JP2014160762A - 半導体装置及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FPC基板7に接続される半導体装置1であって、半導体基板150と、半導体基板150に設けられた画素回路110と、FPC基板7が備える導電パターン72に接続され、導電性の材料からなる接続端子40と、半導体基板150を平面視したときに、画素回路110及び接続端子40が設けられる回路形成領域R1と、半導体基板150の外縁と、の間の領域である周辺領域R2に設けられ、導電性の材料からなるガードリングGRと、を備え、ガードリングGRは、複数の配線層を備え、半導体基板150を平面視したときに周辺領域R2のうちFPC基板7と重なる接続領域R21において、ガードリングGRが備える半導体基板150から最も離れた配線層は、接続端子40が設けられる配線層よりも、半導体基板150の配線層である、ことを特徴とする半導体装置1。
【選択図】図5
Description
そして、この大型基板から各々の半導体装置を切り出すスクライブ工程において生じる機械的な影響や静電気の影響が、基板上に形成された回路に及ぶことを防止するために、当該切り出しにおける切断面(スクライブライン)に沿って、金属材料からなるガードリングが設けられる(例えば特許文献1参照)。
しかし、このような構成においては、フレキシブル配線基板の導電パターンに含まれる導電粒子が、表面保護層を突き破りガードリングに接続することがあり、その結果、フレキシブル配線基板の導電パターンと、ガードリングとが短絡することがあった。
この発明によれば、半導体装置と配線基板とが接続された状態において、ガードリングが設けられる配線層と配線基板との距離を、接続端子が設けられる配線層と配線基板との距離に比べて大きくすることができる。従って、ガードリングと、配線基板の導電パターンとの間で短絡が生じることを防止することができる。
この態様によれば、ガードリングには、半導体基板を介して、給電部から所定の電位が給電される。そのため、ガードリングの電位を所定の電位に安定的に保つことが可能となる。その結果、ガードリングを、半導体装置の外部からの電気的なノイズが半導体装置の内部に伝播することを防止するためのシールドとして機能させることが可能となる。
また、上述した半導体装置において、前記周辺領域のうち、前記接続領域を除く領域の一部または全部の領域において、前記ガードリングが備える前記半導体基板から最も離れた配線層は、前記接続端子が設けられる配線層と同層に設けられている、ことを特徴とすることが好ましい。この態様によれば、ガードリングが、接続領域以外において、接続端子が設けられる配線層と同層まで設けられるため、ガードリングと配線基板の導電パターンとの間の短絡が発生の防止と、外部からの水分や電気的ノイズ等の侵入の防止との両立を図ることが可能となる。
この発明によれば、半導体装置と配線基板とが接続された状態において、ガードリングが設けられる配線層と配線基板との距離を、接続端子が設けられる配線層と配線基板との距離に比べて大きくすることができる。従って、ガードリングと、配線基板の導電パターンとの間で短絡が生じることを防止することができる。
また、ガードリングには、給電部から所定の電位が給電される。そのため、ガードリングの電位を所定の電位に安定的に保つことが可能となる。その結果、ガードリングを、半導体装置の外部からの電気的なノイズが半導体装置の内部に伝播することを防止するためのシールドとして機能させることが可能となる。
なお、この発明において、半導体装置とは、半導体基板に設けられたトランジスター、絶縁基板に設けられた薄膜トランジスター等の半導体素子を少なくとも含むものであればよい。
この態様によれば、ガードリングが、接続領域以外において、接続端子が設けられる配線層と同層まで設けられるため、ガードリングと配線基板の導電パターンとの間の短絡が発生の防止と、外部からの水分や電気的ノイズ等の侵入の防止との両立を図ることが可能となる。
図1は、本発明の実施形態に係る半導体装置1と、当該半導体装置1に接続されるFPC(Flexible Printed Circuits)基板7(「配線基板」の一例)と、を示す斜視図である。
半導体装置1は、複数の画素回路と、当該画素回路を駆動する駆動回路とを備える。
本実施形態において、半導体装置1が備える複数の画素回路及び駆動回路は、半導体基板に形成され、画素回路には、発光素子の一例であるOLEDが用いられる。半導体装置1は、例えば、表示部で開口する枠状のケース6に収納されるとともに、FPC基板7の一端が接続される。なお、本実施形態では、半導体基板に画素回路等が形成された半導体装置1を例示して説明するが、本明細書における半導体装置は、半導体基板に設けられたトランジスター、絶縁基板に設けられた薄膜トランジスター等、半導体素子を少なくとも含むものであればよい。
FPC基板7には、半導体チップの制御回路77が、COF(Chip On Film)技術によって実装されるとともに、複数の接続端子78が設けられて、図示省略された上位回路に接続される。また、FPC基板7には、複数の導電パターン(図1では、図示省略)がパターニングされている。
制御回路77には、上位回路よりデジタルの画像データが同期信号に同期して供給される。ここで、画像データとは、半導体装置1で表示すべき画像の画素の階調レベルを例えば8ビットで規定するデータである。また、同期信号とは、垂直同期信号、水平同期信号、及び、ドットクロック信号を含む信号である。制御回路77は、同期信号に基づいて各種制御信号を生成し、これを半導体装置1に対して供給するとともに、画像データに基づいてアナログの画像信号を生成し、これを半導体装置1に対して供給する。
図2に示すように、半導体装置1は、表示部10において、表示すべき画像の画素に対応した複数の画素回路110がマトリクス状に配列されている。具体的には、表示部10において、M行の走査線12が図において横方向(X方向)に延在して設けられ、また、N列のデータ線14が図において縦方向(Y方向)に延在し、かつ、各走査線12と互いに電気的な絶縁を保って設けられている。そして、M行の走査線12とN列のデータ線14との交差部に対応して画素回路110が設けられている。ここで、M、Nは、いずれも自然数である。画素回路110は、1または複数のトランジスターと、有機発光ダイオード(Organic Light Emitting Diode、以下「OLED」という)素子などの発光素子と、保持容量とを備える。
なお、本実施形態において、画素回路110が備える1または複数のトランジスターは、Nチャネル型のトランジスターでもよいし、Pチャネル型のトランジスターでもよし、Nチャネル型のトランジスター及びPチャネル型のトランジスターの双方を備えるものであってもよい。また、本実施形態において、画素回路110に備えられるトランジスターは、半導体基板にアクティブ層を有するMOS型トランジスターであってもよいし、薄膜トランジスターであってもよいし、電界効果トランジスターであってもよい。
走査線駆動回路31は、制御回路77より供給される制御信号に基づいて、第1行〜第M行の走査線12を行単位で順次に走査(選択)する手段である。具体的には、走査線駆動回路31は、1フレームの期間Fにおいて、第1行〜第M行の走査線12のそれぞれに対して出力する走査信号Gw[1]〜Gw[M]を、水平走査期間H毎に順番に所定の選択電位に設定することで、走査線12を行単位で順次に選択する。
データ線駆動回路32は、制御回路77より供給される画像信号及び制御信号に基づいて、各画素回路110に対応する画素が表示すべき階調を規定するデータ電圧Vd[1]〜Vd[N]を生成するとともに、水平走査期間H毎にN列のデータ線14に対して出力する。
なお、図2では図示省略するが、半導体装置1には、画素回路110において電源の高位側となる電位VDDが給電される給電線と、電源の低位側となる電位VSS(「所定の電位」の一例)が給電される給電線と、が設けられている。電源の低位側となる電位VSSが給電される給電線は、発光素子の陰極に接続され、画素回路110において電源の高位側となる電位VDDが給電される給電線は、画素回路110が備える1または複数のトランジスターを介して発光素子の陽極に接続されてもよい。
複数の接続端子40のそれぞれは、アルミニウム等の金属で形成され、駆動回路30に電気的に接続されている。具体的には、複数の接続端子40のうちの一部は、走査線駆動回路31に電気的に接続されるとともに、複数の接続端子40のうちの残りの接続端子40は、データ線駆動回路32に電気的に接続されている。
なお、本実施形態では、接続端子40は、アルミニウム等の金属で形成されるが、ITO(Indium Tin Oxide)やその他の導電性材料で形成されるものであってもよい。
図3は、半導体装置1が有する半導体基板150の有する面うち、画素回路110や、駆動回路30等が形成される面(以下、「主面」と称することがある)に垂直な方向から見たときの、半導体装置1の概略的な構造を表す平面図である。なお、この図では、説明の便宜上、半導体装置1の他に、半導体装置1に接続されるFPC基板7についても記載している。
なお、以下では、半導体基板150のうち、画素回路110等が形成される主面に垂直な方向から半導体装置1を見ることを、単に「平面視」と称することがある。
以下では、平面視したときに、表示部10及び駆動回路30が形成される領域を、内部回路形成領域R11と称する。また、平面視したときに、複数の接続端子40が形成される領域を、接続端子形成領域R12と称する。また、内部回路形成領域R11及び接続端子形成領域R12を含む領域を、回路形成領域R1と称する。つまり、表示部10、駆動回路30、及び、複数の接続端子40は、平面視したときに、回路形成領域R1に形成される。
ガードリングGRは、回路形成領域R1と半導体基板150の外縁との間の領域である、周辺領域R2において、平面視したときに、回路形成領域R1に形成される表示部10、駆動回路30、及び、接続端子40取り囲むように設けられている。
なお、この図では、回路形成領域R1及び周辺領域R2の間、並びに、半導体基板150の外縁及び周辺領域R2の間には、所定の間隔があけられているが、回路形成領域R1及び周辺領域R2、並びに、半導体基板150の外縁及び周辺領域R2は、間隔をあけずに、互いに互いに接するように設けられるものであってもよい。つまり、周辺領域R2は、平面視したときに、回路形成領域R1と、半導体基板150の外縁との間の領域の全部であってもよい。換言すれば、ガードリングGRは、平面視したときに、回路形成領域R1と、半導体基板150の外縁との間に、回路形成領域R1を取り囲むように設けられていればよい。
なお、本実施形態において、ガードリングGRは、第1部分GR1と、第2部分GR2とにより構成されている。これら、ガードリングの第1部分GR1及び第2部分GR2についての詳細は、後述する。
また、本実施形態では、ガードリングGRと接続端子40を同一の材料で形成するが、これらを異なる材料で形成しても良い。例えば、接続端子40をITOにより形成し、ガードリングGRをアルミニウムにより形成してもよい。また、ガードリングGRは、金属以外の導電性材料により形成されるものであってもよい。
また、詳細は後述するが、本実施形態では、図3に示すように、ガードリングの第1部分GR1は、接続領域R21(すなわち、平面視してFPC基板7と重なる領域)に設けられ、ガードリングの第2部分GR2は、周辺領域R2のうち接続領域R21以外の領域に設けられている。
図4は、半導体基板150の主面を表す説明図である。図5は、図3(及び、図4)におけるE−e線で半導体装置1及びFPC基板7を破断した部分断面図である。図6は、図3(及び、図4)におけるF−f線で半導体装置1を破断した部分断面図である。
図4及び図5に示すように、半導体基板150は、P型半導体層151と、P型半導体層151にP型の不純物を注入することで形成されたPウェルPw(「不純物注入層」の一例)と、P型半導体層151にN型の不純物を注入することで形成されたNウェルNwと、を備える。
PウェルPw及びNウェルNwは、P型半導体層151に対して表面側からイオンを打ち込むことで、半導体基板150の表面側に、回路形成領域R1を覆うように形成されている。NウェルNwは、内部回路形成領域R11の一部に設けられ、PウェルPwは、回路形成領域R1のうち、NウェルNwが設けられる領域以外の領域を覆うように設けられている。
図4及び図6に示すように、1または複数のP型不純物拡散層Ppには、PウェルPwに形成され、給電部50と接続する第1のP型不純物拡散層Pp1(「第1不純物拡散層」の一例)が含まれる。
以下では、図5及び図6に示すように、半導体基板150から見て、半導体基板150の主面に形成された画素回路110やガードリングGR等が設けられる方向を、「表面側」と称し、その逆の方向を「裏面側」と称することがある。
なお、図5において示される内部回路形成領域R11に配置された各種構成要素は、画素回路110または駆動回路30の一例に過ぎず、本発明に係る半導体装置1は、この図の内部回路形成領域R11に示されるような構成に限定されるものではない。
図5に示す例では、内部回路形成領域R11において、2つのP型不純物拡散層Ppをソース及びドレインとし、ゲート配線層D0をゲートとする、Pチャネル型のトランジスターTrが形成されている。
なお、配線層とは、同一の層に設けられる1または複数の導電性の端子または配線の総称である。例えば、図5において、配線Da1は第1配線層D1に含まれ、配線Da4及び配線Db4は第4配線層D4に含まれ、接続端子40は第5配線層D5に含まれる。
また、互いに隣り合う2つの配線層の間、配線層と表面保護層Zuの間、及び、配線層と半導体基板150の間には、非導電性の材料からなる層間絶縁層が設けられている。具体的には、半導体装置1は、裏面側から表面側にかけて順番に、第1層間絶縁層Z1、第2層間絶縁層Z2、第3層間絶縁層Z3、第4層間絶縁層Z4、第5層間絶縁層Z5、及び、第6層間絶縁層Z6の、6層の層間絶縁層を備える。
なお、本実施形態において、層間絶縁層の表面側の配線層と、当該層間絶縁層の裏面側の配線層とは、コンタクトプラグCを介して電気的に接続されているが、当該層間絶縁層の表面側の配線層の一部をコンタクトホールに埋設し、表面側の配線層と裏面側の配線層とを直接接続することで、両配線層を電気的に接続してもよい。すなわち、層間絶縁層の両側の配線層を接続する接続部材は、当該接続部材が貫通する層間絶縁層の表面側の配線層と同一の工程で設けられるものであってもよい。
上述のとおり、半導体装置1の周辺領域R2には、回路形成領域R1を取り囲むようにガードリングGRが設けられている。また、ガードリングGRは、第1部分GR1と、第2部分GR2とから構成されている。
図5に示すように、周辺領域R2のうち接続領域R21に設けられる、ガードリングの第1部分GR1は、第1配線層D1である配線Da1、第2配線層D2である配線Da2、第3配線層D3である配線Da3、及び、第4配線層D4である配線Da4と、配線Da1及び配線Da2を接続するコンタクトプラグCa2、配線Da2及び配線Da3を接続するコンタクトプラグCa3、並びに、配線Da3及び配線Da4を接続するコンタクトプラグCa4と、を備える。また、ガードリングの第1部分GR1は、半導体基板150のP型半導体層151及び配線Da1を接続するコンタクトプラグCa1を備える。
また、図6に示すように、周辺領域R2のうち接続領域R21以外の領域に設けられる、ガードリングの第2部分GR2は、導電層(端子)として、配線Da1、配線Da2、配線Da3、及び、配線Da4に加え、第5配線層D5である配線Da5を備える。また、ガードリングの第2部分GR2は、コンタクトプラグCa1、コンタクトプラグCa2、コンタクトプラグCa3、及び、コンタクトプラグCa4に加え、配線Da4及び配線Da5を接続するコンタクトプラグCa5、を備える。
図5に示すように、接続端子40は、第5配線層D5に設けられる。接続端子40は、第5層間絶縁層Z5を貫通するコンタクトプラグCb5により、第4配線層D4の配線Db4に電気的に接続されている。つまり、接続端子40は、コンタクトプラグCb5及び配線Db4を介して、内部回路形成領域R11に配置される駆動回路30等に電気的に接続されている。
より詳細には、導電パターン72は、図5に示すように、導電性の材料で形成された配線層73と、樹脂層74と、導電性の材料で形成され樹脂層74の中に設けられた複数の導電粒子75を備える。そして、FPC基板7が半導体装置1に接続されると、導電粒子75及び樹脂層74が、接続端子40と接続する。その結果、接続端子40及び配線層73が電気的に接続される。
そのため、回路形成領域R1に設けられる駆動回路30は、導電粒子75、接続端子40、コンタクトプラグCb5、及び、第4配線層D4のうち配線Db4を介して、FPC基板7が備える配線層73と電気的に接続される。これにより、駆動回路30には、制御回路77が出力する各種制御信号及び画像信号が供給されることになる。
図3及び図6に示すように、半導体装置1には、回路形成領域R1に、給電部50が設けられている。また、図4及び図6に示すように、半導体装置1の半導体基板150には、回路形成領域R1において、第1のP型不純物拡散層Pp1が設けられている。
図6に示すように、給電部50は、第1配線層D1〜第5配線層D5にそれぞれ設けられる配線Dc1〜Dc5と、これらの端子間を電気的に接続する、コンタクトプラグCc2〜Cc5と、を備える。また、給電部50は、配線Dc1と、第1のP型不純物拡散層Pp1と、を電気的に接続する、コンタクトプラグCc1を備える。
対比例に係る半導体装置は、ガードリングの全体が、第1配線層D1から第5配線層D5に至る5つの配線層に設けられている点を除き、本実施形態に係る半導体装置1と同様に構成されている。すなわち、対比例に係る半導体装置の構造は、図3乃至図6に示す図のうち、図5に示す部分断面図代えて、図7に示す部分断面図を用いることで表すことができる。
図7は、図3(及び、図4)におけるE−e線で、対比例に係る半導体装置を破断した部分断面図である。図7に示すように、接続領域R21において、対比例に係る半導体装置のガードリングGRxは、配線Da1〜配線Da4に加え、第5配線層D5である配線Da5を備えている。
導電粒子75及びガードリングGRxが短絡すると、FPC基板7の制御回路77から出力される各種制御信号や画像信号が、半導体装置に供給されなくなることがある。また、導電粒子75及びガードリングGRxが短絡すると、ガードリングGRxの有する電位は、配線層73の電位に伴い変動し、当該ガードリングGRxの電位変動が、ノイズとして、内部回路形成領域R11に配置されている回路に伝播することがある。
このように、導電粒子75及びガードリングGRxが短絡すると、駆動回路30及び画素回路110は、安定的且つ正確に動作することができなくなることがある。具体的には、表示部10の備える画素が、画像データの規定する階調レベルを正確に表示できなくなり、表示部10における表示品位の低下することがある。
そのため、図8の部分Areaに示すように、半導体装置1がFPC基板7に接続された状態において、導電粒子75が表面保護層Zu及び第6層間絶縁層Z6を突き破ることがあっても、導電粒子75とガードリングGRとが短絡することを防止することが可能になる。これにより、内部回路形成領域R11に配置されている回路の動作を対比例に比べて安定化させることが可能となる。
これに対して、本実施形態では、部分Areaにおいて、表面保護層Zuの厚さを厚くすることが無いため、導電粒子75が表面保護層Zuを突き破る可能性を低く抑えることができ、加えて、FPC基板7が上方に押し曲げられることに起因するFPC基板7の破損を防止することができる。
すなわち、本実施形態に係るガードリングGRは、半導体装置1の内部に水分または酸素等の侵入を防ぐ物理的なシールドとしての機能を有するのに加え、半導体装置1の外部からの電気的なノイズまたは磁気的なノイズから、半導体装置1の内部に形成された回路を守る、電気的及び磁気的なシールドとしての機能を有するものである。
そのため、本実施形態に係る半導体装置1は、内部回路形成領域R11に配置されている各種回路が安定的に動作することが可能となる。
上述した第1実施形態では、PウェルPwは、回路形成領域R1に設けられ、周辺領域R2には設けられていない。これに対して、第2実施形態は、PウェルPwが、回路形成領域R1及び周辺領域R2の双方に設けられる点で、第1実施形態と相違する。
以下、図9及び図10を参照しつつ、第2実施形態に係る半導体装置について説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第1実施形態と同等である要素については、以上の説明で参照した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
図9及び図10に示すように、半導体基板150Aは、P型半導体層151と、P型半導体層151に形成されたPウェルPw及びNウェルNwと、を備える。NウェルNwは、内部回路形成領域R11の一部に設けられる。また、PウェルPwは、回路形成領域R1のうちNウェルNwが設けられる領域以外の領域と、周辺領域R2とを覆うように設けられている。また、半導体基板150Aは、回路形成領域R1において、第1のP型不純物拡散層Pp1を含む、1または複数のP型不純物拡散層Ppを備える。
このように、本実施形態では、回路形成領域R1において、半導体基板150Aの主面は、NウェルNw、PウェルPw、または、P型不純物拡散層Ppにより覆われる。一方、周辺領域R2において、半導体基板150Aの主面は、PウェルPwにより覆われる。
また、本実施形態において、半導体基板150Aの主面には、周辺領域R2の全部に、PウェルPwが設けられるが、周辺領域R2の少なくとも一部に設けられるものであればよい。
このように、本実施形態では、周辺領域R2にPウェルPwが設けられ、当該周辺領域R2に設けられたPウェルPwとガードリングGRとが接続する。そのため、第1実施形態に係るガードリングGRと比較して、ガードリングGRの電位を、より電位VSSに近い電位に安定的に保つことが可能となる。
上述した第2実施形態では、周辺領域R2において、半導体基板150Aは、PウェルPwを備えるが、第3実施形態では、周辺領域R2において、半導体基板は、PウェルPwに加えて、P型不純物拡散層Ppを備える点で、第2実施形態と相違する。
以下、図11及び図12を参照しつつ、第3実施形態に係る半導体装置について説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第1実施形態と同等である要素については、以上の説明で参照した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
図11及び図12に示すように、半導体基板150Bは、P型半導体層151と、P型半導体層151に形成されたPウェルPw及びNウェルNwと、を備える。NウェルNwは、内部回路形成領域R11の一部に設けられ、PウェルPwは、回路形成領域R1のうちNウェルNwが設けられる領域以外の領域と、周辺領域R2とを覆うように設けられる。また、半導体基板150Bは、回路形成領域R1に設けられる第1のP型不純物拡散層Pp1と、周辺領域R2に設けられる第2のP型不純物拡散層Pp2(「第2不純物拡散層」の一例)とを含む、複数のP型不純物拡散層Ppを備える。
このように、本実施形態では、周辺領域R2において、半導体基板150Bの主面は、PウェルPw、第2のP型不純物拡散層Pp2により覆われる。
このように、本実施形態では、周辺領域R2にPウェルPw及び第2のP型不純物拡散層Pp2が設けられ、当該周辺領域R2に設けられた第2のP型不純物拡散層Pp2とガードリングGRとが接続する。そのため、第2実施形態に係るガードリングGRと比較して、ガードリングGRの電位を、より電位VSSに近い電位に安定的に保つことが可能となる。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば次に述べるような各種の変形が可能である。また、次に述べる変形の態様は、任意に選択された一または複数を、適宜に組み合わせることもできる。
上述した実施形態では、ガードリングの第1部分GR1は、接続領域R21に設けられ、ガードリングの第2部分GR2は、周辺領域R2のうち接続領域R21以外の領域に設けられるものであるが、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、ガードリングの第1部分GR1は、少なくとも接続領域R21を含む、接続領域R21よりも広い領域に設けられるものであればよく、ガードリングの第2部分GR2は、周辺領域R2のうち接続領域R21を除く領域の一部または全部に設けられるものであればよい。
図13は、本変形例に係る半導体装置1Cを平面図の概略を表す図である。半導体装置1Cは、ガードリングGRの代わりに、ガードリングGRcを備える点を除いて、図3に示す第1実施形態に係る半導体装置1と同様に構成されている。
ガードリングGRcは、平面視して四角形の形状を有しており、当該ガードリングGRcを構成する4辺のうち、FPC基板7と交差する辺(この図における下辺)の全てが第1部分GR1であり、残りの3辺(この図における、上辺、左辺、及び、右辺)が第2部分GR2である点を除いて、第1実施形態に係るガードリングGRと同様に構成されている。
上述のとおり、ガードリングの第1部分GR1は、配線Dc5を備えず、ガードリングの第1部分GR1が設けられる配線層のうち、半導体基板150から最も離れた配線層である第4配線層D4は、接続端子40が設けられる第5配線層D5よりも半導体基板150側の配線層となっている。そのため、図13に示すように、ガードリングの第1部分GR1を、平面視してFPC基板7と交差する領域である接続領域R21よりも広い領域に設けることで、FPC基板7の導電粒子75と、ガードリングとの短絡をより確実に防止することができる。
上述した実施形態及び変形例では、半導体装置は半導体基板を備えるが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、半導体装置は、半導体基板以外の基板を備えるものであってもよい。例えば、半導体装置は、半導体基板の代わりに、ガラス基板を備えるものであってもよい。すなわち、本発明において、半導体装置は、半導体基板に設けられたトランジスター、絶縁基板に設けられた薄膜トランジスター等の半導体素子を少なくとも含むものであればよい。
図14は、本変形例に係る半導体装置1Dの部分断面図である。この図は、第1実施形態に係る、半導体装置1の部分断面図である図6に対応する図である。図14に示すように、半導体装置1Dは、半導体基板150の代わりに、ガラス基板160を備え、給電部50の代わりに、給電部50Dを備える点を除いて、図6に示す第1実施形態に係る半導体装置1と同様に構成されている。給電部50Dには、電位VSSが給電されており、ガードリングGRには、当該給電部50Dを介して、電位VSSが給電される。なお、給電部50Dは、内部回路形成領域R11に設けられる画素回路110や駆動回路30等の各種回路とは、電気的な絶縁を保って設けられている。また、ガードリングGRは、ガラス基板160に接続されている
このように、本変形例に係る半導体装置1Dが備えるガードリングGRは、ガラス基板160と接続し、また、給電部50Dより電位VSSが給電されているため、半導体装置1Dの内部回路形成領域R11に設けられる回路を守るための、物理的、電気的、及び磁気的なシールドとして機能する。
上述した実施形態及び変形例では、ガードリングの第2部分GR2が備える配線層のうち、半導体基板から最も離れた配線層は、接続端子40が設けられる配線層と同層の第5配線層D5であるが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、ガードリングの第2部分GR2は、ガードリングの第1部分GR1が備える配線層と同一の配線層のみを備えるものであってもよい。
図15は、本変形例に係る半導体装置1Eの部分断面図である。この図は、第1実施形態に係る、半導体装置1の部分断面図である図6に対応する図である。図15に示すように、半導体装置1Eは、ガードリングの第2部分GR2の代わりに、ガードリングの第2部分GR2eを備える点を除いて、図6に示す第1実施形態に係る半導体装置1と同様に構成されている。ガードリングの第2部分GR2eは、第1部分GR1と同様に、第1配線層D1〜第4配線層D4である配線Da1〜配線Da4を備えるが、第5配線層D5である配線Dc5を備えない。このため、本変形例に係る半導体装置1Eは、ガードリングの第1部分GR1と第2部分GR2とを区別して製造する必要が無く、第1実施形態に係る半導体装置1に比べて製造を容易化することが可能となる。
上述した実施形態及び変形例では、半導体装置は、第1配線層D1〜第5配線層D5からなる5層の配線層を備えるものであるが、本発明はこのような形態に限定されるものではなく、半導体装置は、6層以上の配線層を有するものであってもよいし、4層以下の複数の配線層を有するものであってもよい。
なお、図5では、周辺領域R2、接続端子形成領域R12、及び、内部回路形成領域R11において設けられる配線層の数は等しいものとして表されているが、領域毎に異なる数の配線層が設けられるものであってもよい。例えば、周辺領域R2、及び、接続端子形成領域R12には、5層の配線層が設けられ、内部回路形成領域R11には、6層以上の配線層が設けられるものであってもよい。
上述した実施形態及び変形例では、接続端子40の設けられる配線層と、ガードリングの第1部分GR1が有する配線層のうち半導体基板150から最も離れた配線層とは、互いに隣り合う配線層であるが、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、これら2つの配線層の間に、1または複数の配線層が設けられる構成であってもよい。
例えば、接続端子40が第5配線層D5として設けられる場合、ガードリングの第1部分GR1が有する配線層のうち、半導体基板150から最も離れた配線層は、第3配線層D3として設けられるものであってもよい。この場合、ガードリングの第1部分GR1が備える配線層のうち最も表面側の配線層と、FPC基板7との距離を長くすることができるため、ガードリングGRと導電粒子75との短絡の発生をより確実に防止することが可能となる。
上述した実施形態及び変形例において、半導体装置は、内部回路形成領域R11に、発光素子を具備する画素回路110を備えるものであるが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、画素回路110は、液晶素子を備えるものであってもよい。
また、半導体装置は、内部回路形成領域R11に、画像を表示するための画素回路110以外の回路を備えるものであってもよい。例えば、半導体装置は、内部回路形成領域R11に、センサー回路を備えるものであってもよい。
上述した実施形態及び変形例において、ガードリングの電位は、電位VSSまたは電位VSSに近い電位としたが、他の電位であってもよい。例えば、電源の高位側となる電位VDDまたは電位VDDに近い電位であってもよいし、駆動回路30に供給される電源電位またこれに近い電位であってもよい。
FPC基板7には、半導体チップの制御回路77が、COF(Chip On Film)技術によって実装されるようにしたが、制御回路77の機能の全部又は一部を、半導体装置1に形成してもよい。例えば、制御回路77の機能の全部又は一部は、図3の半導体装置1における回路形成領域R1、例えば内部回路形成領域R11内に形成してもよい。
制御回路77の機能の全部を半導体装置1に形成する場合には、FPC基板7は、上位回路より供給されるデジタルの画像データ等の信号を複数の接続端子40に転送するための配線のみを有する基板であってもよい。この場合には、COF技術によって実装する必要がなくなる。また、制御回路77の機能と半導体装置1の機能を同じ半導体基板に作りこむことができるため、部品点数を減らすことができる。
次に、実施形態または変形例に係る半導体装置を適用した電子機器について説明する。
図16は、ヘッドマウント・ディスプレイの外観を示す図であり、図17は、その光学的な構成を示す図である。まず、図16に示されるように、ヘッドマウント・ディスプレイ300は、外観的には、一般的な眼鏡と同様にテンプル310や、ブリッジ320、レンズ301L、301Rを有する。また、ヘッドマウント・ディスプレイ300は、図17に示されるように、ブリッジ320近傍であってレンズ301L、301Rの奥側(図において下側)には、左眼用の発光装置である半導体装置1Lと右眼用の発光装置である半導体装置1Rとが設けられる。半導体装置1Lの画像表示面は、図17において左側となるように配置している。これによって半導体装置1Lによる表示画像は、光学レンズ302Lを介して図において9時の方向に出射する。ハーフミラー303Lは、半導体装置1Lによる表示画像を6時の方向に反射させる一方で、12時の方向から入射した光を透過させる。半導体装置1Rの画像表示面は、半導体装置1Lとは反対の右側となるように配置している。これによって半導体装置1Rによる表示画像は、光学レンズ302Rを介して図において3時の方向に出射する。ハーフミラー303Rは、半導体装置1Rによる表示画像を6時方向に反射させる一方で、12時の方向から入射した光を透過させる。
この構成において、ヘッドマウント・ディスプレイ300の装着者は、半導体装置1L、1Rによる表示画像を、外の様子と重ね合わせたシースルー状態で観察することができる。また、このヘッドマウント・ディスプレイ300において、視差を伴う両眼画像のうち、左眼用画像を半導体装置1Lに表示させ、右眼用画像を半導体装置1Rに表示させると、装着者に対し、表示された画像があたかも奥行きや立体感を持つかのように知覚させることができる(3D表示)。
図18は、実施形態または変形例に係る半導体装置を採用した可搬型のパーソナルコンピューターの斜視図である。パーソナルコンピューター400は、各種の画像を表示する半導体装置1と、電源スイッチ401やキーボード402が設置された本体部403とを具備する。
図19は、実施形態または変形例に係る半導体装置を適用した携帯電話機の斜視図である。携帯電話機500は、複数の操作ボタン501およびスクロールボタン502と、各種の画像を表示する半導体装置1とを備える。スクロールボタン502を操作することによって、半導体装置1に表示される画面がスクロールされる。
なお、本発明に係る半導体装置が適用される電子機器としては、図16から図19に例示した機器のほか、携帯情報端末(PDA:Personal Digital Assistants),デジタルスチルカメラ,テレビ,ビデオカメラ,カーナビゲーション装置,車載用の表示器(インパネ),電子手帳,電子ペーパー,電卓,ワードプロセッサ,ワークステーション,テレビ電話,POS端末,プリンター,スキャナー,複写機,ビデオプレーヤー,タッチパネルを備えた機器等の画像を表示するための機器や、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサー、CCDイメージセンサー等の画像を撮像するためのセンサ、その他、赤外線アレイセンサー等のセンサーが挙げられる。
Claims (11)
- 配線基板に接続される半導体装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板に設けられた回路と、
前記配線基板が備える導電パターンに接続され、導電性の材料からなる接続端子と、
前記半導体基板を平面視したときに、前記回路及び前記接続端子が設けられる回路形成領域と、前記半導体基板の外縁と、の間の領域である周辺領域に設けられ、導電性の材料からなるガードリングと、
を備え、
前記ガードリングは、複数の配線層を備え、
前記半導体基板を平面視したときに前記周辺領域のうち前記配線基板と重なる接続領域において、
前記ガードリングが備える前記半導体基板から最も離れた配線層は、前記接続端子が設けられる配線層よりも、前記半導体基板側の配線層である、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体基板に所定の電位を供給する給電部を備え、
前記ガードリングは、前記半導体基板に接続されている、
ことを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板は、
前記回路形成領域の少なくとも一部、及び、前記周辺領域の少なくとも一部からなる領域に設けられた不純物注入層を備え、
前記ガードリングは、
前記半導体基板の、前記不純物注入層に接続されている、
ことを特徴とする、請求項2に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板は、
前記回路形成領域の少なくとも一部、及び、前記周辺領域の少なくとも一部からなる領域に設けられた不純物注入層と、
前記回路形成領域のうち、前記不純物注入層が設けられる領域の一部の領域に設けられた第1不純物拡散層と、
前記周辺領域のうち、前記不純物注入層が設けられる領域の一部の領域に設けられた第2不純物拡散層と、
を備え、
前記給電部は、前記第1不純物拡散層に接続され、
前記ガードリングは、前記第2不純物拡散層に接続されている、
ことを特徴とする、請求項2に記載の半導体装置。 - 配線基板に接続される半導体装置であって、
基板と、
前記基板に設けられた回路と、
所定の電位が供給される給電部と、
前記配線基板が備える導電パターンに接続され、導電性の材料よりなる接続端子と、
前記基板を平面視したときに、前記回路、前記給電部、及び、前記接続端子が設けられる回路形成領域と、前記基板の外縁と、の間の領域である周辺領域に設けられ、導電性の材料よりなるガードリングと、
を備え、
前記ガードリングは、
複数の配線層を備え、前記給電部から前記所定の電位が供給され、
前記基板を平面視したときに、前記周辺領域のうち前記配線基板と重なる接続領域において、
前記ガードリングが備える前記基板から最も離れた配線層は、前記接続端子が設けられる配線層よりも、前記基板側の配線層である、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記ガードリングは、前記基板に接続されている、
ことを特徴とする、請求項5に記載の半導体装置。 - 前記周辺領域のうち、前記接続領域を除く領域の一部または全部の領域において、
前記ガードリングが備える前記基板から最も離れた配線層は、前記接続端子が設けられる配線層と同層に設けられている、
ことを特徴とする、請求項5または6に記載の半導体装置。 - 前記周辺領域のうち、前記接続領域を除く領域の一部または全部の領域において、
前記ガードリングが備える前記半導体基板から最も離れた配線層は、前記接続端子が設けられる配線層と同層に設けられている、
ことを特徴とする、請求項1乃至4のうち何れか1項に記載の半導体装置。 - 前記ガードリングは、当該ガードリングが備える複数の配線層を互いに電気的に接続するコンタクトプラグを備える、
ことを特徴とする、請求項1乃至8のうち何れか1項に記載の半導体装置。 - 前記回路は、画像を表示するための画素回路、または、画像を撮像するためのセンサー回路を含む、ことを特徴とする、請求項1乃至9のうち何れか1項に記載の半導体装置。
- 請求項1乃至10のうち何れか1項に記載の半導体装置を具備する電子機器。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017157719A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置 |
KR20180017302A (ko) * | 2016-08-08 | 2018-02-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
JP2022000894A (ja) * | 2015-08-31 | 2022-01-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法 |
WO2024009728A1 (ja) * | 2022-07-05 | 2024-01-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 表示装置及び電子機器 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6411249B2 (ja) * | 2015-03-11 | 2018-10-24 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置 |
JP6617394B2 (ja) * | 2015-12-18 | 2019-12-11 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
KR102457244B1 (ko) | 2016-05-19 | 2022-10-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
JP2018155999A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
US10930730B2 (en) * | 2017-07-18 | 2021-02-23 | Qualcomm Incorporated | Enhanced active and passive devices for radio frequency (RF) process and design technology |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000066241A (ja) * | 1998-06-11 | 2000-03-03 | Seiko Epson Corp | 液晶パネル用基板、液晶パネル及びそれを用いた電子機器並びに液晶パネル用基板の製造方法 |
JP2007059676A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2009181095A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置用基板、電気光学装置および電子機器 |
JP2009181094A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置用基板、電気光学装置および電子機器 |
JP2011082541A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3208998B2 (ja) | 1994-05-24 | 2001-09-17 | ソニー株式会社 | 表示装置 |
TWI232595B (en) * | 1999-06-04 | 2005-05-11 | Semiconductor Energy Lab | Electroluminescence display device and electronic device |
JP4283456B2 (ja) | 2001-03-27 | 2009-06-24 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置用基板及びその製造方法 |
JP4489345B2 (ja) * | 2002-12-13 | 2010-06-23 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
JP2005266683A (ja) | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Seiko Epson Corp | 実装構造体、電気光学装置および電子機器 |
JP2008159651A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Elpida Memory Inc | 多層配線、積層アルミニウム配線、半導体装置、及びそれらの製造方法 |
US20080204618A1 (en) | 2007-02-22 | 2008-08-28 | Min-Kyung Jung | Display substrate, method for manufacturing the same, and display apparatus having the same |
JP5195593B2 (ja) * | 2009-04-01 | 2013-05-08 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置および有機el装置の製造方法、ならびに電子機器 |
JP5214525B2 (ja) * | 2009-04-20 | 2013-06-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
-
2013
- 2013-02-20 JP JP2013031079A patent/JP6127570B2/ja active Active
-
2014
- 2014-02-05 US US14/173,457 patent/US9401335B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000066241A (ja) * | 1998-06-11 | 2000-03-03 | Seiko Epson Corp | 液晶パネル用基板、液晶パネル及びそれを用いた電子機器並びに液晶パネル用基板の製造方法 |
JP2007059676A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2009181095A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置用基板、電気光学装置および電子機器 |
JP2009181094A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置用基板、電気光学装置および電子機器 |
JP2011082541A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022000894A (ja) * | 2015-08-31 | 2022-01-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法 |
JP7198884B2 (ja) | 2015-08-31 | 2023-01-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法 |
JP2017157719A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置 |
KR20180017302A (ko) * | 2016-08-08 | 2018-02-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
KR102570573B1 (ko) * | 2016-08-08 | 2023-08-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
WO2024009728A1 (ja) * | 2022-07-05 | 2024-01-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 表示装置及び電子機器 |
Also Published As
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