JP2015506594A - ロードカップ内の基板を感知するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2012年1月27日に出願された「METHODS AND APPARATUS FOR SENSING A SUBSTRATE IN A LOAD CUP」(代理人整理番号16936/CMP/CMP/BOHN C)という名称の米国特許出願第13/360,342号の優先権および利益を主張する。
Claims (15)
- ロードカップ内の基板を検出するための装置であって、
ロードカップアセンブリの接触表面より下に配置された検出パッドを有する近接センサと、
レバー部材上に配置され、基板が前記レバー部材上に置かれた場合、前記検出パッドの方に移動するように構成され、基板が前記レバー部材から取り外された場合、前記検出パッドから遠ざかるように構成されたターゲットと
を備える、装置。 - 前記レバー部材は、基板が前記レバー部材上にない場合、第1の位置にバイアスされる、請求項1に記載の装置。
- 前記ターゲットは、前記レバー部材が前記第1の位置にある場合、前記近接センサの検出範囲から外れている、請求項2に記載の装置。
- 前記レバー部材は、基板が前記レバー部材上にある場合、第2の位置にバイアスされる、請求項1に記載の装置。
- 前記ターゲットは、前記レバー部材が前記第2の位置にある場合、前記近接センサの検出範囲内にある、請求項4に記載の装置。
- 前記レバー部材が、基板に接触するように構成された尖った上面を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記ターゲットは、基板が前記レバー部材から取り外された場合、前記検出パッドから遠ざけられ、前記ターゲットは、前記レバー部材上にさらに配置された釣合いおもりによって移動させられる、請求項1に記載の装置。
- ロードカップシステムの接触表面より下に配置された検出パッドをそれぞれ有する複数の近接センサと、
複数のターゲットであり、前記複数の近接センサの異なるものに関連する異なるレバー部材上にそれぞれ配置され、各ターゲットは、基板が前記レバー部材に置かれた場合、関連する近接センサの前記検出パッドの方に移動するように構成される、複数のターゲットと
を備えるロードカップシステムであって、
前記ターゲットは、基板が前記レバー部材から取り外された場合、前記ターゲットの関連する検出パッドから遠ざかるようにさらに構成される、システム。 - 前記レバー部材は、基板が前記レバー部材上にない場合、第1の位置にそれぞれバイアスされる、請求項8に記載のシステム。
- 前記レバー部材は、基板が前記レバー部材上にある場合、第2の位置にそれぞれバイアスされる、請求項8に記載のシステム。
- 前記レバー部材が、基板に接触するように構成された尖った上面を含む、請求項8に記載のシステム。
- 前記ターゲットは、基板が前記レバー部材から取り外されたときに前記ターゲットの関連する検出パッドからそれぞれ遠ざけられ、前記ターゲットは、前記レバー部材上にさらに配置された釣合いおもりによって移動させられる、請求項8に記載のシステム。
- ロードカップ内の基板の存在を感知する方法であって、
ロードカップアセンブリの接触表面より下に近接センサの検出パッドを配置することと、
基板がレバー部材に置かれた場合、前記レバー部材上に配置されたターゲットを前記検出パッドの方に移動させることと、
基板が前記レバー部材から取り外された場合、前記ターゲットを前記検出パッドから遠ざけることと
を含む、方法。 - 前記レバー部材は、基板が前記レバー部材上にない場合、第1の位置にバイアスされる、請求項13に記載の方法。
- 前記レバー部材は、基板が前記レバー部材上にある場合、第2の位置にバイアスされる、請求項13に記載の方法。
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