JP2014101247A - SiC単結晶成長用種結晶、並びに、SiC単結晶及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SiC単結晶成長用種結晶は、{0001}面最上位部を含むファセット形成領域と、前記ファセット形成領域の周囲を囲むように設けられたn個(n≧3)の平面とを備えている。また、前記SiC単結晶成長用種結晶は、(a)式:βk k-1≦cos-1(sin2.3°/sinγk)、(b)式:βk k≦cos-1(sin2.3°/sinγk)、及び、(c)式:min(γk)≦20°の関係を満たす。但し、γkは第k平面のオフセット角、βk k-1は第k平面のオフセット下流方向と第(k−1)稜線とのなす角、βk kは第k平面のオフセット下流方向と第k稜線とのなす角。
【選択図】図1
Description
高品質な成長結晶を得るには、種結晶として高品質な結晶、つまり転位の少ない結晶を用いる必要がある。しかしながら、種結晶の品質が向上し、特に螺旋転位の密度が低くなると、種結晶の多形を継承するためのステップ供給源が少なくなり、異種多形が発生しやすくなることが問題になる。そこで、特許文献1に記載されているように、種結晶表面の一部の領域に螺旋転位発生領域を設け、そこに{0001}面(c面)ファセットを重ね合わせるように成長させる方法が提案された。これにより、異種多形の発生を抑制しながら、単結晶を成長させることが可能となった。
例えば、特許文献2には、成長結晶中のマイクロパイプや螺旋転位を低減する目的で、中心軸方向が<0001>方向から±10°以内、頂角が20°以上90°以下の錘形の種結晶を用いる方法が開示されている。
このような尖った種結晶では、6インチ(152.4mm)径の種結晶では約100mm程度の高さが必要となるが、そのような結晶を得ることは難しい。また、そのような高低差のある種結晶では、頂部近傍と底面近傍の成長速度を調節することが難しく、成長時に頂部が昇華してしまい、種結晶の形状を保つことができないと考えられる。仮に種結晶の形状を保つことができた場合、このような形状の種結晶は、成長初期に頂点部から点状のc面ファセットを発生させることが可能となる。しかしながら、特に成長初期においては成長方向がa軸方向に近いため、同文献の効果として言及されているように、成長部分に螺旋転位が存在できない、又は、その密度が大幅に小さくなる。その結果、成長初期に形成されるc面ファセット内の螺旋転位が枯渇し、異種多形が発生してしまう。
同文献においても同様に、成長面のオフセット角が最低でも20°と大きいので、種結晶に含まれる螺旋転位が基底面内の転位に変換されやすい。その結果、成長初期に形成されるc面ファセット内の螺旋転位が枯渇し、異種多形が発生してしまう。また、同文献では、{0001}面最上部が二つの傾斜面、又は1つの傾斜面と側面によって形成された実施例のみ示されている。この場合には、オフセット最上流部が線状(傾斜した平面の交線、又は、傾斜した平面と側面の交線)となり、c面ファセットも線状に形成される。そのため、c面ファセット形状が不安定化しやすく、異種多形が発生しやすい。
同文献に記載の方法では、c面ファセットが発生するオフセット最上流部での成長面のオフセット角は比較的小さいため、螺旋転位が存在することができる。また、異なる傾斜角度又は傾斜方向を有する複数の傾斜面を施し、オフセット上流部分に角部を形成して、成長中のc面ファセット位置を制御することも記載されている。
しかし、同文献に記載の方法によっても、異種多形が発生する場合があった。異種多形が発生した成長結晶をスライスし、成長初期のc面ファセット形状を調べた結果、不安定な形状(線状)のc面ファセットが形成されていることが明らかになった。よって、同文献に記載されているように、オフセット上流部のオフセット角を小さくするだけでは、成長初期に形成されるc面ファセットの形状制御は十分にはできないと考えられる。
また、本発明が解決しようとする他の課題は、大口径のSiC単結晶をc面成長させる場合においても、成長初期における線状c面のファセットの形成を抑制することが可能なSiC単結晶成長用種結晶、並びに、これを用いて製造されるSiC単結晶及びその製造方法を提供することにある。
さらに、本発明が解決しようとする他の課題は、種結晶の厚さを厚くしたり、あるいは成長結晶全体に占める高品質領域の割合を犠牲にすることなく、成長初期における線状のc面ファセットの形成を抑制することが可能なSiC単結晶成長用種結晶、並びに、これを用いて製造されるSiC単結晶及びその製造方法を提供することにある。
(1)前記SiC単結晶成長用種結晶は、
{0001}面最上位部を含むファセット形成領域と、
前記ファセット形成領域の周囲を囲むように設けられたn個(n≧3)の平面と
を備えている。
(2)前記ファセット形成領域は、前記{0001}面最上位部の重心から半径r=R/5までの領域(Rは、前記SiC単結晶成長用種結晶の外接円の直径)からなる。
(3)前記SiC単結晶成長用種結晶は、以下の(a)〜(c)式の関係を満たす。
βk k-1≦cos-1(sin2.3°/sinγk) ・・・(a)
βk k≦cos-1(sin2.3°/sinγk) ・・・(b)
min(γk)≦20° ・・・(c)
但し、
γkは第k平面のオフセット角、
βk k-1は第k平面のオフセット下流方向と第(k−1)稜線とのなす角、
βk kは第k平面のオフセット下流方向と第k稜線とのなす角。
さらに、本発明に係るSiC単結晶は、成長初期(成長結晶内のSiC単結晶成長用種結晶−成長結晶界面)の{0001}面ファセットの最大寸法(d)が前記成長初期における前記成長結晶の直径(D)の1/5以下であり、かつ、前記直径(D)が4インチ(101.6mm)以上であることを要旨とする。
これに対し、(a)〜(c)式を満たすように各平面の形状を最適化すると、各稜線と{0001}面とのなす角のすべてを2.3°以上にすることができる。その結果、成長初期における線状のc面ファセットの形成を抑制することができる。
さらに、(a)〜(c)式を満たす限りにおいて、第k平面の面積(すなわち、βk k-1及びβk k)を大きくすることができる。そのため、面積の大きい第k平面上に高品質の単結晶を成長させることができる。
[1. 用語の定義]
図1に、用語の定義を説明するための種結晶の模式図を示す。
「{0001}面最上位部」とは、種結晶の最も上に存在する{0001}面をいう。
例えば、図1に示すように、種結晶が錘形状である場合、「{0001}面最上位部」とは、錘の頂点をいう。
また、図示はしないが、種結晶が錘台形状である場合において、錘台の先端面が{0001}面と平行であるときには、「{0001}面最上位部」とは、錘台の先端面をいう。一方、錘台の先端面が{0001}面に対して傾いているときは、「{0001}面最上位部」とは、錘台の先端面の最も上に存在する{0001}面をいう。
「第k平面のオフセット下流方向」とは、第k平面と{0001}面の交線に対して垂直な方向であって、{0001}面最上位部から下流側に向かう方向をいう。
「第k稜線(k=1、2…、(n−1))」とは、第k平面と第(k+1)平面との交線をいう。「第n稜線」とは、第n平面と第1平面との交線をいう。
本発明に係るSiC単結晶成長用種結晶(以下、単に「種結晶」ともいう)は、以下の構成を備えている。
(1)前記SiC単結晶成長用種結晶は、
{0001}面最上位部を含むファセット形成領域と、
前記ファセット形成領域の周囲を囲むように設けられたn個(n≧3)の平面と
を備えている。
(2)前記ファセット形成領域は、前記{0001}面最上位部の重心から半径r=R/5までの領域(Rは、前記SiC単結晶成長用種結晶の外接円の直径)からなる。
(3)前記SiC単結晶成長用種結晶は、以下の(a)〜(c)式の関係を満たす。
βk k-1≦cos-1(sin2.3°/sinγk) ・・・(a)
βk k≦cos-1(sin2.3°/sinγk) ・・・(b)
min(γk)≦20° ・・・(c)
但し、
γkは第k平面のオフセット角、
βk k-1は第k平面のオフセット下流方向と第(k−1)稜線とのなす角、
βk kは第k平面のオフセット下流方向と第k稜線とのなす角。
本発明に係るSiC単結晶成長用種結晶は、各種の方法で製造されたSiC単結晶から切り出される。
種結晶を切り出すためのSiC単結晶は、
(a){0001}面からのオフセット角が60〜90°である面を成長面として成長させたSiC単結晶(いわゆる、a面成長結晶)、又は、
(b){0001}面からのオフセット角が60°未満である面を成長面として成長させたSiC単結晶(いわゆる、c面成長結晶)
のいずれであっても良い。
特に、a面成長結晶から切り出された種結晶は、螺旋転位密度が低いので、高品質の単結晶を製造するための種結晶として好適である。
本発明に係る種結晶は、
(a)種結晶の底面と{0001}面とのなす角が0.5°以上30°以下であるオフセット基板、又は、
(b)種結晶の底面と{0001}面とのなす角が0.5°未満のオンセット基板
のいずれであっても良い。
{0001}面最上位部は、種結晶の中央部に形成されていても良く、あるいは、種結晶の端部近傍に形成されていても良い。{0001}面最上位部を種結晶の端部近傍に形成すると、c面ファセットが単結晶の端部に形成されるので、成長結晶の大部分が一つの大きな平面上に成長し、結晶方位が揃いやすい。その結果、得られた単結晶から高品質領域の面積が大きいウェハを切り出すことができる。
ここで「端部近傍」とは、種結晶の重心から0.6L以上L以下の範囲にある領域(Lは、種結晶の重心から種結晶の端部までの距離)をいう。
「ファセット形成領域」とは、その内部に{0001}面最上位部を含む領域であって、{0001}面最上位部の重心から半径r=R/5までの領域(Rは、SiC単結晶成長用種結晶の外接円の直径)をいう。ファセット形成領域は、小さいほど良く、好ましくは、r=R/8、さらに好ましくは、r=R/10である。ファセット形成領域の周囲(外側)は、後述するように、互いに非平行なn個(n≧3)の平面で囲まれているが、ファセット形成領域内の形状は、特に限定されない。これは、成長途中のファセットは、一定の大きさ(単結晶の直径の1/10〜1/5程度の大きさ)を有するため、その大きさを網羅できる螺旋転位発生領域が形成されている方が好ましいためである。そのため、ファセット形成領域内では、c面ファセットの形成が許容される。
n個(n≧3)の平面は、ファセット形成領域の周囲を囲むように設けられる。各平面は、互いに非平行であり、{0001}面最上位部近傍においては、各平面は、錘の側面を構成する。種結晶の成長面は、ファセット形成領域と、n個の平面で構成される。
平面の個数は、3個以上であればよい。しかしながら、平面の個数を必要以上に多くするのは、実益がないだけでなく、加工コストが増大する。従って、平面の個数は、10個以下が好ましい。平面の個数は、さらに好ましくは、8個以下、さらに好ましくは、6個以下である。
本発明に係るSiC単結晶成長用種結晶は、(a)式及び(b)式の関係を満たす。これらの内、(a)式は、第(k−1)稜線上にc面ファセットが形成されない条件、すなわち、第(k−1)稜線と{0001}面とのなす角(以下、これを「αk-1」ともいう)が2.3°以上となる条件を表す。
同様に、(b)式は、第k稜線上にc面ファセットが形成されない条件、すなわち、第k稜線と{0001}面とのなす角(以下、これを「αk」ともいう)が2.3°以上となる条件を表す。
従って、稜線上でのc面ファセットの形成を抑制するには、αk k-1≧2.3°、及び、αk k≧2.3°を満たせばよい。すなわち、βk k-1とβk kが、それぞれ、(a)式又は(b)式を満たせばよい。
本発明に係るSiC単結晶成長用種結晶は、さらに(c)式の関係を満たす。(c)式は、第k平面(k=1、2…n)のオフセット角γkの最小値が20°以下であれば良いことを表す。(c)式を満たす場合、後述する螺旋転位発生可能領域から成長結晶に引き継がれる螺旋転位が積層欠陥に変換されにくくなる。その結果、異種多形の発生を抑制することができる。n個の平面の一部は、オフセット角γが20°を超えていても良い。
各平面のオフセット角γは、(c)式を満たす限りにおいて、互いに同一であっても良く、あるいは、異なっていても良い。しかしながら、n個の平面の内、少なくとも1つの平面は、オフセット角γが他の平面とは異なっているのが好ましい。
(a)大口径の種結晶であっても、種結晶の厚さを薄くすることができる。
(b)主成長面の面積を大きくすることができる。すなわち、成長結晶全体に占める高品質領域の割合の大きい単結晶を製造することができる。
(c){0001}面最上位部を種結晶の端部に移動させることができる。すなわち、得られた単結晶から高品質領域の面積が大きいウェハを切り出すことができる。
「螺旋転位発生可能領域」とは、成長結晶中に他の領域に比べて高密度の螺旋転位を供給することが可能な領域をいう。螺旋転位発生可能領域としては、具体的には、
(a)種結晶中に部分的に存在する螺旋転位密度の高い領域、
(b)螺旋転位密度の低い種結晶の表面に螺旋転位供給源(例えば、種結晶の表面に形成された機械的ひずみ)が形成された領域、
(c)種結晶中に存在する1本の螺旋転位、
などがある。
一方、種結晶が相対的に少量の螺旋転位を含む場合、c面ファセット内に供給される螺旋転位が不足するため、異種多形が発生しやすくなる。このような場合において、高品質の単結晶を製造するためには、{0001}面最上位部近傍に、螺旋転位発生可能領域を形成するのが好ましい。
ここで、「{0001}面最上位部近傍」とは、{0001}面最上位部の重心から半径r=R/5までの領域(Rは、SiC単結晶成長用種結晶の外接円の直径)をいう。
このような種結晶は、例えば、単結晶に含まれる螺旋転位の位置をX線トポグラフにより特定し、単結晶内の螺旋転位が錘の頂点に来るように、単結晶を加工することにより製造することができる。
本発明に係るSiC単結晶の製造方法は、本発明に係るSiC単結晶成長用種結晶の成長面上にSiC単結晶を成長させる成長工程を備えている。
SiC単結晶の成長方法としては、昇華再析出法、CVD法、溶液法などがある。本発明においては、いずれの方法を用いても良い。SiC単結晶成長用種結晶の詳細については、上述した通りであるので、説明を省略する。
本発明に係るSiC単結晶は、成長初期(成長結晶内のSiC単結晶成長用種結晶−成長結晶界面)の{0001}面ファセットの最大寸法(d)が前記成長初期における前記成長結晶の直径(D)の1/5以下であり、かつ、前記直径(D)が4インチ(101.6mm)以上であることを特徴とする(図5参照)。ここで、「成長結晶の直径(D)」とは、成長結晶(SiC単結晶)の外接円の直径をいう。
本発明に係るSiC単結晶成長用種結晶を用いると、このような条件を満たすSiC単結晶が得られる。種結晶の形状を最適化すると、d≦D/8、あるいは、d≦D/10であるSiC単結晶が得られる。
我々は、種結晶の成長面において、c面ファセットは、結晶学的な{0001}面最上位部だけでなく、{0001}面とのなす角が2.3°未満となる成長面上の領域で発生し、これが不安定な形状(線状)のc面ファセット形成の原因となることを数多くの実験結果から突き止めた。
しかしながら、種結晶の表面形状を形成する際、一般に、αkが一定以上となるようにすることは簡単ではない。特に、大口径の種結晶を製造する場合には、種結晶の厚さに制約があるため、γkを過度に大きくすることができない。そのため、大口径の種結晶において、αkが一定以上となるように種結晶の表面形状を形成するのは極めて難しい。
図3(a)に、(a)〜(c)式を満たさない種結晶(比較例1)の概略図を示す。図3(b)に、(a)〜(c)式を満たす種結晶(実施例1)の概略図を示す。
そのため、このような形状の種結晶を用いて単結晶成長を行う場合において、第k稜線上に十分な螺旋転位がないときには、異種多形が発生する。一方、異種多形を抑制するためには、第k稜線を含む広い領域に螺旋転位発生可能領域を設けなければならず、結晶品質が劣化しやすい。
(1)各平面のオフセット角γは、非同一である。
(2)第2平面のオフセット角γ2は、2.3°より僅かに大きくなっている。一方、第1平面のオフセット角γ1及び第3平面のオフセット角γ3は、それぞれ、(a)式及び(b)式を満たすように、γ2より大きく設定されている。
(3)実施例1のβ2 1とβ2 2は、第2平面での条件式((a)式及び(b)式)を満たすように、比較例1より小さくしている。
このように、それぞれの平面において、γ及びβを調節することで、第k稜線上でのc面ファセットの形成を抑制することができた。
図4(a)に、(a)〜(c)式を満たさない種結晶(比較例2)の概略図を示す。図4(b)に、(a)式〜(c)式を満たす種結晶(実施例2)の概略図を示す。
そのため、このような形状の種結晶を用いて単結晶成長を行う場合において、第k稜線上に十分な螺旋転位がないときには、異種多形が発生する。一方、異種多形を抑制するためには、第k稜線を含む広い領域に螺旋転位発生可能領域を設けなければならず、結晶品質が劣化しやすい。
(1)各平面のオフセット角γは、(a)式及び(b)式を満たすように、比較例2より大きく設定されている。
このように、それぞれの平面において、γ及びβを調節することで、第k稜線上でのc面ファセットの形成を抑制することができた。
Claims (11)
- 以下の構成を備えたSiC単結晶成長用種結晶。
(1)前記SiC単結晶成長用種結晶は、
{0001}面最上位部を含むファセット形成領域と、
前記ファセット形成領域の周囲を囲むように設けられたn個(n≧3)の平面と
を備えている。
(2)前記ファセット形成領域は、前記{0001}面最上位部の重心から半径r=R/5までの領域(Rは、前記SiC単結晶成長用種結晶の外接円の直径)からなる。
(3)前記SiC単結晶成長用種結晶は、以下の(a)〜(c)式の関係を満たす。
βk k-1≦cos-1(sin2.3°/sinγk) ・・・(a)
βk k≦cos-1(sin2.3°/sinγk) ・・・(b)
min(γk)≦20° ・・・(c)
但し、
γkは第k平面のオフセット角、
βk k-1は第k平面のオフセット下流方向と第(k−1)稜線とのなす角、
βk kは第k平面のオフセット下流方向と第k稜線とのなす角。 - 前記SiC単結晶成長用種結晶は、{0001}面からのオフセット角が60〜90°である面を成長面として成長させたSiC単結晶から切り出されたものである
請求項1に記載のSiC単結晶成長用種結晶。 - 前記{0001}面最上位部近傍に、螺旋転位をオフセット下流側に比べて高密度に発生することができる螺旋転位発生可能領域を有する
請求項1又は2に記載のSiC単結晶成長用種結晶。 - 前記{0001}面最上位部は、前記SiC単結晶成長用種結晶の端部近傍に形成されている請求項1から3までのいずれか1項に記載のSiC単結晶成長用種結晶。
- 前記n個の平面の内、少なくとも1つの平面は、オフセット角γが他の平面とは異なる請求項1から4までのいずれか1項に記載のSiC単結晶成長用種結晶。
- 前記{0001}面最上位部は、点であり、
前記{0001}面最上位部は、前記SiC単結晶成長用種結晶内の螺旋転位の位置と一致している請求項1から5までのいずれか1項に記載のSiC単結晶成長用種結晶。 - 前記第k平面(k=1、2…n)のオフセット角γkは、すべて8°以下である
請求項1から6までのいずれか1項に記載のSiC単結晶成長用種結晶 - 前記n個の平面の内、最も面積の大きい第k平面のオフセット角γkは、4°以下である請求項1から7までのいずれか1項に記載のSiC単結晶成長用種結晶。
- 前記SiC単結晶成長用種結晶は、外接円の直径が100mm以上である請求項1から8までのいずれか1項に記載のSiC単結晶成長用種結晶。
- 請求項1から9までのいずれか1項に記載されたSiC単結晶成長用種結晶の成長面上にSiC単結晶を成長させる成長工程を備えたSiC単結晶の製造方法。
- 成長初期(成長結晶内のSiC単結晶成長用種結晶−成長結晶界面)の{0001}面ファセットの最大寸法(d)が前記成長初期における前記成長結晶の直径(D)の1/5以下であり、かつ、前記直径(D)が4インチ(101.6mm)以上であるSiC単結晶。
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