JP2014143304A - 加熱接合装置及び加熱接合製品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱接合する対象物とバッファー部を収容する真空チャンバと、真空チャンバ内に収容した対象物に接触して配置されたバッファー部を加熱するヒータと、ヒータで加熱されたバッファー部の熱を排熱する冷却器と、バッファー部を介して加熱された対象物の温度を検出する対象物温度センサーと、検出した対象物の温度に基づいて、対象物の温度が加熱接合に適した所定の目標温度になるように、冷却器によるバッファー部からの排熱を調節することにより、制御する制御装置とを備える、加熱接合装置。
【選択図】図1
Description
2 電子部品
3 基板
4 半田接合部
5 載置台(バッファー部)
5a 載置搬送台
5b 固定載置台
5c 開口窓付き載置搬送台
6 開口窓
10 真空チャンバ
11 搬送ローラ
12 視認窓
13 吸気口
14 排気口
15 ガイドポスト
16 外部搬送ローラ
20 ヒータ
20a 熱放射ヒータ
20b 電熱ヒータ
30 冷却器
30a 冷却ブロック
30b 駆動装置(エアシリンダ)
30c 冷却剤流通回路
31 位置決めピン
40 対象物温度センサー(放射温度計)
50 制御装置
51 中央演算装置
52 ヒータ操作部
53 冷却器操作部
54 対象物温度センサー操作部
55 制御部
55a 設定値記憶部
55b 減圧操作部
55c 対象物温度制御部
55d 真空破壊操作部
56 バッファー温度センサー操作部
57 真空破壊装置操作部
58 真空ポンプ操作部
59 冷却剤供給装置操作部
60 バッファー温度センサー(放射温度計)
70 真空破壊装置
70a ゲートバルブ
70b 気体供給装置
80 真空ポンプ(排気ポンプ)
81 圧力計
90 冷却剤供給装置
100 半田付け装置(加熱接合装置)
200 半田付け装置(加熱接合装置)
Claims (8)
- 加熱接合する対象物とバッファー部を収容する真空チャンバと;
前記真空チャンバ内に収容した前記対象物に接触して配置された前記バッファー部を加熱するヒータと;
前記ヒータで加熱されたバッファー部の熱を排熱する冷却器と;
前記バッファー部を介して加熱された対象物の温度を検出する対象物温度センサーと;
前記検出した対象物の温度に基づいて、前記対象物の温度が前記加熱接合に適した所定の目標温度になるように、前記冷却器による前記バッファー部からの排熱を調節することにより、制御する制御装置とを備える;
加熱接合装置。 - 前記ヒータは前記バッファー部を熱放射によって加熱する熱放射ヒータで構成され;
前記冷却器は冷却ブロックと、前記冷却ブロックを前記バッファー部に対して近接及び離間をするように相対的に駆動する駆動装置とを有し;
前記制御装置は、前記冷却ブロックの近接と離間を調節することにより前記対象物の温度を制御するように構成された;
請求項1に記載の加熱接合装置。 - 前記バッファー部は、前記対象物を載置する載置台として構成され、前記ヒータ及び前記冷却器は前記載置台の内部に設けられた、
請求項1に記載の加熱接合装置。 - 前記バッファー部の温度を検出するバッファー温度センサーと;
前記真空チャンバ内の真空を真空破壊する真空破壊装置とを更に備え;
前記制御装置は、前記対象物温度センサーの第1の検出温度と前記バッファー温度センサーの第2の検出温度との間の温度差が所定の温度差の範囲内となったとき、前記真空破壊装置を操作して前記真空チャンバ内の真空を真空破壊するように構成された;
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の加熱接合装置。 - 前記制御装置は、前記真空チャンバ内の真空を真空破壊した後に、前記対象物の温度を接合材の融点より低い温度に下げるように制御するように構成された、
請求項4に記載の加熱接合装置。 - 前記真空チャンバ内を真空に排気する真空ポンプを更に備え;
前記制御装置は前記真空ポンプによる排気と前記真空破壊装置による真空破壊とを更に組み合わせて調節することで、前記バッファー部から前記対象物への熱伝達を調節して前記対象物が前記所定の目標温度になるように制御するように構成された;
請求項4又は請求項5に記載の加熱接合装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の加熱接合装置に前記加熱接合する対象物を前記バッファー部と接触させて配置して装填するステップと;
前記加熱接合装置を用いて前記対象物を加熱接合するステップとを備える;
加熱接合製品の製造方法。 - 加熱接合する対象物とバッファー部を、前記対象物と前記バッファー部を接触させて配置して、真空下に置くステップと;
前記真空下に置いた前記バッファー部を加熱する加熱ステップと;
前記加熱されたバッファー部の熱を排熱する排熱ステップと;
前記バッファー部を介して加熱された対象物の温度を検出する温度検出ステップと;
前記検出した前記対象物の温度に基づいて、前記対象物の温度が加熱接合に適した所定の目標温度になるように、前記排熱ステップの排熱を調節して、前記対象物の温度を制御する制御ステップとを備える;
加熱接合製品の製造方法。
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