TW201805053A - 具有整合式靜電放電抑制之流體迴路 - Google Patents

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Abstract

本發明揭示一種界定供一流體自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑之流體迴路。該流體迴路可包含複數個操作組件，其等包含一主體部分及複數個導管連接器配件。該等操作組件可藉由複數個導管段連接。各主體部分可包含一非導電氟聚合物部分及一外導體，該外導體在該複數個導管連接器配件之各者之間延伸且與該非導電氟聚合物部分成一體。該複數個導管段可包含一非導電氟聚合物導管部分及一導電聚合物軸向帶。各主體部分之該外導體與連接至其之導管段導電地連接。該等連接器之各者可包含一橋接組件，該橋接組件用於將該主體部分之該各自外導體導電地連接至該等連接導管段之該導電聚合物帶。

Description

具有整合式靜電放電抑制之流體迴路
本發明之實施例係關於流體處置系統，且更特定言之係關於具有靜電放電抑制之超純流體處置系統。
提供高純度標準之流體處置系統在先進技術應用中具有許多用途。此等應用包含太陽能面板、平板顯示器之處理及製造且在半導體工業中用於諸如光微影術、散裝化學品遞送及化學機械拋光、濕蝕刻及清潔之應用。此外，用於此等應用中之某些化學品尤其具有腐蝕性，歸因於流體處置組件之可能腐蝕及化學品至環境中的滲出而排除某些習知流體處置技術之使用。 為滿足此等應用之抗腐蝕性及純度要求，流體處置系統提供由惰性聚合物製成之導管、配件、閥及其他元件。此等惰性聚合物包含(但不限於)氟聚合物，諸如聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷氧基烷烴(PFA)、乙烯-四氟乙烯(ETFE)及氟化乙烯丙烯(FEP)。除提供一非腐蝕性且惰性構造以外，許多氟聚合物(諸如PFA)係可注射成型且可擠出的。由此等聚合物製成之若干類型的連接器配件係可購得且已知的，諸如PRIMELOCK®配件、PILLAR®配件、擴口配件及其他配件。藉由美國專利第5,154,453號；第6,409,222號；第6,412,832號；第6,601,879號；第6,758,104號及第6,776,440號繪示例示性配件，該等案之各者以引用的方式併入本文中，惟其中所含之明確定義及專利發明申請專利範圍除外。 靜電放電(ESD)係半導體工業及其他技術應用中之流體處置系統之另一已知問題。流體與流體系統中之各種操作組件(例如，管線、閥、配件、過濾器等)之表面之間的摩擦接觸可導致靜電荷之產生及累積。電荷產生之程度取決於各種因素，包含(但不限於)組件及流體之性質、流體速度、流體黏性、流體導電性、至接地之路徑、液體紊流及剪切、液體中之自由空氣之存在及表面積。此外，隨著流體流動通過系統，可在稱為一流動電荷之一現象中之下游攜載電荷，其中電荷可累積超出電荷起源之處。充分電荷累積可在各種程序步驟處導致管壁、組件表面處之放電或甚至至基板或晶圓上之放電。 基板係高度敏感的且此等放電可導致基板之損壞或損毀。例如，基板上之電路可能被破壞且光活性化合物可能在常規曝光之前活化。另外，累積的靜電荷可自流體處置系統內放電至外部環境，從而潛在地損壞管道中之組件(例如，導管、配件、容器、過濾器等)，且導致系統中之流體洩漏、溢出及組件之減弱效能。 在一些流體處置系統中，為減小靜電荷之累積，流體處置系統中之某些組件經結構化及接地以隨著靜電自金屬導電組件不斷分散至接地而抑制系統中之靜電累積。 例如，圖1描繪先前技術之一流體處置系統100。系統100提供供流體自一流體供應器104流動至定位於下游之一或多個程序階段108之一流徑。如在本文中使用，程序階段108係指系統100中之流體使用點或流體處置系統100中之任何中間點，其中在一方法或程序中利用流體。系統100包含一流體迴路112，該流體迴路112包含自流體供應器104至一或多個程序階段108之流徑之一部分。流體迴路112包含導管段116及複數個互連操作組件118，諸如肘形配件120、T形配件122、一閥124、過濾器126及流量感測器128。 如在本文中使用，導管116係指適合於容納流體或貫穿其間運送流體之任何撓性或非撓性管線或管。操作組件係指具有一流體輸入端及一流體輸出端且可與用於引導或提供流體流動之導管配接之任何組件或裝置。操作組件之實例包含(但不限於)配件、閥、過濾器、泵、混合器、噴嘴及施配頭。藉由美國專利第5,672,832號；第5,678,435號；第5,869,766號；第6,412,832號；第6,601,879號；第 6,595,240號；第6,612,175號；第6,652,008號；第6,758,104號；第6,789,781號；第7,063,304號；第7,308,932號；第7,383,967號；第8,561,855號；第8,689,817號及第8,726,935號繪示操作組件之此等及額外非限制性實例，該等案之各者以引用的方式併入本文中，惟其中所含之明確定義及專利發明申請專利範圍除外。 導管段116係導電的，從而提供沿著流體迴路112中之各導管段116之長度之一電路徑。導電導管主要由包含金屬或經負載聚合物材料之材料建構而成。經負載聚合物材料包含負載有鋼絲、鋁片、塗佈鎳之石墨、碳纖維、碳粉、碳奈米管或其他導電材料之一聚合物。在一些例項中，導管段116係部分導電的，從而具有由非導電材料或低導電材料(諸如全氟烷氧基烷烴(PFA)或其他合適聚合物材料)建構而成之一主要部分且具有一次要單體共擠導電部分。 例如，在某些例項中，流體迴路112可利用可自Entegris Inc.(本申請案之所有人)購得之FLUOROLINE® PFA導管。FLUOROLINE® PFA導管主要由PFA建構而成，其具有沿著導管之長度在其外表面處擠出之一或多個載碳聚合物導電帶。一電路圖132疊加在流體迴路112上方，該電路圖132繪示由導電或部分導電導管段116提供之電路徑。 繼續參考先前技術圖1，與導管段116相比，操作組件118各主要由非導電材料建構而成。例如，操作組件可由氟聚合物建構而成，包含全氟烷氧基烷烴(PFA)、乙烯-四氟乙烯(ETFE)及氟化乙烯丙烯(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)及全氟烷氧基烷烴(PFA)。例如，此在系統100經組態用於超純流體處置應用中時發生，其中導管段116及操作組件118通常由聚合物材料建構而成以滿足純度及抗腐蝕性標準。 為抑制靜電荷累積，導管段116可在流體迴路112中之各個點處經由一些導電條136電連接至接地140。導電條136分散來自沿著導管116之長度延伸至接地140之導電帶之電荷。另外，導管段116之區段可經由導電條136電連結在一起，該等導電條136橋接跨非導電操作組件118之各者之電路徑。導電條136連結至導管段116之一或多者之外部且與沿著各段之長度延伸之導電帶形成一電連接。 然而，將期望改良超純流體處置系統中之靜電荷抑制以改良組件效能且減少潛在損壞ESD事件。
本發明之一或多項實施例係關於一種流體處置系統中之流體迴路。在一或多項實施例中，該流體迴路包含複數個操作組件。在某些實施例中，該等操作組件之各者包含具有貫穿其間之一流體流動通道之一主體部分及一對導管連接器配件。在一或多項實施例中，該主體部分包含在該等連接器配件之間延伸且自該流體流動通道移位之一單體導體部分。在各種實施例中，為提供通過該流體迴路之一流體通道，該等操作組件可經由在其等各自導管連接器配件處連接至該等組件之一或多個導管段連接在一起。在一或多項實施例中，該流體通道在該流體處置系統中界定自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑之一部分。 返回參考先前技術圖1，非導電配件120、122、閥124、過濾器126及感測器128藉由導致導管段116之間的導電性之中斷而將流體迴路112之段電隔離。因此，雖然導管段116接地，但靜電荷仍累積在非導電操作組件118之各者內。例如，在一超純流體處置系統中，自一PTFE配件之外部量測之一差可達到近30,000伏特。類似地，在過濾器126中，流體通過一過濾器薄膜之流體摩擦可導致近30,000伏特之一可量測電壓差。來自此累積電荷之任何ESD事件可導致對配件120、122、閥124、過濾器126、感測器128及流體迴路112中之其他組件之損壞。此等損壞可導致流體洩漏或溢出、過濾器126、感測器128或其他設備中之減小效能及/或管道或外部環境中之可燃材料或化學品之點燃。 此外，需要手動添加用於橋接操作組件118且用於使流體迴路112接地之導電條136及電連接件。取決於配件、閥、過濾器、感測器及系統中之其他非導電操作組件之數目，導電條135及橋接連接件可需要大量時間及勞力來設置。例如，經組態用於一濕蝕刻及清潔程序之一流體處置系統可需要近兩百個導電條來組態系統以進行ESD抑制。另外，需要持續檢查及維護此等連接件。若導電條136或電連接件之一或多者故障，則結果係可損壞系統100之靜電荷累積及ESD事件。 因此，本發明之一或多項實施例係關於一種具有整合式ESD抑制之流體迴路。在一或多項實施例中，該流體迴路包含複數個操作組件，各包含具有貫穿其間之一流體流動通道之一主體部分及一對導管連接器配件。在各種實施例中，該等操作組件可經由在其等各自導管連接器配件處連接至該等組件之一或多個導管段連接在一起。 在某些實施例中，各主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定通過該主體部分之該流體流動通道且延伸至該對導管連接器配件之各者之末端。在各種實施例中，各主體部分進一步包含一外導電路徑，該外導電路徑在該等導管連接器配件之間延伸且與該非導電氟聚合物部分成一體。 在某些實施例中，該複數個導管段各包含一非導電氟聚合物導管部分及一導電聚合物帶，該導電聚合物帶在該非導電氟聚合物導管部分上軸向延伸且與其成一體。該導管段之該導電聚合物帶在該等導管連接器配件處導電地連接至該主體部分之該導電路徑。 在一或多項實施例中，該等導管連接器配件之各者包含一橋接組件，該橋接組件用於將該主體部分之該外導電路徑導電地連接至該導管部分之該導電聚合物帶，該導管部分連接至該各自導管連接器配件。該橋接組件由一導電聚合物形成且可為(例如)一螺母、一套筒、一O環或其他形狀之環及撓性薄包繞物(諸如膠帶)。 各種實施例之一特徵及優勢係各操作組件具有一導電路徑，該導電路徑與該等非導電部分整合且成一體，使得在該操作組件之該導電路徑與該等非導電部分之間存在一無隙接面。該無隙接面最小化裂縫中之污染物累積且提供該操作組件之一穩固主體部分。另外，此一無隙接面提供與該流體流徑之一近接性，其比該組件導電部分之該表面上之一相當物更接近。進一步特徵及優勢係該等操作組件之該等導電部分並不在該流體流動迴路之任何濕表面處曝露，從而最小化提供導電性之添加劑污染流體流動流之可能性。 上述發明內容不意欲描述本發明之各所繪示實施例或每一實施方案。
相關申請案 本文根據35 U.S. C. § 119規定主張2016年6月1日申請之美國臨時專利申請案第62/344,171號及2016年6月1日申請之美國臨時專利申請案第62/344,168號之優先權利。美國臨時專利申請案第62/344,171號之揭示內容出於所有目的全文以引用的方式併入本文中。此申請案係關於2016年6月1日申請之標題為CONDUCTIVE FILTER DEVICE之美國臨時專利申請案第62/344,168號之申請案，該案由本申請案之所有人擁有且在相同於本申請案之日期申請，且該案全文以引用的方式併入本文中，惟其中所含之明確定義及專利發明申請專利範圍除外。 圖2描繪根據本發明之一或多項實施例之一流體處置系統150。系統150提供供流體自一流體供應器152流動至定位於下游之一或多個程序階段156之一流徑。系統150包含一流體迴路160，該流體迴路160包含流體處置系統150之流徑之一部分。流體迴路160包含導管段164及經由導管段164互連之複數個操作組件168。在圖2中描繪，操作組件168包含一肘形配件170、T形配件172、一閥174、過濾器176及流量感測器178。然而，在各種實施例中，流體迴路160可在數量及類型上包含額外或更少操作組件168。例如，流體迴路160可替換或另外包含泵、混合器、施配頭、噴嘴、壓力調節器、流量控制器或其他類型之操作組件。在組裝時，操作組件168藉由在其等各自導管連接器配件186處連接至組件168之複數個導管段164連接在一起。連接在一起的複數個導管段164與操作組件168提供自流體供應器152通過流體迴路160且朝向程序階段156之一流體通道。 在某些實施例中，操作組件168各包含界定貫穿其間之流體流動通道之一主體部分182及一或多個導管連接器配件186。在一些實施例中，導管連接器配件186之至少一者係用於將流體接收至主體部分182中之一入口部分且導管連接器配件186之至少另一者係用於輸出經由入口部分接收之流體之一出口部分。例如，T形配件172包含：一個導管連接器配件186，其係自流體供應器152接收流體之一入口部分；及兩個導管連接器配件186，其等係朝向程序階段156輸出流體之出口部分。在某些實施例中，入口部分及出口部分各連接至或可連接至一導管段164。然而，在一些實施例中(例如，在流體迴路160中之操作組件168包含一噴嘴的情況下)，僅需要入口部分可連接至一導管段164。在一些實施例中，操作組件168之一或多者包含一單一導管連接器配件186。 在各種實施例中，使用一非導電聚合物材料建構主體部分182。例如，主體部分182可由氟聚合物建構而成，氟聚合物包含(但不限於)全氟烷氧基烷烴(PFA)、乙烯-四氟乙烯(ETFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、乙烯-三氟氯乙烯(ECTFE)及聚四氟乙烯(PTFE)。 如在圖2中展示，使用一導電材料另外建構各主體部分182以形成在導管連接器配件186之間延伸且提供其間之一電路徑之一外導體部分。在各種實施例中，外導電路徑與主體部分182成一體且由一導電聚合物材料建構而成。例如，在一些實施例中，外導體部分由負載有導電材料之PFA (經負載PFA)建構而成。此經負載PFA包含(但不限於)負載有碳纖維、塗佈鎳之石墨、碳纖維、碳粉、碳奈米管、金屬粒子及鋼纖維之PFA。在各種實施例中，導電材料具有小於約每平方1x1012 歐姆之一電阻率位準，而非導電材料具有大於約每平方1x1012 歐姆之一電阻率位準。在某些實施例中，導電材料具有小於約每平方1x109 歐姆之一電阻率位準，而非導電材料具有大於約每平方1x109 歐姆之一電阻率位準。 如在圖3及圖4中描繪，導管段164係部分導電的，具有由非導電或低導電材料建構而成之一主要部分或導管部分187且具有由沿著導管部分187之長度軸向延伸之一導電材料建構而成之一次要部分或導電部分188。例如，在一些實施例中，導管段164各包含一非導電氟聚合物之一導管部分187及形成為在非導電氟聚合物主要部分187上軸向延伸且與其成一體之一導電聚合物帶之導電部分188。在某些實施例中，導管部分由PFA建構而成，其具有沿著導管段164之各者之長度在其外表面處或附近擠出之由載碳PFA建構而成之次要部分之一或多個導電帶。在一些實施例中，流體迴路160中之導管段164係FLUOROLINE®導管。 再次參考圖2，操作組件168之各者包含一橋接組件，該橋接組件用於將主體部分182之各自外導電路徑導電地連接至導管段164之導電部分188 (在圖3及圖4中展示)，該等導管段164連接至操作組件168。因而，在某些實施例中，經連接之操作組件168及導管段164形成沿著流體迴路160之整體之一電路徑，從而消除導管段160之間的導電性中斷。一電路圖190疊加在流體迴路160上方以繪示電路徑。 在某些實施例中，為抑制靜電荷累積，導管段164及/或操作組件168之一或多者經由一或多個導電條198電連接至接地194。導電條198藉由提供自電路徑至接地194之一路徑而在靜電荷在流體迴路160中累積時不斷地分散靜電荷。 圖3及圖4描繪根據本發明之一或多項實施例之例示性操作組件210。圖3描繪一操作組件210，其係一配件214且更特定言之係具有一「T」形之三通連接器(例如，一T形配件)。圖4描繪一閥218。 配件214包含一主體部分222及自主體部分222向外延伸之三個連接器配件226。閥218包含一主體部分230及自主體部分230向外延伸之兩個連接器配件227。在各種實施例中，連接器配件226及227係實質上相同設計。如在上文描述，在各種實施例中，使用一非導電聚合物材料建構主體部分222、230。例如，主體部分222、230可由包含(但不限於) PFA、ETFE、FEP及PTFE之氟聚合物建構而成。 在某些實施例中，圖3及圖4之主體部分222、230各包含一外導體部分234、238，該外導體部分234、238在連接器配件226、227之各者之間跨主體部分222、230延伸且在主體部分222、230之外表面處曝露。由元件符號242指示經包含作為外導體部分234、238之一部分之表面。 在一些實施例中，外導體部分234、238係一導電聚合物材料外層，諸如載碳PFA或其他合適導電聚合物，其經由一包覆成型程序鑲嵌至主體部分222、230之非導電聚合物材料中以形成與主體部分222、230成一體且在連接器配件226、227之各者之間延伸的一導體材料連續路徑。 在某些實施例中，外導體部分234、238形成為跨主體部分222、230延伸之一材料帶，該材料帶形成主體部分222、230之外表面之約5%至10%。在其他實施例中，跨主體部分222、230延伸之材料之外導體部分234、238形成主體部分222、230之外表面之約11%至90%。在又一些其他實施例中，外導體部分234、238較大，從而形成主體部分222、230之外表面之約40%至90%或(在一些實施例中)主體部分222、230之整個外表面。在某些實施例中，外導體部分234、238可由主體部分222、230之表面處之一導電薄膜製成或併入薄膜上。在各種實施例中，薄膜包繞主體部分222、230之一部分且在連接器配件226、227之各者之間延伸。 在圖4中描繪，各連接器配件227包含一肩部區246，該肩部區246毗鄰主體部分230且向外延伸以形成一頸部區250、一螺紋區254及一接頭部分258。在各種實施例中，接頭部分258適合於接受一導管段164，該導管段164在圖3及圖4中展示為連接至連接器配件226、227之各者。在一或多項實施例中，連接器配件227包含一螺母262，該螺母262用於擰緊至螺紋區254以固定導管164。在一或多項實施例中，螺母262具有一大體上圓柱形形狀，其具有包含用於與螺紋區254配接之螺紋266之一內表面。另外，螺母262具有包含肋部270之一外表面，該等肋部270圍繞外表面對稱地安置以與一扳手或鎖定裝置配接以在螺紋區254上擰緊或鬆開螺母262。 在一或多項實施例中，螺母262完全由一導電聚合物材料建構而成以形成在導管164與主體部分230之間沿著螺母262之長度延伸之一外導體部分274。例如，在某些實施例中，螺母262完全由經負載PFA、聚苯胺、一導電聚合物組合或其他合適導電聚合物建構而成。 另外，在一或多項實施例中，連接器配件227包含一導體部分278，該導體部分278形成肩部區246之一部分且毗鄰主體部分230之外導體部分238。在某些實施例中，導體部分278自肩部區246延伸以形成螺紋區254之一部分。在一些實施例中，導體部分274係一導電聚合物材料層，諸如載碳PFA或其他合適導電聚合物，其鑲嵌至連接器配件227及螺母262之非導電聚合物材料中。 如在圖4中描繪，當操作組件210與導管164組裝在一起時，螺母262之導體部分274在一前部290處接觸導管164之導電部分188且形成自前部290向後至定位於螺母與肩部246之間的一O環294之一連續路徑。在各種實施例中，O環294由導電材料建構而成且在螺母262之導體部分274與連接器配件227之間轉移電荷。例如，在一或多項實施例中，O環294由經負載PFA、聚苯胺、一導電聚合物組合或其他合適導電聚合物建構而成。 因而，螺母262充當一橋接組件，該橋接組件形成自導管164之一電路徑且經由O環294及肩部區246將電荷轉移至配件連接器227。主體部分230之外導體部分自該處接收電荷，電荷跨主體部分230轉移且經由類似於接收電荷之路徑之一路徑轉移至其他導管段164之一導體部分。 熟習此項技術者將瞭解，雖然在圖3及圖4中繪示之例示性實施例具有相同連接器配件226、227，但在某些實施例中，連接器配件226、227可具有不同大小，可具有各種設計(諸如降壓配件或升壓配件)或可定位於各種類型之操作組件210上。 圖5及圖6描繪根據本發明之一或多項實施例之用於操作組件之連接器配件之例示性實施例。 圖5描繪包含一肩部區304之一連接器配件300，該肩部區304毗鄰一操作組件之一主體部分308且向外延伸以形成一頸部區316、一螺紋區320及一接頭部分324。導管328被接頭部分324接納，在某些實施例中，該接頭部分324可經組態為一FLARETEK®配件。 在一或多項實施例中，連接器配件300包含一螺母332，該螺母332用於擰緊至螺紋區320以固定導管328。在圖5中所見，螺母332包含一外導體部分336，該外導體部分336由形成於螺母332之表面處之一導電聚合物層形成。導體部分336在接近導管328之一前部340與接近肩部區304之一後部344之間沿著螺母332之長度延伸。 另外，在一或多項實施例中，連接器配件300包含一導體部分348，該導體部分348形成肩部區304之一部分且毗鄰主體部分308之外導體部分352。在某些實施例中，導體部分348自肩部區304延伸以形成螺紋區320之一部分。 在一些實施例中，螺母332及連接器配件330之導體部分336、348係一導電聚合物材料層，諸如載碳PFA或其他合適導電聚合物，其經由一包覆成型程序鑲嵌至連接器配件330及螺母332之非導電聚合物材料中。 當操作組件300與導管328組裝在一起時，螺母332之導體部分336在前部340處接觸導管328之導電表面356且形成自前部340向後至定位於螺母332與肩部304之間的一導電O環360之一連續路徑。在各種實施例中，螺母332之導體部分336與連接器配件300之導體部分348具有最小直接接觸或無直接接觸。因而，在各種實施例中，O環360確保螺母332之導體部分336與導體部分348之間的一電路徑，該導體部分348形成自導管328沿著螺母332至肩部區304且至主體部分308之外導體部分352之一電路徑。 在各種實施例中，O環360由導電材料(諸如經負載PFA或其他導電聚合物或彈性體)建構而成且在螺母332之導體部分336與連接器配件300之間轉移電荷。 圖6描繪如參考圖5描述之一連接器配件380。例如，連接器配件380包含一肩部區384，該肩部區384毗鄰一操作組件之一主體部分308且向外延伸以形成一頸部區388、一螺紋區392及一接頭部分396。導管328被接頭部分396接納，在某些實施例中，該接頭部分396可經組態為一FLARETEK®配件連接器。 連接器配件380包含一螺母400，該螺母400用於擰緊至螺紋區392以固定導管328。螺母400完全由一導電聚合物材料(諸如載碳PFA)建構而成。因而，螺母400包含一導體部分404，該導體部分404在接近導管328之一前部408與接近肩部區384之一後部412之間沿著螺母400之整體延伸。 連接器配件380包含一導體部分416，該導體部分416形成肩部區384之一部分，毗鄰主體部分308之外導體部分352。連接器配件380之導體部分416自肩部區384延伸以形成螺紋區392之一部分。 當連接器配件380與導管328組裝在一起時，螺母400之導體部分404在前部408處接觸導管328之導電表面356且形成自前部408向後至與螺母400配接之螺紋區392之一連續路徑。因而，自導管328沿著螺母400至螺紋區392且至主體部分308之外導體部分形成一電路徑。在一或多項實施例中，由於螺母400之導體部分404完全由導電聚合物建構而成，故肩部384與螺母400之間無需O環，此係因為在螺母400之導體部分404與螺紋區416中之導體部分392之間充分建立電接觸。 圖7A至圖7C描繪類似於參考圖5及圖6描述之連接器配件之一連接器配件420。例如，連接器配件420包含一肩部區424，肩部區毗鄰一操作組件之一主體部分308且向外延伸以形成一頸部區428、一螺紋區432及一接頭部分436。該連接器配件420亦具有一後部456，其鄰近該肩部區424。導管440被接頭部分436接納，在某些實施例中，該接頭部分可經組態為一FLARETEK®配件。連接器配件420包含一螺母444，該螺母444用於擰緊至螺紋區432以固定導管440。在某些實施例中，螺母444完全由一非導電聚合物材料建構而成，諸如PFA、PTFE或其他非導電氟聚合物或聚合物。 在圖7A及圖7B中描繪，在一或多項實施例中，連接器配件420包含一導電包繞物448，該包繞物448自導管440至接近肩部區424之螺紋區432包繞連接器配件420之一部分。在一或多項實施例中，導電包繞物448係導電聚合物材料或其他合適導電材料之一薄膜或薄片，其經組態為固定至導管440及螺紋區432之外部之一非黏性氟聚合物導電膠帶。 因此，當與導管440組裝在一起時，導電包繞物448形成自前部452向後至螺紋區432之一連續路徑。因而，自導管440沿著導電包繞物448至導體部分460且至主體部分308之外導體部分352形成一電路徑。 圖8A、圖8B及圖8C描繪根據一或多項實施例之一操作組件500。操作組件500包含一主體部分504及連接器配件508。在一或多項實施例中，操作組件500另外包含主體部分中之一操作元件506。在各種實施例中，操作元件506廣泛包含用於組態操作組件500以執行各種操作之合適結構、電子器件或其他材料。例如，在一些實施例中，操作元件506係一混合器、感測器、過濾器、泵或其他合適元件。因而，操作組件500可經組態以在一流體迴路內執行各種不同程序或任務。 主體部分504包含沿著主體部分504之外表面516定位之導電PFA之一導體部分512。導體部分512在連接器配件508之各者之間延伸且形成連接器配件508之各者中之一導電部分520之間的電接觸。在圖8B中描繪，在一或多項實施例中，導體部分512係一導電材料窄帶，其鑲嵌至形成於主體部分504之非導電聚合物材料中之一凹槽524中。例如，在某些實施例中，導體部分512係具有小於一公分之一寬度之一帶。在一些實施例中，導體部分512係具有在0.1公分與一公分之間的範圍中之一寬度之一帶。在下文進一步描述，參考圖9至圖11，導體部分512可經由一包覆成型程序形成，其中首先在界定外表面中之凹槽524或腔之一模具中由非導電氟聚合物部分形成主體部分504。接著可將一導電氟聚合物包覆成型至凹槽524中以形成導體部分512。 如在上文描述，在各種實施例中，操作組件500在連接器配件508之各者處與導管段532連接。連接器配件508形成自導管532之導電部分536通過連接器部分508且跨導體部分512之一電路徑。 在各種實施例中，如在圖8B中展示，主體部分504包含一附接部件528。在一或多項實施例中，附接部件528係一塊導電材料，其與導體部分512導電地連接以用於附接至一外部電接觸件。例如，附接部件528可連接至經接地之一電接觸件，以便組態操作組件500以進行ESD抑制。在一或多項實施例中，附接部件528係一連接器突部，該連接器突部經螺紋化以用於附接至一螺母或其他螺紋連接器。在一些實施例中，附接部件528係一突片、一螺紋孔或用於連接至一電接觸件之其他合適部件。然而，在某些實施例中，附接部件528可經組態用於干涉配合、卡扣配合、摩擦配合或與一電接觸件配合之其他方法。 圖9描繪根據一或多項實施例之用於形成一操作組件之一方法600。在操作604中，方法600包含提供用於製作一主體部分之一模具。在各種實施例中，模具包含其中之一或多個模具嵌件，該一或多個模具嵌件經定位以形成主體部分之外導體部分。在操作608中，方法600包含將非導電氟聚合物材料注射至模具中以形成或部分形成主體部分。在操作612中，一旦部分形成之主體部分經冷卻，即移除模具嵌件。在各種實施例中，一旦移除模具嵌件，即將部分形成之主體部分返回至模具。 在操作616中，方法600包含將額外包覆成型材料注射至模具腔中以形成主體部分。在各種實施例中，額外包覆成型材料係導電氟聚合物。在一或多項實施例中，模具腔對應於經包覆成型之特定部分。例如，在某些實施例中，模具嵌件為外導體部分之位置及路徑進行佈局，如在上文描述。 如在操作608及612中，一旦主體部分初步成型且移除模具嵌件，結果即係主體部分中具有外導體部分之負像之一凹槽。將額外包覆成型材料注射至此凹槽中，藉此形成單體主體部分。接著移除包括主體部分及包覆成型部分之經完成部分。 在一些實施例中，主體部分腔可具有用於形成一連接器突部之一腔。在此一情況中，第一成型導體部分經成型為具有連接器突部，該連接器突部接著插入至主體部分腔中之各自腔中。 圖10描繪根據一或多項實施例之用於形成一操作組件之一方法700。在操作704中，方法700包含提供用於製作一主體部分之一模具。在某些實施例中，首先使導體部分成型且接著將導體部分插入至主體部分之模具腔中可為合適的。因而，在操作708中，方法700首先包含將一導電氟聚合物材料注射至模具中以形成導體部分。在操作712中，方法700包含將一非導電氟聚合物材料注射至模具中以圍繞預成型導體部分形成主體部分。在操作716中，一旦冷卻，接著即自模具移除具有鑲嵌導體部分之主體部分。 圖11描繪根據一或多項實施例之用於形成一操作組件之一方法800。在操作804中，方法800包含提供一主體部分之一導體部分之一第一模具。在操作808中，方法800包含提供一主體部分之一第二模具。在操作812中，方法800包含使用一導電氟聚合物在第一模具中使一導體部分成型。在操作816中，方法800包含自第一模具移除導電部分。在操作820中，方法800包含自第一模具移除導電部分。在操作824中，方法800包含圍繞導電部分注射非導電氟聚合物。在操作828中，方法800包含移除具有鑲嵌在非導電部分中之導體部分之主體部分。 圖12描繪根據一或多項實施例之用於形成一操作組件之一方法850。在操作854中，方法850包含提供一主體部分之一模具。在操作858中，方法850包含提供一導電聚合物膜。在操作862中，方法850包含將導電聚合物膜插入至主體部分之模具中。在操作866中，方法850包含使一非導電聚合物包覆成型至導電聚合物膜上。在操作870中，方法850包含自模具移除成型主體部分。 圖13描繪根據一或多項實施例之形成一操作組件之一方法之一示意圖。首先提供一模具904以用於製作一主體部分及/或一導體部分。在一些實施例中，首先使基座部分成型且接著將其放置於一模具嵌件經移除之相同模具904中。接著，封閉模具904且將額外包覆成型材料912注射至對應於正包覆成型之特定部分之模具腔中。一旦冷卻，即移除包括主體部分及包覆成型導體部分之經完成部分。在一些實施例中，額外模具可用於包覆成型程序之不同階段。 在一些實施例中，首先使導體部分成型且接著將其放置至相同模具904中。接著，封閉模具904且將額外包覆成型材料912注射至模具904中以形成主體部分908。 在某些實施例中，首先將一導電氟聚合物薄膜908插入至模具904中。一旦插入，主體部分即可成型，使得膜908形成在連接器之間延伸之主體部分之一外表面。 包覆成型之額外描述及繪示包含於美國專利第6,428,729號及公開案US20050236110中，該等案以引用的方式併入，惟其中所含之明確定義及發明申請專利範圍除外。 以下條項界定本發明之特定態樣及實施例。 條項1。一種流體迴路，其界定供一流體自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑，該流體迴路包括：複數個操作組件，各操作組件包括具有貫穿其間之一流體流動通道之一主體部分及複數個導管連接器配件，該等操作組件藉由在其等各自導管連接器配件處連接至該等組件之複數個導管段連接，該複數個導管段及操作組件提供通過該流體迴路之該流徑；其中各主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定該流體通道且延伸至該各自複數個導管連接器配件之各者之末端，各主體部分進一步包括一外導體，該外導體在該複數個導管連接器配件之各者之間延伸且與該非導電氟聚合物部分成一體，該複數個導管段各包括一非導電氟聚合物導管部分及在該非導電氟聚合物導管部分上軸向延伸且與其成一體之一導電聚合物帶；其中該等連接器之各者具有一橋接組件，該橋接組件用於將該主體部分之該各自外導體導電地連接至該導管部分之該導電聚合物帶，該導管部分連接至該連接器。 條項2。如條項1之流體迴路，其中該對導管連接器配件之各者包括一螺紋接頭部分及可附接至該螺紋接頭部分之一導電螺母，且其中該橋接組件係該導電螺母。 條項3。如前述條項中任一項之流體迴路，其中該複數個操作組件包含一閥、一過濾器、一T連接器、一肘形連接器、一泵及一感測器之任一者。 條項4。如前述條項中任一項之流體迴路，其中該等組件主體部分之至少一者包括一附接部件，該附接部件導電地連接至該各自組件主體部分之該外導體。 條項5。一種流體迴路，其界定供一流體自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑，該流體迴路包括：複數個操作組件，該複數個操作組件之各者包括具有貫穿其間之一流體流動通道之一主體部分及複數個導管連接器配件，該等操作組件藉由在其等各自導管連接器配件處連接至該等組件之複數個導管段互連，該複數個導管段及操作組件提供通過該流體迴路之該流徑；其中各組件主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物主體部分界定該流體流動通道，各組件主體部分進一步包括與該非導電氟聚合物部分成一體且自該流體流動通道向外移位之一導電部分，該導電部分具有向外曝露至該導電部分之一連接器，該複數個操作組件之各者導電地連接在一起。 條項6。如條項5之流體迴路，其中各導管段具有包括一種氟聚合物之導電部分且該複數個操作組件之各者透過該等導管段導電地連接在一起。 條項7。如條項5至6中任一項之流體迴路，其中該複數個操作組件之各者透過連接至該等各自導體部分之導電條導電地連接。 條項8。一種操作流體迴路組件，其包括：一主體部分，其包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定在一入口部分與一出口部分之間延伸的一流體流徑，該主體部分進一步包括與該非導電氟聚合物部分成一體之一非內部氟聚合物導體，該非內部氟聚合物導體在該入口部分與該出口部分之間延伸，至少該入口部分經組態用於接納具有一導電部分之一導管末端且將該非內部氟聚合物導體部分導電地連接至該導管末端之該導電部分。 條項9。如條項8之操作流體迴路組件，其中該非內部氟聚合物導體經組態為具有在0.1公分至1公分寬之範圍中之一寬度之一帶。 條項10。如條項8至9中任一項之操作流體迴路組件，其中該出口部分包括一噴嘴。 條項11。如條項8至10中任一項之操作流體迴路組件，其中該入口部分包括一公接頭部分及一螺母，該公接頭部分具有用於接合該螺母之一螺紋部分，藉此該螺母將該組件主體部分之該非內部氟聚合物導體與該入口部分中之一導管末端之該導電部分導電地接合，藉此導電地連接該氟聚合物導體與該導管末端之導電部分。 條項12。如條項8至11中任一項之操作流體迴路組件，其中該非內部氟聚合物導體及該非導電氟聚合物部分之一者經包覆成型至該非內部氟聚合物導體及該非導電氟聚合物部分之另一者上。 條項13。如條項8至12中任一項之操作流體迴路組件，其中該操作流體迴路組件係一閥、一過濾器、一T連接器、一肘形連接器、一泵及一感測器之集合之一者。 條項14。如條項8至12中任一項之操作流體迴路組件，其中該主體部分包括用於將一接地條連接至該組件之一附接部件。 條項15。如條項14之操作流體迴路組件，其中該附接部件包括一螺紋突部、一突片及一螺紋孔之一者。 條項16。一種流體迴路，其界定供一流體自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑，該流體迴路包括：複數個操作組件，各操作組件包括具有貫穿其間之一流體流動通道之一氟聚合物主體部分及複數個導管連接器配件，該等操作組件藉由在其等各自導管連接器配件處連接至該等組件之複數個導管段連接，該複數個導管段及操作組件提供通過該流體迴路之該流徑； 其中提供延伸通過各操作組件及各導管段之一接地路徑。 條項17。如條項16之流體迴路，其中該複數個導管段各包括一非導電氟聚合物導管部分及在該非導電氟聚合物導管部分上軸向延伸且與其成一體之一導電聚合物帶，且其中各主體部分包括自該複數個導管連接器配件之一對延伸之一導電氟聚合物部分。 條項18。如條項16或17中任一項之流體迴路，其中各主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定該流體通道且延伸至該各自複數個導管連接器配件之各者之末端。 條項19。如條項16至19中任一項之流體迴路，其中各主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定該流體通道且延伸至該各自複數個導管連接器配件之各者之末端，該非導電氟聚合物部分與該導電氟聚合物部分形成一無隙接面。 條項20。一種操作流體迴路組件，其包括： 一主體部分及至少兩個連接器部分，該主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定在該至少兩個連接器部分之間延伸的一流體流徑，該主體部分進一步包括在該至少兩個連接器部分之間延伸的一非內部氟聚合物導體，各連接器部分經組態用於接納具有一導電部分之一導管末端且將該非內部氟聚合物導體部分導電地連接至該導管末端之該導電部分，該非導電氟聚合物部分及該氟聚合物導體部分之一者經包覆成型於該非導電氟聚合物部分及該氟聚合物導體部分之另一者上。 條項21。如前述條項中任一項之流體迴路，其中該連接器配件包含一導電包繞物。 條項22。如前述條項中任一項之流體迴路，其中該導管段之該導電聚合物在該導管連接器配件處導電地連接至該主體部分之該導電路徑。 條項23。如前述條項中任一項之流體迴路，其中該連接器配件包含由導電聚合物材料建構而成之一螺母。 條項24。如前述條項中任一項之流體迴路，其中該導電部分形成該主體部分之外表面之5%至10%。 已出於繪示目的呈現本發明之各種實施例之描述，但其等不意欲為窮盡性的或限於所揭示之實施例。一般技術者在不脫離所描述實施例之範疇及精神之情況下將明白許多修改及更改。在本文中使用之術語經選擇以說明實施例之原理、實際應用或對在市場中發現之技術之技術改良或使其他一般技術者能夠理解本文中揭示之實施例。
100‧‧‧流體處置系統
104‧‧‧流體供應器
108‧‧‧程序階段
112‧‧‧流體迴路
116‧‧‧導管/導管段
118‧‧‧操作組件
120‧‧‧肘形配件
122‧‧‧T形配件
124‧‧‧閥
126‧‧‧過濾器
128‧‧‧流量感測器
132‧‧‧電路圖
136‧‧‧導電條
140‧‧‧接地
150‧‧‧流體處置系統
152‧‧‧流體供應器
156‧‧‧程序階段
160‧‧‧流體迴路
164‧‧‧導管段
168‧‧‧操作組件
170‧‧‧肘形配件
172‧‧‧T形配件
174‧‧‧閥
176‧‧‧過濾器
178‧‧‧流量感測器
182‧‧‧主體部分
186‧‧‧導管連接器配件
187‧‧‧導管部分
188‧‧‧導電部分
190‧‧‧電路圖
194‧‧‧接地
198‧‧‧導電條
210‧‧‧操作組件
214‧‧‧配件
218‧‧‧閥
222‧‧‧主體部分
226‧‧‧連接器配件
227‧‧‧連接器配件
230‧‧‧主體部分
234‧‧‧外導體部分
238‧‧‧外導體部分
242‧‧‧表面
246‧‧‧肩部區
250‧‧‧頸部區
254‧‧‧螺紋區
258‧‧‧接頭部分
262‧‧‧螺母
266‧‧‧螺紋
270‧‧‧肋部
274‧‧‧外導體部分
278‧‧‧導體部分
290‧‧‧前部
294‧‧‧O環
300‧‧‧連接器配件
304‧‧‧肩部區
308‧‧‧主體部分
316‧‧‧頸部區
320‧‧‧螺紋區
324‧‧‧接頭部分
328‧‧‧導管
332‧‧‧螺母
336‧‧‧外導體部分
340‧‧‧前部
344‧‧‧後部
348‧‧‧導體部分
352‧‧‧外導體部分
356‧‧‧導電表面
360‧‧‧O環
380‧‧‧連接器配件
384‧‧‧肩部區
388‧‧‧頸部區
392‧‧‧螺紋區
396‧‧‧接頭部分
400‧‧‧螺母
404‧‧‧導體部分
408‧‧‧前部
412‧‧‧後部
416‧‧‧導體部分
420‧‧‧連接器配件
424‧‧‧肩部區
428‧‧‧頸部區
432‧‧‧螺紋區
436‧‧‧接頭部分
440‧‧‧導管
444‧‧‧螺母
448‧‧‧導電包繞物
452‧‧‧前部
456‧‧‧後部
460‧‧‧導體部分
500‧‧‧操作組件
504‧‧‧主體部分
506‧‧‧操作元件
508‧‧‧連接器配件
512‧‧‧導體部分
516‧‧‧外表面
520‧‧‧導電部分
524‧‧‧凹槽
528‧‧‧附接部件
532‧‧‧導管/導管段
536‧‧‧導電部分
600‧‧‧方法
604‧‧‧操作
608‧‧‧操作
612‧‧‧操作
616‧‧‧操作
700‧‧‧方法
704‧‧‧操作
708‧‧‧操作
710‧‧‧操作
712‧‧‧操作
716‧‧‧操作
800‧‧‧方法
804‧‧‧操作
808‧‧‧操作
812‧‧‧操作
816‧‧‧操作
820‧‧‧操作
824‧‧‧操作
828‧‧‧操作
850‧‧‧操作
854‧‧‧操作
858‧‧‧操作
862‧‧‧操作
866‧‧‧操作
870‧‧‧操作
904‧‧‧模具
908‧‧‧主體部分/導電氟聚合物薄膜
912‧‧‧包覆成型材料
包含於本申請案中之圖式被併入至說明書中且形成說明書之部分。圖式繪示本發明之實施例且與描述一起用於說明本發明之原理。圖式僅繪示某些實施例且並不限制本發明。 圖1描繪先前技術之一流體處置系統。 圖2描繪根據本發明之一或多項實施例之一流體處置系統及流體迴路。 圖3描繪根據本發明之一或多項實施例之一操作組件及經連接導管段。 圖4描繪根據本發明之一或多項實施例之一操作組件及一導管連接器配件及導管段之部分截面圖。 圖5描繪根據本發明之一或多項實施例之一導管連接器配件及一導管段之一截面圖。 圖6描繪根據本發明之一或多項實施例之一導管連接器配件及一導管段之一截面圖。 圖7A至圖7C描繪根據本發明之一或多項實施例之包含一導電膠帶之一導管連接器配件及一導管段。 圖8A描繪根據本發明之一或多項實施例之一操作組件之一截面圖。 圖8B描繪在圖8A之線8B處截取之一截面圖。 圖8C描繪在圖8A之線8C處截取之一截面圖。 圖9描繪根據本發明之一或多項實施例之製造一操作組件之一方法之一流程圖。 圖10描繪根據本發明之一或多項實施例之製造一操作組件之一方法之一流程圖。 圖11描繪根據本發明之一或多項實施例之製造一操作組件之一方法之一流程圖。 圖12描繪根據本發明之一或多項實施例之製造一操作組件之一方法之一流程圖。 圖13描繪根據本發明之一或多項實施例之用於形成一操作組件之一主體部分之一模具及包覆成型材料。 雖然本發明之實施例適於各種修改及替代形式，但已在圖式中藉由實例展示且將詳細描述其等之細節。然而，應理解，不意欲將本發明限於所描述之特定實施例。相反地，意欲覆蓋落入本發明之精神及範疇內之所有修改、等效物及替代物。
150‧‧‧流體處置系統
152‧‧‧流體供應器
156‧‧‧程序階段
160‧‧‧流體迴路
164‧‧‧導管段
168‧‧‧操作組件
170‧‧‧肘形配件
172‧‧‧T形配件
174‧‧‧閥
176‧‧‧過濾器
178‧‧‧流量感測器
182‧‧‧主體部分
186‧‧‧導管連接器配件
190‧‧‧電路圖
194‧‧‧接地
198‧‧‧導電條

Claims (20)

  1. 一種流體迴路，其界定供一流體自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑，該流體迴路包括： 複數個操作組件，各操作組件包括具有貫穿其間之一流體流動通道之一主體部分及複數個導管連接器配件，該等操作組件藉由在其等各自導管連接器配件處連接至該等組件之複數個導管段連接，該複數個導管段及操作組件提供通過該流體迴路之該流徑； 其中各主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定該流體通道且延伸至該各自複數個導管連接器配件之各者之末端，各主體部分進一步包括一外導體，該外導體在該複數個導管連接器配件之各者之間延伸且與該非導電氟聚合物部分成一體，該複數個導管段各包括一非導電氟聚合物導管部分及在該非導電氟聚合物導管部分上軸向延伸且與其成一體之一導電聚合物帶； 其中該等連接器之各者具有一橋接組件，該橋接組件用於將該主體部分之該各自外導體導電地連接至該導管部分之該導電聚合物帶，該導管部分連接至該連接器。
  2. 如請求項1之流體迴路，其中該對導管連接器配件之各者包括一螺紋接頭部分及可附接至該螺紋接頭部分之一導電螺母，且其中該橋接組件係該導電螺母。
  3. 如請求項1之流體迴路，其中該複數個操作組件包含一閥、一過濾器、一T連接器、一肘形連接器、一泵及一感測器之任一者。
  4. 如請求項1之流體迴路，其中該等組件主體部分之至少一者包括一附接部件，該附接部件導電地連接至該各自組件主體部分之該外導體。
  5. 一種流體迴路，其界定供一流體自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑，該流體迴路包括： 複數個操作組件，該複數個操作組件之各者包括具有貫穿其間之一流體流動通道之一主體部分及複數個導管連接器配件，該等操作組件藉由在其等各自導管連接器配件處連接至該等組件之複數個導管段互連，該複數個導管段及操作組件提供通過該流體迴路之該流徑； 其中各組件主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物主體部分界定該流體流動通道，各組件主體部分進一步包括與該非導電氟聚合物部分成一體且自該流體流動通道向外移位之一導電部分，該導電部分具有向外曝露至該導電部分之一連接器，該複數個操作組件之各者導電地連接在一起。
  6. 如請求項5之流體迴路，其中各導管段具有包括一種氟聚合物之導電部分且該複數個操作組件之各者透過該等導管段導電地連接在一起。
  7. 如請求項5之流體迴路，其中該複數個操作組件之各者透過連接至該等各自導體部分之導電條導電地連接。
  8. 一種操作流體迴路組件，其包括： 一主體部分，其包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定在一入口部分與一出口部分之間延伸的一流體流徑，該主體部分進一步包括與該非導電氟聚合物部分成一體之一非內部氟聚合物導體，該非內部氟聚合物導體在該入口部分與該出口部分之間延伸，至少該入口部分經組態用於接納具有一導電部分之一導管末端且將該非內部氟聚合物導體部分導電地連接至該導管末端之該導電部分。
  9. 如請求項8之操作流體迴路組件，其中該非內部氟聚合物導體經組態為具有在0.1公分至1公分寬之範圍中之一寬度之一帶。
  10. 如請求項8之操作流體迴路組件，其中該出口部分包括一噴嘴。
  11. 如請求項8之操作流體迴路組件，其中該入口部分包括一公接頭部分及一螺母，該公接頭部分具有用於接合該螺母之一螺紋部分，藉此該螺母將該組件主體部分之該非內部氟聚合物導體與該入口部分中之一導管末端之該導電部分導電地接合，藉此導電地連接該氟聚合物導體與該導管末端之導電部分。
  12. 如請求項8之操作流體迴路組件，其中該非內部氟聚合物導體及該非導電氟聚合物部分之一者經包覆成型至該非內部氟聚合物導體及該非導電氟聚合物部分之另一者上。
  13. 如請求項8至12中任一項之操作流體迴路組件，其中該操作流體迴路組件係一閥、一過濾器、一T連接器、一肘形連接器、一泵及一感測器之集合之一者。
  14. 如請求項8至12中任一項之操作流體迴路組件，其中該主體部分包括用於將一接地條連接至該組件之一附接部件。
  15. 如請求項14之操作流體迴路組件，其中該附接部件包括一螺紋突部、一突片及一螺紋孔之一者。
  16. 一種流體迴路，其界定供一流體自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑，該流體迴路包括： 複數個操作組件，各操作組件包括具有貫穿其間之一流體流動通道之一氟聚合物主體部分及複數個導管連接器配件，該等操作組件藉由在其等各自導管連接器配件處連接至該等組件之複數個導管段連接，該複數個導管段及操作組件提供通過該流體迴路之該流徑； 其中提供延伸通過各操作組件及各導管段之一接地路徑。
  17. 如請求項16之流體迴路，其中該複數個導管段各包括一非導電氟聚合物導管部分及在該非導電氟聚合物導管部分上軸向延伸且與其成一體之一導電聚合物帶，且 其中各主體部分包括自該複數個導管連接器配件之一對延伸之一導電氟聚合物部分。
  18. 如請求項16或17之流體迴路，其中各主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定該流體通道且延伸至該各自複數個導管連接器配件之各者之末端。
  19. 如請求項17之流體迴路，其中各主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定該流體通道且延伸至該各自複數個導管連接器配件之各者之末端，該非導電氟聚合物部分與該導電氟聚合物部分形成一無隙接面。
  20. 一種操作流體迴路組件，其包括： 一主體部分及至少兩個連接器部分，該主體部分包括一非導電氟聚合物部分，該非導電氟聚合物部分界定在該至少兩個連接器部分之間延伸的一流體流徑，該主體部分進一步包括在該至少兩個連接器部分之間延伸的一非內部氟聚合物導體，各連接器部分經組態用於接納具有一導電部分之一導管末端且將該非內部氟聚合物導體部分導電地連接至該導管末端之該導電部分，該非導電氟聚合物部分及該氟聚合物導體部分之一者經包覆成型於該非導電氟聚合物部分及該氟聚合物導體部分之另一者上。
TW106117991A 2016-06-01 2017-05-31 具有整合式靜電放電抑制之流體迴路 TWI644712B (zh)

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US62/344,171 2016-06-01

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