JP7360475B2 - 静電気放電緩和スリーブ付きフィルタ - Google Patents
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Description
本開示の実施形態は、一般に、流体フィルタを対象とし、より詳細には、静電気放電緩和スリーブを備えた流体フィルタを対象としている。
高純度流体処理システムには、高度な技術応用において多くの用途がある。これらの応用には、ソーラーパネル、フラットパネルディスプレイの処理と製造が含まれ、半導体業界では、フォトリソグラフィー、バルクケミカルデリバリ、化学機械研磨（ＣＭＰ）、ウェットエッチ、クリーニングなどの応用が含まれる。これらの応用で使用される特定の化学物質は、腐食性で高純度の有機溶媒であるため、従来の流体処理技術を使用することができない。
このような応用の高純度要件を満たすために、適切な流体処理システムは、不活性ポリマーから作られたフィルタ、チューブ、継手、弁、およびその他の要素を提供する。これらの不活性ポリマーは、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、およびフッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）などのフルオロポリマーを含んでもよいが、これらに限定されなくてもよい。これらの材料は、流体処理システムの損傷につながるおそれのある静電気電荷の蓄積を受けやすい。
蓄積された静電気静電荷（ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ｓｔａｔｉｃ ｃｈａｒｇｅ）は、流体処理システム内から外部環境に放電することがあり、流体処理システム内の構成要素（例えば、チューブまたはパイプ、継手、部品、容器、フィルタなど）に損傷を与える可能性があり、システム内の流体の漏れ、流出、および構成要素の性能の低下につながる可能性がある。これらの状況では、可燃性、有毒、および／または腐食性の流体が、この危険にさらされた流体処理システムで使用されると、そうした放電が、火災または爆発につながる可能性がある。
静電気放電（ＥＳＤ）は、半導体業界およびその他の技術応用における流体処理システムにとって重要な技術的問題である。流体と流体システム内の様々な作動構成要素（例えば、チューブまたはパイプ、弁、継手、フィルタなど）の表面との間の摩擦接触により、静電荷の発生および蓄積がもたらされる可能性がある。電荷生成の程度は、構成要素および流体の性質、流体速度、流体粘度、流体の電気伝導率、接地への経路、液体の乱流とせん断、流体中の空気の存在、および表面積を含むがこれらに限定されない様々な要因に依存する。一般には流体処理システム、さらに流体処理システムに存在するフィルタ中の静電気電荷を逃すための解決策を見出す必要がある。
本開示の１つまたは複数の実施形態は、静電気緩和スリーブを有する流体フィルタに関する。
特定の実施形態では、静電気緩和フィルタは、フィルタ要素と、フィルタハウジングと、１つまたは複数の端部キャップと、導電性ポリマースリーブと、導電性ポリマータイバンドとを備える。
いくつかの実施形態では、フィルタは１つの端部キャップを有し、他の実施形態では、フィルタは２つのエンドキャップを有する。
適切な導電性ポリマースリーブは、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオリド（ＰＶＤＦ）、およびそれらの混合物からなる群から選択される導電性ポリマーなどの導電性フルオロポリマーを含んでもよいが、これらに限定されない。一実施形態では、導電性ポリマースリーブは、パーフルオロアルコキシアルカンポリマーを含む。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブは押し出しチューブであり、他の実施形態では、導電性ポリマースリーブは円筒状シートであり、さらに他の実施形態では、導電性ポリマースリーブは平坦なシートまたは圧延シートである。さらに、開示された導電性ポリマースリーブは、再利用可能でもよい。
いくつかの実施形態では、フィルタは、導電性ポリマースリーブをフィルタハウジングに固定し、地面に接続するための第１の導電性ポリマータイバンドと、導電性ポリマースリーブをフィルタハウジングにさらに固定するための第２の導電性ポリマータイバンドとを有する。適切な導電性タイバンドは、導電性フルオロポリマーまたは導電性ポリオレフィンを含む。一実施形態では、導電性タイバンドは、導電性ポリプロピレンを含む。
開示したフィルタの様々な実施形態は、電荷および抵抗率の特性を有する。一実施形態では、電荷生成流体がフィルタを通って流れるとき、フィルタは約＋／－１ｋＶの測定電荷を有する。他の実施形態では、導電性ポリマースリーブは、約１Ｅ＋４オーム未満、１Ｅオーム～約１Ｅ＋４オーム、または約０．９Ｅ＋２オーム～約４Ｅ＋３オームの外側の表面抵抗率を有し、好ましくは、導電性ポリマースリーブは、約１Ｅ＋３オーム～約３Ｅ＋３オームの外側の表面抵抗率を有する。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブは、約１Ｅ＋４オーム未満、１Ｅオーム～約１Ｅ＋４オーム、または約（ａｂｏｕｔ ｏｆ ａｂｏｕｔ）０．９Ｅ＋２オーム～約２Ｅ＋３オームの内側の表面抵抗率を有し、好ましくは、導電性ポリマースリーブは、約１Ｅ＋３オーム～約１．５Ｅ＋３オームの内側の表面抵抗率を有する。いくつかの実施形態では、導電性タイバンドは、約１Ｅ＋４オーム未満、１Ｅオーム～約１Ｅ＋４オーム、または約２Ｅ＋３オーム～約４Ｅ＋３オームの抵抗率を有する。
１つまたは複数の開示した実施形態は、導電性ポリマースリーブおよび導電性ポリマータイバンドを備える静電気放電キットを含むことができる。
追加の実施形態は、静電気緩和フィルタを備える流体処理システムを含むことができる。
追加の実施形態はまた、流体処理システムに静電気緩和フィルタを装着することを含む、流体処理システムにおける静電気放電を緩和する方法を含むことができる。
上記の概要は、本開示の各例示された実施形態またはすべての実装を説明することを意図するものではない。本開示の実施形態は、様々な修正および代替の形態に適用が可能であり、特定の項目が、例えば、図面に示され、詳細に説明される。記載された実施形態に開示を限定することが意図ではないことが理解され、その意図は、この開示の精神と範囲に含まれるすべての修正物、均等物、および代替物を網羅することである。
本開示に含まれる図面は、本開示の実施形態を例示し、説明と共に、本開示の原理を分かりやすくするのに役立つ。図面は、特定の実施形態を例示するだけであり、開示を限定するものではない。
本開示は、導電性ポリマースリーブを有するＥＳＤ緩和のための流体フィルタの実施形態を報告する。本フィルタの実施形態は、静電気放電を緩和するための導電性スリーブおよびタイバンドを含むことができる。
図１ａは、ＥＳＤ緩和フィルタの一実施形態を示している。フィルタ１００のこの分解等角図（ｉｓｏｍｅｒｉｃ ｖｉｅｗ）は、フィルタハウジング１０２、２つの導電性エンドキャップ１０４および１０６、ならびに外部導電性ポリマースリーブ１０８を含む。実施形態のなかには交換可能な構成要素である内側フィルタ要素１０１をハウジング１０２が含むものもあるが、フィルタ要素が固定した、交換不可能な構成要素である実施形態もある。様々な実施形態において、ハウジング１０２を、ポリマー材料、例えば、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、およびフッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオリド（ＰＶＤＦ）、またはそれらの混合物などから作製することができる。導電性エンドキャップ１０４と１０６も共に、例えば、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、およびフッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオリド（ＰＶＤＦ）、またはそれらの混合物などのハウジングと同じまたは異なるポリマー材料であるポリマー材料から作製することができる。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブ１０８は、フルオロポリマーでよい。いくつかの実施形態では、フルオロポリマーは、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオリド（ＰＶＤＦ）、およびそれらの混合物からなる群から選択されてもよい。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブは、パーフルオロアルコキシアルカンポリマーを含む。各エンドキャップ１０４、１０６は、エンドキャップをハウジング１０２に接続するための継手を含む。実施形態のなかには、接続が取り外し可能でよいものがあるが、接続が固定または永続的でよい実施形態もある。さらに、各エンドキャップ１０４および１０６は、チューブセグメント（図示せず）から一方のエンドキャップおよびハウジングを通って別のエンドキャップおよびチューブセグメントへの流路を提供するために、各エンドキャップをチューブセグメントに接続するための１つまたは複数のコネクタ継手を含む。特定の実施形態では、コネクタ継手は、例えば、ニップル部、ねじ部、肩部、および継手ナットを含み、導電接続部ならびにチューブセグメントおよびフィルタ１００からの漏れ防止通路を提供する。導電性ポリマースリーブ１０８は、ハウジング１０２の外面上に延在する。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブ１０８は、ベースポリマー材料および導電性充填材料を含む。いくつかの実施形態では、ベースポリマー材料は、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオリド（ＰＶＤＦ）、およびそれらの混合物からなる群から選択されるフルオロポリマーでよい。いくつかの実施形態では、導電性充填材料は、炭素を含むが、これに限定されない。いくつかの実施形態では、導電性ポリマー材料は、炭素含有ＰＦＡである。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブ１０８は、フィルタ１００とタイバンド１１８および１１９との間にそれぞれ導電接続を提供する。いくつかの実施形態では、スリーブ１０８は押し出しチュービングであり、他の実施形態では円筒状シートであり、さらに他の要素では、平坦なシートまたは圧延シートから作られている。１つまたは複数の実施形態では、タイバンド１１８および１１９は、導電性ポリマースリーブ１０８と共に電気的に伝導して地面に接続された導電性ポリマー材料である。例えば、タイバンド１１８および１１９は、ＥＳＤ緩和用のフィルタを構成するために接地された電気接点に接続することができる。１つまたは複数の実施形態では、タイバンドは、ボルトとナット、ねじ、または他のねじ付きコネクタ用のタブ取り付けを有する。いくつかの実施形態では、取り付け機能は、電気接点に接続するためのタブ、ねじ穴、または他の適切な機能である。特定の実施形態では、取り付け機能は、締まりばめ、スナップフィット、摩擦ばめ、または電気接点を接続する他の方法のために構成することができる。いくつかの実施形態では、タイバンド１１８および１１９は、導電性ポリマーでよい。いくつかの実施形態では、タイバンド１１８および１１９は、ベースポリマー材料および導電性充填材料を含む。いくつかの実施形態では、ベースポリマー材料は、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオリド（ＰＶＤＦ）、およびそれらの混合物からからなる群から選択されるフルオロポリマーでよい。いくつかの実施形態では、ベースポリマー材料は、ポリプロピレンを含むがこれに限定されないポリオレフィンでよい。いくつかの実施形態では、導電性充填材料は、炭素を含むが、これに限定されない。
図１ｂに示される特定の実施形態では、ＥＳＤ緩和フィルタ１００は、ハウジング１０２、エンドキャップ１０４および１０６、導電性ポリマースリーブ１０８、およびタイバンド１１８および１１９を含む。さらに、フィルタ１００は、ドレン継手１２０およびドレンプラグ１２１を含む。
図２ａも、ＥＳＤ緩和フィルタの一実施形態を示している。フィルタ２００のこの分解等角図（ｉｓｏｍｅｒｉｃ ｖｉｅｗ）は、ハウジング２０２、単一のエンドキャップ２０４、および外部導電性ポリマースリーブ２０８を含む。実施形態のなかには交換可能な構成要素である内側フィルタ要素（図示せず）をハウジング２０２が含むものもあるが、フィルタ要素が固定した、交換不可能な構成要素である実施形態もある。様々な実施形態で、ハウジング２０２は、ポリマー材料でよく、特定の実施形態では、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、およびフッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ））、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオリド（ＰＶＤＦ）、またはそれらの混合物でよい。エンドキャップ２０４は、ハウジングのポリマー材料と同じまたは異なる上記のポリマー材料でよい。エンドキャップ２０４は、エンドキャップをハウジング２０２に接続するための継手を含む。実施形態のなかには、接続が取り外し可能でよいものがあるが、接続が固定または永続的でよい実施形態もある。さらに、エンドキャップ２０４は、１つのチューブセグメントから導体継手を通ってハウジングを通り別の導体継手およびチューブセグメントへと接続通路と流路を共に提供するように、エンドキャップをチューブセグメントに接続するための１つまたは複数のコネクタ継手２１０を含む。特定の実施形態では、コネクタ継手は、例えば、上記のように、ニップル部、ねじ部、肩部、および継手ナットを含み、導電接続部、ならびにチューブセグメントおよびフィルタ２００からの漏れ防止流路を提供する。導電性ポリマースリーブ２０８は、両方のハウジング（ｂｏｔｈ ｔｈｅ ｈｏｕｓｉｎｇ）２０２の外面上に延在する。スリーブ２０８は、スリーブ１０８に関して上記で説明したものと同じ材料でよい。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブ２０８は、ハウジング２０２の外側に配置され、従来の装置およびプロセスを使用してスリーブに熱を加えることによって外面に接続され得るシュリンクラップポリマーである。ＥＳＤ緩和フィルタ２００はまた、取り付けタイバンド２１２および２１３をそれぞれ含む。１つまたは複数の実施形態では、タイバンドは、外部の電気接点に、さらに接地に取り付けるために、スリーブ２０８に導電的に接続されている導電性材料である。いくつかの実施形態では、タイバンドは、電気接点に接続するためのタブ、ねじ穴、または他の適切な機能を有する。特定の実施形態では、タイバンドは、締まりばめ、スナップフィット、摩擦ばめ、または他の電気接点を接続する方法のために構成することができる。タイバンド２１２および２１３は、タイバンド１１８および１１９に関して上記したものと同じ材料でよい。
図２ｂは、ハウジング２０２、エンドキャップ２０４、導電性ポリマースリーブ２０８、ならびにタイバンド２１２および２１３を含むＥＳＤフィルタ２００の実施形態を示す。
図３は、静電気放電キットおよびこのキットをフィルタと使用する方法を示している。キットは、導電性ポリマースリーブ３００を含む。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブ３００は、スリーブ１０８および２０８に関して上で説明したものと同じ材料でよい。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブ３００は、好ましくは、導電性パーフルオロアルカンポリマーから作製される。キットはまた、２つのタイバンド３０２および３０４をそれぞれ含む。いくつかの実施形態では、タイバンド３０２および３０４は、タイバンド１１８および１１８ならびにタイバンド２１２および２１３に関して上記で説明されたものと同じ材料でよい。いくつかの実施形態では、タイバンド１１８と１１９は共に、好ましくは、導電性ポリプロピレンポリマーからなる。いくつかの実施形態では、タイバンド３０２は、静電気放電を緩和するためにタイバンドおよびスリーブを地面に接続するための取り付け継手として使用されるタブ３０６および３０７をさらに備える。使用時、キット３００はフィルタ３０８の外側でぴったり合っている。キットが所定の位置にあるとき、スリーブをフィルタにしっかりと導電的に取り付け、ＥＳＤフィルタ３１０を提供するように、タイバンド３０２および３０４を堅く締める。
本開示のＥＳＤ緩和フィルタは、ＥＳＤ緩和流体回路内で使用することができる。代表的なＥＳＤ緩和回路は、例えば、国際特許出願ＷＯ２０１７／２１０２９３に報告されており、それに含まれた明示的な定義または特許請求の範囲を除いて、参照により本明細書に組み込まれる。
例示的なＥＳＤ回路は、図４に示される流体処理システム４５０を含む。システム４５０は、流体が流体供給４５２から流体供給源の下流に配置された１つまたは複数の処理ステージ４５６に流れるための流路を提供する。システム４５０は、流体処理システム４５０の流路の一部を含む流体回路４６０を含む。流体回路４６０は、チューブセグメント４６４、およびチューブセグメント４６４を介して相互接続された複数の機能構成要素を含む。図４では、機能構成要素は、エルボ形状継手４７０、Ｔ字型継手４７２、弁４７４、ＥＳＤ緩和フィルタ４７６、流量センサ４７８、およびストレート継手４７９を含む。様々な実施形態において、流体回路４６０は、数およびタイプにおいて追加またはより少ない機能構成要素を含むことができる。例えば、流体回路４６０は、ポンプ、ミキサ、ディスペンスヘッド、スプレーノズル、圧力レギュレータ、流量コントローラ、または他のタイプの作動構成要素を代替するか、またはさらに含むことができる。組み立てにおいて、機能構成要素は、それらのそれぞれのチューブコネクタ継手で構成要素に接続する複数のチューブセグメント４６４によって共に接続される。共に接続されて、複数のチューブセグメント４６４および動機能構成要素は、流体供給４５２から処理ステージ４５６に向かう流体回路４６０を通る流路を提供する。特定の実施形態では、作動構成要素はそれぞれ、例えば、流体流通路を定めるボディ部分４８２および１つまたは複数のチューブコネクタ継手を含む。いくつかの実施形態では、チューブコネクタ継手の少なくとも１つは、流体をボディ部分４８２に受け取るための入口部分であり、チューブコネクタ継手の少なくとも別の１つは、入口部分を介して受け取った流体を出力するための出口部分である。例えば、Ｔ字型継手４７２は、流体供給４５２から流体を受け取る入口部分である１つのチューブコネクタ継手と、処理ステージ４５６に向かって流体を出力する出口部分である２つのチューブコネクタ継手４８６とを含む。特定の実施形態では、入口部分および出口部分はそれぞれ、チューブセグメント４６４に接続されるかまたは接続可能である。いくつかの実施形態では、例えば、流体回路４６０内の機能構成要素がスプレーノズルを含む場合、入口部分のみがチューブセグメント４６４に接続可能である必要がある。いくつかの実施形態では、機能構成要素の１つまたは複数は、単一のチューブコネクタまたは継手（ｔｕｂｉｎｇ ｃｏｎｎｅｃｔｏｒ ｏｒ ｆｉｔｔｉｎｇ）４７９を含む。
開示したＥＳＤ緩和フィルタの様々な実施形態は、電荷および抵抗率の特性を有する。一実施形態では、電荷生成流体がフィルタを通って流れるとき、フィルタは、±１ｋＶ未満（約－１ｋＶから約＋１ｋＶの範囲）の測定電荷を有する。いくつかの実施形態では、導電ポリマースリーブは、約１Ｅ＋１～約１Ｅ＋４の抵抗率を有する。他の実施形態では、導電性ポリマースリーブは、約０．９Ｅ＋２オーム～約４Ｅ＋３オームの外側の表面抵抗率を有し、好ましくは、導電性ポリマースリーブは、約１Ｅ＋３オーム～約３Ｅ＋３オームの外側の表面抵抗率を有する。いくつかの実施形態では、導電性ポリマースリーブは、約１Ｅ～約＋４Ｅオーム、約０．９Ｅ＋２オーム～約２Ｅ＋３オームの内側の表面抵抗率を有し、好ましくは、導電性ポリマースリーブは、約１Ｅ＋３オーム～約１．５Ｅ＋３オームの内側の表面抵抗率を有する。いくつかの実施形態では、導電性タイバンドは、約（ａｂｏｕｔ ｏｆ ａｂｏｕｔ）１Ｅ＋１オーム～約１Ｅ＋４オームの抵抗率を有する。他の実施形態では、導電性タイバンドは、約（ａｂｏｕｔ ｏｆ ａｂｏｕｔ）２Ｅ＋３オーム～約４Ｅ＋３オームの抵抗率を有する。
例１静電気緩和測定値
この例では、２つの市販のフィルタ、インパクト ８Ｇ ７ｎｍＰＴＦＥフィルタとインパクト２ ＡＴ ０．０５ｕｍフィルタ（どちらもインテグリス社、マサチューセッツ州ビレリカから入手可能）にプロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を流すことによって生成される電荷の量を測定した。本開示によるＥＳＤスリーブを有するフィルタおよびＥＳＤスリーブを有しないフィルタについて、電荷の蓄積をＥＳＤ測定器を用いて測定した。ＥＳＤを、室温で５０、１００、２００、および３００ｍｌ／分の流量で測定した。測定電荷を図５に示す。
この例では、２つの市販のフィルタ、インパクト ８Ｇ ７ｎｍＰＴＦＥフィルタとインパクト２ ＡＴ ０．０５ｕｍフィルタ（どちらもインテグリス社、マサチューセッツ州ビレリカから入手可能）にプロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を流すことによって生成される電荷の量を測定した。本開示によるＥＳＤスリーブを有するフィルタおよびＥＳＤスリーブを有しないフィルタについて、電荷の蓄積をＥＳＤ測定器を用いて測定した。ＥＳＤを、室温で５０、１００、２００、および３００ｍｌ／分の流量で測定した。測定電荷を図５に示す。
データは、ＥＳＤスリーブの有るフィルタのＥＳＤ電荷値（ｋＶ）がＥＳＤスリーブの無いフィルタよりも低いことを示している。
第１の態様では、静電気緩和フィルタは、フィルタ要素と、フィルタハウジングと、１つまたは複数の端部キャップと、導電性ポリマースリーブと、１つまたは複数の導電性ポリマータイバンドとを備える。
フィルタが１つの端部キャップを有する、第１の態様による第２の態様。
フィルタが２つのエンドキャップを有する、第１の態様による第３の態様。
地面に接続するための第１の導電性ポリマータイバンドと、導電性ポリマースリーブをフィルタハウジングに固定するための第２の導電性ポリマータイバンドとを有する、第１の態様による第４の態様。
導電性ポリマースリーブが導電性フルオロポリマーを含む、前述の態様のいずれかによる第５の態様。
導電性ポリマースリーブが、テトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカンポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレンプロピレンポリマー（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオリド（ＰＶＤＦ）、およびそれらの混合物からなる群から選択される導電性ポリマーを含む、前述の態様のいずれかによる第６の態様。
導電性ポリマースリーブがパーフルオロアルコキシアルカンポリマーを含む、前述の態様のいずれかによる第７の態様。
１つまたは複数の導電性ポリマータイバンドが、導電性フルオロポリマーまたは導電性ポリオレフィンを含む、前述の態様のいずれかによる第８の態様。
１つまたは複数の導電性ポリマータイバンドが導電性ポリプロピレンを含む、前述の態様のいずれかによる第９の態様。
導電性ポリマースリーブが押し出しチューブである、前述の態様のいずれかによる第１０の態様。
導電性ポリマースリーブが円筒状シートである、前述の態様のいずれかによる第１１の態様。
電荷生成流体がフィルタを通って流れるとき、＋／－１ｋＶ未満の測定電荷を有する、前述の態様のいずれかによる第１２の態様。
導電性ポリマースリーブが、約０．９Ｅ＋２オーム～約１Ｅ＋４オームの外側の表面抵抗率を有する、前述の態様のいずれかによる第１３の態様。
導電性ポリマースリーブが、約１Ｅ＋３オーム～約１Ｅ＋４オームの外側の表面抵抗率を有する、第１から第１２の態様のいずれかによる第１４の態様。
導電性ポリマースリーブが、約０．９Ｅ＋２オーム～約１Ｅ＋４オームの内側の表面抵抗率を有する、第１から第１２の態様のいずれかによる第１５の態様。
導電性ポリマースリーブが、約１Ｅ＋３オーム～約１Ｅ＋４オームの内側の表面抵抗率を有する、第１から第１２の態様のいずれかによる第１６の態様。
１つまたは複数の導電性ポリマータイバンドが、約（ａｂｏｕｔ ｏｆ ａｂｏｕｔ）１Ｅオーム～約１Ｅ＋４オームの抵抗率を有する、前述の態様のいずれかによる第１７の態様。
導電性ポリマースリーブが、再利用可能である、前述の態様のいずれかによる第１８の態様。
第１９の態様では、静電気放電キットは、導電性ポリマースリーブおよび導電性タイバンドを備える。
第２０の態様では、流体処理システムは、第１から第１８の態様のいずれか１つの静電気緩和フィルタを備える。
第２１の態様では、流体処理システムにおける静電気放電を緩和する方法は、流体処理システムにおいて第１から第１８の態様のいずれか１つの静電気緩和フィルタを装着することを含む。
本開示の様々な実施形態の記述が、説明のために提示されているが、網羅的であること、または開示した実施形態に限定されることを意図するものではない。記述された実施形態の範囲および精神から逸脱することなく、多くの修正形態および変形形態が、当業者に明らかになろう。本明細書で使用される用語は、実施形態の原理、実際の適用、または市場で見られる技術に対する技術的改善を説明するため、または当業者が本明細書に開示される実施形態を理解できるようにするために選択された。
Claims (10)
- フィルタ要素と、フィルタハウジングと、１つまたは複数のエンドキャップと、導電性ポリマースリーブと、１つまたは複数の導電性ポリマータイバンドとを備える静電気緩和フィルタであって、
導電性ポリマースリーブは、フィルタハウジングの外面上に延在し、
１つまたは複数の導電性ポリマータイバンドは、導電性ポリマースリーブをフィルタハウジングに固定し、グランドに接続するための第１の導電性ポリマータイバンドを含み、
導電性ポリマースリーブは押し出しチューブである、静電気緩和フィルタ。 - 導電性ポリマースリーブをフィルタハウジングに固定し、グランドに接続するための第１の導電性ポリマータイバンドと、導電性ポリマースリーブをフィルタハウジングに固定するための第２の導電性ポリマータイバンドとを有する、請求項１に記載の静電気緩和フィルタ。
- 導電性ポリマースリーブが導電性フルオロポリマーを含む、請求項１または２に記載の静電気緩和フィルタ。
- 導電性ポリマースリーブがパーフルオロアルコキシアルカンポリマーを含む、請求項１または２に記載の静電気緩和フィルタ。
- １つまたは複数の導電性ポリマータイバンドが、導電性フルオロポリマーまたは導電性ポリオレフィンを含む、請求項１または２に記載の静電気緩和フィルタ。
- 導電性ポリマースリーブが、０．９Ｅ＋２オーム～１Ｅ＋４オームの外側の表面抵抗率を有する、請求項１または２に記載の静電気緩和フィルタ。
- 導電性ポリマースリーブが、０．９Ｅ＋２オーム～１Ｅ＋４オームの内側の表面抵抗率を有する、請求項１または２に記載の静電気緩和フィルタ。
- １つまたは複数の導電性ポリマータイバンドが、１Ｅオーム～１Ｅ＋４オームの抵抗率を有する、請求項１または２に記載の静電気緩和フィルタ。
- 請求項１または２に記載の静電気緩和フィルタを備える流体処理システム。
- 流体処理システムにおいて請求項１または２に記載の静電気緩和フィルタを装着することを含む、流体処理システムにおける静電気放電を緩和する方法。
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