JP2007220868A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 基板を載置する基板搭載部と、前記基板搭載部に設けられた回転支持部と、前記回転支持部を中心に前記基板の半径方向に回転可能な基板把持手段と、を備え、前記基板の自重により前記基板把持手段が前記回転支持部回りに回転して前記基板を把持する基板把持装置において、
   前記基板把持手段は、前記基板に接触する第１把持部と第２把持部と前記基板把持手段を開放状態に付勢するためのウエイトとを備え、
   前記基板搭載部は、前記基板把持手段が前記基板を把持する位置および開放する位置で、それぞれ前記ウエイトが当接するストッパを備えたことを特徴とする基板把持装置。
2. 前記基板搭載部の前記基板把持手段下に通気孔を備えたことを特徴とする請求項１記載の基板把持装置。
3. 前記把持手段に設けられた磁性体と、
   前記基板搭載部に設けられた磁気を発生させる磁気発生手段と、
   前記基板把持手段の把持位置を検出する位置検出手段と、を備えたことを特徴とする請求項１乃至２いずれかに記載の基板把持装置。
4. 前記位置検出手段が検出する把持位置に応じて、前記磁気発生手段が発生する磁気の強さを変化させることを特徴とする請求項３に記載の基板把持装置。
5. 前記基板把持部の前記基板接触部に、櫛歯状の凹凸を備えたことを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板把持装置。
6. 前記基板把持部の前記基板接触部における基板接触面が山谷状であることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の基板把持装置。
7. 基板が載置される基板搭載部と、前記基板搭載部に設けられた回転支持部と、前記回転支持部を中心に前記基板半径方向に回転可能な基板把持手段と、前記基板搭載部に設けられたストッパと、を備え、前記基板の自重により前記基板把持手段が前記回転支持部回りに回転して前記基板を把持する基板把持装置において、
   前記基板搭載部は、前記基板把持手段下に通気孔を備えたことを特徴とする基板把持装置。
8. 基板が載置される基板搭載部と、前記基板搭載部に設けられた回転支持部と、前記回転支持部を中心に前記基板半径方向に回転可能な基板把持手段と、前記基板搭載部に設けられたストッパと、を備え、前記基板の自重により前記基板把持手段が前記回転支持部回りに回転して前記基板を把持する基板把持装置において、
   前記把持手段に設けられた磁性体と、
   前記基板搭載部に設けられた磁気を発生させる磁気発生手段と、
   前記基板把持手段の把持位置を検出する位置検出手段と、を備えたことを特徴とする基板把持装置。
9. 請求項１乃至９いずれかに記載の基板把持装置を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
10. 請求項１乃至９いずれかに記載の基板把持装置を備えたことを特徴とする基板処理装置。