JP2004228375A - バンプの形成方法、デバイス、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】コストを低く抑えることができ、また産業廃棄物も最少限に抑えることのできるバンプの形成方法、さらにこのような方法によって得られるバンプを有したデバイス、及び電子機器を提供する。
【解決手段】基体上に半導体装置を実装する際に用いるバンプの形成方法である。基体又は半導体装置1のバンプ形成部に、金属微粒子を分散させてなる金属分散液4を液滴吐出法によって設け、次いで、バンプ形成部に設けられた金属分散液4を熱処理して金属製のバンプ6aを形成する。
【選択図】 図2
【解決手段】基体上に半導体装置を実装する際に用いるバンプの形成方法である。基体又は半導体装置1のバンプ形成部に、金属微粒子を分散させてなる金属分散液4を液滴吐出法によって設け、次いで、バンプ形成部に設けられた金属分散液4を熱処理して金属製のバンプ6aを形成する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種のデバイス等に用いられるバンプの形成方法、このような方法によって得られるバンプを有したデバイス、及び電子機器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、各種のデバイスにおいては、これを構成する半導体装置の実装を、リードフレームを利用して行ったり、またはんだバンプ等の外部接続端子を利用して行っている。外部接続端子を利用するものとしては、例えばCSP(Chip Size Package またはChip Scale Package)が知られており、このCSPでは、半導体ベアチップ表面のパッドに外部接続端子(バンプ)を直接形成し、基板にフリップチップ実装を行うようにしている。したがってCSPは、実装面積が最小限に抑えられ、実装面の限られた製品、あるいは携帯機器等、小型化が要求される各種デバイスに使用されている。
【0003】
ところで、従来のICチップ等を備えたデバイスにおけるバンプは、例えばスパッタ法で導電材料を成膜し、続いて得られた導電膜をフォトリソグラフィー法(フォトレジスト塗布、露光、現像)でパターニングし、さらにパターニング後の導電膜(シード)上にめっき法でバンプ材料を設けるなどの一連の処理工程により、金属等のバンプ材料が外部接続用の電極パッド上に設けられバンプ形状に形成されて得られている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平5−206141号公報(従来技術)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したバンプの形成方法では、工程数が多くそれぞれの工程で専用装置が必要となることなどから、コストが高く、また、フォトリソ工程やめっき工程では大量の廃液が発生することから、これら廃液等の廃棄物が多く出てしまうといった課題がある。
【0006】
すなわち、前述したバンプの形成方法では、スパッタ装置、スピンコート、露光装置、現像装置、めっき装置、エッチング装置などが必要となり、特にスパッタ装置や露光装置はその装置コストが高いことから、装置コスト(イニシャルコスト)が高くなってしまう。
また、スパッタ工程ではスパッタ装置の高真空維持のため真空ポンプを常時稼働させておく必要があり、さらにフォトリソ工程では露光用のフォトマスクが必要となるなど、ランニングコストも高くなってしまう。特に、露光用のフォトマスクは製品毎に専用のものが必要であり、コスト上昇、長納期の要因となっている。
また、フォトリソ工程やめっき工程では、レジスト塗布、現像、電解めっき、エッチング等により、それぞれにレジスト廃液、現像廃液、めっき廃液などの産業廃棄物が生じてしまい、その量も少なくないことから、結果として多量の廃棄物が出てしまっている。
【0007】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、コストを低く抑えることができ、また産業廃棄物も最少限に抑えることのできるバンプの形成方法、さらにこのような方法によって得られるバンプを有したデバイス、及び電子機器を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明のバンプの形成方法は、基体又は半導体装置のバンプ形成部に、金属微粒子を分散させてなる金属分散液を液滴吐出法によって設け、次いで、前記バンプ形成部に設けられた金属分散液を熱処理して金属製のバンプを形成することを特徴としている。
このバンプの形成方法によれば、液滴吐出法によって金属分散液をバンプ形成部に吐出し、さらに熱処理してバンプを形成するので、装置として特に高価なものが必要とならず、また工程数も少ないことから装置の種類も少なくてすみ、さらにフォトマスクなどの消耗品も必要としないことなどから、従来に比べコストが格段に低減される。また、液滴吐出法により金属分散液を所望箇所に必要量のみ吐出することができるので、材料が無駄になることがほとんどなく、さらに、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じないことから産業廃棄物が最少限に抑えられる。
【0009】
また、前記バンプの形成方法においては、前記金属分散液として金属の種類が異なる複数種のものを用い、異なる金属が積層されてなるバンプを形成するのが好ましい。
このようにすれば、特に接合部となるバンプ表層部に例えば低抵抗で接合性に優れた金を用い、その下層には比較的安価な金属を用いることで、全体のコストを安くし、しかも接合性等に優れたバンプを形成することができる。
【0010】
また、前記バンプの形成方法においては、前記金属分散液を液滴吐出法によって設けるに先立ち、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部に、導電性のバンプ台を形成し、その後、前記金属分散液を液滴吐出法によって前記バンプ台上に設けるのが好ましい。
このようにすれば、例えばバンプ台を従来と同様にして形成しておき、その上に液滴吐出法で金属分散液を吐出し熱処理することにより、バンプ表層部に例えば低抵抗で接合性に優れた金の接合部を容易に形成することができる。
【0011】
また、前記バンプの形成方法においては、前記金属分散液を液滴吐出法によって設けるに先立ち、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部に、樹脂製のバンプコアを形成し、その後、前記金属分散液を液滴吐出法によって前記バンプコアを覆いかつ前記バンプ形成部に導通した状態に設けるのが好ましい。
このようにすれば、樹脂製のバンプコアの表層部にのみ金属分散液を設けるので、樹脂に比べ高価な金属分散液の使用量を少なくすることができ、したがってバンプの形成に要する材料コストを低減することができる。
【0012】
なお、このバンプの形成方法においては、前記バンプ形成部を、その中央部に凸部を形成した状態に形成しておき、その後、該バンプ形成部の凸部上に前記樹脂製のバンプコアを形成するのが好ましい。
このようにすれば、前記凸部によってバンプ形成部のバンプ形成面とバンプコアの底部との間に隙間が形成されるので、バンプコアを覆って設ける金属分散液が前記隙間内に入り込むようになり、したがってこの金属分散液からなる金属膜とバンプ形成部とがより良好に接触し導通するようになる。
【0013】
また、前記バンプの形成方法においては、前記金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の液滴吐出回数を複数回とし、一の回の液滴吐出量と他の回の液滴吐出量とを異ならせることにより、少なくとも下部と上部とで外径の異なるバンプを形成することを特徴としている。
例えばこのバンプを異方性導電膜に接合させる場合に、特に下部に比べ上部の外径を小さくしておけば、この上部が異方性導電膜をより強固に押圧するようになり、したがって異方性導電膜との機械的、電気的結合が向上するようになる。
【0014】
また、前記バンプの形成方法においては、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部が複数あり、それぞれのバンプ形成部にバンプを形成する場合に、金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の液滴吐出回数を、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とで異ならせることにより、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とでそれぞれ形成するバンプの高さを異ならせるのが好ましい。
このようにすれば、バンプと接合する側のバンプ接合部の高さ位置がこれらバンプ接合部間で異なる場合に、その高さ位置に合わせてそれぞれ高さの異なるバンプを形成することができ、したがってバンプと接合する側となる基体又は半導体装置の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを形成することができる。
【0015】
また、前記バンプの形成方法においては、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部が複数あり、それぞれのバンプ形成部にバンプを形成する場合に、金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の一回の液滴吐出量を、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とで異ならせることにより、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とでそれぞれ形成するバンプの外径を異ならせるのが好ましい。
このようにすれば、バンプと接合する側のバンプ接合部の大きさ(面積)がこれらバンプ接合部間で異なる場合に、その大きさに合わせてそれぞれ外径の異なるバンプを形成することができ、したがってバンプと接合する側となる基体又は半導体装置の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを形成することができる。
【0016】
本発明のデバイスは、基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、前記バンプが、樹脂製のバンプコアの表面に金属膜が設けられてなることを特徴としている。
このデバイスによれば、そのバンプが高価な金属の少ない構造となっているので、バンプの材料コストが低減し、したがって全体のコスト低減化が図られたものとなる。
【0017】
本発明の別のデバイスは、基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、前記バンプが複数設けられてなり、これらバンプのうちの一つが少なくとも他の一つと異なる高さに形成されてなることを特徴としている。
このデバイスによれば、例えばバンプと接合する側のバンプ接合部の高さ位置がこれらバンプ接合部間で異なる場合に、その高さ位置に合わせてそれぞれ高さが異なるバンプが形成されているので、バンプと接合する側となる基体又は半導体装置の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを有するものとなり、したがってデバイス自体が高い設計自由度を有するものとなる。
【0018】
本発明の別のデバイスは、基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、前記バンプが複数設けられてなり、これらバンプのうちの一つが少なくとも他の一つと異なる外径に形成されてなることを特徴としている。
このデバイスによれば、例えばバンプと接合する側のバンプ接合部の大きさ(面積)がこれらバンプ接合部間で異なる場合に、その大きさに合わせてそれぞれ外径が異なるバンプが形成されているので、バンプと接合する側となる基体又は半導体装置の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを有するものとなり、したがってデバイス自体が高い設計自由度を有するものとなる。
【0019】
本発明の別のデバイスは、基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、前記バンプが、前記のバンプの形成方法によって得られたものであることを特徴としている。
このデバイスによれば、前述したように従来に比べ格段にコストが低減された方法によってバンプが形成されているので、デバイス自体のコスト低減化が可能になる。また、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じない方法でバンプが形成されているので、デバイス自体も環境的に有利な方法で得られるものとなる。
【0020】
本発明の電子機器では、前記デバイスを備えてなることを特徴としている。
この電子機器によれば、デバイス自体がコスト低減化されていることにより、電子機器もコストが低減化されたものとなる。また、デバイス自体が環境的に有利な方法で得られているので、電子機器も環境的に有利な方法で得られるようになる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
本発明は、回路基板などからなる基体上に、ICチップ等の半導体装置を実装する際に用いるバンプの形成方法に係るもので、特に、インクジェット法などの液滴吐出法によってバンプ材料を吐出し、バンプ形成部上にバンプを形成するようにした方法である。
【0022】
液滴吐出法に用いられる液滴吐出装置は、例えば図1(a)、(b)に示す液滴吐出ヘッド34を備えたものである。すなわち、液滴吐出ヘッド34は、図1(a)に示すように例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部は液状材料で満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15から液状材料を噴射するためのノズル孔18が縦横に整列させられた状態で複数形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16に液状材料を供給するための孔19が形成されている。
【0023】
また、振動板13の空間15に対向する面と反対側の面上には、図1(b)に示すように圧電素子(ピエゾ素子)20が接合されている。この圧電素子20は、一対の電極21の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子20が接合されている振動板13は、圧電素子20と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間15の容積が増大するようになっている。したがって、空間15内に増大した容積分に相当する液状材料が、液溜まり16から供給口17を介して流入する。また、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13はともに元の形状に戻る。したがって、空間15も元の容積に戻ることから、空間15内部の液状材料の圧力が上昇し、ノズル孔18から基板に向けて液状材料の液滴22が吐出される。
【0024】
このような液滴吐出ヘッド34によるバンプの形成方法の具体例を実施形態として説明する。
(実施形態1)
まず、図2(a)に示すように切断前の多数のICチップ(半導体装置)1を形成したウエハ(図示せず)を用意する。ICチップ1には、予めパッド(バンプ形成部)2が複数形成されている。これらパッド2は、例えば50μm×50μmの大きさのアルミニウム電極2a上に、無電解めっき法によってNi層とAu層との積層膜2bが形成されてなるもので、絶縁体膜3によってそれぞれ独立した状態に形成されたものである。なお、積層膜2bにおけるNi層はバリア層として機能するものであり、Au層は接続層として機能するものである。
【0025】
このようなICチップ1のパッド2上にバンプを形成するには、前記ウエハを液滴吐出装置のワーク台上に載せ、さらに前記ウエハに記録された位置決めマークによって位置決めを行った後、図2(b)に示すように、前記の液滴吐出ヘッド34から登録された位置情報にしたがって金属分散液4を各パッド2上に吐出する。ここで、吐出する金属分散液4は、金属微粒子を分散媒に分散させてなるもので、具体的には金微粒子や銀微粒子を分散媒としてのα−テルピネオールやトルエンに分散させてなるものである。
なお、本実施形態では金微粒子をα−テルピネオールに分散させた分散液を用いるものとする。
【0026】
このような金属分散液4を、各パッド2毎に所定量ずつ、本実施形態では図2(b)に示したように一滴ずつ吐出する。なお、ここでは吐出した一滴の量を約10ngとした。すると、パッド2上に吐出された金属分散液4は、外径約40μm、高さ約3μmのものとなった。このようにして各パッド2毎に金属分散液4を一滴ずつ吐出したら、一旦乾燥して金属分散液4の表面を固化する。ここでの乾燥方法としては、約100℃の熱風を15秒程度あてるといった方法を採用したが、これに限定されることなく、乾燥常温空気等による送風乾燥やランプ、オーブンによる乾燥等も採用可能である。このような乾燥を行うことにより、この後さらに金属分散液4を重ね塗りした際、重ね塗りした金属分散液4が下層の金属分散液4に混ざり合ってしまい、パッド2上の金属分散液4の外径が大きくなり過ぎたり、甚だしい場合にはパッド2上から外に流れ出てしまうのを防止し、かつ所望するバンプ高さを得るためである。
【0027】
そして、液滴吐出ヘッド34による所定量の吐出、乾燥を予め決めた回数繰り返すことにより、図2(c)に示すように金属分散液4とその固形分、すなわち金属分5をパッド2上に所定量設ける。
次いで、常温大気中での送風により乾燥し、金属分散液4および金属分5中の分散媒を揮散させる。その後、熱処理として熱風乾燥炉により290〜310℃で1時間焼成することにより、図2(d)に示すように金製のバンプ6aを形成し、さらにウエハを切断することにより、図3(a)に示すようにバンプ6aを形成したICチップ1を得る。
本実施形態では、前記の金属分散液4の吐出・乾燥を15回繰り返すことにより、得られたバンプ6aは、その外径が35μm、高さが25μmとなり、バンプとして良好な大きさ・形状となった。また、その電気抵抗は3〜5μΩ・cm程度となり、バンプとして良好な導電性を有していることが確認された。
【0028】
また、バンプ6aを形成したICチップ1を基板上に実装してデバイスを得るには、まず、図3(a)に示したように、基板9上にICチップ1を持ち上げ、さらにICチップ1のバンプ6aを基板9上の表面電極10にそれぞれ対向するよう位置合わせし、次いで、図3(b)に示すようにICチップ1を基板9上に載せて加圧・加熱することにより、バンプ6aを表面電極10に接合・溶着する。その後、バンプ6aを冷却固化してICチップ1を基板上に実装し、これにより本発明のデバイス11を得る。
【0029】
このようなバンプの形成方法にあっては、装置として例えばスパッタ装置や露光装置のような高価なものを必要とせず、また工程数も少なく、さらにフォトマスクなどの消耗品も必要としないことなどから、従来に比べコストを格段に低減することができる。また、金属分散液4を所望箇所に必要量のみ吐出することができるので、材料が無駄になることがほとんどなく、さらに、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じないことから生じる産業廃棄物を最少限に抑えることができる。また、特に液滴吐出ヘッド34からの金属分散液4の吐出と乾燥との繰り返し回数を適宜に設定することにより、得られるバンプ6aの高さを任意に形成することができ、したがって実装を行うための基体やICチップ1の構造等に応じてより良好な高さのバンプ6aを容易に形成することができる。
【0030】
また、このようにして得られたデバイス11にあっては、従来に比べ格段にコストが低減された方法によってバンプ6aが形成されているので、デバイス11自体もコスト低減化がなされたものとなる。また、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じない方法でバンプ6bが形成されているので、デバイス11自体も環境的に有利な方法で得られるものとなる。
【0031】
(実施形態2)
この実施形態2が前記の実施形態1と異なるところは、液滴吐出ヘッド34から吐出する金属分散液4として、金属の種類が異なる複数種のものを用いる点にある。
すなわち、本実施形態では、図4(a)に示すように、前記実施形態1と同様にしてパッド2上に第1の金属分散液4aを吐出し続いて乾燥し、さらにこの吐出・乾燥を予め設定した所定回数行うことにより、バンプとしての必要なサイズ(必要な高さと外径)のバンプ台7を形成する。ここでは、実施形態1と同様の条件で第1の金属分散液4aを吐出・乾燥し、これを15回繰り返した。なお、第1の金属分散液4aとしては、安価なものを用いるのが好ましく、例えば前記の銀微粒子を分散媒(例えばα−テルピネオール)に分散させた分散液が用いられる。
【0032】
次いで、図4(b)に示すように、液滴吐出ヘッド34から前記バンプ台7上に第2の金属分散液4bを吐出し、乾燥する。この第2の金属分散液4bとしては、金属接合に有利な金属、例えば前記の金分散液が好適に用いられる。そして、この第2の金属分散液4bの吐出・乾燥を2回繰り返し、その後、実施形態1と同様の条件で焼成し、図4(c)に示すようにバンプ6bを形成した。このようにして得られたバンプ6bにおいて、第1の金属分散液4aからなるバンプ台7は、実施形態1と同様に外径が35μm、高さが25μmとなった。また、このバンプ台7の上には、第2の金属分散液4bからなる金製の接合部8が厚さ3μm程度に形成されていた。
【0033】
このようなバンプの形成方法にあっては、特にバンプ6bの表層部に低抵抗で接合性に優れた金を用いて接合部8を形成し、その下層のバンプ台7として金に比べ安価な銀を用いたことにより、全体のコストを安くし、しかも金−金接合や金−錫接合を可能にする接合性等に優れたバンプ6bを形成することができる。
なお、本実施形態ではバンプ台7、接合部8の金属材料として、それぞれ銀、金を用いたが、液滴吐出法で吐出が可能な金属分散液であり、かつ電気抵抗等の特性に問題がない金属であればこれら以外の金属からなる分散液を用いてもよく、例えば錫微粒子を分散してなる分散液なども使用可能である。
また、本実施形態では第1の金属分散液4aからなる層と第2の金属分散液4bからなる層を同時に焼成し、バンプ台7、接合部8を同時に形成してバンプ6bとしたが、第1の金属分散液4aからなる層の焼成と第2の金属分散液4bからなる層の焼成とをそれぞれ別に行い、バンプ台7、接合部8をそれぞれ別に形成するようにしてもよい。
【0034】
(実施形態3)
この実施形態3が前記の実施形態2と異なるところは、従来法で導電性のバンプ台を形成し、その後、液滴吐出ヘッド34から金属分散液4を吐出して接合部を形成する点にある。
すなわち、本実施形態では、図5(a)に示すように、パッド2上に従来法によってNiやCu等からなるバンプ台50を形成する。次いで、図5(b)に示すように、前記実施形態2と同様にして金属分散液4bを吐出・乾燥する。その後、前記実施形態2と同様にして焼成することにより、図5(c)に示すようにバンプ台50上に例えば金からなる接合部8を形成し、これによってバンプ6cを形成する。
【0035】
このようなバンプの形成方法にあっては、バンプ台50を従来と同様にして形成しておき、その上部にのみ例えば低抵抗で接合性に優れた金の接合部8を形成するので、バンプ台50の形成については既存のプロセスをそのまま用いることができ、しかも接合性に優れた金の接合部8を液滴吐出法で容易に形成することができる。
【0036】
(実施形態4)
この実施形態4が前記の実施形態1と異なるところは、パッド2上に樹脂製のバンプコアを形成し、その後、このバンプコアを覆った状態に前記金属分散液を液滴吐出法で吐出塗布する点にある。
すなわち、本実施形態では、図6(a)に示すように、液滴吐出ヘッド34よりパッド2上に樹脂液51を吐出する。この樹脂液51としては、例えばポリイミドなどの光硬化性(紫外線照射硬化性)の樹脂を溶媒に溶解し、あるいは分散媒に分散させたものが用いられる。なお、この樹脂液51の吐出にあたっても、前記実施形態と同様に吐出・乾燥を所定回数繰り返し、所望の高さに形成する。
【0037】
次いで、図6(b)に示すように、樹脂液51からなる樹脂51aに紫外線照射ランプ52より紫外線を照射し、樹脂51aを硬化させてバンプコア53とする。その後、図6(c)に示すように、前記バンプコア53を覆いかつ前記パッド2に導通した状態となるように金属分散液4bを吐出し、乾燥する。そして、これを所定回数繰り返した後、焼成することにより、バンプコア53の表面を覆いかつパッド2に導通した状態の金属膜54を形成し、バンプ6dを形成する。
なお、このようにして金属膜54を形成した後、特に接合部となる金属膜54の上端部を厚くするべく、再度金属膜54上に金属分散液4bを吐出・乾燥し、さらに焼成することにより、図6(d)に示すように金属膜54上に接合部55を形成してもよい。
【0038】
このようなバンプの形成方法にあっては、樹脂製のバンプコア53の表層部にのみ金属膜54を形成するので、樹脂に比べ高価な金属分散液4bの使用量を少なくすることができ、したがってバンプ6dの形成に要する材料コストを低減することができる。また、金属膜54形成後に接合部55を形成すれば、接合部としての膜厚が厚くなることにより、接合の信頼性を高めることができる。
また、このようにして得られたバンプ6dを有してなるデバイスにあっては、バンプ6dが高価な金属の少ない構造となっているので、バンプ6dの材料コストが低減し、したがって全体のコスト低減化が図られたものとなる。
【0039】
(実施形態5)
この実施形態5が前記の実施形態4と異なるところは、パッド2上に樹脂製のバンプコアを形成するに先立ち、パッド2をその中央部に凸部がある状態に形成しておき、この凸部上に前記樹脂製のバンプコアを形成する点である。
すなわち、本実施形態では、図7(a)に示すようにパッド2の中央部に積層膜2bを形成する際、その中央部を上に凸に形成して凸部56を形成する。この凸部56の形成法としては特に限定されることなく従来周知の方法が採用可能であり、例えば積層膜2bを厚く形成した後、周辺部をエッチング除去することによって中央部に凸部56を残すような方法が採用可能である。
【0040】
次いで、前記実施形態4と同様にして図7(b)に示すように凸部56上にバンプコア53を形成し、続いてこのバンプコア53を覆いかつ前記パッド2に導通した状態となるように金属分散液4bを吐出・乾燥し、さらに焼成してバンプ6eを形成する。
なお、この実施形態においても、前記実施形態4と同様にして金属膜54上に接合部55を形成してもよい。
【0041】
このようなバンプの形成方法にあっては、前記凸部56によってパッド2のバンプ形成面とバンプコア53の底部との間に隙間が形成されるので、バンプコア53を覆って設ける金属分散液4bを前記隙間内に容易に入り込ませることができ、したがってこの金属分散液4bからなる金属膜54とパッド2とをより良好に接触させることができ、これにより電気的導通の信頼性を高めることができる。
【0042】
(実施形態6)
この実施形態6が前記の実施形態1と異なるところは、特に焼成条件を変えることにより、得られるバンプの粗密、すなわちその密度を変化させるようにした点である。
すなわち、本実施形態では、前記実施形態1と同様にして図2(c)に示したようにパッド2上に金属分5を所定量設けた後、熱処理として、熱風乾燥炉により200〜220℃で2時間焼成することにより、図2(d)に示したように金製のバンプ6aを形成した。このようにして得られたバンプ6aの高さを測定したところ、実施形態1のバンプ6aに比べ5μm高くなっていた。
【0043】
これより、焼成温度を高くすればバンプを密に、すなわちその密度を高く形成することができ、逆に焼成温度を低くしてその分焼成時間を長くすればバンプを粗に、すなわちその密度を低く形成することができることが分かった。そして、このように焼成温度を変えることによってバンプの密度を制御することができることから、例えばバンプの密度を高くすることによってその圧縮方向の変形量を少なくすることができ、また密度を低くすることによってその圧縮方向の変形量を大きくすることができる。
【0044】
ところで、ICチップ1を接続する基板9側が例えばフィルム状の基板であり、バンプをそのリードなどに接合する場合、ICチップのバンプ高さとリードとの間で接合の均一性を保つのが困難である。
そのような場合に、例えばバンプを低密度に形成し、その圧縮方向での変形量を大きくしておくことにより、全てのバンプを対象のリード等と確実に接続できるよう、その押し付けを可能にすることができる。
なお、焼成温度を200℃未満にするのは、金属分5の金属化が不十分となり、比抵抗が10−4Ω・cm以上になって配線抵抗が高くなることから好ましくない。
【0045】
(実施形態7)
この実施形態7が前記の実施形態1と異なるところは、バンプを複数形成する場合に、液滴吐出法による金属分散液の吐出回数を変えてバンプ間でその高さを変えた点にある。
すなわち、本実施形態では、前述したように金属分散液4の吐出と乾燥との繰り返し回数を変えることにより、得られるバンプ6aの高さを任意に形成することができることを利用し、図8(a)に示すように同一のICチップ1内(すなわち切断前の多数のICチップを形成したウエハ内)に、高さの異なるバンプ6a、6fを形成する。
【0046】
図9に、金属分散液4の吐出回数と得られるバンプの高さとの関係の一例を示す。なお、金属分散液4の一回の吐出量は10ngとし、得られるバンプについてはその外径が約35μmとなるようにした。
図9に示すように、金属分散液の吐出回数を変えることにより、得られるバンプの高さを1μm〜2μm程度の範囲で制御することができた。
【0047】
このようなバンプの形成方法にあっては、同一のICチップ1内でバンプ高さを容易に変えることができることから、例えばバンプと接合する基板9側の表面電極(バンプ接合部)10の高さ位置がこれら表面電極間で異なる場合に、その高さ位置に合わせてそれぞれ高さの異なるバンプを形成することができ、したがってバンプと接合する側となる基板の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを形成することができる。すなわち、基板側の形状的あるいは材質的制約を大きく緩和し、新たな基板構造にも適用することができる。
また、このような高さの異なるバンプ6a、6fを有したデバイスにあっては、バンプと接合する側の形状的あるいは材質的な制約が大きく緩和されていることから、高い設計自由度を有するものとなる。
【0048】
図8(b)は、新たな基板構造の一例を説明するための図であり、図8(b)中符号60はTAB等のフィルム状の基板である。この基板60にはその表面に電極61が、裏面に電極62がそれぞれ形成されている。また、この基板60には、裏面側の電極62を形成した位置に貫通孔60aが形成されており、これによってこの電極62の内面が貫通孔60a内に臨むようになっている。
このような基板60に対し、図8(a)に示したICチップ1を、その高いバンプ6aが前記貫通孔60a内に対向し、低いバンプ6fが前記電極61に対向するように位置合わせする。そして、この状態から基板60に対してICチップ1を突き合わせ、加圧・加熱することにより、図8(c)に示すように高いバンプ6aが基板60裏面側にて電極62に接合し、低いバンプ6fが表面側にて電極61に接合する新たな基板構造のデバイスが得られる。
このようなデバイスにあっては、配線を引き回すことなく基板60の表裏両面にICチップ1の各バンプを接合することができることから、集積化や生産性などの点でより有利になる。
【0049】
(実施形態8)
この実施形態8が前記の実施形態7と異なるところは、バンプを複数形成する場合に、液滴吐出法による金属分散液の吐出回数を変えるのでなく、一回の液滴吐出量を変えるようにし、これによってバンプ間でその高さでなく外径を変えた点にある。
すなわち、本実施形態では、液滴吐出ヘッド34における圧電素子20への印可電圧を適宜に変化させることにより、金属分散液の一回の吐出量を変化させ、これにより滴下された金属分散液の液滴サイズ、すなわちその外径を変化させることができるのを利用し、図10に示すように同一のICチップ1内(すなわち切断前の多数のICチップを形成したウエハ内)に、外径の異なるバンプ6a、6gを形成する。
【0050】
前記実施形態1では、液滴吐出ヘッド34の圧電素子20に19Vの電圧を印可し、これにより着弾サイズが外径35μmとなる液滴の吐出を行ったが、印可電圧を21Vに変えたところ、着弾サイズが外径41μmとなり、印可電圧を23Vに変えたところ、着弾サイズが外径50μmとなり、印可電圧を25Vに変えたところ、着弾サイズが外径65μmとなった。
【0051】
このようなバンプの形成方法にあっては、同一のICチップ1内でバンプの外径を容易に変えることができることから、例えばバンプと接合する基板9側の表面電極(バンプ接合部)10の大きさがこれら表面電極間で異なる場合に、その大きさに合わせてそれぞれ外径の異なるバンプを形成することができ、したがってバンプと接合する側となる基板の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを形成することができる。すなわち、実施形態7の場合と同様、基板側の形状的あるいは材質的制約を大きく緩和し、新たな基板構造にも適用することができる。
また、このような外径の異なるバンプ6a、6gを有したデバイスにあっては、バンプと接合する側の形状的あるいは材質的な制約が大きく緩和されていることから、高い設計自由度を有するものとなる。
【0052】
(実施形態9)
この実施形態9が前記の実施形態1と異なるところは、実施形態8で示したように一回の液滴吐出量を変えることでバンプの外径を変えることができるのを利用し、下部と上部とで外径の異なるバンプを形成するようにした点である。
すなわち、本実施形態ではまず、液滴吐出ヘッド34における圧電素子20への印可電圧を例えば25Vとして、図11(a)に示すように液滴吐出ヘッド34からパッド2上に金属分散液4を吐出し、乾燥する。そして、これを所定回数繰り返した後、液滴吐出ヘッド34における圧電素子20への印可電圧を例えば19Vに下げ、金属分散液4の一回の吐出量を少なくして再度吐出する。すると、滴下された液滴は、吐出量が小さいことによって図11(b)に示すようにそのサイズ(外径)が先に吐出された液滴のサイズより小さくなる。続いて、滴下した液滴を乾燥した後、これら吐出・乾燥を所定回数繰り返す。その後、実施形態1と同様にして焼成することにより、図11(c)に示すように下部の外径が約65μmと大きく、上部の外径が約35μmと小さいバンプ6hを形成する。
【0053】
このようなバンプの形成方法にあっては、例えばこのバンプを異方性導電膜に接合させる場合に、特に下部に比べ上部の外径が小さいことから、この上部が異方性導電膜をより強固に押圧するようになり、したがって異方性導電膜との機械的、電気的結合がより確実になる。
【0054】
(実施形態10)
この実施形態10が前記の実施形態1と異なるところは、ICチップ(半導体装置)1側にバンプを形成するのでなく、基板(基体)側にバンプを形成するようにした点である。
すなわち、本実施形態では、図12(a)に示すように基板9の表面電極(バンプ形成部)10上に、前記実施形態1〜9に示したいずれかの方法でバンプ6を形成する。そして、この基板9上にICチップ1を持ち上げ、さらにICチップ1のパッド2を基板9上のバンプ6にそれぞれ対向するよう位置合わせし、次いで、図12(b)に示すようにICチップ1を基板9上に載せて加圧・加熱することにより、バンプ6をパッド2に接合・溶着する。その後、バンプ6を冷却固化してICチップ1を基板上に実装し、これにより本発明のデバイス11を得る。
【0055】
このようなバンプの形成方法にあっては、前述したように装置として特に高価なものが必要とならず、また工程数も少ないことから装置の種類も少なくてすみ、さらにフォトマスクなどの消耗品も必要としないことなどから、従来に比べコストを格段に低減することができる。また、液滴吐出法により金属分散液を所望箇所に必要量のみ吐出することができるので、材料が無駄になることがほとんどなく、さらに、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じないことから産業廃棄物を最少限に抑えることができる。
また、得られたデバイスにあっても、コスト低減化がなされたものとなり、また、環境的に有利な方法で得られるものとなる。
なお、本実施形態では基板(基体)側にのみバンプを形成するようにしたが、ICチップ(半導体装置)1側にバンプを形成し、かつ基板(基体)側にもバンプを形成するようにしてもよいのはもちろんである。
【0056】
次に、本発明の電子機器を説明する。本発明の電子機器は、前記のデバイスを備えたものである。
図13は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図13において、符号1200は情報処理装置、符号1201はキーボードなどの入力部、符号1202は表示部、符号1203は情報処理装置本体を示している。これらは、いずれも本発明のバンプが形成されていることにより、本発明のデバイスとなっている。
図13に示した電子機器は、前記デバイスを備えているので、
また、得られたデバイスにあっても、コスト的にも環境的にも有利なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)、(b)は液滴吐出ヘッドを示す図である。
【図2】(a)〜(d)は実施形態1を説明するための図である。
【図3】(a)、(b)は実施形態2を説明するための図である。
【図4】(a)〜(c)は実施形態3を説明するための図である。
【図5】(a)〜(c)は実施形態4を説明するための図である。
【図6】(a)〜(d)は実施形態5を説明するための図である。
【図7】(a)、(b)は実施形態6を説明するための図である。
【図8】(a)〜(c)は実施形態7を説明するための図である。
【図9】吐出回数とバンプの高さとの関係を示すグラフである。
【図10】実施形態8を説明するための図である。
【図11】(a)〜(c)は実施形態9を説明するための図である。
【図12】(a)〜(c)は実施形態10を説明するための図である。
【図13】本発明の電子機器の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1…ICチップ(半導体装置)、2…パッド(バンプ形成部)、
4、4a、4b…金属分散液、6、6a〜6h…バンプ、7…バンプ台、
8…接合部、9…基板(基体)、10…表面電極(バンプ形成部)、
11…デバイス、51…樹脂液、53…バンプコア、54…金属膜、
55…接合部、56…凸部
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種のデバイス等に用いられるバンプの形成方法、このような方法によって得られるバンプを有したデバイス、及び電子機器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、各種のデバイスにおいては、これを構成する半導体装置の実装を、リードフレームを利用して行ったり、またはんだバンプ等の外部接続端子を利用して行っている。外部接続端子を利用するものとしては、例えばCSP(Chip Size Package またはChip Scale Package)が知られており、このCSPでは、半導体ベアチップ表面のパッドに外部接続端子(バンプ)を直接形成し、基板にフリップチップ実装を行うようにしている。したがってCSPは、実装面積が最小限に抑えられ、実装面の限られた製品、あるいは携帯機器等、小型化が要求される各種デバイスに使用されている。
【0003】
ところで、従来のICチップ等を備えたデバイスにおけるバンプは、例えばスパッタ法で導電材料を成膜し、続いて得られた導電膜をフォトリソグラフィー法(フォトレジスト塗布、露光、現像)でパターニングし、さらにパターニング後の導電膜(シード)上にめっき法でバンプ材料を設けるなどの一連の処理工程により、金属等のバンプ材料が外部接続用の電極パッド上に設けられバンプ形状に形成されて得られている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平5−206141号公報(従来技術)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したバンプの形成方法では、工程数が多くそれぞれの工程で専用装置が必要となることなどから、コストが高く、また、フォトリソ工程やめっき工程では大量の廃液が発生することから、これら廃液等の廃棄物が多く出てしまうといった課題がある。
【0006】
すなわち、前述したバンプの形成方法では、スパッタ装置、スピンコート、露光装置、現像装置、めっき装置、エッチング装置などが必要となり、特にスパッタ装置や露光装置はその装置コストが高いことから、装置コスト(イニシャルコスト)が高くなってしまう。
また、スパッタ工程ではスパッタ装置の高真空維持のため真空ポンプを常時稼働させておく必要があり、さらにフォトリソ工程では露光用のフォトマスクが必要となるなど、ランニングコストも高くなってしまう。特に、露光用のフォトマスクは製品毎に専用のものが必要であり、コスト上昇、長納期の要因となっている。
また、フォトリソ工程やめっき工程では、レジスト塗布、現像、電解めっき、エッチング等により、それぞれにレジスト廃液、現像廃液、めっき廃液などの産業廃棄物が生じてしまい、その量も少なくないことから、結果として多量の廃棄物が出てしまっている。
【0007】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、コストを低く抑えることができ、また産業廃棄物も最少限に抑えることのできるバンプの形成方法、さらにこのような方法によって得られるバンプを有したデバイス、及び電子機器を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明のバンプの形成方法は、基体又は半導体装置のバンプ形成部に、金属微粒子を分散させてなる金属分散液を液滴吐出法によって設け、次いで、前記バンプ形成部に設けられた金属分散液を熱処理して金属製のバンプを形成することを特徴としている。
このバンプの形成方法によれば、液滴吐出法によって金属分散液をバンプ形成部に吐出し、さらに熱処理してバンプを形成するので、装置として特に高価なものが必要とならず、また工程数も少ないことから装置の種類も少なくてすみ、さらにフォトマスクなどの消耗品も必要としないことなどから、従来に比べコストが格段に低減される。また、液滴吐出法により金属分散液を所望箇所に必要量のみ吐出することができるので、材料が無駄になることがほとんどなく、さらに、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じないことから産業廃棄物が最少限に抑えられる。
【0009】
また、前記バンプの形成方法においては、前記金属分散液として金属の種類が異なる複数種のものを用い、異なる金属が積層されてなるバンプを形成するのが好ましい。
このようにすれば、特に接合部となるバンプ表層部に例えば低抵抗で接合性に優れた金を用い、その下層には比較的安価な金属を用いることで、全体のコストを安くし、しかも接合性等に優れたバンプを形成することができる。
【0010】
また、前記バンプの形成方法においては、前記金属分散液を液滴吐出法によって設けるに先立ち、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部に、導電性のバンプ台を形成し、その後、前記金属分散液を液滴吐出法によって前記バンプ台上に設けるのが好ましい。
このようにすれば、例えばバンプ台を従来と同様にして形成しておき、その上に液滴吐出法で金属分散液を吐出し熱処理することにより、バンプ表層部に例えば低抵抗で接合性に優れた金の接合部を容易に形成することができる。
【0011】
また、前記バンプの形成方法においては、前記金属分散液を液滴吐出法によって設けるに先立ち、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部に、樹脂製のバンプコアを形成し、その後、前記金属分散液を液滴吐出法によって前記バンプコアを覆いかつ前記バンプ形成部に導通した状態に設けるのが好ましい。
このようにすれば、樹脂製のバンプコアの表層部にのみ金属分散液を設けるので、樹脂に比べ高価な金属分散液の使用量を少なくすることができ、したがってバンプの形成に要する材料コストを低減することができる。
【0012】
なお、このバンプの形成方法においては、前記バンプ形成部を、その中央部に凸部を形成した状態に形成しておき、その後、該バンプ形成部の凸部上に前記樹脂製のバンプコアを形成するのが好ましい。
このようにすれば、前記凸部によってバンプ形成部のバンプ形成面とバンプコアの底部との間に隙間が形成されるので、バンプコアを覆って設ける金属分散液が前記隙間内に入り込むようになり、したがってこの金属分散液からなる金属膜とバンプ形成部とがより良好に接触し導通するようになる。
【0013】
また、前記バンプの形成方法においては、前記金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の液滴吐出回数を複数回とし、一の回の液滴吐出量と他の回の液滴吐出量とを異ならせることにより、少なくとも下部と上部とで外径の異なるバンプを形成することを特徴としている。
例えばこのバンプを異方性導電膜に接合させる場合に、特に下部に比べ上部の外径を小さくしておけば、この上部が異方性導電膜をより強固に押圧するようになり、したがって異方性導電膜との機械的、電気的結合が向上するようになる。
【0014】
また、前記バンプの形成方法においては、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部が複数あり、それぞれのバンプ形成部にバンプを形成する場合に、金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の液滴吐出回数を、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とで異ならせることにより、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とでそれぞれ形成するバンプの高さを異ならせるのが好ましい。
このようにすれば、バンプと接合する側のバンプ接合部の高さ位置がこれらバンプ接合部間で異なる場合に、その高さ位置に合わせてそれぞれ高さの異なるバンプを形成することができ、したがってバンプと接合する側となる基体又は半導体装置の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを形成することができる。
【0015】
また、前記バンプの形成方法においては、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部が複数あり、それぞれのバンプ形成部にバンプを形成する場合に、金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の一回の液滴吐出量を、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とで異ならせることにより、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とでそれぞれ形成するバンプの外径を異ならせるのが好ましい。
このようにすれば、バンプと接合する側のバンプ接合部の大きさ(面積)がこれらバンプ接合部間で異なる場合に、その大きさに合わせてそれぞれ外径の異なるバンプを形成することができ、したがってバンプと接合する側となる基体又は半導体装置の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを形成することができる。
【0016】
本発明のデバイスは、基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、前記バンプが、樹脂製のバンプコアの表面に金属膜が設けられてなることを特徴としている。
このデバイスによれば、そのバンプが高価な金属の少ない構造となっているので、バンプの材料コストが低減し、したがって全体のコスト低減化が図られたものとなる。
【0017】
本発明の別のデバイスは、基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、前記バンプが複数設けられてなり、これらバンプのうちの一つが少なくとも他の一つと異なる高さに形成されてなることを特徴としている。
このデバイスによれば、例えばバンプと接合する側のバンプ接合部の高さ位置がこれらバンプ接合部間で異なる場合に、その高さ位置に合わせてそれぞれ高さが異なるバンプが形成されているので、バンプと接合する側となる基体又は半導体装置の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを有するものとなり、したがってデバイス自体が高い設計自由度を有するものとなる。
【0018】
本発明の別のデバイスは、基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、前記バンプが複数設けられてなり、これらバンプのうちの一つが少なくとも他の一つと異なる外径に形成されてなることを特徴としている。
このデバイスによれば、例えばバンプと接合する側のバンプ接合部の大きさ(面積)がこれらバンプ接合部間で異なる場合に、その大きさに合わせてそれぞれ外径が異なるバンプが形成されているので、バンプと接合する側となる基体又は半導体装置の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを有するものとなり、したがってデバイス自体が高い設計自由度を有するものとなる。
【0019】
本発明の別のデバイスは、基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、前記バンプが、前記のバンプの形成方法によって得られたものであることを特徴としている。
このデバイスによれば、前述したように従来に比べ格段にコストが低減された方法によってバンプが形成されているので、デバイス自体のコスト低減化が可能になる。また、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じない方法でバンプが形成されているので、デバイス自体も環境的に有利な方法で得られるものとなる。
【0020】
本発明の電子機器では、前記デバイスを備えてなることを特徴としている。
この電子機器によれば、デバイス自体がコスト低減化されていることにより、電子機器もコストが低減化されたものとなる。また、デバイス自体が環境的に有利な方法で得られているので、電子機器も環境的に有利な方法で得られるようになる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
本発明は、回路基板などからなる基体上に、ICチップ等の半導体装置を実装する際に用いるバンプの形成方法に係るもので、特に、インクジェット法などの液滴吐出法によってバンプ材料を吐出し、バンプ形成部上にバンプを形成するようにした方法である。
【0022】
液滴吐出法に用いられる液滴吐出装置は、例えば図1(a)、(b)に示す液滴吐出ヘッド34を備えたものである。すなわち、液滴吐出ヘッド34は、図1(a)に示すように例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部は液状材料で満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15から液状材料を噴射するためのノズル孔18が縦横に整列させられた状態で複数形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16に液状材料を供給するための孔19が形成されている。
【0023】
また、振動板13の空間15に対向する面と反対側の面上には、図1(b)に示すように圧電素子(ピエゾ素子)20が接合されている。この圧電素子20は、一対の電極21の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子20が接合されている振動板13は、圧電素子20と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間15の容積が増大するようになっている。したがって、空間15内に増大した容積分に相当する液状材料が、液溜まり16から供給口17を介して流入する。また、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13はともに元の形状に戻る。したがって、空間15も元の容積に戻ることから、空間15内部の液状材料の圧力が上昇し、ノズル孔18から基板に向けて液状材料の液滴22が吐出される。
【0024】
このような液滴吐出ヘッド34によるバンプの形成方法の具体例を実施形態として説明する。
(実施形態1)
まず、図2(a)に示すように切断前の多数のICチップ(半導体装置)1を形成したウエハ(図示せず)を用意する。ICチップ1には、予めパッド(バンプ形成部)2が複数形成されている。これらパッド2は、例えば50μm×50μmの大きさのアルミニウム電極2a上に、無電解めっき法によってNi層とAu層との積層膜2bが形成されてなるもので、絶縁体膜3によってそれぞれ独立した状態に形成されたものである。なお、積層膜2bにおけるNi層はバリア層として機能するものであり、Au層は接続層として機能するものである。
【0025】
このようなICチップ1のパッド2上にバンプを形成するには、前記ウエハを液滴吐出装置のワーク台上に載せ、さらに前記ウエハに記録された位置決めマークによって位置決めを行った後、図2(b)に示すように、前記の液滴吐出ヘッド34から登録された位置情報にしたがって金属分散液4を各パッド2上に吐出する。ここで、吐出する金属分散液4は、金属微粒子を分散媒に分散させてなるもので、具体的には金微粒子や銀微粒子を分散媒としてのα−テルピネオールやトルエンに分散させてなるものである。
なお、本実施形態では金微粒子をα−テルピネオールに分散させた分散液を用いるものとする。
【0026】
このような金属分散液4を、各パッド2毎に所定量ずつ、本実施形態では図2(b)に示したように一滴ずつ吐出する。なお、ここでは吐出した一滴の量を約10ngとした。すると、パッド2上に吐出された金属分散液4は、外径約40μm、高さ約3μmのものとなった。このようにして各パッド2毎に金属分散液4を一滴ずつ吐出したら、一旦乾燥して金属分散液4の表面を固化する。ここでの乾燥方法としては、約100℃の熱風を15秒程度あてるといった方法を採用したが、これに限定されることなく、乾燥常温空気等による送風乾燥やランプ、オーブンによる乾燥等も採用可能である。このような乾燥を行うことにより、この後さらに金属分散液4を重ね塗りした際、重ね塗りした金属分散液4が下層の金属分散液4に混ざり合ってしまい、パッド2上の金属分散液4の外径が大きくなり過ぎたり、甚だしい場合にはパッド2上から外に流れ出てしまうのを防止し、かつ所望するバンプ高さを得るためである。
【0027】
そして、液滴吐出ヘッド34による所定量の吐出、乾燥を予め決めた回数繰り返すことにより、図2(c)に示すように金属分散液4とその固形分、すなわち金属分5をパッド2上に所定量設ける。
次いで、常温大気中での送風により乾燥し、金属分散液4および金属分5中の分散媒を揮散させる。その後、熱処理として熱風乾燥炉により290〜310℃で1時間焼成することにより、図2(d)に示すように金製のバンプ6aを形成し、さらにウエハを切断することにより、図3(a)に示すようにバンプ6aを形成したICチップ1を得る。
本実施形態では、前記の金属分散液4の吐出・乾燥を15回繰り返すことにより、得られたバンプ6aは、その外径が35μm、高さが25μmとなり、バンプとして良好な大きさ・形状となった。また、その電気抵抗は3〜5μΩ・cm程度となり、バンプとして良好な導電性を有していることが確認された。
【0028】
また、バンプ6aを形成したICチップ1を基板上に実装してデバイスを得るには、まず、図3(a)に示したように、基板9上にICチップ1を持ち上げ、さらにICチップ1のバンプ6aを基板9上の表面電極10にそれぞれ対向するよう位置合わせし、次いで、図3(b)に示すようにICチップ1を基板9上に載せて加圧・加熱することにより、バンプ6aを表面電極10に接合・溶着する。その後、バンプ6aを冷却固化してICチップ1を基板上に実装し、これにより本発明のデバイス11を得る。
【0029】
このようなバンプの形成方法にあっては、装置として例えばスパッタ装置や露光装置のような高価なものを必要とせず、また工程数も少なく、さらにフォトマスクなどの消耗品も必要としないことなどから、従来に比べコストを格段に低減することができる。また、金属分散液4を所望箇所に必要量のみ吐出することができるので、材料が無駄になることがほとんどなく、さらに、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じないことから生じる産業廃棄物を最少限に抑えることができる。また、特に液滴吐出ヘッド34からの金属分散液4の吐出と乾燥との繰り返し回数を適宜に設定することにより、得られるバンプ6aの高さを任意に形成することができ、したがって実装を行うための基体やICチップ1の構造等に応じてより良好な高さのバンプ6aを容易に形成することができる。
【0030】
また、このようにして得られたデバイス11にあっては、従来に比べ格段にコストが低減された方法によってバンプ6aが形成されているので、デバイス11自体もコスト低減化がなされたものとなる。また、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じない方法でバンプ6bが形成されているので、デバイス11自体も環境的に有利な方法で得られるものとなる。
【0031】
(実施形態2)
この実施形態2が前記の実施形態1と異なるところは、液滴吐出ヘッド34から吐出する金属分散液4として、金属の種類が異なる複数種のものを用いる点にある。
すなわち、本実施形態では、図4(a)に示すように、前記実施形態1と同様にしてパッド2上に第1の金属分散液4aを吐出し続いて乾燥し、さらにこの吐出・乾燥を予め設定した所定回数行うことにより、バンプとしての必要なサイズ(必要な高さと外径)のバンプ台7を形成する。ここでは、実施形態1と同様の条件で第1の金属分散液4aを吐出・乾燥し、これを15回繰り返した。なお、第1の金属分散液4aとしては、安価なものを用いるのが好ましく、例えば前記の銀微粒子を分散媒(例えばα−テルピネオール)に分散させた分散液が用いられる。
【0032】
次いで、図4(b)に示すように、液滴吐出ヘッド34から前記バンプ台7上に第2の金属分散液4bを吐出し、乾燥する。この第2の金属分散液4bとしては、金属接合に有利な金属、例えば前記の金分散液が好適に用いられる。そして、この第2の金属分散液4bの吐出・乾燥を2回繰り返し、その後、実施形態1と同様の条件で焼成し、図4(c)に示すようにバンプ6bを形成した。このようにして得られたバンプ6bにおいて、第1の金属分散液4aからなるバンプ台7は、実施形態1と同様に外径が35μm、高さが25μmとなった。また、このバンプ台7の上には、第2の金属分散液4bからなる金製の接合部8が厚さ3μm程度に形成されていた。
【0033】
このようなバンプの形成方法にあっては、特にバンプ6bの表層部に低抵抗で接合性に優れた金を用いて接合部8を形成し、その下層のバンプ台7として金に比べ安価な銀を用いたことにより、全体のコストを安くし、しかも金−金接合や金−錫接合を可能にする接合性等に優れたバンプ6bを形成することができる。
なお、本実施形態ではバンプ台7、接合部8の金属材料として、それぞれ銀、金を用いたが、液滴吐出法で吐出が可能な金属分散液であり、かつ電気抵抗等の特性に問題がない金属であればこれら以外の金属からなる分散液を用いてもよく、例えば錫微粒子を分散してなる分散液なども使用可能である。
また、本実施形態では第1の金属分散液4aからなる層と第2の金属分散液4bからなる層を同時に焼成し、バンプ台7、接合部8を同時に形成してバンプ6bとしたが、第1の金属分散液4aからなる層の焼成と第2の金属分散液4bからなる層の焼成とをそれぞれ別に行い、バンプ台7、接合部8をそれぞれ別に形成するようにしてもよい。
【0034】
(実施形態3)
この実施形態3が前記の実施形態2と異なるところは、従来法で導電性のバンプ台を形成し、その後、液滴吐出ヘッド34から金属分散液4を吐出して接合部を形成する点にある。
すなわち、本実施形態では、図5(a)に示すように、パッド2上に従来法によってNiやCu等からなるバンプ台50を形成する。次いで、図5(b)に示すように、前記実施形態2と同様にして金属分散液4bを吐出・乾燥する。その後、前記実施形態2と同様にして焼成することにより、図5(c)に示すようにバンプ台50上に例えば金からなる接合部8を形成し、これによってバンプ6cを形成する。
【0035】
このようなバンプの形成方法にあっては、バンプ台50を従来と同様にして形成しておき、その上部にのみ例えば低抵抗で接合性に優れた金の接合部8を形成するので、バンプ台50の形成については既存のプロセスをそのまま用いることができ、しかも接合性に優れた金の接合部8を液滴吐出法で容易に形成することができる。
【0036】
(実施形態4)
この実施形態4が前記の実施形態1と異なるところは、パッド2上に樹脂製のバンプコアを形成し、その後、このバンプコアを覆った状態に前記金属分散液を液滴吐出法で吐出塗布する点にある。
すなわち、本実施形態では、図6(a)に示すように、液滴吐出ヘッド34よりパッド2上に樹脂液51を吐出する。この樹脂液51としては、例えばポリイミドなどの光硬化性(紫外線照射硬化性)の樹脂を溶媒に溶解し、あるいは分散媒に分散させたものが用いられる。なお、この樹脂液51の吐出にあたっても、前記実施形態と同様に吐出・乾燥を所定回数繰り返し、所望の高さに形成する。
【0037】
次いで、図6(b)に示すように、樹脂液51からなる樹脂51aに紫外線照射ランプ52より紫外線を照射し、樹脂51aを硬化させてバンプコア53とする。その後、図6(c)に示すように、前記バンプコア53を覆いかつ前記パッド2に導通した状態となるように金属分散液4bを吐出し、乾燥する。そして、これを所定回数繰り返した後、焼成することにより、バンプコア53の表面を覆いかつパッド2に導通した状態の金属膜54を形成し、バンプ6dを形成する。
なお、このようにして金属膜54を形成した後、特に接合部となる金属膜54の上端部を厚くするべく、再度金属膜54上に金属分散液4bを吐出・乾燥し、さらに焼成することにより、図6(d)に示すように金属膜54上に接合部55を形成してもよい。
【0038】
このようなバンプの形成方法にあっては、樹脂製のバンプコア53の表層部にのみ金属膜54を形成するので、樹脂に比べ高価な金属分散液4bの使用量を少なくすることができ、したがってバンプ6dの形成に要する材料コストを低減することができる。また、金属膜54形成後に接合部55を形成すれば、接合部としての膜厚が厚くなることにより、接合の信頼性を高めることができる。
また、このようにして得られたバンプ6dを有してなるデバイスにあっては、バンプ6dが高価な金属の少ない構造となっているので、バンプ6dの材料コストが低減し、したがって全体のコスト低減化が図られたものとなる。
【0039】
(実施形態5)
この実施形態5が前記の実施形態4と異なるところは、パッド2上に樹脂製のバンプコアを形成するに先立ち、パッド2をその中央部に凸部がある状態に形成しておき、この凸部上に前記樹脂製のバンプコアを形成する点である。
すなわち、本実施形態では、図7(a)に示すようにパッド2の中央部に積層膜2bを形成する際、その中央部を上に凸に形成して凸部56を形成する。この凸部56の形成法としては特に限定されることなく従来周知の方法が採用可能であり、例えば積層膜2bを厚く形成した後、周辺部をエッチング除去することによって中央部に凸部56を残すような方法が採用可能である。
【0040】
次いで、前記実施形態4と同様にして図7(b)に示すように凸部56上にバンプコア53を形成し、続いてこのバンプコア53を覆いかつ前記パッド2に導通した状態となるように金属分散液4bを吐出・乾燥し、さらに焼成してバンプ6eを形成する。
なお、この実施形態においても、前記実施形態4と同様にして金属膜54上に接合部55を形成してもよい。
【0041】
このようなバンプの形成方法にあっては、前記凸部56によってパッド2のバンプ形成面とバンプコア53の底部との間に隙間が形成されるので、バンプコア53を覆って設ける金属分散液4bを前記隙間内に容易に入り込ませることができ、したがってこの金属分散液4bからなる金属膜54とパッド2とをより良好に接触させることができ、これにより電気的導通の信頼性を高めることができる。
【0042】
(実施形態6)
この実施形態6が前記の実施形態1と異なるところは、特に焼成条件を変えることにより、得られるバンプの粗密、すなわちその密度を変化させるようにした点である。
すなわち、本実施形態では、前記実施形態1と同様にして図2(c)に示したようにパッド2上に金属分5を所定量設けた後、熱処理として、熱風乾燥炉により200〜220℃で2時間焼成することにより、図2(d)に示したように金製のバンプ6aを形成した。このようにして得られたバンプ6aの高さを測定したところ、実施形態1のバンプ6aに比べ5μm高くなっていた。
【0043】
これより、焼成温度を高くすればバンプを密に、すなわちその密度を高く形成することができ、逆に焼成温度を低くしてその分焼成時間を長くすればバンプを粗に、すなわちその密度を低く形成することができることが分かった。そして、このように焼成温度を変えることによってバンプの密度を制御することができることから、例えばバンプの密度を高くすることによってその圧縮方向の変形量を少なくすることができ、また密度を低くすることによってその圧縮方向の変形量を大きくすることができる。
【0044】
ところで、ICチップ1を接続する基板9側が例えばフィルム状の基板であり、バンプをそのリードなどに接合する場合、ICチップのバンプ高さとリードとの間で接合の均一性を保つのが困難である。
そのような場合に、例えばバンプを低密度に形成し、その圧縮方向での変形量を大きくしておくことにより、全てのバンプを対象のリード等と確実に接続できるよう、その押し付けを可能にすることができる。
なお、焼成温度を200℃未満にするのは、金属分5の金属化が不十分となり、比抵抗が10−4Ω・cm以上になって配線抵抗が高くなることから好ましくない。
【0045】
(実施形態7)
この実施形態7が前記の実施形態1と異なるところは、バンプを複数形成する場合に、液滴吐出法による金属分散液の吐出回数を変えてバンプ間でその高さを変えた点にある。
すなわち、本実施形態では、前述したように金属分散液4の吐出と乾燥との繰り返し回数を変えることにより、得られるバンプ6aの高さを任意に形成することができることを利用し、図8(a)に示すように同一のICチップ1内(すなわち切断前の多数のICチップを形成したウエハ内)に、高さの異なるバンプ6a、6fを形成する。
【0046】
図9に、金属分散液4の吐出回数と得られるバンプの高さとの関係の一例を示す。なお、金属分散液4の一回の吐出量は10ngとし、得られるバンプについてはその外径が約35μmとなるようにした。
図9に示すように、金属分散液の吐出回数を変えることにより、得られるバンプの高さを1μm〜2μm程度の範囲で制御することができた。
【0047】
このようなバンプの形成方法にあっては、同一のICチップ1内でバンプ高さを容易に変えることができることから、例えばバンプと接合する基板9側の表面電極(バンプ接合部)10の高さ位置がこれら表面電極間で異なる場合に、その高さ位置に合わせてそれぞれ高さの異なるバンプを形成することができ、したがってバンプと接合する側となる基板の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを形成することができる。すなわち、基板側の形状的あるいは材質的制約を大きく緩和し、新たな基板構造にも適用することができる。
また、このような高さの異なるバンプ6a、6fを有したデバイスにあっては、バンプと接合する側の形状的あるいは材質的な制約が大きく緩和されていることから、高い設計自由度を有するものとなる。
【0048】
図8(b)は、新たな基板構造の一例を説明するための図であり、図8(b)中符号60はTAB等のフィルム状の基板である。この基板60にはその表面に電極61が、裏面に電極62がそれぞれ形成されている。また、この基板60には、裏面側の電極62を形成した位置に貫通孔60aが形成されており、これによってこの電極62の内面が貫通孔60a内に臨むようになっている。
このような基板60に対し、図8(a)に示したICチップ1を、その高いバンプ6aが前記貫通孔60a内に対向し、低いバンプ6fが前記電極61に対向するように位置合わせする。そして、この状態から基板60に対してICチップ1を突き合わせ、加圧・加熱することにより、図8(c)に示すように高いバンプ6aが基板60裏面側にて電極62に接合し、低いバンプ6fが表面側にて電極61に接合する新たな基板構造のデバイスが得られる。
このようなデバイスにあっては、配線を引き回すことなく基板60の表裏両面にICチップ1の各バンプを接合することができることから、集積化や生産性などの点でより有利になる。
【0049】
(実施形態8)
この実施形態8が前記の実施形態7と異なるところは、バンプを複数形成する場合に、液滴吐出法による金属分散液の吐出回数を変えるのでなく、一回の液滴吐出量を変えるようにし、これによってバンプ間でその高さでなく外径を変えた点にある。
すなわち、本実施形態では、液滴吐出ヘッド34における圧電素子20への印可電圧を適宜に変化させることにより、金属分散液の一回の吐出量を変化させ、これにより滴下された金属分散液の液滴サイズ、すなわちその外径を変化させることができるのを利用し、図10に示すように同一のICチップ1内(すなわち切断前の多数のICチップを形成したウエハ内)に、外径の異なるバンプ6a、6gを形成する。
【0050】
前記実施形態1では、液滴吐出ヘッド34の圧電素子20に19Vの電圧を印可し、これにより着弾サイズが外径35μmとなる液滴の吐出を行ったが、印可電圧を21Vに変えたところ、着弾サイズが外径41μmとなり、印可電圧を23Vに変えたところ、着弾サイズが外径50μmとなり、印可電圧を25Vに変えたところ、着弾サイズが外径65μmとなった。
【0051】
このようなバンプの形成方法にあっては、同一のICチップ1内でバンプの外径を容易に変えることができることから、例えばバンプと接合する基板9側の表面電極(バンプ接合部)10の大きさがこれら表面電極間で異なる場合に、その大きさに合わせてそれぞれ外径の異なるバンプを形成することができ、したがってバンプと接合する側となる基板の形状や構造に応じた高い自由度のバンプを形成することができる。すなわち、実施形態7の場合と同様、基板側の形状的あるいは材質的制約を大きく緩和し、新たな基板構造にも適用することができる。
また、このような外径の異なるバンプ6a、6gを有したデバイスにあっては、バンプと接合する側の形状的あるいは材質的な制約が大きく緩和されていることから、高い設計自由度を有するものとなる。
【0052】
(実施形態9)
この実施形態9が前記の実施形態1と異なるところは、実施形態8で示したように一回の液滴吐出量を変えることでバンプの外径を変えることができるのを利用し、下部と上部とで外径の異なるバンプを形成するようにした点である。
すなわち、本実施形態ではまず、液滴吐出ヘッド34における圧電素子20への印可電圧を例えば25Vとして、図11(a)に示すように液滴吐出ヘッド34からパッド2上に金属分散液4を吐出し、乾燥する。そして、これを所定回数繰り返した後、液滴吐出ヘッド34における圧電素子20への印可電圧を例えば19Vに下げ、金属分散液4の一回の吐出量を少なくして再度吐出する。すると、滴下された液滴は、吐出量が小さいことによって図11(b)に示すようにそのサイズ(外径)が先に吐出された液滴のサイズより小さくなる。続いて、滴下した液滴を乾燥した後、これら吐出・乾燥を所定回数繰り返す。その後、実施形態1と同様にして焼成することにより、図11(c)に示すように下部の外径が約65μmと大きく、上部の外径が約35μmと小さいバンプ6hを形成する。
【0053】
このようなバンプの形成方法にあっては、例えばこのバンプを異方性導電膜に接合させる場合に、特に下部に比べ上部の外径が小さいことから、この上部が異方性導電膜をより強固に押圧するようになり、したがって異方性導電膜との機械的、電気的結合がより確実になる。
【0054】
(実施形態10)
この実施形態10が前記の実施形態1と異なるところは、ICチップ(半導体装置)1側にバンプを形成するのでなく、基板(基体)側にバンプを形成するようにした点である。
すなわち、本実施形態では、図12(a)に示すように基板9の表面電極(バンプ形成部)10上に、前記実施形態1〜9に示したいずれかの方法でバンプ6を形成する。そして、この基板9上にICチップ1を持ち上げ、さらにICチップ1のパッド2を基板9上のバンプ6にそれぞれ対向するよう位置合わせし、次いで、図12(b)に示すようにICチップ1を基板9上に載せて加圧・加熱することにより、バンプ6をパッド2に接合・溶着する。その後、バンプ6を冷却固化してICチップ1を基板上に実装し、これにより本発明のデバイス11を得る。
【0055】
このようなバンプの形成方法にあっては、前述したように装置として特に高価なものが必要とならず、また工程数も少ないことから装置の種類も少なくてすみ、さらにフォトマスクなどの消耗品も必要としないことなどから、従来に比べコストを格段に低減することができる。また、液滴吐出法により金属分散液を所望箇所に必要量のみ吐出することができるので、材料が無駄になることがほとんどなく、さらに、廃液等の産業廃棄物もほとんど生じないことから産業廃棄物を最少限に抑えることができる。
また、得られたデバイスにあっても、コスト低減化がなされたものとなり、また、環境的に有利な方法で得られるものとなる。
なお、本実施形態では基板(基体)側にのみバンプを形成するようにしたが、ICチップ(半導体装置)1側にバンプを形成し、かつ基板(基体)側にもバンプを形成するようにしてもよいのはもちろんである。
【0056】
次に、本発明の電子機器を説明する。本発明の電子機器は、前記のデバイスを備えたものである。
図13は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図13において、符号1200は情報処理装置、符号1201はキーボードなどの入力部、符号1202は表示部、符号1203は情報処理装置本体を示している。これらは、いずれも本発明のバンプが形成されていることにより、本発明のデバイスとなっている。
図13に示した電子機器は、前記デバイスを備えているので、
また、得られたデバイスにあっても、コスト的にも環境的にも有利なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)、(b)は液滴吐出ヘッドを示す図である。
【図2】(a)〜(d)は実施形態1を説明するための図である。
【図3】(a)、(b)は実施形態2を説明するための図である。
【図4】(a)〜(c)は実施形態3を説明するための図である。
【図5】(a)〜(c)は実施形態4を説明するための図である。
【図6】(a)〜(d)は実施形態5を説明するための図である。
【図7】(a)、(b)は実施形態6を説明するための図である。
【図8】(a)〜(c)は実施形態7を説明するための図である。
【図9】吐出回数とバンプの高さとの関係を示すグラフである。
【図10】実施形態8を説明するための図である。
【図11】(a)〜(c)は実施形態9を説明するための図である。
【図12】(a)〜(c)は実施形態10を説明するための図である。
【図13】本発明の電子機器の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1…ICチップ(半導体装置)、2…パッド(バンプ形成部)、
4、4a、4b…金属分散液、6、6a〜6h…バンプ、7…バンプ台、
8…接合部、9…基板(基体)、10…表面電極(バンプ形成部)、
11…デバイス、51…樹脂液、53…バンプコア、54…金属膜、
55…接合部、56…凸部
Claims (13)
- 基体上に半導体装置を実装する際に用いるバンプの形成方法であって、
前記基体又は半導体装置のバンプ形成部に、金属微粒子を分散させてなる金属分散液を液滴吐出法によって設け、
次いで、前記バンプ形成部に設けられた金属分散液を熱処理して金属製のバンプを形成することを特徴とするバンプの形成方法。 - 前記金属分散液として金属の種類が異なる複数種のものを用い、異なる金属が積層されてなるバンプを形成することを特徴とする請求項1記載のバンプの形成方法。
- 前記金属分散液を液滴吐出法によって設けるに先立ち、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部に、導電性のバンプ台を形成し、
その後、前記金属分散液を液滴吐出法によって前記バンプ台上に設けることを特徴とする請求項1記載のバンプの形成方法。 - 前記金属分散液を液滴吐出法によって設けるに先立ち、前記基体又は半導体装置のバンプ形成部に、樹脂製のバンプコアを形成し、
その後、前記金属分散液を液滴吐出法によって前記バンプコアを覆いかつ前記バンプ形成部に導通した状態に設けることを特徴とする請求項1記載のバンプの形成方法。 - 前記バンプ形成部を、その中央部に凸部を形成した状態に形成しておき、その後、該バンプ形成部の凸部上に前記樹脂製のバンプコアを形成することを特徴とする請求項4記載のバンプの形成方法。
- 前記金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の液滴吐出回数を複数回とし、一の回の液滴吐出量と他の回の液滴吐出量とを異ならせることにより、少なくとも下部と上部とで外径の異なるバンプを形成することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のバンプの形成方法。
- 前記基体又は半導体装置のバンプ形成部が複数あり、それぞれのバンプ形成部にバンプを形成する場合に、
金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の液滴吐出回数を、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とで異ならせることにより、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とでそれぞれ形成するバンプの高さを異ならせることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のバンプの形成方法。 - 前記基体又は半導体装置のバンプ形成部が複数あり、それぞれのバンプ形成部にバンプを形成する場合に、
金属分散液を液滴吐出法によって設ける際の一回の液滴吐出量を、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とで異ならせることにより、一のバンプ形成部と他のバンプ形成部とでそれぞれ形成するバンプの外径を異ならせることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のバンプの形成方法。 - 基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、
前記バンプが、樹脂製のバンプコアの表面に金属膜が設けられてなることを特徴とするデバイス。 - 基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、
前記バンプが複数設けられてなり、これらバンプのうちの一つが少なくとも他の一つと異なる高さに形成されてなることを特徴とするデバイス。 - 基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、
前記バンプが複数設けられてなり、これらバンプのうちの一つが少なくとも他の一つと異なる外径に形成されてなることを特徴とするデバイス。 - 基体上にバンプを介して半導体装置が実装されてなるデバイスであって、
前記バンプが、請求項1記載のバンプの形成方法によって得られたものであることを特徴とするデバイス。 - 請求項9〜12のいずれかに記載のデバイスを備えてなることを特徴とする電子機器。
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