JP2009183874A - ナノ材料固定化方法及び固定化装置 - Google Patents
ナノ材料固定化方法及び固定化装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009183874A JP2009183874A JP2008026855A JP2008026855A JP2009183874A JP 2009183874 A JP2009183874 A JP 2009183874A JP 2008026855 A JP2008026855 A JP 2008026855A JP 2008026855 A JP2008026855 A JP 2008026855A JP 2009183874 A JP2009183874 A JP 2009183874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nanomaterial
- sample
- dispersion
- nozzle
- immobilization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/02—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by spraying
- B05D1/04—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by spraying involving the use of an electrostatic field
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
- B05B5/025—Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns
- B05B5/0255—Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns spraying and depositing by electrostatic forces only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
- B05B5/08—Plant for applying liquids or other fluent materials to objects
- B05B5/087—Arrangements of electrodes, e.g. of charging, shielding, collecting electrodes
Landscapes
- Electrostatic Spraying Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】 静電噴霧用ノズル20からナノ材料分散液13を静電噴霧して、ナノ材料を試料10上に固定化する固定化処理において、分散液13と試料10との間に電圧を印加して、噴霧された個々の液滴16内に1個または0個のナノ材料18が含まれる条件下でノズル20の噴霧口22から試料10へと分散液13を静電噴霧し、個々の液滴16に含まれる溶媒17を雰囲気中で乾燥させた後にナノ材料18を試料10の表面に静電付着させることで、試料10上にナノ材料18を固定化する。これにより、液滴内にあるナノ材料の凝集が防止され、ナノ材料を試料上に好適に固定化することが可能となる。
【選択図】 図2
Description
20…静電噴霧用ノズル、21…ノズル本体、22…分散液噴霧口、23…開口、24…芯構造、25…電極、26…ノズルホルダ、27…ノズル本体固定部、28…電圧供給端子、29…負圧導入口、30…試料ステージ、35…ステージ駆動装置、40…電圧印加装置、45…固定化制御装置、46…表示装置、47…入力装置、50…光分散用レーザ光源、55…凝集状態モニタ部、56…モニタ用光源、57…光検出装置、58…解析装置。
Claims (12)
- ナノ材料を試料上に固定化する固定化方法であって、
ナノ材料が溶媒中に分散されたナノ材料分散液を内部に蓄えることが可能な筒状構造を有し、その先端部に前記ナノ材料分散液を静電噴霧するための分散液噴霧口が設けられたノズル本体を含む静電噴霧用ノズルを用い、前記ノズル本体の内部に前記ナノ材料分散液を導入する分散液導入ステップと、
前記静電噴霧用ノズルの前記分散液噴霧口に対向するように、ナノ材料の固定化の対象物である試料を設置する試料設置ステップと、
前記ナノ材料分散液と前記試料との間に電圧を印加し、噴霧された個々の液滴内に1個または0個のナノ材料が含まれる条件下で、前記静電噴霧用ノズルの前記分散液噴霧口から前記試料へと前記ナノ材料分散液を静電噴霧する噴霧ステップと、
前記静電噴霧用ノズルから噴霧された前記ナノ材料分散液の個々の液滴について、前記液滴に含まれる前記溶媒を噴霧の雰囲気中で乾燥させる乾燥ステップと、
前記ナノ材料分散液の前記溶媒が乾燥した状態で前記ナノ材料を前記試料の表面に静電付着させることで、前記試料上に前記ナノ材料を固定化する固定化ステップと
を備えることを特徴とするナノ材料固定化方法。 - 前記静電噴霧用ノズルから前記試料に向けて噴霧される前記ナノ材料の通過領域において、前記ナノ材料の凝集状態を光学的にモニタする凝集状態モニタステップを備えることを特徴とする請求項1記載のナノ材料固定化方法。
- 前記凝集状態モニタステップにおいて、前記ナノ材料の通過領域に対してモニタ光を照射し、前記モニタ光によって発生する前記ナノ材料からの散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出することで、前記凝集状態を光学的にモニタすることを特徴とする請求項2記載のナノ材料固定化方法。
- 前記凝集状態モニタステップでの前記凝集状態のモニタ結果に基づいて、前記噴霧ステップにおいて前記ナノ材料分散液と前記試料との間に印加される静電噴霧用の電圧を制御する電圧制御ステップを備えることを特徴とする請求項2または3記載のナノ材料固定化方法。
- 前記ノズル本体の内部にある前記ナノ材料分散液に対して、凝集したナノ材料を分散させるための光分散用レーザ光を照射する光分散ステップを備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載のナノ材料固定化方法。
- 前記ノズル本体は、その筒状構造の前記先端部における内径が50μm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載のナノ材料固定化方法。
- ナノ材料を試料上に固定化する固定化装置であって、
ナノ材料が溶媒中に分散されたナノ材料分散液を内部に蓄えることが可能な筒状構造を有し、その先端部に前記ナノ材料分散液を静電噴霧するための分散液噴霧口が設けられたノズル本体を含む静電噴霧用ノズルと、
前記静電噴霧用ノズルの前記分散液噴霧口に対向するように、ナノ材料の固定化の対象物である試料を支持する試料支持手段と、
前記ナノ材料分散液と前記試料との間に静電噴霧用の電圧を印加する電圧印加手段とを備え、
前記電圧印加手段は、前記静電噴霧用ノズルの前記分散液噴霧口から前記試料へと前記ナノ材料分散液を静電噴霧する際に、噴霧された個々の液滴内に1個または0個のナノ材料が含まれる条件となるように電圧を印加するとともに、
前記静電噴霧用ノズル及び前記試料支持手段は、前記静電噴霧用ノズルから噴霧された前記ナノ材料分散液の個々の液滴について、前記液滴に含まれる前記溶媒が噴霧の雰囲気中で乾燥するとともに、前記ナノ材料分散液の前記溶媒が乾燥した状態で前記ナノ材料を前記試料の表面に静電付着させることで、前記試料上に前記ナノ材料が固定化されるように配置されていることを特徴とするナノ材料固定化装置。 - 前記静電噴霧用ノズルから前記試料に向けて噴霧される前記ナノ材料の通過領域において、前記ナノ材料の凝集状態を光学的にモニタする凝集状態モニタ手段を備えることを特徴とする請求項7記載のナノ材料固定化装置。
- 前記凝集状態モニタ手段は、前記ナノ材料の通過領域に対してモニタ光を照射するモニタ用光源と、前記モニタ光によって発生する前記ナノ材料からの散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出することで、前記凝集状態を光学的にモニタする光検出手段とを有することを特徴とする請求項8記載のナノ材料固定化装置。
- 前記凝集状態モニタ手段による前記凝集状態のモニタ結果に基づいて、前記電圧印加手段によって前記ナノ材料分散液と前記試料との間に印加される静電噴霧用の電圧を制御する電圧制御手段を備えることを特徴とする請求項8または9記載のナノ材料固定化装置。
- 前記ノズル本体の内部にある前記ナノ材料分散液に対して、凝集したナノ材料を分散させるための光分散用レーザ光を照射する光分散用レーザ光源を備えることを特徴とする請求項7〜10のいずれか一項記載のナノ材料固定化装置。
- 前記ノズル本体は、その筒状構造の前記先端部における内径が50μm以下であることを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項記載のナノ材料固定化装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008026855A JP5159348B2 (ja) | 2008-02-06 | 2008-02-06 | ナノ材料固定化方法及び固定化装置 |
US12/365,223 US8051800B2 (en) | 2008-02-06 | 2009-02-04 | Nanomaterial immobilization method and immobilization apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008026855A JP5159348B2 (ja) | 2008-02-06 | 2008-02-06 | ナノ材料固定化方法及び固定化装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009183874A true JP2009183874A (ja) | 2009-08-20 |
JP5159348B2 JP5159348B2 (ja) | 2013-03-06 |
Family
ID=40931946
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008026855A Expired - Fee Related JP5159348B2 (ja) | 2008-02-06 | 2008-02-06 | ナノ材料固定化方法及び固定化装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8051800B2 (ja) |
JP (1) | JP5159348B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013022551A (ja) * | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Apic Yamada Corp | レジスト膜の形成方法、ワーク、および、静電噴霧装置 |
JP2014120490A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Apic Yamada Corp | バンプ形成装置とその方法、配線形成装置とその方法、および、配線構造体 |
US9831187B2 (en) | 2012-11-30 | 2017-11-28 | Apic Yamada Corporation | Apparatus and method for electrostatic spraying or electrostatic coating of a thin film |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9551079B2 (en) * | 2013-09-13 | 2017-01-24 | Purdue Research Foundation | Systems and methods for producing metal clusters; functionalized surfaces; and droplets including solvated metal ions |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004074172A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-02 | Riken | 固定化方法、固定化装置および微小構造体製造方法 |
JP2008020408A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Univ Kansai | 個数濃度標準気体の生成装置、及び、個数濃度標準気体の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5948483A (en) * | 1997-03-25 | 1999-09-07 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Method and apparatus for producing thin film and nanoparticle deposits |
-
2008
- 2008-02-06 JP JP2008026855A patent/JP5159348B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-02-04 US US12/365,223 patent/US8051800B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004074172A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-02 | Riken | 固定化方法、固定化装置および微小構造体製造方法 |
JP2008020408A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Univ Kansai | 個数濃度標準気体の生成装置、及び、個数濃度標準気体の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013022551A (ja) * | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Apic Yamada Corp | レジスト膜の形成方法、ワーク、および、静電噴霧装置 |
US9831187B2 (en) | 2012-11-30 | 2017-11-28 | Apic Yamada Corporation | Apparatus and method for electrostatic spraying or electrostatic coating of a thin film |
JP2014120490A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Apic Yamada Corp | バンプ形成装置とその方法、配線形成装置とその方法、および、配線構造体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8051800B2 (en) | 2011-11-08 |
US20090197007A1 (en) | 2009-08-06 |
JP5159348B2 (ja) | 2013-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5283918B2 (ja) | 静電噴霧用ノズルを用いたナノ材料固定化装置、固定化方法 | |
JP4974923B2 (ja) | ナノ材料の観察試料作製装置及び作製方法 | |
Jaworek | Micro-and nanoparticle production by electrospraying | |
JP5491189B2 (ja) | 固定化装置 | |
KR20140040177A (ko) | 기판 상에 1d, 2d 또는 3d 구조물을 나노드리핑하는 방법 | |
US8562095B2 (en) | High resolution sensing and control of electrohydrodynamic jet printing | |
JP5159348B2 (ja) | ナノ材料固定化方法及び固定化装置 | |
US10834896B2 (en) | Method for tagging insects and arthropods | |
KR20100021609A (ko) | 정전 스프레이 장치 및 정전 스프레이 방법 | |
Wang et al. | Fabrication of micro/nano-structures by electrohydrodynamic jet technique | |
WO2010028712A1 (en) | Capillarity-assisted, mask-less, nano-/micro-scale spray deposition of particle based functional 0d to 3d micro- and nanostructures on flat or curved substrates with or without added electrocapillarity effect | |
Soliwoda et al. | Electrospray deposition of gold nanoparticles from aqueous colloids on solid substrates | |
Lee et al. | Preparation of monodisperse charged droplets via electrohydrodynamic device for the removal of fine dust particles smaller than 10 μm | |
JP3740152B2 (ja) | 微細ゲル粒子の製造方法および製造装置 | |
US10293602B2 (en) | Ink jetting apparatus for forming micro-fine liquid droplets and printing system including the same | |
Soh | Functionalising AFM tips for pick and place manipulation of micro and nanoparticles | |
JP7078223B2 (ja) | 光照射反応装置 | |
Lefky et al. | Ultra near-field electrohydrodynamic cone-jet breakup of self-reducing silver inks | |
JP2007080992A (ja) | パターン修正方法 | |
Graceffa et al. | Perspectives: DOD Inkjets at High and Ultra-Brilliant Light Sources | |
JP2007066613A (ja) | パターン修正装置 | |
Gomis Gomis | Set-up and characterisation of an electrospray device and its use for particle deposition | |
JP2007227021A (ja) | パターン修正方法およびパターン修正装置 | |
JP2006236821A (ja) | パターン修正方法およびパターン修正装置 | |
Coppola et al. | Pyroelectrohydrodynamic spinning for micro-and nanopatterning |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100922 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120420 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121211 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5159348 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |