JP2014120490A - バンプ形成装置とその方法、配線形成装置とその方法、および、配線構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バンプ形成装置は、静電塗布によりワークにバンプを形成するバンプ形成装置であって、パルス電圧が印加されることにより、バンプの原料となる液剤をワークに塗布するノズルと、液剤の粒子を用いてワークにバンプを形成するように制御する制御手段とを有する。
【選択図】図5
Description
5 ワーク
7 テーブル
8 カメラ
10 制御手段
32 静電噴霧装置
43 バンプ
51 基板
52 パッド部
100 バンプ形成装置
200 3次元配線形成装置
Claims (15)
- 静電塗布によりワークにバンプを形成するバンプ形成装置であって、
パルス電圧が印加されることにより、前記バンプの原料となる液剤を前記ワークに塗布するノズルと、
前記液剤を用いて前記ワークに前記バンプを形成するように制御する制御手段と、を有することを特徴とするバンプ形成装置。 - 前記バンプの原料は、AgナノインクまたはAuナノインクであることを特徴とする請求項1または2に記載のバンプ形成装置。
- 前記バンプの直径は、3〜10μmであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のバンプ形成装置。
- 静電塗布によりワークにバンプを形成するバンプ形成方法であって、
ノズルと前記ワークとの間にパルス電圧を印加するステップと、
前記パルス電圧に応じた静電塗布により前記バンプの原料となる液剤を前記ワークの所定の位置に塗布し、前記ワークに3〜10μmの直径を有する前記バンプを形成するステップと、を有することを特徴とするバンプ形成方法。 - 前記ワークに前記バンプを形成してから前記バンプを乾燥させるステップを更に有することを特徴とする請求項4に記載のバンプ形成方法。
- 静電噴霧および静電塗布の少なくとも一方によりワークに配線を形成する配線形成装置であって、
第1の電圧が印加されることにより、前記配線の第1の原料となる第1の液剤を前記ワークに向けて噴霧する第1のノズルと、
前記第1の液剤を用いて前記ワークに前記配線を立体的に形成するように制御する制御手段と、を有することを特徴とする配線形成装置。 - 第2の電圧が印加されることにより、前記配線の第2の原料となる第2の液剤を前記ワークに塗布する第2のノズルと、
前記制御手段は、前記第1の液剤を塗布する前に前記第2の液剤を用いて前記ワークに前記配線を形成するように制御することを特徴とする請求項6に記載の配線形成装置。 - 前記第1の電圧はパルス電圧であり、前記第2の電圧は直流電圧であることを特徴とする請求項7に記載の配線形成装置。
- 前記第1の液剤は、前記配線を構成する金属配線を形成する液剤であり、
前記第2の液剤は、前記配線を構成する絶縁膜を形成する液剤であることを特徴とする請求項7または8に記載の配線形成装置。 - 前記絶縁膜はポリイミド膜であり、前記金属配線はAu配線であることを特徴とする請求項9に記載の配線形成装置。
- 前記金属配線の線幅は3〜10μmであることを特徴とする請求項9または10に記載の配線形成装置。
- 前記第1のノズルは、前記第1の液剤を前記ワークの段差部の側面に向けて噴霧する場合、前記ワークに対して直交する方向から噴霧し、
前記第2のノズルは、前記第2の液剤を前記段差部の側面に対して塗布する場合、前記ワークに対して傾斜した状態で塗布することを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1項に記載の配線形成装置。 - 静電噴霧および静電塗布の少なくとも一方によりワークに配線を形成する配線形成方法であって、
第1のノズルと前記ワークとの間に第1の電圧を印加するステップと、
前記第1の電圧に応じて前記配線の第1の原料となる第1の液剤を前記ワークに向けて噴霧し、該第1の液剤を用いて前記ワークに絶縁膜を形成するステップと、
第2のノズルと前記ワークとの間に第2の電圧を印加するステップと、
前記第2の電圧に応じて前記配線の第2の原料となる第2の液剤を前記ワークに塗布し、該第2の液剤を用いて前記ワークに導電膜を形成するステップと、を有することを特徴とする配線形成方法。 - 前記ワークの段差部の側面に前記第2の液剤を塗布する際に、前記第2のノズルを該ワークに対して傾斜させることを特徴とする請求項13に記載の配線形成方法。
- 静電噴霧および静電塗布の少なくとも一方によりバンプおよび配線の少なくとも一方の配線構造が形成されていることを特徴とする配線構造体。
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