JP2014130884A5 - - Google Patents
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Description
半導体ウエハ等の基板の表面を非接触で洗浄する洗浄方式の一つとして、2流体ジェット(2FJ)を使用した2流体ジェット洗浄が知られている(特許文献1,2等参照)。2流体ジェット洗浄は、図1に示すように、表面(研磨面)を上向きにして、回転方向Rに水平回転している基板Wの上方に2流体ノズル100を下向きで垂直方向に配置し、基板Wの半径方向に沿って基板Wの中心部から外方に延びる移動方向Mに沿って、2流体ノズル100を基板Wと平行に一方向に移動させつつ、該2流体ノズル100から高速気体に乗せたミスト(微小液滴)からなる2流体ジェット流を基板Wの表面に向けて下向きに噴出させて衝突させ、この微小液滴の基板Wの表面への衝突で発生した衝撃波を利用して基板Wの表面のパーティクルを除去(洗浄)するようにしている。
これにより、2流体ノズルから噴出され、基板の表面に衝突して跳ね返った2流体ジェット流の大部分は、2流体ノズルの進行方向に沿った基板の外方に向かって流れ、これによって、2流体ジェット流に含まれるミストやパーティクルが基板表面の洗浄後の洗浄済みエリアへの再付着するのを抑制して、本来の洗浄特性を有する2流体ジェット洗浄を行うことができる。
本発明の好ましい一態様において、前記2流体ノズルの噴射口は、長方形状の細長い形状を有している。これにより、シンプルな構成で、基板の表面における単一面積あたりの洗浄時間をより長くして、高い洗浄面積を保ちながら、外周部を含む全表面をより確実に洗浄することができる。
本発明の好ましい一態様において、前記基板保持部で保持した基板の周囲を囲繞する飛散防止カップを有し、前記飛散防止カップの前記2流体ノズルの進行方向に沿った前方位置には、開口部を拡げた集中排気口が設けられている。
これにより、基板の表面に衝突して跳ね返り、2流体ノズルの進行方向に沿った基板の外方に向かって流れる2流体ジェット流を、集中排気口を通して、飛散防止カップの内部に速やかに回収することができる。
これにより、基板の表面に衝突して跳ね返り、2流体ノズルの進行方向に沿った基板の外方に向かって流れる2流体ジェット流を、集中排気口を通して、飛散防止カップの内部に速やかに回収することができる。
本発明によれば、2流体ノズルから噴出され、基板の表面に衝突して跳ね返った2流体ジェット流の大部分が、2流体ノズルの進行方向に沿った基板の外方に向かって流れるようにすることができる。これによって、2流体ジェット流に含まれるミストやパーティクルが基板表面の洗浄後の洗浄済みエリアへの再付着するのを抑止して、本来の洗浄特性を有する2流体ジェット洗浄を行うことができる。
ロードポート12、該ロードポート12側に位置する研磨ユニット14a及び乾燥ユニット20に囲まれた領域には、第1搬送ロボット22が配置され、研磨ユニット14a〜14dと平行に、搬送ユニット24が配置されている。第1搬送ロボット22は、研磨前の基板をロードポート12から受け取って搬送ユニット24に受け渡すとともに、乾燥後の基板を乾燥ユニット20から受け取ってロードポート12に戻す。搬送ユニット24は、第1搬送ロボット22から受け取った基板を搬送して、各研磨ユニット14a〜14dとの間で基板の受け渡しを行うとともに、研磨ユニット14a〜14dから受け取った基板を第1洗浄ユニット16に受け渡す。
第2洗浄ユニット18として、本発明の実施形態の基板洗浄装置が使用されている。また、乾燥ユニット20として、水平に回転する基板に向けて、移動する噴射ノズルからIPA蒸気を噴出して基板を乾燥させ、更に基板を高速で回転させ遠心力によって基板を乾燥させるスピン乾燥ユニットが使用されている。
揺動アーム44の自由端(先端)には、噴射口46a(図9参照)を円形とした略円筒状の2流体ノズル46が下向きで上下動自在に取付けられている。2流体ノズル46には、N2ガスまたはアルゴンガス等の不活性ガスからなるキャリアガスを供給するキャリアガス供給ラインと、純水、CO2ガス溶解水または水素水等の洗浄液を供給する洗浄液供給ライン(共に図示せず)が接続されており、2流体ノズル46の内部に供給されたN2ガス等のキャリアガスと純水またはCO2ガス溶解水等の洗浄液を2流体ノズル46の噴射口46aから高速で噴出させることで、キャリアガス中に洗浄液がミスト(微小液滴)として存在する2流体ジェット流が生成される。この2流体ノズル46で生成される2流体ジェット流を回転中の基板Wの表面に向けて噴出させて衝突させることで、ミストの基板表面への衝突で発生した衝撃波を利用して基板表面のパーティクル等を除去(洗浄)を行うことができる。
これにより、図8及び図9に示すように、2流体ノズル46の噴射口46aから噴出され、基板Wの表面に衝突して跳ね返った2流体ジェット流の大部分は、2流体ノズル46の進行方向Mに沿った基板Wの外方に向かって流れ、これによって、2流体ジェット流に含まれるミストやパーティクルが基板Wの表面の洗浄後の洗浄済みエリアへ再付着するのを抑制することができる。このように、2流体ジェット流に含まれるミストやパーティクルの基板Wの表面への再付着を抑制することで、本来の洗浄特性を有する2流体ジェット洗浄を行うことができる。
これにより、基板Wの表面に衝突して跳ね返る2流体ジェット流は、飛散防止カップ60の内周面に沿って下方に流れ、排気ダクト62から外部に排気される。この例によれば、前述のように、基板Wの表面に衝突して跳ね返った2流体ジェット流の大部分は、2流体ノズル46の進行方向に沿って基板Wの外方に向かって流れ、この流れ方向に沿った前方位置に、開口部を拡げた集中排気口60aが設けられている。このため、基板Wの表面に衝突して跳ね返り、2流体ノズル46の進行方向Mに沿って基板の外方に向かって流れる2流体ジェット流を、集中排気口60aを通して、速やかに飛散防止カップ60の内部に回収して外部に排気することができる。
次に、この第2洗浄ユニット18による基板Wの洗浄例を説明する。基板保持機構40は、表面(研磨面)を上向きにして、基板Wをチャック50で水平に保持する。基板が基板保持機構40で水平に保持された後、基板保持機構40の側方の退避位置に位置していた2流体ノズル46を、揺動アーム44を揺動させて、基板Wの上方の洗浄開始位置Aに移動させる。
このように、この例では、表面を上向きにして水平に回転している基板Wの該表面に、2流体ノズル46を一方向に移動させつつ、2流体ノズル46から噴射される下向き2流体ジェット流を衝突させることで、基板Wの全表面を洗浄する。この洗浄時に、基板Wの表面に衝突して跳ね返った2流体ジェット流の大部分は、2流体ノズル46の進行方向Mに沿った基板Wの外方に向かって流れ、この流れ方向に沿った前方位置に設けられた、開口部を拡げた集中排気口60aから飛散防止カップ60の内部に速やかに回収されて外部に排気される。
図13は、この洗浄時におけるパーティクルの挙動を示す。図13に示すように、この洗浄時に2流体ジェット流のミストに衝突して基板Wの表面を離脱したパーティクル70は、2流体ジェット46の進行方向Mに沿った基板Wの外方に向かった流れに乗って基板Wの外方に向かい、基板Wの表面の洗浄済みエリアに付着することなく、集中排気口60aを通して飛散防止カップ60の内部に回収されて外部に排気される。これによって、基板Wの表面を離脱したパーティクル70の基板Wの表面への再付着を考慮する必要をなくして、本来の洗浄特性で2流体ジェット洗浄を行うことができる。そして、2流体ノズル46を、洗浄開始位置Aから、基板Wの中心Oの上方位置を通って、基板Wの外周部外方の洗浄終了位置Bに移動させつつ、基板Wの表面を洗浄することで、基板Wの表面全域を斑なくより均一に洗浄することができる。
図16は、他の2流体ノズル80を示す斜視図である。この2流体ノズル80は、長方形状の細長い噴射口80aを有する4角筒状の形状を有している。この噴射口80aの長辺は、短辺に対して、1.4倍以上の長さを有することが好ましい。
この例にあっては、図17及び図18に示すように、長辺側を2流体ノズル80の進行方向Mと直交する側とし、捻れ角βを持たせる場合には、この長辺に沿った線Pと2流体ノズル80の進行方向Mに沿った直線Lとの間に捻れ角βが形成されるようにする。このことは、下記の図19に示す2流体ノズル82及び図20に示す2流体ノズル84にあっても同様である。
図19は、更に他の2流体ノズル82を示す斜視図である。この2流体ノズル82は、両端の角部が丸い長方形状の細長い噴射口82aを有する4角筒状の形状を有している。図20は、更に他の2流体ノズル84を示す斜視図である。この2流体ノズル84は、3個の円形ノズルを互いに横方向に連結した如き長方形状の細長い噴射口84aを有する4角筒状の形状を有している。
10 ハウジング
14a〜14d 研磨ユニット
16 第1洗浄ユニット
18 第2洗浄ユニット(基板洗浄装置)
20 乾燥ユニット
24 搬送ユニット
40 基板保持機構
42 支持軸
44 揺動アーム
46,80,82,84 2流体ノズル
46a,80a,82a,84a 噴射口
48 移動機構
50 チャック
52 アーム
54 回転軸
60 飛散防止カップ
60a 集中排気口
62 排気ダクト
64 専用排気ダクト
70 パーティクル
14a〜14d 研磨ユニット
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