JP2014078630A - 液処理装置 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 126
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 36
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 36
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 14
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 5
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 16
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 abstract 1
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 123
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 30
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 30
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
【解決手段】基板Wに処理液を供給して液処理を行う液処理装置において、液処理部は、少なくとも内側の面が絶縁体である筐体11に収納され、液処理部内の基板に処理液を供給するために設けられた導電性配管52、53は、筐体11の壁部に設けられた絶縁体からなる継手71を介して外部配管521、531と接続される。この導電性配管52、53は、筐体11を貫通して筐体11の外にて接地された接地用導体51と電気的に接続される。
【選択図】図5
Description
基板に対する液処理が行われる液処理部と、
前記液処理部を収納し、少なくとも前記液処理部を収納する内側の面が外側に対して絶縁体である筐体と、
前記液処理部内の基板に処理液を供給するために前記筐体内に設けられた導電性配管と、
前記筐体の外部に設けられた絶縁性の外部配管と、
前記筐体に設けられ、前記導電性配管と前記外部配管とを接続するための絶縁体からなる継手と、
前記筐体内にて前記導電性配管に電気的に接続され、前記筐体を貫通して当該筐体の外にて接地された接地用導体と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記導電性配管及び接地用導体のうち、前記筐体内に露出する部分は前記処理液に対する耐食性を備えた材料からなること。前記耐食性を備えた材料は、導電性材料を混合した樹脂であること。
(b)前記導電性配管が複数設けられ、これら導電性配管のうちの一の導電性配管は、前記筐体の外部から当該筐体の壁部を貫通して筐体の内部に配廻されると共に筐体の外部にて接地され、
この接地された導電性配管と、前記絶縁性の外部配管と接続された他の導電性配管とを前記筐体内にて電気的に結合する結合部材を備え、前記接地された導電性配管は接地用導体を兼用すること。このとき、前記複数の導電性配管は可撓性を有し、前記結合部材はこれら導電性配管の側面を保持する導電性ゴムであること。
(c)前記接地用導体は、前記筐体の壁部を貫通すると共に、当該処理液に対する耐食性を備えた結合部材により前記導電性配管と電気的に接続されていること。このとき、前記結合部材は、基板に処理液を供給するための前記導電性配管とは異なる導電性配管であること。また、前記接地用導体は処理液に対して腐食性であり、前記筐体の壁部を貫通し、当該処理液に対する耐食性を備えた結合部材によって前記筐体の内部側の部分が覆われた状態で前記導電性配管と電気的に接続されていること。
(d)前記筐体に隣接する位置には、前記導電性配管に処理液を供給する配管に設けられた弁体を覆うための金属製のカバー部材が設けられ、前記接地用導体は、このカバー部材を介して接地されていること。
液処理装置は、ウエハWを水平に支持し、鉛直軸周りに回転自在に構成された基板保持部である円板状の支持プレート31と、この支持プレート31に支持されたウエハWの周縁を囲うカップ部21と、このウエハWの上面側から複数種類の処理液を切り替えて供給するノズル411と、を共通の筐体11内に収めた構造となっている。筺体11内に収められた支持プレート31やカップ部21等は、本例の液処理部に相当する。
具体的な構成を述べると、図3に示すように処理空間114内を配廻されたIPA供給配管51は、筐体11の側壁面を貫通してその基端部が筐体11の外側へ伸び出している。
導電性結合部材45は、例えば耐食性を有すると共に、弾力性を備える合成ゴムなどの樹脂材料に、カーボン等の導電性材料を混合した導電性ゴムが用いられる。導電性結合部材45は細長い板状に成型され、各処理液供給配管51、52、53を貫通させるための貫通口が短辺方向に穿設されている。
なお、導電性配管50aが大きく変形せず、導電性結合部材45aと擦れることにより導電性配管50aが損傷するおそれが小さい場合には、導電性結合部材45aは導電性のゴムに限らずより固い導電性樹脂を用いてもよい。図7に示した例では、導電性結合部材45aは、樹脂製の締結部材725によって接地用導体726に締結されている。
これに加え、液処理装置は、カップ部21の内側に支持プレート31を配置し、ウエハWを鉛直軸周りに回転させながら液処理を行う種類のものに限定されない。
11 筐体
21 カップ部
31 支持プレート
41 ノズルブロック
411 ノズル
42 ノズルアーム
43 回転軸
44 駆動部
45、45a、45b
導電性結合部材
50a 導電性配管
51 IPA供給配管
513 継手部
514 外部配管
52 DIW供給配管
521 外部配管
53 DHF供給配管
54 導電性の配管
531 外部配管
71、71a、71b
配管継手
711 本体部材
712、713
カバー部材
72 配管支持部
726 接地用導体
727 接地用導体
Claims (9)
- 基板に処理液を供給して液処理を行う液処理装置において、
基板に対する液処理が行われる液処理部と、
前記液処理部を収納し、少なくとも前記液処理部を収納する内側の面が外側に対して絶縁体である筐体と、
前記液処理部内の基板に処理液を供給するために前記筐体内に設けられた導電性配管と、
前記筐体の外部に設けられた絶縁性の外部配管と、
前記筐体に設けられ、前記導電性配管と前記外部配管とを接続するための絶縁体からなる継手と、
前記筐体内にて前記導電性配管に電気的に接続され、前記筐体を貫通して当該筐体の外にて接地された接地用導体と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記導電性配管及び接地用導体のうち、前記筐体内に露出する部分は前記処理液に対する耐食性を備えた材料からなることを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記耐食性を備えた材料は、導電性材料を混合した樹脂であることを特徴とする請求項2に記載の液処理装置。
- 前記導電性配管が複数設けられ、これら導電性配管のうちの一の導電性配管は、前記筐体の外部から当該筐体の壁部を貫通して筐体の内部に配廻されると共に筐体の外部にて接地され、
この接地された導電性配管と、前記絶縁性の外部配管と接続された他の導電性配管とを前記筐体内にて電気的に結合する結合部材を備え、前記接地された導電性配管は接地用導体を兼用することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の液処理装置。 - 前記複数の導電性配管は可撓性を有し、前記結合部材はこれら導電性配管の側面を保持する導電性ゴムであることを特徴とする請求項4に記載の液処理装置。
- 前記接地用導体は、前記筐体の壁部を貫通すると共に、当該処理液に対する耐食性を備えた結合部材により前記導電性配管と電気的に接続されていることを特徴とする請求項2または3に記載の液処理装置。
- 前記結合部材は、基板に処理液を供給するための前記導電性配管とは異なる導電性配管であることを特徴とする請求項6に記載の液処理装置。
- 前記接地用導体は処理液に対して腐食性であり、前記筐体の壁部を貫通し、当該処理液に対する耐食性を備えた結合部材によって前記筐体の内部側の部分が覆われた状態で前記導電性配管と電気的に接続されていることを特徴とする請求項2または3に記載の液処理装置。
- 前記筐体に隣接する位置には、前記導電性配管に処理液を供給する配管に設けられた弁体を覆うための金属製のカバー部材が設けられ、前記接地用導体は、このカバー部材を介して接地されていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012226067A JP5954096B2 (ja) | 2012-10-11 | 2012-10-11 | 液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012226067A JP5954096B2 (ja) | 2012-10-11 | 2012-10-11 | 液処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014078630A true JP2014078630A (ja) | 2014-05-01 |
JP5954096B2 JP5954096B2 (ja) | 2016-07-20 |
Family
ID=50783711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012226067A Active JP5954096B2 (ja) | 2012-10-11 | 2012-10-11 | 液処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5954096B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016162774A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-05 | 株式会社Screenホールディングス | ヒータ異常検出装置、処理液供給装置、基板処理システム、およびヒータ異常検出方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102465540B1 (ko) | 2017-05-18 | 2022-11-11 | 삼성전자주식회사 | 약액 공급 장치 및 이를 구비하는 반도체 처리 장치 |
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-
2012
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---|---|
JP5954096B2 (ja) | 2016-07-20 |
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A621 | Written request for application examination |
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