JP2014213493A - 離型フィルムおよび半導体素子封止体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
0.6≦Pa/Pb≦2.0・・・ 式(1)
[2] 半導体素子の樹脂封止に用いられる、[1]に記載の離型フィルム。
[3] 前記樹脂封止に用いられる封止樹脂がシリコーン樹脂である、[1]または[2]に記載の離型フィルム。
[4] 前記半導体素子が、発光素子または受光素子である、[2]または[3]に記載の離型フィルム。
[5] 前記発光素子が、LED素子である、[4]に記載の離型フィルム。
[6] 前記ポリブチレンテレフタレートを含むポリエステル樹脂層の単層フィルムである、[1]〜[5]のいずれかに記載の離型フィルム。
[8] 前記離型フィルムのポリブチレンテレフタレートを含むポリエステル樹脂層が前記半導体素子と対向するように、前記離型フィルムを前記金型内面に配置する、[7]に記載の半導体素子封止体の製造方法。
[9] 前記封止樹脂は、シリコーン樹脂である、[7]または[8]に記載の半導体素子封止体の製造方法。
[10] 前記半導体素子が、発光素子または受光素子である、[7]〜[9]のいずれかに記載の半導体素子封止体の製造方法。
本発明の離型フィルムは、少なくとも一方の最表層に配置されたポリエステル樹脂層を含む。
ポリエステル樹脂層は、離型フィルムの少なくとも一方の最表層に配置され、離型層Aとして機能する。ポリエステル樹脂層は、結晶性や耐熱性が高いことから、ポリブチレンテレフタレートを含むことが好ましい。
A/C
A/C/A’
A/B/C
A/B/C/B/A’
(測定装置および測定条件)
装置:(株)リガク製RINT2500
出力: 50kV−300mA
ターゲット:Cu(CuKα)
光学系:平行ビーム法光学系
測定速度:2°/min
測角範囲:2θ=5〜35°
樹脂の非晶質部分と結晶質部分の両方の回折ピークが現れる、2θ=7〜35°の回折角度におけるピークの積分強度から、下記式(2)にて結晶化度(%)を算出する。
結晶化度(χc)=(結晶質部分(2θ=16°、17°、20°、23°、25°の付近のピーク)の積分強度/非晶質と結晶質を含む部分(2θ=7〜35°)の積分強度)×100(%)・・・式(2)
0.6≦Pa/Pb≦2.0・・・ 式(1)
動的粘弾性装置RSA−II(TA Instruments社製)を用いて、引張モード:振動周波数1Hz、測定速度:−80℃からサンプルが融解して測定不能になる温度まで、3℃/分の速度で昇温しながら、離型フィルムの搬送方向(MD方向)の弾性率を測定し、120℃における貯蔵弾性率E’を算出する。
本発明の離型フィルムは、任意の方法で製造することができ、例えば1)ポリエステル樹脂層を構成する樹脂組成物の溶融物と、必要に応じて他の層を構成する樹脂組成物の溶融物とを押し出す工程と、2)押し出された溶融物をキャストロール(冷却ロール)上で冷却固化する工程と、を経て得ることができる。
本発明の離型フィルムは、金型成形用の離型フィルムとして用いられ、なかでも半導体素子の封止体を製造するときの離型フィルムとして好ましく用いられる。
ノバデュラン5020:ポリブチレンテレフタレート樹脂(三菱エンジニアリングプラスチック株式会社製、非強化HBグレード押出用、Tm:224℃)
ノバデュラン5010CS:ポリブチレンテレフタレート樹脂(三菱エンジニアリングプラスチック株式会社製、Tm:223℃)
(実施例1)
ノバデュラン5020を、押出機にて270℃(成形温度)で溶融可塑化させた後、Tダイスからキャストロール上に押出成形して、厚み50μmの離型フィルム1を得た。キャストロールの温度は40℃とし、キャストロールの密着はフリーとした。
離型フィルムの材料、成形温度、キャストロールの温度を表1に示されるように変更し、かつ溶融物とキャストロールとの密着をエアーチャンバ−方式で行った以外は実施例1と同様にして離型フィルム2〜4を得た。エアーチャンバ−方式による溶融物とキャストロールとの密着は、溶融物の表面から風圧6.1×10−2MPaのエアーを当てることにより行った。
離型フィルムの材料、成形温度、キャストロールの温度を表1に示されるように変更し、かつ溶融物とキャストロールとの密着を静電気ピニング方式で行った以外は実施例1と同様にして離型フィルム5〜7を得た。静電気ピニング方式による溶融物とキャストロールとの密着は、溶融物に4〜5Vの静電気を印加することにより行った。
比較例4で製膜した離型フィルム7を、さらに90℃で30分間熱処理して離型フィルム7’を得た。
積水化学工業株式会社製FPC用離型フィルム RPフィルム(主成分:ポリブチレンテレフタレート、厚み:50μm)を離型フィルム8として準備した。
得られた離型フィルムを30mm×30mmに切断し、下記の装置および条件にて、広角X線回折法(XRD)による結晶化度を測定した。
装置:リガク製RINT2500
出力:50kV−300mA
ターゲット:Cu(CuKα)
光学系:平行ビーム法光学系
測定速度:2°/min
測角範囲:2θ=5〜35°
樹脂の非晶質部分と結晶質部分の両方の回折ピークが現れる、2θ=7〜35°の回折角度におけるピークの積分強度から、下記式(2)にて結晶化度(%)を算出した。
結晶化度(χc)=(結晶質部分(2θ=16°、17°、20°、23°、25°の付近のピーク)の積分強度/非晶質と結晶質を含む部分(2θ=7〜35°)の積分強度)×100(%)・・・式(2)
フーリエ変換赤外分光光度計(日本分光社(株)製、FT−IR8300)を使用して、ATR測定を行い、FT−IRスペクトル(ATR−IRスペクトル)を得た。ATR結晶はGeとし、赤外光入射角θは60°とした。ベースラインは、3050cm−1付近と2750cm−1付近の平坦部とを結んだ線とした(図1参照)。そして、所定の波長におけるピークの、ベースラインからの高さを読み取って、ピーク強度を求めた。具体的には、2910cm−1以上2930cm−1以下の領域の最大吸収ピーク強度Pa、2950cm−1以上2970cm−1以下の領域の最大吸収ピーク強度Pbをそれぞれ読み取り、ピーク強度比(Pa/Pb)を算出した。
図5A〜5Eに示すように、簡易レンズ評価金型にてレンズを成形した。まず、金型内面に、半径1.25mmの半球状の孔100個と、半径0.9mmの半球状の孔300個とがそれぞれ均等な間隔で配置された下金型64を準備した。次いで、離型フィルム67を、下金型64の内面に配置し、外枠65で固定した(図5A参照)。次いで、金型側面部に加工されたスリット部(図示なし)から真空引きを行い、離型フィルム67を下金型64のレンズ形状に追従させた(図5B参照)。真空引きの際の金型温度は120℃とした。
○:レンズ表面に、離型フィルムから転写された皺が観測されない
×:レンズ表面に、離型フィルムから転写された皺が観測される
LEDの封止体を成形後、型開き時に離型フィルムの、封止体からの剥がれ易さを目視観察し、離型性を以下の基準で評価した。
◎:成形後、型開き時に離型フィルムが伸びずに離型する
○:成形後、型開き時にやや離型フィルムが伸びるが、離型する
×:離型フィルムが封止体(レンズ)がくっついて離型しない
20 フィルムの製造装置
21 ダイス
23 キャストロール
25 タッチロール
27 ロール
32、66 キャビティ
33 金型
33a、61 上金型
33b、64 下金型
35 基板
37 LED
39、63 封止樹脂
40 LEDの封止体
62 ステンレス板
65 外枠
88 レンズ(封止体)
Claims (10)
- 少なくとも一方の最表層に配置された、ポリブチレンテレフタレートを含むポリエステル樹脂層を含み、
前記ポリエステル樹脂層の、広角X線回折法(XRD)により測定される結晶化度が15%以上25%以下であり、
前記ポリエステル樹脂層の最表層を、ATR法により、ATR結晶としてGeを用い、赤外光入射角を60°として測定して得られるFT−IRスペクトルにおいて、2910cm−1以上2930cm−1以下の領域の最大吸収ピーク強度をPa、2950cm−1以上2970cm−1以下の領域の最大吸収ピーク強度をPbとしたときに、下記式(1)の関係を満たす、離型フィルム。
0.6≦Pa/Pb≦2.0・・・ 式(1) - 半導体素子の樹脂封止に用いられる、請求項1に記載の離型フィルム。
- 前記樹脂封止に用いられる封止樹脂がシリコーン樹脂である、請求項2に記載の離型フィルム。
- 前記半導体素子が、発光素子または受光素子である、請求項2または3に記載の離型フィルム。
- 前記発光素子が、LED素子である、請求項4に記載の離型フィルム。
- 前記ポリブチレンテレフタレートを含むポリエステル樹脂層の単層フィルムである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の離型フィルム。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の離型フィルムを金型内面に配置する工程と、
前記金型内に、半導体素子が実装された基板を配置する工程と、
前記金型内に封止樹脂を充填して型締めし、前記封止樹脂を硬化させて半導体素子封止体を得る工程と、
前記半導体素子封止体から前記離型フィルムを剥離する工程と、
を含む、半導体素子封止体の製造方法。 - 前記離型フィルムのポリブチレンテレフタレートを含むポリエステル樹脂層が前記半導体素子と対向するように、前記離型フィルムを前記金型内面に配置する、請求項7に記載の半導体素子封止体の製造方法。
- 前記封止樹脂は、シリコーン樹脂である、請求項7または8に記載の半導体素子封止体の製造方法。
- 前記半導体素子が、発光素子または受光素子である、請求項7〜9のいずれか一項に記載の半導体素子封止体の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5862740B1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-02-16 | 住友ベークライト株式会社 | 離型フィルムおよび離型フィルムの使用方法 |
JP2017205902A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | 三井化学東セロ株式会社 | 多層プリント配線板の製造に好適な離型フィルム |
KR20190025551A (ko) | 2016-07-04 | 2019-03-11 | 에이지씨 가부시키가이샤 | 필름 및 그 제조 방법 |
WO2019181948A1 (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
JP2019162874A (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
JP2019196005A (ja) * | 2018-05-07 | 2019-11-14 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
WO2021060151A1 (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
JP2021070234A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | フジコピアン株式会社 | マーク形成用転写シート |
JP2021070233A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | フジコピアン株式会社 | マーク形成用転写シート |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009066984A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Mitsubishi Engineering Plastics Corp | 熱プレス成形用離型フィルム |
WO2011111826A1 (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-15 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム及び離型フィルムの製造方法 |
JP2011240547A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Mitsui Chemicals Inc | 離型フィルム及びそれを用いたledパッケージの製造方法 |
-
2013
- 2013-04-24 JP JP2013091271A patent/JP6126446B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009066984A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Mitsubishi Engineering Plastics Corp | 熱プレス成形用離型フィルム |
WO2011111826A1 (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-15 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム及び離型フィルムの製造方法 |
JP2011240547A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Mitsui Chemicals Inc | 離型フィルム及びそれを用いたledパッケージの製造方法 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016068371A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 住友ベークライト株式会社 | 離型フィルムおよび離型フィルムの使用方法 |
JP5862740B1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-02-16 | 住友ベークライト株式会社 | 離型フィルムおよび離型フィルムの使用方法 |
JP2017205902A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | 三井化学東セロ株式会社 | 多層プリント配線板の製造に好適な離型フィルム |
US11098170B2 (en) | 2016-07-04 | 2021-08-24 | AGC Inc. | Film and method for its production |
KR20190025551A (ko) | 2016-07-04 | 2019-03-11 | 에이지씨 가부시키가이샤 | 필름 및 그 제조 방법 |
DE112017003381T5 (de) | 2016-07-04 | 2019-03-14 | AGC Inc. | Folie und verfahren zu deren herstellung |
TWI746943B (zh) * | 2018-03-19 | 2021-11-21 | 日商積水化學工業股份有限公司 | 離型膜 |
WO2019181948A1 (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
JPWO2019181948A1 (ja) * | 2018-03-19 | 2020-10-01 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
CN111819228A (zh) * | 2018-03-19 | 2020-10-23 | 积水化学工业株式会社 | 脱模膜 |
CN111819228B (zh) * | 2018-03-19 | 2023-09-19 | 积水化学工业株式会社 | 脱模膜 |
JP2021091227A (ja) * | 2018-03-19 | 2021-06-17 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
JP2019162874A (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
JP2019196005A (ja) * | 2018-05-07 | 2019-11-14 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
JP7356256B2 (ja) | 2018-05-07 | 2023-10-04 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
WO2021060151A1 (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 積水化学工業株式会社 | 離型フィルム |
JP7335132B2 (ja) | 2019-10-31 | 2023-08-29 | フジコピアン株式会社 | マーク形成用転写シート |
JP7335133B2 (ja) | 2019-10-31 | 2023-08-29 | フジコピアン株式会社 | マーク形成用転写シート |
JP2021070233A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | フジコピアン株式会社 | マーク形成用転写シート |
JP2021070234A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | フジコピアン株式会社 | マーク形成用転写シート |
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Publication number | Publication date |
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