KR20180031335A - 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 ehd 방식의 배선용 3d 프린터 - Google Patents

유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 ehd 방식의 배선용 3d 프린터 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유연기판에 전기수력학적(EHD) 방식을 이용하여 미세 패터닝을 직접 인쇄할 수 있는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터에 관한 것이다.
본 발명에 따른 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터는, 베이스 프레임의 상부에 설치되어 유연기판을 지지 고정하는 스테이지; 상기 베이스 프레임의 일측에 설치되며 X축, Y축 및 Z축 레일로 이루어져 3축으로 이동되는 이송로봇; 상기 이송로봇의 일측에 복수개로 설치되는 EHD 헤드; 상기 EHD 헤드에 설치되며 내부에 수용된 금속 잉크에 인가되는 고전압과 금속 잉크 내의 유도된 전하와의 상호 작용을 통해 정전기력 방향으로 금속 잉크를 이동시켜 유연기판의 표면에 토출시키는 듀얼 노즐; 상기 이송로봇의 일측에 설치되어 유연기판의 표면에 미세 패터닝이 인쇄되는 상황을 실시간으로 모니터링하는 비전카메라; 상기 듀얼 노즐에 일정 압력으로 에어가 공급되도록 제어하는 에어 압력조절부; 상기 EHD 헤드의 후방 일측에 설치되며 유연기판의 표면에 토출된 금속 잉크를 저온 소결하는 저온소결부; 및 상기 이송로봇, 듀얼 노즐, 비전카메라, 에어 압력조절부 및 저온소결부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터{3D printer for wiring of Electro Hydro Dynamic type for fine patterned printing of the Flexible Printed Circuit Board}
본 발명은 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터에 관한 것이다.
더욱 구체적으로는, 유연기판에 전기수력학적(EHD) 방식을 이용하여 미세 패터닝을 직접 인쇄할 수 있는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터에 관한 것이다.
본 발명은, 원하는 패턴을 유연기판에 직접 인쇄하여 저온 소결하는 공정으로 이루어지는 2단계 공정으로 이루어짐으로써, 기존 패터닝 공정에 비해 제조공정을 단순화시킬 수 있는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터에 관한 것이다.
최근 휴대형 정보통신기기를 비롯한 각종 전자제품들이 경량, 슬림화됨에 따라 소자의 집적도가 매우 빠른 속도로 증가하고 있다.
전자제품 및 반도체 부품의 크기는 작아지는 반면 높은 성능이 요구됨에 따라 패키징 기술도 고집적화, 미세 피치화가 요구 되고 있다.
하지만 기존의 솔더볼 등을 이용한 접합 공정이 더 소형화되는데 어려움을 겪고 있기 때문에 패키징 공정에서 솔더 페이스트(Solder paste)의 스크린 프린팅 공정을 통한 접합의 소형화가 크게 요구되고 있다.
스크린 프린터는 인쇄 회로 기판 상에 형성된 칩, 배선 등의 패턴에 솔더 크림(Solder clream)과 같은 약액을 도포하는 장치이다. 상기 스크린 프린터는 개구부가 형성된 스텐실 마스크와 상기 스텐실 마스크의 상면에 약액을 도포하기 위한 스퀴지를 포함한다.
따라서, 인쇄 대상물인 인쇄 회로 기판이 상기 스텐실 마스크의 하부면에 접촉되고, 상기 스퀴지가 상기 마스크의 상부면에 제공된 상기 약액을 상기 스텐실 마스크의 개구부를 통하여 상기 약액을 압출시켜서 인쇄회로기판을 인쇄한다.
이러한 기술의 일예가 하기 문헌 1에 개시되어 있다.
하기 특허문헌 1에는 기판에 솔더 물질을 도포한 이후에, 기판의 외면 검사 및 스텐실 마스크의 클리닝 작업을 동시에 실시하여 스크린 프린팅 공정 시간을 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있는 스크린 프린터 및 이를 사용한 스크린 프린팅 방법에 대해 개시되어 있다.
그러나, 상술한 바와 같은 종래의 기술은 생산비가 높고 공정 시간이 길며 공정 단계가 많기 때문에 효율성이 낮다는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1575288호(2015.12.01 등록)
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 유연기판에 전기수력학적(EHD) 방식을 이용하여 미세 패터닝을 직접 인쇄할 수 있는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터를 제공하는데 목적이 있다.
또한, 원하는 패턴을 유연기판에 직접 인쇄하여 저온 소결하는 공정으로 이루어지는 2단계 공정으로 이루어짐으로써 높은 온도, 가스 사용, 용해 성장, 정렬 등의 공정으로 이루어진 기존 패터닝 공정에 비해 제조공정을 크게 단순화시킬 수 있는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터를 제공하는데 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터는, 베이스 프레임(10)의 상부에 설치되어 유연기판을 지지 고정하는 스테이지(20); 상기 베이스 프레임의 일측에 설치되며 X축, Y축 및 Z축 레일로 이루어져 3축으로 이동되는 이송로봇(30); 상기 이송로봇의 일측에 복수개로 설치되는 EHD 헤드(40); 상기 EHD 헤드에 설치되며 내부에 수용된 금속 잉크에 인가되는 고전압과 금속 잉크 내의 유도된 전하와의 상호 작용을 통해 정전기력 방향으로 금속 잉크를 이동시켜 유연기판의 표면에 토출시키는 듀얼 노즐(50); 상기 이송로봇의 일측에 설치되어 유연기판의 표면에 미세 패터닝이 인쇄되는 상황을 실시간으로 모니터링하는 비전카메라(60); 상기 듀얼 노즐에 일정 압력으로 에어가 공급되도록 제어하는 에어 압력조절부(70); 상기 EHD 헤드(40)의 후방 일측에 설치되며 유연기판의 표면에 토출된 금속 잉크를 저온 소결하는 저온소결부(80); 및 상기 이송로봇, 듀얼 노즐, 비전카메라, 에어 압력조절부 및 저온소결부의 작동을 제어하는 제어부(90)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스테이지(20)의 일측에는 유연기판에 미세 패터닝 인쇄를 원활하게 하기 위하여 유연기판을 스테이지에 진공 흡착시키도록 기판 진공척(21)이 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 듀얼 노즐(50)의 일측에는 패터닝 인쇄를 진행하지 않고 대기 중인 상태에서 금속 잉크의 중력에 의한 흐름을 방지하기 위하여 진공 제너레이터(51)가 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 에어 압력조절부(70)는 제어부의 제어신호를 전달받아 자체 전자밸브를 제어하면서 듀얼 노즐에 공급되는 공압량을 조절하는 전공 레귤레이터로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 저온소결부(80)는 제논 플래쉬 램프로부터 조사된 광을 이용하여 저온 소결하며, 상기 제논 플래쉬 램프는 560nm, 590nm, 690nm 중에서 하나의 파장을 이용하고 에너지 밀도가 Max 40J/㎠ 인 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터는, 유연기판에 전기수력학적(EHD) 방식을 이용하여 미세 패터닝을 직접 인쇄할 수 있어 다양한 유연 전자소자의 제작이 가능하도록 하는 효과가 있다.
또한, 원하는 패턴을 유연기판에 직접 인쇄하여 저온 소결하는 공정으로 이루어지는 2단계 공정으로 이루어짐으로써, 기존 반도체 공정에 비해 제조공정을 단순화하고 장비 투자비 및 원가를 절감할 수 있어 경제적인 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터를 개략적으로 도시한 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 스테이지를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 듀얼 노즐을 통해 토출되는 금속 잉크의 토출 원리를 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 듀얼 노즐의 일예를 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 저온소결부의 설치상태를 도시한 도면.
도 6은 저온소결 공정을 개략적으로 도시한 도면.
도 7은 금속 잉크의 소결 전후의 현미경 사진.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 도면을 참조하여 설명하기에 앞서, 본 발명의 요지를 드러내기 위해서 필요하지 않은 사항 즉 통상의 지식을 가진 당업자가 자명하게 부가할 수 있는 공지 구성에 대해서는 도시하지 않거나, 구체적으로 기술하지 않았음을 밝혀둔다.
본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터는, 베이스 프레임(10), 스테이지(20), 이송로봇(30), EHD 헤드(40), 듀얼 노즐(50), 비전카메라(60), 에어 압력조절부(70), 저온소결부(80) 및 제어부(90)를 포함한다.
상기 베이스 프레임(10)은 3D 프린터의 구성요소들이 지지되는 베이스 역할을 하는 것으로, 상부에 사방이 개방된 작업공간이 마련되고 하부에는 프린터 관련 장치들이 내장되도록 설치공간이 형성되되 설치공간을 개폐할 수 있도록 전방에 도어가 설치된다.
상기 베이스 프레임(10) 일측에는 듀얼 노즐로 공급되는 금속 잉크가 저장되어 있는 저장탱크(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 저장탱크에 저장된 금속 잉크는 시린지 펌프 등을 이용하여 듀얼 노즐로 공급한다.
상기 금속 잉크는 Ag(은)을 기반으로 상용화가 되어 있으나, 은의 경우 국제 시세 변동에 유동적이고 소재에 대한 비용이 매우 고가이므로 제품의 원가 상승의 원인이 됨에 따라 Cu(구리)를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 스테이지(20)는 베이스 프레임(10)의 상부에 설치되어 유연기판을 지지 고정한다.
상기 스테이지 외에 패터닝 작업 중 노즐의 상태를 자동 점검할 수 있도록 별도의 보조 스테이지를 설치하여 사용할 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 스테이지를 도시한 단면도로서, 상기 스테이지(20)의 일측에는 유연기판(22)에 미세 패터닝 인쇄를 원활하게 하기 위하여 유연기판(22)을 스테이지에 진공 흡착시키도록 기판 진공척(21)이 설치될 수 있다. 따라서, 상기 기판 진공척은 스테이지에 위치할 유연기판이 도달하면 진공 흡착에 의해 유연기판을 흡착함으로써 유연기판을 안정적으로 고정 지지함에 따라 유연기판에 미세 패터닝 인쇄를 원활히 할 수 있다.
상기 이송로봇(30)은 상기 베이스 프레임의 일측에 설치되며 X축, Y축 및 Z축 레일로 이루어져 3축으로 이동되게 된다.
상기 이송로봇은 베이스 프레임의 상부에 레일을 따라 X축 방향을 따라 왕복 슬라이딩되는 블록을 포함하는 X축 로봇, 상기 X축 로봇의 한쪽에 형성되는 레일을 따라 Y축 방향으로 왕복 슬라이딩되는 블록을 포함하는 Y축 로봇, 상기 X축 방향의 블록에 장착된 헤드에 승강 가능하게 장착된 블록을 포함하는 Z축 로봇을 포함한다. 이러한 X축, Y축 및 Z축 로봇의 형태와 방식은 다양하게 변경될 수 있다.
상기 이송로봇은 정밀 제어에 의해 X축, Y축 및 Z축의 이동할 수 있도록 서보모터를 이용하여 구동시키는 것이 바람직하다.
상기 이송로봇의 X축 및 Y축 로봇의 최고 속도는 1,000mm/sec, 작업 최대 영역은 250mm×250mm 정도로 이루어지는 것이 바람직하며, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 EHD 헤드(40)는 상기 이송로봇의 일측에 복수개로 설치되되, 하단에 패터닝 대상 유연기판에 특정 형상의 패턴을 한 번의 공정으로 형성할 수 있는 나노 크기의 듀얼 노즐이 장착된다.
상기 듀얼 노즐(50)은 파형발생기(waveform generator)를 통한 고전압 증폭기에서 증폭을 하고, 이를 스테이지에 연결시킨다. 또한, 고전압 파워 서플라이에서 DC+는 노즐과 연결시킨다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 듀얼 노즐(50)은 상기 EHD 헤드의 전면에 설치되며 내부에 수용된 금속 잉크에 인가되는 고전압과 금속 잉크 내의 유도된 전하와의 상호 작용을 통해 정전기력 방향으로 금속 잉크를 이동시켜 유연기판의 표면에 토출시킨다.
상기 전기수력학 (electrostatic printing system, EHD) 방식은 정전기력을 가해 유체를 유연기판으로 잡아당기기 때문에 저점도 재료뿐만 아니라 고점도 재료에서도 미세 잉크 토출이 가능한 장점을 가지고 있다.
보다 구체적으로, 상기 EHD 방식은 전기장을 이용하여 액적을 토출하는 기술로서 분사노즐과 유연기판 사이에 일정 전압을 인가하면 전기장이 발생하며, 동시에 노즐 근처의 유체의 표면에 전하가 집중된다.
이때 유체 표면에 발생되는 전하와 전기장에 의해 노즐의 유체가 분사되려는 압력이 유체의 표면장력보다 커지는 경우 구형이던 표면이 변형되면서 노즐의 크기보다 훨씬 작은 스프레이가 발생한다.
한편, 상기 EHD 헤드는 구조가 간단하여 제작이 용이하고 노즐 직경보다 상대적으로 미세한 금속 잉크를 토출할 수 있는 장점을 가지고 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 듀얼 노즐(50)의 일측에는 패터닝 인쇄를 진행하지 않고 대기 중인 상태에서 금속 잉크의 중력에 의한 흐름을 방지하기 위하여 진공 제너레이터(51)가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 진공 제너레이터는 잉크 중 저점도 용액에 대비하기 위한 것으로서, 듀얼 노즐의 내부에 음압을 인가하여 금속 잉크의 중력에 의한 흐름을 방지하게 된다.
한편, 상기 듀얼 노즐의 일측에는 각 듀얼 노즐에 전압을 인가하기 위하여 전원공급부(52)가 연결된다.
상기 비전카메라(60)는 상기 이송로봇의 일측에 설치되어 유연기판의 표면에 미세 패터닝이 인쇄되는 상황을 실시간으로 모니터링하는 역할을 한다.
상기 비전카메라는 유연기판을 따라 이동하면서 듀얼 노즐과 유연기판 상호 간의 거리를 실시간으로 측정하며 듀얼 노즐의 위치를 조정해주기도 한다.
상기 에어 압력조절부(70)는 상기 듀얼 노즐에 일정 압력으로 에어가 공급되도록 제어하는 역할을 한다.
상기 에어 압력조절부(70)는 제어부의 제어신호를 전달받아 자체 전자밸브를 제어하면서 듀얼 노즐에 공급되는 공압량을 조절하는 전공 레귤레이터로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 전공 레귤레이터는 듀얼 노즐에서 잉크가 충진된 실린지에 일정한 압력을 가하는 것으로서 정밀 압력조절기라고도 하며, 각 듀얼 노즐에 공급되는 공기의 압력을 조절할 수 있을 뿐만 아니라 공기 압력이 각각의 목표치에 일치되도록 피드백 제어한다.
상기 전공 레귤레이터는 자체적으로 압력센서(미도시)를 포함하며, 압력센서로 내부에 들어온 공압량을 검출하고, 계속해서 검출한 공압량과 설정된 공압량을 비교한 다음, 그 결과에 따라 자체적으로 갖고 있는 전자밸브의 개폐를 제어하면서 공압량을 조절하여 설정값 만큼만 정확하게 공기를 송출시킨다.
상기 전공 레귤레이터는 설정 압력 범위는 0.001 Mpa~0.5 Mpa 이며, 전공 레귤레이터를 통과한 정밀 압축 공기는 전자밸브를 통하여 듀얼 노즐에 일정 압력을 가하는 역할을 하게 된다.
도 5는 본 발명에 따른 저온소결부의 설치상태를 도시한 도면이고, 도 6은 저온소결 공정을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 7은 금속 잉크의 소결 전후의 현미경 사진이다.
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 저온소결부(80)는 상기 EHD 헤드(40)의 후방 일측에 설치되며 유연기판의 표면에 토출된 금속 잉크를 저온 소결하기 위한 것이다.
상기 저온소결부(80)는 제논 플래쉬 램프로부터 조사된 광을 이용하여 저온 소결하며, 상기 제논 플래쉬 램프는 560nm, 590nm, 690nm 중에서 하나의 파장을 이용하고 에너지 밀도가 Max 40J/㎠ 로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 제논 플래쉬 램프는 제논을 사용하는 폭넓은 파장 광을 조사하며, 가시광선으로부터 근적외선 영역에 이르는 강한 연속 스펙트럼을 가지고 있다. 전기 입력 변화에 따라 분광분포가 변화하지 않고 안정적이라는 장점이 있다.
램프의 파장이 짧은 영역일수록 보다 큰 출력으로 광이 방출되며, 필터로 걸러내어진 짧은 파장 쪽의 출력이 가장 높다고 간주한다.
예를 들어, 560nm 미만의 광을 차단하는 필터를 사용하면 560nm 파장의 광이 가장 강하고 파장이 길어질수록 점차 광은 약해진다.
상기 저온소결부에 의해 광을 금속 잉크 표면에 조사하면, 광 에너지가 빛 열화 현상에 의해 폴리머가 다양하게 작용하여 금속 잉크 조성물인 알코올이 환원 개시제 역할을 하고 고분자는 산화되면서 금속 잉크의 금속표면의 산화막을 제거시키고 금속으로 환원되며 산화-환원 열에 의해서 소결된다.
즉, 상기 제논 플래쉬 램프를 조사하면, 순간적으로 미세한 금속 잉크 입자가 녹았다가 다시 고체상태가 된다.
한편, 상기 저온소결부는 제논 플래쉬 램프에 의해 광을 조사하는 과정에서 순간적으로 발생된 열을 식힐 수 있도록 냉각기(chiller), 상기 제논 플래쉬 램프의 작동을 제어하는 컨트롤러를 포함하며, 상기 냉각기 및 컨트롤러는 상기 베이스 프레임(10)의 하부 일측에 별도로 마련된 케이스 내에 장착되는 것이 바람직하다.
상기 제어부(90)는 상기 베이스 프레임의 설치공간에 내장되어 상기 이송로봇, 듀얼 노즐, 비전카메라, 에어 압력조절부 및 저온소결부의 작동을 제어한다.
상기 제어부는 프린터 장치의 각 구성요소의 전반적인 작동을 제어하며, 인쇄 개시 정보 및 인쇄 종료 정보를 생성할 수 있다.
상기 제어부는 컴퓨터로부터 출력신호가 인가된 유연기판 제품에 대응되는 3D 설계 도면을 기초로 하여 EHD 헤드 및 듀얼 노즐을 패터닝 영역으로 이동되도록 제어한다.
이하, 본 발명에 따른 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터의 작동을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 이송로봇(30)을 작동시켜 EHD 헤드(40) 및 듀얼 노즐(50)을 스테이지(20)에 대응되는 위치로 이동시킨다.
특히, 듀얼 노즐과 유연기판 간의 거리를 일정하게 유지시켜 주기위해 비전카메라(60)를 이용하여 듀얼 노즐과 유연기판의 실시간 거리측정을 통해 듀얼 노즐의 거리를 유지시킨다.
그리고 스테이지의 상부에 유연기판을 위치시킨 상태에서 듀얼 노즐로부터 금속 잉크를 토출시켜 유연기판의 표면에 패터닝 인쇄를 한다.
이때, EHD 방식으로 금속 잉크가 토출되며 정전기력을 가해 금속 잉크를 유연기판으로 잡아당기기면서 미세 금속 잉크를 토출시킨다.
이후, 저온소결부(80)의 제논 플래쉬 램프를 통해 유연기판에 토출된 금속 잉크를 저온 소결시켜 미세 패터닝 인쇄를 완료한다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 변형이 가능하다는 것은 자명하다.
10 : 베이스 프레임 20 : 스테이지
21 : 기판 진공척 22 : 유연기판
30 : 이송로봇 40 : EHD 헤드
50 : 듀얼 노즐 51 : 진공 제너레이터
52 : 전원공급부 60 : 비전카메라
70 : 에어 압력조절부 80 : 저온소결부
90 : 제어부

Claims (5)

  1. 베이스 프레임(10)의 상부에 설치되어 유연기판을 지지 고정하는 스테이지(20);
    상기 베이스 프레임의 일측에 설치되며 X축, Y축 및 Z축 레일로 이루어져 3축으로 이동되는 이송로봇(30);
    상기 이송로봇의 일측에 복수개로 설치되는 EHD 헤드(40);
    상기 EHD 헤드에 설치되며 내부에 수용된 금속 잉크에 인가되는 고전압과 금속 잉크 내의 유도된 전하와의 상호 작용을 통해 정전기력 방향으로 금속 잉크를 이동시켜 유연기판의 표면에 토출시키는 듀얼 노즐(50);
    상기 이송로봇의 일측에 설치되어 유연기판의 표면에 미세 패터닝이 인쇄되는 상황을 실시간으로 모니터링하는 비전카메라(60);
    상기 듀얼 노즐에 일정 압력으로 에어가 공급되도록 제어하는 에어 압력조절부(70);
    상기 EHD 헤드(40)의 후방 일측에 설치되며 유연기판의 표면에 토출된 금속 잉크를 저온 소결하는 저온소결부(80); 및
    상기 이송로봇, 듀얼 노즐, 비전카메라, 에어 압력조절부 및 저온소결부의 작동을 제어하는 제어부(90)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지(20)의 일측에는 유연기판에 미세 패터닝 인쇄를 원활하게 하기 위하여 유연기판을 스테이지에 진공 흡착시키도록 기판 진공척(21)이 설치되는 것을 특징으로 하는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 듀얼 노즐(50)의 일측에는 패터닝 인쇄를 진행하지 않고 대기 중인 상태에서 금속 잉크의 중력에 의한 흐름을 방지하기 위하여 진공 제너레이터(51)가 설치되는 것을 특징으로 하는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에어 압력조절부(70)는 제어부의 제어신호를 전달받아 자체 전자밸브를 제어하면서 듀얼 노즐에 공급되는 공압량을 조절하는 전공 레귤레이터로 구성되는 것을 특징으로 하는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 저온소결부(80)는 제논 플래쉬 램프로부터 조사된 광을 이용하여 저온 소결하며, 상기 제논 플래쉬 램프는 560nm, 590nm, 690nm 중에서 하나의 파장을 이용하고 에너지 밀도가 Max 40J/㎠ 인 것을 특징으로 하는 유연기판의 미세 패터닝 인쇄를 위한 EHD 방식의 배선용 3D 프린터.
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