JP2014209401A - サスペンション用基板、アクチュエータ素子付サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブ - Google Patents
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
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Abstract
Description
図1乃至図6を用いて、本発明の第1の実施の形態におけるサスペンション用基板、アクチュエータ素子付サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブについて説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
このことにより、金属支持層20の導電性、剛性、および弾力性を確保することができる。
この場合においても、非導電性接着剤106の濡れ広がりを、より一層確実に止めることができる。なお、図7に示す形態においては、第1切欠部16aを画定する第1絶縁層支持部13aの側の側縁17が、金属支持層20の中央連結部24に対して傾斜し、第2絶縁層支持部13bの側の側縁18が、中央連結部24に対して垂直になっている。しかしながら、第2絶縁層支持部13bの側の側縁18が、中央連結部24に対して傾斜して、第1切欠部16aが、平面視でV字状に形成されていてもよい。第2切欠部16bについても同様である。また、切欠部16a、16bは、円弧状に形成されていてもよい。
次に、図8を用いて、本発明の第2の実施の形態におけるサスペンション用基板について説明する。
次に、図9を用いて、本発明の第3の実施の形態におけるサスペンション用基板について説明する。
2 ヘッド領域
10 絶縁層
11 端子開口部
13a 第1絶縁層支持部
13b 第2絶縁層支持部
14 絶縁層開口部
15 絶縁層連結部
15b 露出部分
15c 側壁
16a 第1切欠部
16b 第2切欠部
20 金属支持層
25 収容開口部
26 側壁
40 配線層
27a 第1金属支持層延長部
27b 第2金属支持層延長部
91 アクチュエータ素子付サスペンション用基板
101 サスペンション
102 ベースプレート
103 ロードビーム
104 ピエゾ素子
106 非導電性接着剤
111 ヘッド付サスペンション
112 ヘッドスライダ
121 ハードディスクドライブ
Claims (19)
- ヘッドスライダと、前記ヘッドスライダを変位させる伸縮自在なアクチュエータ素子とが実装されるサスペンション用基板において、
金属支持層と、
前記金属支持層上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられた配線層と、を備え、
前記金属支持層に、前記アクチュエータ素子を収容する収容開口部が設けられ、
前記絶縁層は、前記収容開口部において露出された一対の絶縁層支持部であって、前記収容開口部に収容される前記アクチュエータ素子の両端部を支持する一対の絶縁層支持部と、一対の前記絶縁層支持部の間に設けられた絶縁層開口部と、前記絶縁層開口部に隣接して設けられ、一対の前記絶縁層支持部を連結する絶縁層連結部と、を有し、
前記絶縁層連結部は、前記収容開口部に露出された露出部分を含み、
前記絶縁層連結部に、前記絶縁層開口部側に開口するとともに前記金属支持層に向って延びる切欠部が設けられていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記切欠部は、平面視で、前記収容開口部を画定する前記金属支持層の側壁を越えて延びていることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 前記絶縁層連結部に、2つの前記切欠部が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のサスペンション用基板。
- 一方の前記切欠部は、前記絶縁層連結部のうち一方の前記絶縁層支持部側の端部に配置され、
他方の前記切欠部は、前記絶縁層連結部のうち他方の前記絶縁層支持部側の端部に配置されていることを特徴とする請求項3に記載のサスペンション用基板。 - 前記切欠部は、平面視で矩形状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のサスペンション用基板。
- 前記切欠部は、平面視で前記金属支持層に向って先細状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のサスペンション用基板。
- 前記切欠部は、実装される前記アクチュエータ素子を当該サスペンション用基板に接合するために当該アクチュエータ素子の一方の端部に塗布される非導電性接着剤が、前記絶縁層連結部の前記露出部分を伝わって当該アクチュエータ素子の他方の端部を支持する前記絶縁層支持部に達することを防止することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のサスペンション用基板。
- ヘッドスライダと、前記ヘッドスライダを変位させる伸縮自在なアクチュエータ素子とが実装されるサスペンション用基板において、
金属支持層と、
前記金属支持層上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられた配線層と、を備え、
前記金属支持層に、前記アクチュエータ素子を収容する収容開口部が設けられ、
前記絶縁層は、前記収容開口部において露出された一対の絶縁層支持部であって、前記収容開口部に収容される前記アクチュエータ素子の両端部を支持する一対の絶縁層支持部と、一対の前記絶縁層支持部の間に設けられた絶縁層開口部と、を有し、
前記金属支持層は、対応する前記絶縁層支持部を支持する一対の金属支持層支持部と、一対の前記金属支持層支持部を連結する金属支持層連結部と、平面視で前記金属支持層連結部から前記絶縁層開口部に向って延びる金属支持層延長部と、を有していることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記絶縁層は、前記絶縁層開口部に隣接して設けられ、一対の前記絶縁層支持部を連結する絶縁層連結部を更に有し、
前記金属支持層延長部は、平面視で、前記絶縁層開口部を画定する前記絶縁層連結部の側壁を越えて延びていることを特徴とする請求項8に記載のサスペンション用基板。 - 前記金属支持層は、互いに離間した2つの前記金属支持層延長部を有していることを特徴とする請求項8または9に記載のサスペンション用基板。
- 一方の前記金属支持層延長部は、前記絶縁層連結部のうち一方の前記絶縁層支持部側の端部に配置され、
他方の前記金属支持層延長部は、前記絶縁層連結部のうち他方の前記絶縁層支持部側の端部に配置されていることを特徴とする請求項10に記載のサスペンション用基板。 - 前記金属支持層延長部は、平面視で矩形状に形成されていることを特徴とする請求項10または11に記載のサスペンション用基板。
- 前記金属支持層延長部は、実装される前記アクチュエータ素子を当該サスペンション用基板に接合するために当該アクチュエータ素子の一方の端部に塗布される非導電性接着剤が、前記絶縁層連結部を伝わって当該アクチュエータ素子の他方の端部を支持する前記絶縁層支持部に達することを防止することを特徴とする請求項8乃至12のいずれかに記載のサスペンション用基板。
- 請求項1乃至13のいずれかに記載の前記サスペンション用基板と、
前記サスペンション用基板に非導電性接着剤で接合されて実装された前記アクチュエータ素子と、を備えたことを特徴とするアクチュエータ素子付サスペンション用基板。 - 前記アクチュエータ素子は、前記ヘッドスライダが実装される前記サスペンション用基板のヘッド領域に実装されていることを特徴とする請求項14に記載のアクチュエータ素子付サスペンション用基板。
- ベースプレートと、
前記ベースプレートに、ロードビームを介して取り付けられた請求項1乃至13のいずれかに記載の前記サスペンション用基板と、
前記サスペンション用基板に非導電性接着剤で接合されて実装された前記アクチュエータ素子と、を備えたことを特徴とするサスペンション。 - 前記アクチュエータ素子は、前記ヘッドスライダが実装される前記サスペンション用基板のヘッド領域に実装されていることを特徴とする請求項16に記載のサスペンション。
- 請求項16または17に記載の前記サスペンションと、
前記サスペンション用基板に実装されたヘッドスライダと、を備えたことを特徴とするヘッド付サスペンション。 - 請求項18に記載の前記ヘッド付サスペンションを備えたことを特徴とするハードディスクドライブ。
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