JP2014192207A - 試料保持具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料保持具1は、セラミックスからなり外表面に試料保持面10aを有するとともに内部に流路11を有する基体10と、流路11の内表面を被覆している被覆膜30とを具備しており、被覆膜30は、内表面から基体10に伸びて入り込んだ伸入部31を有している。伸入部31を有していることによって、流体の脈動等によって振動が生じたとしても、この振動を良好に分散することができる。
【選択図】 図4
Description
おり、該被覆膜は、前記内表面から前記基体に伸びて入り込んだ伸入部を有していることを特徴とする。
の流量および流速で流路11内に熱媒体を供給する。開口部11aと反対側の排出口には排管を接続し、流路11を流れて試料と熱交換を行なった熱媒体を流路11から排出する。または、排出口に戻り管を接続し、流路11を流れて試料と熱交換を行なった熱媒体を流路11から排出するとともに、供給装置に戻して熱媒体を循環させるようにしてもよい。
。被覆膜30は、基体1との接合力が十分に得られるものであれば、特に限定されない。被覆膜30としては、例えば、セラミック材料または金属材料を用いることができる。特に、強度の観点から金属材料であることが好ましい。金属材料である場合には、製造の都合上、基体10と同時焼成が可能になるように、タングステンまたはモリブデンのような、セラミック材料の焼結温度よりも融点が高い高融点金属であることが好ましい。被覆膜30は、内表面から基体10に入り込んだ伸入部31を有している。本実施形態においては、図4および図5に示すように、伸入部31は流路11における熱媒体の進行方向に沿って層状に設けられている。なお、図6に示すように、伸入部31が突起状に設けられるとともに、複数設けられた構成であってもよい。本実施形態の試料保持具1は、被覆膜30が内表面から基体10に伸びて入り込んだ伸入部31を有していることによって、基体10と被覆膜30との界面の面積が広くなる。その結果、流体の脈動等によって流路11の表面に振動が生じたとしても、この振動を良好に基体10に分散することができる。これにより、基体10に亀裂が発生することを抑制できる。その結果、試料保持具1の長期信頼性を向上させることができる。
の破損が発生しにくくなる。その結果、被覆膜30における振動の分散の効果を長期にわたって維持することが出来る。
0.8%、炭素含有量300ppmの窒化アルミニウム粉末を準備した。そして、この窒化アルミニウム粉末に対して、有機系のバインダーと溶剤とを混合した後に、60℃で乾燥させて造粒粉を製作した。
り、基体10に亀裂が発生することを抑制できることが確認できた。その結果、試料保持具1の長期信頼性を向上させることができた。
10 基体
10a 試料保持面
11 流路
11a,11b 開口部
12 上層
13 中間層
14 下層
15 最外層
20 電極層
21 正電極
22 負電極
30 被覆膜
31 伸入部
32 張出部
33 溝部
Claims (6)
- セラミックスからなり外表面に試料保持面を有するとともに内部に流路を有する基体と、前記流路の内表面を被覆している被覆膜とを具備しており、該被覆膜は、前記内表面から前記基体に伸びて入り込んだ伸入部を有していることを特徴とする試料保持具。
- 前記流路を長さ方向に直交する断面で見たときに、前記流路の内表面が角部を有するとともに、該角部の近傍に前記伸入部が位置していることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記伸入部を複数有していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の試料保持具。
- 前記伸入部は、前記基体の前記試料保持面と平行な方向に伸びていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の試料保持具。
- 前記被覆膜の前記流路に面する面のうち、前記伸入部に対向する領域に張出部を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の試料保持具。
- 前記被覆膜の前記流路に面する面のうち、前記伸入部に対向する領域に溝部を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の試料保持具。
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