TWI804726B - 靜電減緩過濾器、流體處理系統及減緩流體處理系統中之靜電放電的方法 - Google Patents

靜電減緩過濾器、流體處理系統及減緩流體處理系統中之靜電放電的方法 Download PDF

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Abstract

本發明報導用於ESD減緩的具有導電聚合物套管之流體過濾器的實施例。此過濾器之實施例可包括導電套管及綁帶，以減緩靜電放電。

Description

靜電減緩過濾器、流體處理系統及減緩流體處理系統中之靜電放電的方法
本發明之實施例大體上涉及流體過濾器，且更確切而言，涉及具有靜電放電減緩套管之流體過濾器。
高純度流體處理系統在先進技術應用中具有許多用途。此等應用包括太陽能面板、平板顯示器之處理及製造，以及在半導體行業中用於諸如光微影、批量化學物質遞送、化學機械拋光(chemical mechanical polishing，CMP)、濕式蝕刻及清潔等應用。此等應用中使用的某些化學物質是具侵蝕性之高純度有機溶劑，由此妨礙使用一些習知流體處理技術。
為了滿足此類應用之高純度要求，合適之流體處理系統提供由惰性聚合物製成之過濾器、管道、配件、閥門及其他元件。此等惰性聚合物可包括但不限於含氟聚合物，如四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)以及氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)。此等材料容易發生靜電電荷積聚，其可導致流體處理系統受到破壞。
積聚靜電靜電荷可自流體處理系統內放電至外部環境，潛 在地破壞流體處理系統中之組件(例如管道或管路、配件、組件、容器、過濾器等)，其可能會導致洩漏、系統中的流體溢出及組件之效能減弱。在此等情形中，當可燃、有毒及/或腐蝕性流體用於受損流體處理系統時，此類放電可能會導致潛在火災或爆炸。
靜電放電(ESD)是用於半導體行業中及其他技術應用中的流體處理系統之重要技術問題。流體與流體系統中之各種操作組件(例如管道或管路、閥門、配件、過濾器等)的表面之間的摩擦接觸可引起靜電荷產生及積聚。電荷產生的程度視各種因素而定，包括但不限於組件及流體之性質、流體速度、流體黏度、流體之導電性、至地面之路徑、液體中之湍流及剪切、流體中之空氣的存在及表面積。一般而言，需要找到用於耗散流體處理系統以及存在於流體處理系統中之過濾器中的靜電電荷的解決方案。
本發明之一或多個實施例係關於具有靜電減緩套管之流體過濾器。
在某些實施例中，靜電減緩過濾器包含過濾器元件、過濾器殼體、一或多個端蓋、導電聚合物套管及導電聚合物綁帶。
在一些實施例中，過濾器具有一個端蓋；在其他實施例中，過濾器具有兩個端蓋。
合適的導電聚合物套管可包含導電含氟聚合物，例如但不限於選自由以下組成之群的導電聚合物：四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯 (PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)以及其混合物。在一個實施例中，導電聚合物套管包含全氟烷氧基烷烴聚合物。在一些實施例中，導電聚合物套管為擠製管，在其他實施例中，導電聚合物套管為圓柱形片，在另外其他實施例中，導電聚合物套管為扁平片或輥壓片。此外，所揭示之導電聚合物套管可以是可重複使用的。
在一些實施例中，過濾器具有將導電聚合物套管固持於過濾器殼體且用於連接至地面的第一導電聚合物綁帶及亦用於將導電聚合物套管固持於過濾器殼體的第二導電聚合物綁帶。適合的導電綁帶包含導電含氟聚合物或導電聚烯烴。在一個實施例中，導電綁帶包含導電聚丙烯。
所揭示之過濾器的各種實施例具有電荷及電阻率特性。在一個實施例中，當產生電荷的流體流動通過過濾器時，過濾器之量測電荷為約+/- 1kV。在其他實施例中，導電聚合物套管之外表面電阻率為約小於約1E+4歐姆、1E歐姆至約1E+4歐姆或約0.9E+2歐姆至約4E+3歐姆，更佳地，導電聚合物套管之外表面電阻率為約1E+3歐姆至約3E+3歐姆。在一些實施例中，導電聚合物套管之內表面電阻率為小於約1E+4歐姆、1E歐姆至約1E+4歐姆或約0.9E+2歐姆至約2E+3歐姆，更佳地，導電聚合物套管之內表面電阻率為約1E+3歐姆至約1.5E+3歐姆。在一些實施例中，導電綁帶之電阻率為小於約1E+4歐姆、1E歐姆至約1E+4歐姆或約2E+3歐姆至約4E+3歐姆。
一或多個所揭示之實施例可包括靜電放電套組，其包含導電聚合物套管及導電聚合物綁帶。
額外實施例可包括包含靜電減緩過濾器的流體處理系統。
額外實施例亦可包括減緩流體處理系統中之靜電放電的方 法，其包含將靜電減緩過濾器安裝在流體處理系統中。
以上發明內容並不意欲描述本發明的所說明的各實施例或每一種實施方案。本發明之實施例能夠經受各種修改及替代形式，且某些特殊性已例如在圖式中展示且將詳細描述。應理解，並不意欲將本發明限於所描述的特定實施例；意欲涵蓋屬於本發明之精神及範疇內的所有修改、等效物及替代方案。
100:過濾器
101:內部過濾器元件
102:過濾器殼體/殼體
104:導電端蓋/端蓋
106:導電端蓋/端蓋
108:外部導電聚合物套管/導電聚合物套管/套管
118:綁帶
119:綁帶
120:汲極配件
121:汲極插塞
200:過濾器/ESD減緩過濾器/ESD過濾器
202:殼體
204:端蓋
208:外部導電聚合物套管/導電聚合物套管/套管
210:連接器配件
212:綁帶
213:綁帶
300:導電聚合物套管
302:綁帶
304:綁帶
306:凸片
307:凸片
308:過濾器
310:ESD過濾器
450:流體處理系統/系統
452:流體供應源
456:過程階段
460:流體線路
464:管道段
470:肘形配件
472:T形配件
474:閥門
476:ESD減緩過濾器
478:流量感測器
479:直式配件
482:主體部分
486:管道連接器配件
本發明中所包括之圖式說明本發明之實施例，且連同實施方式用以闡釋本發明之原理。圖式僅說明某些實施例，且不限制本發明。
圖1a描繪根據本發明之一或多個實施例的具有兩個端蓋之過濾器的分解等距視圖。
圖1b描繪根據本發明之一或多個實施例的具有兩個端蓋之過濾器的等距視圖。
圖2a描繪根據本發明之一或多個實施例的具有一個端蓋之過濾器的分解等距視圖。
圖2b描繪根據本發明之一或多個實施例的一個端蓋的等距視圖。
圖3描繪根據本發明之一或多個實施例的用於過濾器之靜電減緩套組。
圖4描繪根據本發明之一或多個實施例的流體處理系統。
圖5展示各種流動速率下的來自實例1之靜電放電值。
本發明報導用於ESD減緩的具有導電聚合物套管之流體過 濾器的實施例。此過濾器之實施例可包括導電套管及綁帶，以減緩靜電放電。
圖1a說明ESD減緩過濾器之一個實施例。過濾器100之此分解異構視圖包括過濾器殼體102、兩個導電端蓋104及106以及外部導電聚合物套管108。殼體102包括內部過濾器元件101，其在一些實施例中為可更換組件；而在其他實施例中，過濾器元件為固定的不可更換組件。在各種實施例中，殼體102可由聚合材料製成，例如四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)；乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)以及氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)或其混合物。導電端蓋104及106兩者亦可由聚合材料製成，該聚合材料為與殼體相同或不同的聚合材料，例如四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)；乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)以及氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)或其混合物。在一些實施例中，導電聚合物套管108可為含氟聚合物。在一些實施例中，含氟聚合物可以選自由以下組成之群：四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)；乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)以及其混合物。在一些實施例中，導電聚合物套管包含全氟烷氧基烷烴聚合物。各端蓋104、106包括用於將端蓋連接至殼體102之配件。在一些實施例中，連接可以是可拆除的，而在其他實施例中，連接可以是固定的或永久性的。另外，各端蓋104及106包括一或多個連接器配件以將各端蓋連接至管道段(未展示)， 以便提供自管道段通過一個端蓋及殼體至另一個端蓋及管道段的流體通道。在某些實施例中，連接器配件包括例如接頭部分、帶螺紋部分、肩部分(shoulder portion)及配件螺母以提供導電連接以及來自管道段及過濾器100的防洩漏通道。導電聚合物套管108在殼體102的外部表面上方延伸。在一些實施例中，導電聚合物套管108包括基底聚合材料及導電填充材料。在一些實施例中，基底聚合材料可為選自由以下組成之群的含氟聚合物：四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)；乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)以及其混合物。在一些實施例中，導電填充材料包括但不限於碳。在一些實施例中，導電聚合物材料是負載碳之PFA。在一些實施例中，導電聚合物套管108分別提供過濾器100與綁帶118及119之間的導電連接。在一些實施例中，套管108為擠製管道，在其他實施例中為圓柱形片，且在另外其他元件中由扁平片或輥壓片製成。在一或多個實施例中，綁帶118及119為導電聚合物材料，其與導電聚合物套管108以電力方式及以導電方式連接至地面。舉例而言，綁帶118及119可連接至電接點，該電接點接地以便組態用於ESD減緩的過濾器。在一或多個實施例中，綁帶具有用於螺栓及螺母、螺釘或其他帶螺紋之連接器的凸片附接件(tab attachment)。在一些實施例中，附接部件為凸片、帶螺紋孔或用於連接至電接點的其他合適部件。在某些實施例中，附接部件可組態成用於干涉配合、搭扣配合、摩擦配合或具有電接點的其他裝配方法。在一些實施例中，綁帶118及119可為導電聚合物。在一些實施例中，綁帶118及119包括基底聚合材料及導電填充材料。在一些實施例中，基底聚合材料可為選自由以下組成之群 的含氟聚合物：四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)；乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)以及其混合物。在一些實施例中，基底聚合材料可以是聚烯烴，包括但不限於聚丙烯。在一些實施例中，導電填充材料包括但不限於碳。
在如圖1b中所說明之某些實施例中，ESD減緩過濾器100包括殼體102、端蓋104及106、導電聚合物套管108以及綁帶118及119。另外，過濾器100包括汲極配件120及汲極插塞121。
圖2a亦說明ESD減緩過濾器之一個實施例。過濾器200之此分解異構視圖包括殼體202、單個端蓋204及外部導電聚合物套管208。殼體202包括內部過濾器元件(未展示)，其在一些實施例中為可更換組件；而在其他實施例中，過濾器元件為固定的不可更換組件。在各種實施例中，殼體202可為聚合材料，且在某些實施例中可為四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)以及氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)或其混合物。端蓋204可為與殼體的聚合材料相同或不同的如上文所描述之聚合材料。端蓋204包括用於將端蓋連接至殼體202的配件。在一些實施例中，連接可以是可拆除的，而在其他實施例中，連接可以是固定的或永久性的。另外，端蓋204包括一或多個連接器配件210以將端蓋連接至管道段，以便提供自管道段經由穿過殼體的導體配件至另一導體配件及管道段的連接及流體通道兩者。在某些實施例中，連接器配件包括例如如上文所描述之接頭部 分、帶螺紋部分、肩部分及配件螺母，以提供導電連接以及來自管道段及過濾器200的防洩漏流體通道。導電聚合物套管208在兩個殼體202之外部表面上方延伸。套管208可為與上文參考套管108所描述之材料相同的材料。在一些實施例中，導電聚合物套管208為可置放在殼體202之外部上方且藉由使用習知設備及方法將熱量施加至套管而連接至外部表面的收縮包裝聚合物。ESD減緩過濾器200亦分別包括附接綁帶212及213。在一或多個實施例中，綁帶是導電材料，其與套管208以導電方式連接以用於附接於外部電接點且接著附接於地面。在一些實施例中，綁帶具有凸片、帶螺紋孔或用於連接至電接點之其他合適部件。在某些實施例中，綁帶可組態成用於干涉配合、搭扣配合、摩擦配合或具有電接點的其他裝配方法。綁帶212及213可為與上文參考綁帶118及119所描述之材料相同的材料。
圖2b說明ESD過濾器200之實施例，該ESD過濾器200包括殼體202、端蓋204、導電聚合物套管208以及綁帶212及213。
圖3說明靜電放電套組及此套組與過濾器之使用。該套組包含導電聚合物套管300。在一些實施例中，導電聚合物套管300可為與上文參考套管108及208所描述之材料相同的材料。在一些實施例中，導電聚合物套管300更佳地由導電全氟烷烴聚合物製成。套組亦分別包含兩個綁帶302及304。在一些實施例中，綁帶302及304可為與上文參考綁帶118及119以及綁帶212及213所描述之材料相同的材料。在一些實施例中，綁帶118及119兩者更佳地由導電聚丙烯聚合物製成。在一些實施例中，綁帶302進一步包含凸片306及307，其用作附接配件以將綁帶及套管連接至地面，以便減緩靜電放電。當使用時，導電聚合物套管300裝配在過濾器308之外部上。當套組處於適當位置時，緊固綁帶302及304，以便將套管 安全地且以導電方式附接於過濾器且提供ESD過濾器310。
本發明之ESD減緩過濾器可用於ESD減緩流體線路中。代表性ESD減緩線路例如報導於國際專利申請案WO 2017/210293中，其以引用之方式併入本文中，除了其中所含有的明確定義或專利之申請專利範圍外。
例示性ESD線路包括圖4中所說明之流體處理系統450。系統450提供用於流體自流體供應源452流動至位於流體供應源下游的一或多個過程階段456的流動路徑。系統450包括流體線路460，其包括流體處理系統450的流動路徑之一部分。流體線路460包括管道段464及經由管道段464互連的複數個可操作組件。在圖4中，可操作組件包括肘形配件470、T形配件472、閥門474、ESD減緩過濾器476、流量感測器478及直式配件479。在各種實施例中，流體線路460可包括數目及類型方面額外或更少的可操作組件。舉例而言，流體線路460可代替或另外包括泵、混合器、分配頭、噴射器噴嘴、壓力調節器、流量控制器或其他類型的操作組件。在裝配時，可操作組件係藉由在其各別管道連接器配件處連接至組件的複數個管道段464連接在一起。連接在一起的複數個管道段464及可操作組件提供自流體供應源452通過流體線路460且朝向過程階段456的流體通道。在某些實施例中，操作組件各自包括例如限定流體流動通道的主體部分482及一或多個管道連接器配件。在一些實施例中，管道連接器配件中之至少一個為用於接收流體進入主體部分482中的入口部分，且管道連接器配件中之至少另一個為用於輸出經由入口部分接收的流體的出口部分。舉例而言，T形配件472包括一個管道連接器配件，其為自流體供應源452接收流體的入口部分，及兩個管道連接器配件486，其為朝向過程 階段456輸出流體的出口部分。在某些實施例中，入口部分及出口部分各自連接或可連接至管道段464。在一些實施例中，例如在流體線路460中的可操作組件包括噴射嘴的情況下，僅需要入口部分可連接至管道段464。在一些實施例中，可操作組件中之一或多者包括單個管道連接器或配件479。
所揭示之ESD減緩過濾器之各種實施例具有電荷及電阻率特性。在一個實施例中，當產生電荷的流體流動通過過濾器時，過濾器之量測電荷小於±1kV(約-1kV至約+1kV之範圍)。在一些實施例中，導電聚合物套管之電阻率為約1E+1至約1E+4。在其他實施例中，導電聚合物套管之外表面電阻率為約0.9E+2歐姆至約4E+3歐姆，更佳地，導電聚合物套管之外表面電阻率為約1E+3歐姆至約3E+3歐姆。在一些實施例中，導電聚合物套管之內表面電阻率為約1E至約+4E歐姆、約0.9E+2歐姆至約2E+3歐姆，更佳地，導電聚合物套管之內表面電阻率為約1E+3歐姆至約1.5E+3歐姆。在一些實施例中，導電綁帶之電阻率為約1E+1歐姆至約1E+4歐姆。在其他實施例中，導電綁帶之電阻率為約2E+3歐姆至約4E+3歐姆。
實例1 靜電減緩量測
此實例量測藉由使丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)流動通過兩種市售過濾器，IMPACT 8G 7nm PTFE過濾器及IMPACT 2 AT 0.05μm過濾器(均購自Entegris公司(Billerica,MA))所產生的電荷之量。使用ESD計量測根據本發明的具有ESD套管之過濾器及不具有ESD套管之過濾器的電荷積聚。在室溫下量測流動速率為50、100、200及300毫升/分鐘的ESD。所量測之電荷展示於圖5。
資料表明具有ESD套管之過濾器的ESD電荷值(kV)低於不具有ESD套管之過濾器的ESD電荷值。
在第一態樣中，靜電減緩過濾器包含過濾器元件、過濾器殼體、一或多個端蓋、導電聚合物套管及一或多個導電聚合物綁帶。
根據第一態樣之第二態樣，其中該過濾器具有一個端蓋。
根據第一態樣之第三態樣，其中該過濾器具有兩個端蓋。
根據第一態樣之第四態樣，其中用於連接至地面的第一導電聚合物綁帶及用於將導電聚合物套管固持於過濾器殼體的第二導電聚合物綁帶。
根據前述態樣中任一個之第五態樣，其中該導電聚合物套管包含導電含氟聚合物。
根據前述態樣中任一個之第六態樣，其中該導電聚合物套管包含導電聚合物，其選自由以下組成之群：四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)以及其混合物。
根據前述態樣中任一個之第七態樣，其中該導電聚合物套管包含全氟烷氧基烷烴聚合物。
根據前述態樣中任一個之第八態樣，其中該等一或多個導電聚合物綁帶包含導電含氟聚合物或導電聚烯烴。
根據前述態樣中任一個之第九態樣，其中該等一或多個導電聚合物綁帶包含導電聚丙烯。
根據前述態樣中任一個之第十態樣，其中該導電聚合物套 管為擠製管。
根據前述態樣中任一個之第十一態樣，其中該導電聚合物套管為圓柱形片。
根據前述態樣中任一個之第十二態樣，當產生電荷的流體流動通過過濾器時，該過濾器之量測電荷小於+/- 1kV。
根據前述態樣中任一個之第十三態樣，其中該導電聚合物套管之外表面電阻率為約0.9E+2歐姆至約1E+4歐姆。
根據第一至第十二態樣中任一個之第十四態樣，其中該導電聚合物套管之外表面電阻率為約1E+3歐姆至約1E+4歐姆。
根據第一至第十二態樣中任一個之第十五態樣，其中該導電聚合物套管之內表面電阻率為約0.9E+2歐姆至約1E+4歐姆。
根據第一至第十二態樣中任一個之第十六態樣，其中該導電聚合物套管之內表面電阻率為約1E+3歐姆至約1E+4歐姆。
根據前述態樣中任一個之第十七態樣，其中該等一或多個導電聚合物綁帶之電阻率為約1E歐姆至約1E+4歐姆。
根據前述態樣中任一個之第十八態樣，其中該導電聚合物套管是可重複使用的。
在第十九態樣中，靜電放電套組包含導電聚合物套管及導電綁帶。
在第二十態樣中，流體處理系統包含第一至第十八態樣中任一個之靜電減緩過濾器。
在第二十一態樣中，一種減緩流體處理系統中之靜電放電的方法包含將第一至第十八態樣中任一個之靜電減緩過濾器安裝在流體處 理系統中。
已出於說明的目的呈現本發明之各種實施例的描述，但該等描述並不意欲為窮盡性的或限於所揭示之實施例。在不脫離所描述實施例之範疇及精神之情況下，對一般熟習此項技術者而言多個修改及變化將是顯而易見的。本文中所使用之術語經選擇以闡釋實施例之原理、實際應用或優於市場中發現的技術之技術改良，或使一般熟習此項技術者能夠理解本文所揭示之實施例。
100:過濾器
101:內部過濾器元件
102:過濾器殼體/殼體
104:導電端蓋/端蓋
106:導電端蓋/端蓋
108:外部導電聚合物套管/導電聚合物套管/套管
118:綁帶
119:綁帶

Claims (9)

  1. 一種靜電減緩過濾器，其包含過濾器元件、過濾器殼體、一或多個連接至該過濾器殼體之端蓋、導電聚合物套管及一或多個導電聚合物綁帶，其中該過濾器元件在該過濾器殼體之內部內，且該導電聚合物套管在該過濾器殼體之外部表面上延伸，且其中該過濾器具有用於連接至地面的第一導電聚合物綁帶及用於將該導電聚合物套管固持於該過濾器殼體的第二導電聚合物綁帶。
  2. 如請求項1之過濾器，其中該導電聚合物套管包含導電含氟聚合物。
  3. 如請求項1或2之過濾器，其中該導電聚合物套管包含全氟烷氧基烷烴聚合物。
  4. 如請求項1或2之過濾器，其中該等一或多個導電聚合物綁帶包含導電含氟聚合物或導電聚烯烴。
  5. 如請求項1或2之過濾器，其中該導電聚合物套管之外表面電阻率為約0.9E+2歐姆至約1E+4歐姆。
  6. 如請求項1或2之過濾器，其中該導電聚合物套管之內表面電阻率為約0.9E+2歐姆至約1E+4歐姆。
  7. 如請求項1或2之過濾器，其中該等一或多個導電聚合物綁帶之電阻率為約1E歐姆至約1E+4歐姆。
  8. 一種流體處理系統，其包含如請求項1至7中任一項之靜電減緩過濾器。
  9. 一種減緩流體處理系統中之靜電放電的方法，其包含將如請求項1至7中任一項之靜電減緩過濾器安裝在該流體處理系統中。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7360475B2 (ja) 2019-05-03 2023-10-12 インテグリス・インコーポレーテッド 静電気放電緩和スリーブ付きフィルタ

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102711951A (zh) * 2009-09-21 2012-10-03 克劳斯·舒曼 过滤器
CN103764248A (zh) * 2011-08-17 2014-04-30 罗伯特·博世有限公司 过滤器借助于过滤元件上的能导电的带状导体接地
TW201805053A (zh) * 2016-06-01 2018-02-16 恩特葛瑞斯股份有限公司 具有整合式靜電放電抑制之流體迴路
CN207339482U (zh) * 2017-10-19 2018-05-08 中山大洋电机股份有限公司 一种可以防止冷凝油回流的引线组件及其应用的电机

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3933643A (en) * 1971-09-10 1976-01-20 The Carborundum Company Electrically conducting filter media for fluids
US5076920B2 (en) 1990-08-30 1998-05-05 Allied Signal Inc Electrostatically dissipative fuel filter
US5382359A (en) 1993-05-13 1995-01-17 Parr Manufacturing, Inc. Plastic fuel filter with conductive coating for providing an evaporative barrier and for dissipating electrostatic charges
DE19925098A1 (de) * 1999-06-01 2000-12-07 Bosch Gmbh Robert Wegwerf-Filter für Kraftstoff
DE10024738A1 (de) * 2000-05-19 2001-11-29 Qvf Engineering Gmbh Glasbauteile mit einer ableitfähigen Beschichtung, ihre Verwendung und daraus hergestellte Apparate, Anlagen und Rohrleitungen
US6774305B2 (en) * 2001-06-18 2004-08-10 Raymond L. Wellman Self-grounding connector for joining end sections of fluid flow conduits and fabrication processes therefor
EP1819412B1 (de) * 2004-11-22 2012-02-22 Mann + Hummel Gmbh Filter, insbesondere zur filterung von kraftstoff
US8496864B2 (en) * 2010-03-16 2013-07-30 The John Hopkins University Static dissipative cable ties, such as for radiation belt storm probes
DE102011078467A1 (de) * 2011-06-30 2013-01-03 Robert Bosch Gmbh Kunststoffgehäuse
JP6104655B2 (ja) 2013-03-14 2017-03-29 ライオン・スペシャリティ・ケミカルズ株式会社 導電性結束バンド
JP2017084781A (ja) 2015-10-30 2017-05-18 日本ピラー工業株式会社 流体機器用帯電防止カバー
DE102016011157A1 (de) * 2016-09-16 2018-03-22 Mann+Hummel Gmbh Filtergehäuse aus Kunststoff und Filtersystem
JP6902245B2 (ja) 2017-08-28 2021-07-14 株式会社豊田自動織機 円筒型ろ過フィルタ
CN207628066U (zh) * 2017-11-23 2018-07-20 无锡市东吴石化成套有限公司 一种非金属包装过滤器
JP7360475B2 (ja) 2019-05-03 2023-10-12 インテグリス・インコーポレーテッド 静電気放電緩和スリーブ付きフィルタ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102711951A (zh) * 2009-09-21 2012-10-03 克劳斯·舒曼 过滤器
CN103764248A (zh) * 2011-08-17 2014-04-30 罗伯特·博世有限公司 过滤器借助于过滤元件上的能导电的带状导体接地
TW201805053A (zh) * 2016-06-01 2018-02-16 恩特葛瑞斯股份有限公司 具有整合式靜電放電抑制之流體迴路
CN109195682A (zh) * 2016-06-01 2019-01-11 恩特格里斯公司 导电过滤装置
CN207339482U (zh) * 2017-10-19 2018-05-08 中山大洋电机股份有限公司 一种可以防止冷凝油回流的引线组件及其应用的电机

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TW202045256A (zh) 2020-12-16
US20200346146A1 (en) 2020-11-05

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