JP2003278972A - 配管用継ぎ手、配管セットおよび配管導通用配線 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】複数本の導電性配管を接続した配管構造におい
て、各導電性配管をアース電位に保持する必要がある場
合に、導電性配管の個々をアース接続する必要をなく
す。 【解決手段】ポリマー除去液供給源からノズル２２にポ
リマー除去液を供給するための配管は、多数本の導電性
チューブ３を配管用継ぎ手１で接続することにより構成
されている。導電性チューブ３は、耐薬液性を有する樹
脂製のチューブであって、導電性を持たせるために、そ
の表面には、チューブの一端から他端に至る直線状のス
トライプ導電層がカーボン材料を用いて形成されてい
る。また、配管用継ぎ手１は、導電性材料としてのカー
ボンを混入したＰＦＡ樹脂材料を用いて形成されてい
て、導電性を有しており、２本の導電性チューブ３を直
列的に接続し、その接続した２本の導電性チューブ３を
電気的に導通させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、たとえば、有機
系薬液を用いて基板を処理する基板処理装置に適用され
て、導電性配管を接続するための樹脂製の配管用継ぎ
手、導電性配管を配管用継ぎ手で接続して配管を構成す
るための配管セット、およびこの配管セットに含まれる
配管導通用配線に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、半導体ウエハ（以下、単に
「ウエハ」という。）上に配線をパターン形成する工程
では、ウエハ上にほぼ一様に形成された配線膜を選択的
に除去するためのエッチング処理、このエッチング処理
に使用したレジストパターンを除去するためのレジスト
アッシング処理の後に、レジストアッシング処理で除去
されずにポリマーとなって残留したレジスト残渣を除去
するためのポリマー除去処理が行われる。

【０００３】ポリマー（レジスト残渣）は、アッシング
処理において、ウエハ上に供給された反応性ガスとレジ
ストパターンとの反応不良により生成されるものであ
り、有機化合物を主成分に含む有機溶剤系の薬液（ポリ
マー除去液）を用いて除去することができる。そこで、
ポリマー除去処理のための装置では、たとえば、ウエハ
上にポリマー除去液を供給するためのノズルが処理室内
に備えられており、このノズルからアッシング処理後の
ウエハ上にポリマー除去液が供給されて、ウエハ上に残
留しているポリマーが除去されるようになっている。

【０００４】ポリマー除去液のような有機溶剤系の薬液
を用いる場合、防爆対策が十分でなければならない。そ
のため、従来のポリマー除去処理のための装置では、図
４に示すように、ポリマー除去液を処理室９１内のノズ
ル９２に供給するための経路が、多数本の導電性配管９
３を樹脂製の継ぎ手９４で接続して構成されており、各
導電性配管９３を金属線９５でアースに接続することに
よって、導電性配管９３内をポリマー除去液が流通する
際の摩擦帯電による発火が防止されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、多数本の導
電性配管９３の個々をアースに接続する構成は、非常に
煩雑であり、また、処理室内の導電性配管９３を金属線
９５でアースに接続することは、金属線９５によるウエ
ハの汚染（金属汚染）の問題を生じるおそれがあるため
好ましくない。そこで、この発明の目的は、複数本の導
電性配管を接続することができ、かつ、各導電性配管を
アース電位に保持する必要がある場合に、導電性配管の
個々をアース接続する必要をなくすことができる配管用
継ぎ手、およびそのような配管用継ぎ手を備えた配管セ
ットを提供することである。

【０００６】また、この発明の他の目的は、複数本の導
電性配管を電気的に導通することができる非金属製の配
管導通用配線を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、少なくと
も２本以上の導電性配管（３）を接続するための樹脂製
の配管用継ぎ手（１）であって、上記少なくとも２本以
上の導電性配管を電気的に導通させる導通手段を含むこ
とを特徴とする配管用継ぎ手である。なお、括弧内の英
数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表
す。以下、この項において同じ。

【０００８】この発明の配管用継ぎ手で導電性配管を接
続することにより、各導電性配管をアース電位に保持す
る必要がある場合に、導電性配管の個々をアース接続す
る必要をなくすことができる。よって、個々の導電性配
管をアースに接続した構成と比べて、すべての導電性配
管をアース電位に保持するための配線構造を簡素化で
き、アース接続のための作業に要する手間を軽減するこ
とができる。上記導通手段は、請求項２記載のように、
上記配管用継ぎ手を構成する樹脂材料に含有された導電
性材料であってもよいし、請求項３記載のように、上記
配管用継ぎ手の表面に導電性材料を用いて形成された導
電層であってもよい。

【０００９】また、請求項４記載のように、上記導電性
材料は、カーボンであってもよい。請求項５記載の発明
は、上記配管用継ぎ手は、処理流体を用いて基板を処理
する基板処理装置（２）に備えられる導電性配管を接続
するためのものであることを特徴とする請求項１ないし
４のいずれかに記載の配管用継ぎ手である。請求項６記
載の発明は、上記処理流体は、有機系薬液の液体または
気体であることを特徴とする請求項５記載の配管用継ぎ
手である。

【００１０】請求項１〜４の配管用継ぎ手が処理流体を
用いて基板を処理する基板処理装置に適用される場合、
その配管用継ぎ手を用いて接続した導電性配管のうちの
いずれか１本の導電性配管をアースに接続すれば、すべ
ての導電性配管をアース電位に保持することができ、請
求項６記載のように、処理流体が有機系薬液の液体また
は気体である場合には、導電性配管の帯電に起因した処
理流体からの発火を防止することができる。

【００１１】また、基板処理装置外に延びた導電性配管
に金属製バンドを巻着し、この金属製バンドを金属線で
アース接続すれば、基板処理装置で処理される基板が金
属線による金属汚染を受けるおそれがなく、高品質な基
板を提供することができる。上記有機系薬液は、請求項
７記載のように、基板に付着している不要なポリマーを
除去するためのものであってもよい。請求項８記載の発
明は、少なくとも２本以上の導電性配管（３）と、上記
少なくとも２本以上の導電性配管を接続するための樹脂
製の配管用継ぎ手（６）と、上記少なくとも２本以上の
導電性配管を電気的に接続して導通させる配管導通用配
線（７）と、上記少なくとも２本以上の導電性配管のう
ちの少なくとも１本の導電性配管をアースに接続するた
めのアース配線（５）とを含むことを特徴とする配管セ
ットである。

【００１２】この発明によれば、配管用継ぎ手で接続さ
れる導電性配管同士を配管導通用配線で接続することに
より、その導電性配管を電気的に導通させることができ
るから、そのうちの１本の導電性配管にアース配線を接
続すれば、配管用継ぎ手で接続される導電性配管のすべ
てをアース電位に保持することができ、導電性配管の個
々をアース接続する必要がない。また、この配管セット
が有機系薬液の処理流体を用いて基板を処理する基板処
理装置に適用された場合には、導電性配管の帯電に起因
した処理流体からの発火を防止することができる。さら
に、基板処理装置外に延びた導電性配管に金属製バンド
を巻着し、この金属製バンドを金属線でアース接続すれ
ば、基板処理装置で処理される基板が金属線による金属
汚染を受けるおそれがなく、高品質な基板を提供するこ
とができる。

【００１３】なお、請求項８の配管セットが上記基板処
理装置に適用される場合には、基板の金属汚染を防止す
るために、配管導通用配線が非金属材料を用いて形成さ
れていることが好ましい。請求項９記載の発明は、樹脂
製の配管用継ぎ手（６）によって接続された少なくとも
２本以上の導電性配管（３）に電気的に接続されて、そ
の少なくとも２本以上の導電性配管を電気的に導通させ
ることを特徴とする非金属製の配管導通用配線（７）で
ある。

【００１４】この発明の配管導通用配線は、請求項８の
配管セットに好適に用いることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る配管用継ぎ手を用いた配管構造
を図解的に示す図である。配管用継ぎ手１は、たとえ
ば、レジストアッシング処理後のウエハの表面に付着し
ているポリマー（レジスト残渣）を有機溶剤系のポリマ
ー除去液を用いて除去するポリマー除去装置２に好適に
用いられる。ポリマー除去装置２は、ウエハにポリマー
除去液を用いた処理を施すための処理室２１と、この処
理室２１内に配設されて、処理対象のウエハの表面にポ
リマー除去液を供給するためのノズル２２とを備えてい
る。

【００１６】ポリマー除去液としては、有機アルカリ液
を含む液体、有機酸を含む液体、無機酸を含む液体、ふ
っ化アンモン系物質を含む液体のうちの少なくともいず
れか１つが使用できる。そのうち、有機アルカリ液を含
む液体としては、ＤＭＦ（ジメチルホルムアミド）、Ｄ
ＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ヒドロキシルアミ
ン、コリンのうちの少なくともいずれか１つを含む液体
が挙げられる。また、有機酸を含む液体としては、クエ
ン酸、蓚酸、イミノジ酸、および琥珀酸のうちの少なく
ともいずれか１つを含む液体が挙げられる。また、無機
酸を含む液体としては、ふっ酸および燐酸のうちの少な
くともいずれか１つを含む液体が挙げられる。その他、
ポリマー除去液としては、１−メチル−２ピロリドン、
テトラヒドロチオフェン１．１−ジオキシド、イソプロ
パノールアミン、モノエタノールアミン、２−（２アミ
ノエトキシ）エタノール、カテコール、Ｎ−メチルピロ
リドン、アロマティックジオール、パーフレン、フェノ
ールを含む液体などのうちの少なくともいずれか１つを
含む液体があり、より具体的には、１−メチル−２ピロ
リドンとテトラヒドロチオフェン１．１−ジオキシドと
イソプロパノールアミンとの混合液、ジメチルスルホキ
シドとモノエターノルアミンとの混合液、２−（２アミ
ノエトキシ）エタノールとヒドロキシアミンとカテコー
ルとの混合液、２−（２アミノエトキシ）エタノールと
Ｎ−メチルピロリドンとの混合液、モノエタノールアミ
ンと水とアロマティックジオールとの混合液、パーフレ
ンとフェノールとの混合液などのうちの少なくともいず
れか１つが挙げられる。その他、トリエタノールアミ
ン、ペンタメチルジエチレントリアミンなどのアミン
類、プロピレングリコール、ジプロピレングリコールモ
ノメチルエーテルなどのうちの少なくともいずれか１つ
を含む液体が挙げられる。

【００１７】図外のポリマー除去液供給源からノズル２
２にポリマー除去液を供給するための配管（経路）は、
多数本の導電性チューブ３を配管用継ぎ手１で接続する
ことにより構成されている。導電性チューブ３は、たと
えば、耐薬液性（ポリマー除去液に対する耐性）を有す
るＰＦＡ（パーフルオロアルコキシエチレン）樹脂製の
チューブであって、導電性を持たせるために、その表面
には、チューブの一端から他端に至る直線状のストライ
プ導電層がカーボン材料を用いて形成されている。ま
た、配管用継ぎ手１は、導電性材料（導電性を付与する
ための材料）としてのカーボンを混入したＰＦＡ樹脂材
料を用いて形成されていて、導電性を有しており、２本
の導電性チューブ３を直列的に接続し、その接続した２
本の導電性チューブ３を電気的に導通させることができ
る。

【００１８】これにより、すべての導電性チューブ３
は、配管用継ぎ手１を介して電気的に導通されているか
ら、いずれか１本の導電性チューブ３をアースに接続す
れば、ポリマー除去液供給源からノズル２２にポリマー
除去液を供給するための配管をアース電位に保持するこ
とができ、その配管をポリマー処理液が流通する際の摩
擦帯電による発火を防止することができる。また、１本
の導電性チューブ３をアースに接続すればよいから、個
々の導電性チューブ３をアースに接続した構成と比べ
て、アース接続のための配線構造が簡素であり、そのア
ース接続のための作業に要する手間が少なくすむ。

【００１９】さらに、この実施形態では、ポリマー除去
装置２外にある導電性チューブ３に金属製バンド４が巻
着され、この金属製バンド４が金属線５を介してアース
に電気接続されている。したがって、ポリマー除去装置
２で処理されるウエハが金属線５による金属汚染を受け
るおそれがなく、高品質なウエハを提供することができ
る。図２は、配管用継ぎ手１の構成を示す断面図であ
る。配管用継ぎ手１は、継ぎ手本体１１と、この継ぎ手
本体１１の両端にそれぞれ冠着される固定用ナット１２
とを含む。

【００２０】継ぎ手本体１１は、ポリマー除去液の流通
方向（長手方向）の中央にフランジ部１１１を有する管
状に形成されており、その内部は、両端にそれぞれ接続
された導電性チューブ３を連通するための連通路１１２
となっている。連通路１１２の両端部は、中央部よりも
少し径が大きく形成されていて、それぞれ導電性チュー
ブ３の先端を挿入できるようになっている。また、継ぎ
手本体１１の両端部は、それぞれ外周面にねじ山を有す
るねじ部１１３となっている。

【００２１】固定用ナット１２は、継ぎ手本体１１の連
通路１１２内に先端が挿入された導電性チューブ３を継
ぎ手本体１１に対して固定するためのもので、それぞれ
継ぎ手本体１１のねじ部１１３に冠着可能なキャップ状
に形成されている。具体的には、固定用ナット１２は、
ねじ部１１３のねじ山に螺合するねじ溝が内周面に形成
された筒状部１２１と、この筒状部１２１の一方端面を
閉塞するように設けられていて、導電性チューブ３が中
央に挿通された挿通部１２２とを有している。

【００２２】導電性チューブ３の端部付近には、内周面
にリング状のインナー３１が埋設されることにより突起
部３２が形成されている。これに対応して、継ぎ手本体
１１の両端面および固定用ナット１２の筒状部１２１の
内面（筒状部１２１で囲まれた空間に臨む面）には、継
ぎ手本体１１に固定用ナット１２が冠着された状態で突
起部３２が嵌り込む溝部１２３を形成する凹部がそれぞ
れに形成されている。この構成により、固定用ナット１
２に挿通された導電性チューブ３の先端を継ぎ手本体１
１の連通路１１２内に挿入し、固定用ナット１２の筒状
部１２１の内周面のねじ溝を継ぎ手本体１１のねじ山に
螺合させて、固定用ナット１２を継ぎ手本体１１に冠着
することにより、導電性チューブ３を継ぎ手本体１１に
接続した状態で固定することができる。そして、継ぎ手
本体１１の両端に導電性チューブ３を接続して固定用ナ
ット１２で固定することにより、その２本の導電性チュ
ーブ３を、継ぎ手本体１１の連通路１１２を介して連通
し、かつ、電気的に導通させた状態に接続することがで
きる。

【００２３】図３は、この発明の他の実施形態について
説明するための図である。上記の実施形態では、導電性
を有する樹脂製の配管用継ぎ手１で２本の導電性チュー
ブ３を連結することにより、その２本の導電性チューブ
３間の電気的な導通を確保しているが、この実施形態で
は、導電性を有しない樹脂製の配管用継ぎ手６で２本の
導電性チューブ３を連結し、その連結した２本の導電性
チューブ３に非金属製の導通用配線７を接続することに
より、２本の導電性チューブ３間における電気的な導通
が確保されている。

【００２４】配管用継ぎ手６は、その成型材料であるＰ
ＦＡ樹脂材料中に導電性材料を含有していない点以外
は、上述の配管用継ぎ手１（図２参照）と同様な構成を
有している。すなわち、配管用継ぎ手６は、継ぎ手本体
６１と、この継ぎ手本体６１の両端にそれぞれ冠着され
る固定用ナット６２とを含む構成であり、継ぎ手本体６
１および固定用ナット６２は、それぞれ配管用継ぎ手１
の継ぎ手本体６１および固定用ナット６２と同様な形状
に形成されている。

【００２５】導通用配線７は、たとえば、耐薬液性を有
する樹脂中に導電性材料としてのカーボンを混入するこ
とにより導電性が付与された材料を用いて形成されてお
り、この導通用配線７と同じ材料を用いて形成されて、
２本の導電性チューブ３にそれぞれ巻着された導電性樹
脂バンド８に接続されている。耐薬液性を有する樹脂と
しては、たとえば、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ等の
フッ素樹脂を例示することができる。なお、図３におい
ては、導通用配線７は、中間部分が伸縮可能に設けられ
た成型品からなっているが、その他、導電性材料からな
り可撓性のある紐状のものであってもよい。

【００２６】この導通用配線７を用いて各導電性チュー
ブ３間の電気的導通を確保した配管構造でも、上述した
第１の実施形態の場合と同様に、いずれか１本の導電性
チューブ３をアースに接続すれば、すべての導電性チュ
ーブ３をアース電位に保持することができ、導電性チュ
ーブ３内を有機溶剤系の薬液（ポリマー除去液など）が
流通する際の摩擦帯電による発火を防止することができ
る。また、１本の導電性チューブ３をアースに接続すれ
ばよいから、個々の導電性チューブ３をアースに接続し
た構成と比べて、アース接続のための配線構造が簡素で
あり、そのアース接続のための作業に要する手間が少な
くすむ。さらに、この実施形態に係る配管構造が基板処
理装置に適用された場合には、導電性チューブ３のアー
ス接続に起因するウエハの金属汚染を防止できる。さら
には、導通用配線７が非金属性の材料を用いて形成され
ているから、この導通用配線７によるウエハの金属汚染
を生じるおそれもない。

【００２７】以上、この発明の２つの実施形態について
説明したが、この発明は上記の各実施形態に限定される
ものではない。たとえば、導通用配線７は、耐薬液性を
有する樹脂材料を用いて形成された配線の表面に、導電
性を有するカーボン材料を用いて、配線の一端から他端
に至る導電層を形成した構成を有していてもよい。その
他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設
計変更を施すことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に係る配管用継ぎ手を用
いた配管構造を図解的に示す図である。

【図２】配管用継ぎ手の構成を示す断面図である。

【図３】この発明の他の実施形態について説明するため
の図である。

【図４】従来の基板処理装置（ポリマー除去処理のため
の装置）における配管構造を示す図である。

【符号の説明】

１ 配管用継ぎ手 ２ ポリマー除去装置 ３ 導電性チューブ ４ 金属製バンド ５ 金属線 ６ 配管用継ぎ手 ７ 導通用配線 ８ 導電性樹脂バンド

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも２本以上の導電性配管を接続す
   るための樹脂製の配管用継ぎ手であって、 上記少なくとも２本以上の導電性配管を電気的に導通さ
   せる導通手段を含むことを特徴とする配管用継ぎ手。
2. 【請求項２】上記導通手段は、上記配管用継ぎ手を構成
   する樹脂材料に含有された導電性材料を含むことを特徴
   とする請求項１記載の配管用継ぎ手。
3. 【請求項３】上記導通手段は、上記配管用継ぎ手の表面
   に導電性材料を用いて形成された導電層を含むことを特
   徴とする請求項１または２記載の配管用継ぎ手。
4. 【請求項４】上記導電性材料は、カーボンであることを
   特徴とする請求項２または３記載の配管用継ぎ手。
5. 【請求項５】上記配管用継ぎ手は、処理流体を用いて基
   板を処理する基板処理装置に備えられる導電性配管を接
   続するためのものであることを特徴とする請求項１ない
   し４のいずれかに記載の配管用継ぎ手。
6. 【請求項６】上記処理流体は、有機系薬液の液体または
   気体であることを特徴とする請求項５記載の配管用継ぎ
   手。
7. 【請求項７】上記有機系薬液は、基板に付着している不
   要なポリマーを除去するためのものであることを特徴と
   する請求項６記載の配管用継ぎ手。
8. 【請求項８】少なくとも２本以上の導電性配管と、 上記少なくとも２本以上の導電性配管を接続するための
   樹脂製の配管用継ぎ手と、 上記少なくとも２本以上の導電性配管を電気的に接続し
   て導通させる配管導通用配線と、 上記少なくとも２本以上の導電性配管のうちの少なくと
   も１本の導電性配管をアースに接続するためのアース配
   線とを含むことを特徴とする配管セット。
9. 【請求項９】樹脂製の配管用継ぎ手によって接続された
   少なくとも２本以上の導電性配管に電気的に接続され
   て、その少なくとも２本以上の導電性配管を電気的に導
   通させることを特徴とする非金属製の配管導通用配線。