JP2016183697A - 連結部材および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】連結部材は、第1バンド部51aと、第1ロック部52aと、第2バンド部51bと、第2ロック部52bと、連結部53とを備える。第1、第2バンド部は、長手方向に延びて形成される。第1ロック部は、第1バンド部の基端側に設けられ第1バンド部を固定させる。第2ロック部は、第2バンド部の基端側に設けられ第2バンド部を固定させる。連結部は、第1ロック部と第2ロック部とを一体的に連結する。
【選択図】図4
Description
<1.基板処理装置の構成>
図1は、第1の実施形態に係る連結部材を有する基板処理装置の概略構成を示す図である。以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
図2は、配管32に取り付けられた連結部材50の構成の一例を示す模式図である。なお、図2では、図示の簡略化のため、接続部材33を模式的に直方体で示している。また、以下においては、上下や左右、上面、下面などの方向を示す語句を用いるが、これは各図の紙面における上下や左右、上面、下面等を意味するものとする。
<3.第2の実施形態に係る連結部材の構成>
次いで、第2の実施形態に係る連結部材150について説明する。上記した第1の実施形態では、連結部材50が延長部61などを備えることで、バンド部51等を配管32の全周に亘って接触させるようにした。以下の第2の実施形態では、第1、第2ロック部52a,52bがそれぞれ突起部80を備えることで、バンド部51等を配管32の全周に亘って接触させるようにした。
<4.第1変形例に係る連結部材の構成>
上記した実施形態に係る連結部材50,150は、たとえば、第1バンド部51a、連結部53および第2バンド部51bの長手方向が互いに平行または略平行とされ、図4や図10に示す平面視において直線状となるように形成されている。しかしながら、連結部材50,150の形状は、これに限定されるものではない。
<5.第2変形例に係る連結部材の構成>
また、上記では、連結部53が第1、第2ロック部52a,52bに直接設けられるようにしたが、これに限定されるものではなく、たとえば、配管32を連結可能な場所であれば、どのような場所に設けられていてもよい。
<6.第3変形例に係る連結部材の構成>
上記した実施形態では、基板処理装置1の配管32は、ストライプ状の導電層32aを有するようにしたが、これに限定されるものではない。図15は、第3変形例に係る基板処理装置1の配管132を示す模式図であり、図16は、配管132の長手方向と直交する方向の断面図である。
<7.第3の実施形態に係る基板処理装置の構成>
次いで、第3の実施形態に係る基板処理装置201について説明する。図17は、第3の実施形態に係る基板処理装置201の概略構成を示す図である。
次に、以上のように構成された基板処理装置201の具体的な動作について図18を参照して説明する。図18は、基板処理装置201が実行する乾燥処理の処理手順の一部を示すフローチャートである。なお、図18に示す各種の処理は、制御装置210による制御に基づいて実行される。
30 処理液供給部
31 処理液供給源
32,132 配管
33 接続部材
50,150 連結部材
51a 第1バンド部
51b 第2バンド部
52a 第1ロック部
52b 第2ロック部
53 連結部
55a,55b,155a,155b 挿通孔
60 切欠き孔
61 延長部
70 孔
80 突起部
132a 液配管
132b 被覆部
Claims (15)
- 長手方向に延びて形成される第1バンド部と、
前記第1バンド部の基端側に設けられ前記第1バンド部を固定させる第1ロック部と、
長手方向に延びて形成される第2バンド部と、
前記第2バンド部の基端側に設けられ前記第2バンド部を固定させる第2ロック部と、
前記第1ロック部と前記第2ロック部とを一体的に連結する連結部と
を備えることを特徴とする連結部材。 - 前記第1、第2バンド部、前記第1、第2ロック部および前記連結部は、
導電性を有すること
を特徴とする請求項1に記載の連結部材。 - 前記連結部は、
前記第1、第2ロック部側にそれぞれ形成される切欠き孔
を備え、
前記切欠き孔に、前記第1、第2ロック部から延びる延長部が設けられること
を特徴とする請求項1または2に記載の連結部材。 - 前記延長部は、
前記第1、第2ロック部から離間するほど厚さが薄くなるテーパ状に形成されること
を特徴とする請求項3に記載の連結部材。 - 前記第1、第2ロック部はそれぞれ、
前記第1、第2バンド部が取り付けられる被取付体と接する面に形成される突起部
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の連結部材。 - 前記第1、第2バンド部はそれぞれ、
前記第1、第2バンド部の長手方向に対して直交する方向の断面形状において、前記第1、第2バンド部が取り付けられる被取付体と接する面が前記被取付体側へ向けて突出するように形成されること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の連結部材。 - 前記連結部の途中に形成される孔
を備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の連結部材。 - 前記連結部は、
円柱状に形成されること
を特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の連結部材。 - 基板へ供給される処理液が流れるとともに、直列に配設される複数の導電性配管と、
前記複数の導電性配管の間に配設されて前記複数の導電性配管同士を接続する非導電性接続部材と
を備え、
前記非導電性接続部材を介して隣接する前記導電性配管が、請求項2に記載の連結部材を用いて連結されること
を特徴とする基板処理装置。 - 前記導電性配管は、
外周側にストライプ状の導電層が形成されること
を特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記導電性配管は、
前記処理液が流れる非導電性の液配管と、
前記液配管を被覆する導電性の被覆部と
を備えることを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記連結部は、
前記第1、第2ロック部側にそれぞれ形成される切欠き孔
を備え、
前記切欠き孔に、前記第1、第2ロック部から延びる延長部が設けられること
を特徴とする請求項9〜11のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記延長部は、
前記第1、第2ロック部から離間するほど厚さが薄くなるテーパ状に形成されること
を特徴とする請求項12に記載の基板処理装置。 - 前記第1、第2ロック部はそれぞれ、
前記第1、第2バンド部が取り付けられる被取付体と接する面に形成される突起部
を備えることを特徴とする請求項9〜11のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記第1、第2バンド部はそれぞれ、
前記第1、第2バンド部の長手方向に対して直交する方向の断面形状において、前記第1、第2バンド部が取り付けられる被取付体と接する面が前記被取付体側へ向けて突出するように形成されること
を特徴とする請求項9〜14のいずれか一つに記載の基板処理装置。
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