているので、軸受け部を回転軸の外径に対して充分な隙間があるように大きく開口形成することで、例えば薬液等が回転軸および軸受け部に結晶化してこびり付いても、振り子体が傾動したままになってしまうことが防止される。
この場合、振り子体の傾動を検出するセンサとして、振り子体の傾動に伴う第1の磁石の近接および離間による磁束密度の変化を検出する磁気センサである構成にすれば、動作しないブロックに設けられた第2の磁石から発生する磁界の影響を受けずに振り子体の傾動を検出することができる。
本発明に係る振り子センサの振り子体の傾動を検出するセンサとして、例えば従来技術で説明したような板バネの有接点スイッチであるステムを用いる場合は、本発明の第1の磁石が設けられた振り子体が傾動してステムから離れてもブロックに設けられた第2の磁石の影響でステムの板バネが復元しないことになる。
そこで、本発明の係る振り子体の傾動を検出するセンサとして、振り子体の傾動に伴う第1の磁石の近接および離間による磁束密度の変化を検出する磁気センサを用いれば、動作しないブロックに設けられた第2の磁石から発生する磁界の影響を受けずに、つまり磁気センサの検知面に対して第2の磁石から発生する磁界の磁束密度に変化がないことを利用して、磁気センサの検知面に対して振り子体の傾動に伴う第1の磁石の近接および離間による磁束密度の変化から振り子体の傾動を検出することが可能である。尚、振り子体に設けられた第1の磁石およびブロックに設けられた第2の磁石は永久磁石である構成が好ましいが、電磁石である構成でも良い。
以下に、本発明に係る振り子センサの一実施の形態ついて、図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明に係る振り子センサの概略構成を示した外観斜視図、図2は図1の振り子センサの断面を示した図、図3は図1の振り子センサの動作を示した側面図である。
図1に示されるように、振り子センサ1は、振り子体2と、この振り子体2を挟むように左右に配設されたブロック5,5と、ブロック5,5の下側に配設されたベース7と、これらブロック5,5およびベース7の背面に配設された取付板10とを備えている。
振り子体2は、角柱形状を有した全体が第1の永久磁石3となっており、図示されるように左面がS極に、右面がN極にそれぞれ一様に帯磁されている。この振り子体2の先端には樹脂製のローラ4が回転可能に軸支されている。また、振り子体2の重心位置よりも上方には左右に突出した円柱形状の回転軸2aが設けられており、図3に示されるようにガラス基板15が通過しないとき、つまり振り子体2に外力が作用しないときは鉛直方向に立った状態に保持されている。
左右のブロック5の上方には貫通した縦長の長孔形状を有した軸受け部5aが形成されている。この軸受け部5aは振り子体2の回転軸2aの外径よりも大きく開口されており、図示されるように回転軸2aが軸受け部5a内で非接触状態に遊挿されている。尚、この軸受け部5aが設けられたブロック5の中央より上側の部分は樹脂製である。
ブロック5の中央より下側の部分には第2の永久磁石6が設けられている。この場合、左側のブロック5の第2の永久磁石6はその左面がN極に、右面がS極にそれぞれ一様に帯磁されている。したがって、第1の永久磁石3である振り子体2の左面のS極に対向して配設された左側のブロック5の第2の永久磁石6の右面が同じ磁極であるS極になっていることから両者の間には斥力が発生し、この斥力が振り子体2を上方へと浮上させる力となっている。
また、右側のブロック5の第2の永久磁石6はその左面がN極に、右面がS極にそれぞれ一様に帯磁されている。したがって、第1の永久磁石3である振り子体2の右面のN極に対向して配設された右側のブロック5の第2の永久磁石6の左面が同じ磁極であるN極になっていることから両者の間には斥力が発生し、この斥力が振り子体2を上方へ浮上させる力となっている。
このように第1の永久磁石3からなる振り子体2の左右の面の磁極に対して、振り子体2の左右の下方にやや離間して配設されたブロック5,5の第2の永久磁石6,6の振り子体2側のそれぞれの面の磁極を同じにした構成、つまり、第1の永久磁石3と第2の永久磁石6,6との各々の向かい合う磁極を同極とすることで、両磁石間に斥力を発生させ、この斥力により振り子体2が浮上させられている。
この場合、振り子体2に設けられた第1の永久磁石3とブロック5に設けられた第2の永久磁石6のそれぞれの磁力やブロック5の軸受け部5aの高さを調整することで、振り子体2の回転軸2aをブロック5の軸受け部5a内で非接触状態に浮上させられている。尚、第1の永久磁石3および第2の永久磁石6は、磁性体材料の外周にコイルが巻回され、そのコイルに通電することで磁力を発生する電磁石である構成でも良い。
また、左側のブロック5の内側の面には、ストッパピン5bが右方向に突出して設けられており、このストッパピン5bによって、振り子体2は鉛直方向に立った状態に保持されると共に、図3に示されるようにローラ4がガラス基板15の搬送方向とは反対側の方向に傾くのが防止されている。
ブロック5の下方に配設された樹脂製のベース7には内部に磁気センサ8が設けられている。この場合、磁気センサ8は、磁気センサ8に対して第1の永久磁石3からなる振り子体2の下端の近接および離間による磁束密度の変化を検出するもので、検出された信号をケーブル9を介して基板処理装置に出力することで、ガラス基板15の通過が検出されるようになっている。この場合、磁気センサ8は左右のブロック5,5の間の位置でベース7の内部の上方に設けられている。
このように振り子体2の傾動を検出するセンサとして、振り子体2の傾動に伴う第1の永久磁石3の近接および離間による磁束密度の変化を検出する磁気センサ8を用いているので、動作しないブロック5,5に設けられた第2の永久磁石6,6から発生する磁界の影響を受けずに、つまり磁気センサ8に対する第2の永久磁石6,6から発生する磁界の磁束密度に変化がないことを利用して、磁気センサ8に対する振り子体2の傾動に伴う第1の永久磁石3の近接および離間による磁束密度の変化から振り子体2の傾動を検出することが可能となっている。
上述したブロック5,5およびベース7は背面側に設けられた樹脂製の取付板10に固定されている。取付板10の左右両側には、縦長の長孔形状を有した取付孔10aが形成されている。図3に示されるように、基板処理装置の隣り合う処理室の間等に設けられた隔壁16の上部に取付板10の取付孔10aを用いて固定ネジ11により固定することで、振り子センサ1が装置内の所定の位置に固定される。この場合、図示されるように、振り子センサ2のローラ4の上端は、ガラス基板15が通過するラインよりもやや高くなるように位置決めされて隔壁16に固定される。
図3に示されるように、ローラコンベア17にはガラス基板15が載置されて、搬送ローラ18の回転によって図中左側方向に水平状態でガラス基板15が搬送される。搬送されたガラス基板15の左端部が振り子センサ1のローラ4に当接すると、ローラ4が左側に押されて振り子体2が回転軸2aを中心に左側に傾動される。この傾動により第1の永久磁石3からなる振り子体2が磁気センサ8から離間するので、磁気センサ8はこのときの磁束密度の変化を検出し、その検出信号をケーブル9を介して基板処理装置に出力する。これにより、ガラス基板15が振り子センサ1の位置を通過中であることが検出される。
そして、ガラス基板15が振り子センサ1の位置を通過すると、左側に傾動していた振り子体2が重力によって鉛直方向に立った状態に復帰する。この復帰により第1の永久磁石3からなる振り子体2が磁気センサ8に近接するので、磁気センサ8はこのときの磁束密度の変化を検出し、その検出信号をケーブル9を介して基板処理装置に出力する。これにより、ガラス基板15が振り子センサ1の位置を通過したことが検出される。
上述した振り子センサ1では、第1の永久磁石3である振り子体2の回転軸2aが、第2の永久磁石6が設けられたブロック5の軸受け部5a内で、両永久磁石3、6の間に発生する斥力によって非接触状態で浮上されているので、従来技術で説明した振り子センサ31のような回転軸33aと軸受け部32aの摺動部分がない構成となっている。したがって、振り子センサ1では、軸受け部5aを従来技術の軸受け部32aよりも大きく開口形成することができるので、例えばガラス基板15を処理するエッチング液などの薬液やガラス基板15から除去された被エッチング材料が回転軸2aおよび軸受け部5aに結晶化してこびり付いても、振り子体2が傾動したままになってしまうことが防止されている。
したがって上述した振り子センサ1によれば、従来技術のように回転軸33aと軸受け部32aの摺動部分に結晶が詰まると、ガラス基板が通過した後でも振り子体33が傾動したままになってしまう結果、基板処理装置が常にガラス基板有りの状態と認識してしまう誤動作が防止されると共に、回転軸33aと軸受け部32aの摺動部分に詰まった結晶を取り除くべく振り子センサ31を清掃する作業を不要とすることができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。例えば、上述した実施の形態では、振り子体2の傾動を検出するセンサとして磁気センサ8を用いて説明したが、光学的、電気的などの種々なる検出手段を用いて、振り子体2の傾動を検出することができる。例えば、振り子体2の傾動を光学的に検出するために、透過型センサを用いる場合には、振り子体2を非検出体として用いることができる。
1 振り子センサ
2 振り子体
2a 回転軸
3 第1の永久磁石
4 ローラ
5 ブロック
5a 軸受け部
6 第2の永久磁石
8 磁気センサ
10 取付板
15 ガラス基板
17 ローラコンベア
2 振り子体
2a 回転軸
3 第1の永久磁石
4 ローラ
5 ブロック
5a 軸受け部
6 第2の永久磁石
8 磁気センサ
10 取付板
15 ガラス基板
17 ローラコンベア
Claims (2)
- 水平方向に搬送される基板の端部に押されて回転軸を中心に傾動する振り子体と、該振り子体の傾動を検出するセンサと、前記振り子体の回転軸が遊挿される軸受け部を有したブロックとを備え、前記振り子体には第1の磁石が設けられると共に前記ブロックには第2の磁石が設けられ、両磁石の斥力によって前記振り子体の回転軸が前記ブロックの軸受け部内で浮上されていることを特徴とする振り子センサ。
- 前記センサは、前記振り子体の傾動に伴う第1の磁石の近接および離間による磁束密度の変化を検出する磁気センサであることを特徴とする請求項1に記載の振り子センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008311731A JP2010133884A (ja) | 2008-12-08 | 2008-12-08 | 振り子センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008311731A JP2010133884A (ja) | 2008-12-08 | 2008-12-08 | 振り子センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010133884A true JP2010133884A (ja) | 2010-06-17 |
Family
ID=42345314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008311731A Pending JP2010133884A (ja) | 2008-12-08 | 2008-12-08 | 振り子センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010133884A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2008
- 2008-12-08 JP JP2008311731A patent/JP2010133884A/ja active Pending
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