JP5954096B2 - 液処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、液処理に用いられる処理液の帯電を抑える技術に関する。

基板である例えば半導体ウエハ（以下、ウエハという）の表面に集積回路の積層構造を形成する半導体装置の製造工程において、回転するウエハの表面に、複数種類の処理液を切り替えて供給し、ウエハの処理を行う液処理装置が知られている。

このような液処理装置において、ウエハへ供給される際に供給配管内を通流する処理液には、供給配管を構成する部材との摩擦により供給配管に電荷が発生し、処理液が帯電することがある。帯電した処理液がウエハに供給されると、ウエハ表面に形成された回路を短絡させる電流がながれ、当該回路を損傷させてしまうおそれがある。特に、ウエハ表面の回路は損傷を受けやすくなっており、十分に除電された処理液をウエハに供給することが重要となっている。

例えば引用文献１には、継手を用いて直列に接続された複数の導電性配管を一か所で接地するために、導電性配管同士を繋ぐ継手を導電性の材料で成型したり、導電性ではない継手で接続された導電性配管同士に導通用配線を接続したりして、これら導電性配管を電気的に導通させる技術が記載されている。しかしながら、導電性を持つ継手は、一般に流通している部品ではない。また、導電性配管は調達コストが高い。

特開２００３−２７８９７２号公報：請求項１、段落００１７、００２３、図１〜３

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡素な手法により低コストで配管内を流れる処理液の帯電を抑制することが可能な液処理装置を提供することにある。

本発明に係る液処理装置は、基板に処理液を供給して液処理を行う液処理装置において、
基板に対する液処理が行われる液処理部と、
前記液処理部を収納し、少なくとも前記液処理部を収納する内側の面が外側に対して絶縁体である筐体と、
前記液処理部内の基板に処理液を供給するために前記筐体内に設けられた導電性配管と、
前記筐体の外部に設けられた絶縁性の外部配管と、
前記筐体に設けられ、前記導電性配管と前記外部配管とを接続するための絶縁体からなる継手と、
前記筐体内にて前記導電性配管に電気的に接続され、前記筐体を貫通して当該筐体の外にて接地された接地用導体と、を備えたことを特徴とする。

上述の液処理装置は以下の特徴を備えていてもよい。
（ａ）前記導電性配管及び接地用導体のうち、前記筐体内に露出する部分は前記処理液に対する耐食性を備えた材料からなること。前記耐食性を備えた材料は、導電性材料を混合した樹脂であること。
（ｂ）前記導電性配管が複数設けられ、これら導電性配管のうちの一の導電性配管は、前記筐体の外部から当該筐体の壁部を貫通して筐体の内部に配廻されると共に筐体の外部にて接地され、
この接地された導電性配管と、前記絶縁性の外部配管と接続された他の導電性配管とを前記筐体内にて電気的に結合する結合部材を備え、前記接地された導電性配管は接地用導体を兼用すること。このとき、前記複数の導電性配管は可撓性を有し、前記結合部材はこれら導電性配管の側面を保持する導電性ゴムであること。
（ｃ）前記接地用導体は、前記筐体の壁部を貫通すると共に、当該処理液に対する耐食性を備えた結合部材により前記導電性配管と電気的に接続されていること。また、前記接地用導体は処理液に対して腐食性であり、前記筐体の壁部を貫通し、当該処理液に対する耐食性を備えた結合部材によって前記筐体の内部側の部分が覆われた状態で前記導電性配管と電気的に接続されていること。
（ｄ）前記筐体に隣接する位置には、前記導電性配管に処理液を供給する配管に設けられた弁体を覆うための金属製のカバー部材が設けられ、前記接地用導体は、このカバー部材を介して接地されていること。

本発明は、筐体の内側に導電性配管と絶縁性の外部配管を絶縁体からなる継手を介して接続し、導電性配管に少なくとも内側の面が外側に対して絶縁体である筐体を貫通して設けた接地用導体を接続することにより、簡素な手法により低コストで配管内を流れる処理液の帯電を抑制することが可能となる。

実施の形態に関わる液処理装置の縦断側面図である。 前記液処理装置の横断平面図である。 前記液処理装置に設けられているノズルの移動機構及び処理液供給配管の斜視図である。 処理液供給配管の接地手法を示す説明図である。 前記移動機構に設けられた処理液の供給配管及び導電性結合部材の縦断側面図である。 第２の接地手法に係る説明図である。 第３の接地手法に係る説明図である。 第４の接地手法に係る説明図である。

本発明の実施の形態として、鉛直軸周りに回転するウエハＷの表面に複数種類の処理液を切り替えて供給する液処理が行われる枚葉式の液処理装置の構成について図１、図２を参照しながら説明する。
液処理装置は、ウエハＷを水平に支持し、鉛直軸周りに回転自在に構成された基板保持部である円板状の支持プレート３１と、この支持プレート３１に支持されたウエハＷの周縁を囲うカップ部２１と、このウエハＷの上面側から複数種類の処理液を切り替えて供給するノズル４１１と、を共通の筐体１１内に収めた構造となっている。筺体１１内に収められた支持プレート３１やカップ部２１等は、本例の液処理部に相当する。

筐体１１は、天板１１２によって内部を上下に区画されており、上段側の拡散空間１１１に、給気管１１５から受け入れた清浄空気を、天板１１２に多数設けられた通気孔１１３を介して下段側の処理空間１１４に供給する。また、底面に設けられた排気管１３から排気を行うことにより、処理空間１１４内に清浄空気のダウンフローを形成する。筐体１１の側壁面には、開閉扉１２により開閉自在に構成された搬入出口１２１が配置されている。ウエハ搬送機構は、この搬入出口１２１を介して外部から進入し、液処理装置に対してウエハＷの搬入出を行う。

処理空間１１４内に配置された支持プレート３１の上面側には、例えば３個の支持ピン３３が設けられている。一方、支持プレート３１の下面側中央部には、上下方向に伸びる回転軸３２が設けられている。回転軸３２は、筐体１１の床面に固定され内部にベアリングを備えた支持部３４によって、鉛直軸周りに回転自在に保持されている。その支持部３４には回転軸３２を回転させるための駆動機構が備えられている。支持プレート３１に保持されたウエハＷは、回転軸３２を回転させることにより鉛直軸周りに回転する。

回転軸３２の内側には、当該回転軸３２を上下方向に貫通する昇降軸３５が配設されており、昇降軸３５の下端部には不図示の昇降駆動機構が接続されている。昇降軸３５の上端部には、支持ピン３３とウエハＷを受け渡すための昇降ピン３５１が設けられている。そして、支持プレート３１の上方のウエハＷの受け渡し位置と、支持ピン３３よりも下方側の退避位置との間で、昇降軸３５を昇降させることにより、昇降ピン３５１と既述のウエハ搬送機構との間でウエハＷの受け渡しを行う。

カップ部２１は、回転するウエハＷから周囲に振り切られた処理液を受け止め、その底面に設けられた排液管２２を介して外部に処理液を排出する。また、カップ部２１の底面には、カップ部２１に流れ込んだ気流の排気を行う排気管２３が設けられている。

支持プレート３１に保持されたウエハＷの上面（表面）には、ノズルブロック４１に設けられた例えば３本のノズル４１１から、複数種類の処理液が切り替えて供給される。処理液の種類は、ウエハＷに対して実行する処理の種類に応じて適宜、選択することができるが、本例では、ウエハＷの表面の自然酸化物を除去するためのＤＨＦ（Diluted HydroFluoric acid）と、リンス洗浄用のＤＩＷ（DeIonized Water）と、液処理後のスピン乾燥に用いるＩＰＡ（IsoPropyl Alcohol）と、を供給する場合について説明する。

ノズルブロック４１は、ノズルアーム４２の先端部に支持されている。ノズルアーム４２の基端部は上下方向に伸びる回転軸４３に取り付けられている。回転軸４３の基端部には駆動部４４が設けられており、この駆動部４４にて回転軸４３を鉛直軸周りに回転させることにより、支持プレート３１に保持されたウエハＷの中央部上方の処理位置（図２に実線で示してある）と、ウエハＷの上方から退避した退避位置（同図中に破線で示してある）との間でノズルブロック４１が移動する。ノズルブロック４１、ノズルアーム４２、回転軸４３及び駆動部４４は、処理位置と退避位置との間でノズル４１１を移動させる移動機構を構成している。

ノズルブロック４１に保持された各ノズル４１１は、各々、処理液の供給配管（ＩＰＡ供給配管５１、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３）を介して処理液供給部（ＩＰＡ供給部６１、ＤＩＷ供給部６２、ＤＨＦ供給部６３）に接続されている。これらの処理液供給部には、各種の処理液を貯留するタンクや処理液の供給量を調節する流量調節機構などが設けられている。ここで本例においては、ＩＰＡ供給部６１からノズル４１１へのＩＰＡの給断を制御する開閉弁５１１（弁体）が、筐体１１の外壁面から例えば十数ｃｍ以内の近傍位置に配置されている。またこの開閉弁５１１を覆う制御ボックスとして金属製のカバー部材５０１が設けられている。

当該液処理の動作の例について簡単に説明すると、支持プレート３１に支持されたウエハＷを所定の回転速度で回転させ、回転するウエハＷの上面にノズル４１１からＤＨＦを供給して自然酸化膜の除去を行った後、ウエハＷに供給する処理液をＤＩＷに切り替えてリンス洗浄を行う。そして最後に、ウエハＷの表面に供給する処理液をＩＰＡに切り替えてウエハＷ表面のＤＩＷをＩＰＡに置換し、さらにＩＰＡの供給を停止してウエハＷのスピン乾燥を行う。次いで、ウエハＷの回転を停止し、ノズルブロック４１を退避位置まで退避させ、ウエハＷが筐体１１から搬出される。

本例の液処理装置は、各供給配管（ＩＰＡ供給配管５１、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３）内を処理液が流れる際に配管部材との摩擦によって帯電した処理液の除電を行う機構を備えている。以下、図３〜図４を参照しながら当該除電機構の詳細について説明する。

ここで既述のようにＤＨＦなどの金属を腐食させる処理液を用いる液処理装置では、腐食雰囲気となる処理空間１１４内に露出する状態で導電性の金属材料を用いることは適当でない。そこで本例の処理空間１１４内の各供給配管（ＩＰＡ供給配管５１、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３）は、導電性を備える耐食性材料により構成された導電性配管が採用されている。例えば導電性配管は、塩化ビニールやポリプロピレン、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシフッ素樹脂）などの樹脂材料を耐食性材料とし、これにカーボン等の導電性材料を混合してチューブ状に成型した、可撓性を有するものが用いられる。

図３に示すように、ノズルブロック４１に保持された３本のノズル４１１には、上述の導電性配管からなるＩＰＡ供給配管５１、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３の先端部が各々接続されている。これらの処理液供給配管５１、５２、５３は、ノズルアーム４２上を通って回転軸４３側に配廻された後、各々筐体１１の壁面を介して当該筐体１１の外部の処理液供給部（ＩＰＡ供給部６１、ＤＩＷ供給部６２、ＤＨＦ供給部６３）に接続されている。なお、図３においては、３本の処理液供給配管５１、５２、５３がノズルアーム４２に支持されている様子を示すため、これらを途中で切断した状態で図示してある。また図３では、図示の便宜上、その長さを一部省略して記載してあるが、実際には処理液供給配管５１、５２、５３は、回転軸４３の回転動作の障害とならない程度の十分な長さを備えている。

ここで既述のように処理空間１１４内は金属の腐食雰囲気となることから、本例の筐体１１は、樹脂材料などの耐食性材料により構成されている。このため、各処理液供給配管５１、５２、５３は、筐体１１の外部にて接地する必要がある。ここで既述のように、本例の液処理装置では、流量調節の事情などから、ＩＰＡ供給部６１からノズル４１１へのＩＰＡの給断を制御する開閉弁５１１を筐体１１の近傍に設けている。このとき、開閉弁５１の周囲は、カバー部材５０１で覆い、その内部を排気する必要がある。一方、ＩＰＡは金属を腐食させる成分ではないことから、金属製のカバー部材５０１を用いることが可能であり、処理液供給配管５１、５２、５３の接地用導体としても利用できる。

そこで本例の液処理装置は、カバー部材５０１を利用してＩＰＡ供給配管５１を接地する一方、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３は、このＩＰＡ供給配管５１自体を接地用導体として兼用し、ＩＰＡ供給配管５１やカバー部材５０１を介して接地されている。
具体的な構成を述べると、図３に示すように処理空間１１４内を配廻されたＩＰＡ供給配管５１は、筐体１１の側壁面を貫通してその基端部が筐体１１の外側へ伸び出している。

図４に示すように、ＩＰＡ供給配管５１は筐体１１の壁面に設けられた配管支持部７２１により保持され、この配管支持部７２１を貫通して筐体１１の外側へ伸び出している。配管支持部７２は、筐体１１に設けられた開口部に固定され、雄ネジが形成された本体部材７２と、本体部材７２の雄ネジと螺合する雌ネジが形成されたカバー部７２２とを備えている。そして、ＩＰＡ供給配管５１の側周面に沿って形成された円環状部材５００を両部材７２１、７２２にて挟み込むことにより、配管支持部７２はＩＰＡ供給配管５１を保持する。処理空間１１４内に露出する配管支持部７２は、樹脂材料などの耐食性材料にて構成されている。

筐体１１の外側へ伸び出したＩＰＡ供給配管５１は、接地ライン５１２を介してカバー部材５０１に電気的に接続され、このカバー部材５０１を接地することによりＩＰＡ供給配管５１が接地される。従って、接地ライン５１２、カバー部材５０１はＩＰＡ供給配管５１の接地用導体の一部を構成している。

また、本例ではＩＰＡ供給配管５１の基端部は、絶縁体である樹脂製の継手部５１３を介して導電性の外部配管５１４と接続されており、この外部配管５１４もＩＰＡ供給配管５１と独立して接地されている。なお、図４には、外部配管５１４をカバー部材５０１に電気的に接続した例を示したが、外部配管５１４は、その配設位置に応じて利用しやすい接地先を選択するとよい。

一方、図３に示すようにＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３は処理空間１１４内を配廻された後、筐体１１の底面に設けられた配管継手７１に接続されている。図５に示すように各配管継手７１は、これらＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３の基端部と、筐体１１の外部に配設された外部配管５２１、５３１の先端部とを各々継ぎ合せてＤＩＷやＤＨＦの流路を形成する。

各配管継手７１は、筐体１１に設けられた開口部に固定され、処理空間１１４側及び筐体１１の外側へ向けて突出する雄ネジが形成された本体部材７１１と、これら雄ネジと各々螺合する雌ネジが形成されたカバー部材７１２、７１３とを備えている。本体部材７１１の内面には、内側へ向けて円環状に突出する突出部７１４が形成されており、この突出部７１４によってＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３の基端部と、外部配管５２１、５３１の先端部が各々係止される。さらに、各配管５２、５３、５２１、５３１の側周面に沿って形成された円環状部材５００を本体部材７１１とカバー部材７１２、７１３との間で挟み込むことによりこれらの配管５２、５３、５２１、５３１が固定される。但し、絶縁体からなる配管継手７１の構造は、上述の構成例に限られるものではなく、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３が他の接地先と電気的に接続されていない状態を維持しながら、これらの供給配管５２、５３と外部配管５２１、５３１とを継ぎ合せるものであれば他の構造であってもよい。

例えば図５に示した外部配管５２１、５３１は絶縁性配管などにより構成されている一方、既述のように突出部７１４を介して継ぎ合わされているＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３と外部配管５２１、５３１とは電気的には接続されていない。また、処理空間１１４内に露出する配管支持部７２は、樹脂材料などの耐食性材料からなり導電性のない絶縁体が用いられている。従って、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３と外部配管５２１、５３１とは電気的に接続されていないので、別途、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３の接地が必要となる。

そこで本例の液処理装置では、導電性結合部材４５を用いてこれらＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３をＩＰＡ供給配管５１と電気的に接続する（図５）。
導電性結合部材４５は、例えば耐食性を有すると共に、弾力性を備える合成ゴムなどの樹脂材料に、カーボン等の導電性材料を混合した導電性ゴムが用いられる。導電性結合部材４５は細長い板状に成型され、各処理液供給配管５１、５２、５３を貫通させるための貫通口が短辺方向に穿設されている。

各貫通口の直径は、導電性結合部材４５が処理液供給配管５１、５２、５３の外周面と密着できる大きさに形成されている。そして、これらの貫通口に各処理液供給配管５１、５２、５３を通すと、ＩＰＡ供給配管５１に対してＤＩＷ供給配管５２及びＤＨＦ供給配管５３が電気的に接続された状態となる。この結果、ＩＰＡ供給配管５１、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３を各々流れ、配管との摩擦により各処理液に発生した電荷は、接地用導体や結合部材（ＩＰＡ供給配管５１の場合は、ＩＰＡ供給配管５１自体、接地ライン５１２、及びカバー部材５０１である。また、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３の場合は、ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３自体、導電性結合部材４５、ＩＰＡ供給配管５１、接地ライン５１２及びカバー部材５０１である）を通って除去され、除電された処理液がウエハＷの表面に供給される。これら複数の接地用導体や結合部材のうち、ＩＰＡ供給配管５１は、筐体１１を貫通して当該筐体１１の外部にて接地される役割を果たす。

ＤＩＷ供給配管５２やＤＨＦ供給配管５３の接地用導体を兼用するという観点において、ＩＰＡ供給配管５１は本例の一の導電性配管に相当し、このＩＰＡ供給配管５１を介して接地されるＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３は他の電性配管に相当している。また、導電性結合部材４５は、これらＩＰＡ供給配管５１とＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３とを電気的に結合する結合部材である。

ここで図３に示すように導電性結合部材４５は、回転軸４３の側壁面であって、ノズル４１１の移動動作に際して導電性結合部材４５や各処理液供給配管５１、５２、５３がノズルブロック４１やノズルアーム４２の移動経路と干渉しない位置に、ホルダー４５１によって保持される。

また、回転軸４３を回転させると、処理液供給配管５１、５２、５３を保持する導電性結合部材４５と配管支持部７２や配管継手７１との位置関係が変化し、処理液供給配管５１、５２、５３が変形する。この変形の影響を受けて導電性結合部材４５による保持位置にて処理液供給配管５１、５２、５３に加わる力が変化し、処理液供給配管５１、５２、５３の保持位置がずれることがある。この動作が繰り返し行われると、処理液供給配管５１、５２、５３の外周面と導電性結合部材４５とが繰り返し擦れてしまう。そこで弾力性を有するゴムにて導電性結合部材４５を構成することにより、これら処理液供給配管５１、５２、５３の損傷を抑えることができる。

本実施の形態の液処理装置によれば以下の効果がある。筐体１１の内側に導電性配管（ＤＩＷ供給配管５２、ＤＨＦ供給配管５３）と絶縁性の外部配管（外部配管５２１、５３１）を絶縁体からなる継手（配管継手７１）を介して接続し、前記導電性配管に少なくとも内側の面が外側に対して絶縁体である筐体１１を貫通して設けた接地用導体（本例においてはＩＰＡ供給配管５１）を接続する。これにより、簡素な手法により低コストで配管内を流れる処理液の帯電を抑制することが可能となる。

ここで上述の実施の形態では、接地用導体を構成するカバー部材５０１が近傍に設けられているＩＰＡ供給配管５１を接地される一の導電性配管として選択した。但し、接地される導電性配管となる処理液供給配管は、各配管の配置位置やその近傍に接地用導体として利用可能な金属部材が有るかどうかなどに応じて適宜、選択される。

また、接地導体として兼用される導電性配管として、一時的または恒久的に処理液の供給を行わない導電性の配管を利用してもよい。特に、恒久的に処理液の供給を行わない導電性の配管を利用する場合には、導電性の配管の先端部は、ノズル４１１と接続されていなくてもよく、その先端部は少なくとも導電性結合部材４５に到達し、他の導電性配管を接地することができればよい。

また、恒久的に処理液の供給を行わない導電性の配管を用いる場合には、当該配管の基端部は外部配管５１４等に接続されていなくてもよい。図６は、筐体１１の外面側から例えば金属製のネジを接地部材７２４として挿入し、この接地部材７２４に導電性の配管５４の基端部を接触させて接地を行った例である。筐体１１の処理空間１１４側には、導電性の配管５４を支持すると共に、金属製の接地部材７２４が腐食雰囲気に接することを防止するめの樹脂材料からなる支持部材７２３が設けられている。この場合には、導電性配管５４は、導電性結合部材４５と共に、筐体１１の壁部を途中まで貫通する接地用導体である接地部材７２４と、処理液の供給を行う導電性配管５０ａとを電気的に接続する結合部材としての機能を果たしているといえる。またこれらの例において、導電性の配管５４に替えて、内部が空洞でない導電性樹脂（樹脂材料に導電性材料を混合したもの）製の部材を用いてもよいことは勿論である。

また、絶縁体からなる配管継手７１を介して筐体１１内に設けられた導電性配管５０ａを接地する手法は、接地された導電性配管を利用する場合に限定されない。例えば図７に示すように、筐体１１を貫通して処理空間１１４に露出するネジ状の接地用導体７２６を用い、この接地用導体７２６を導電性樹脂にて構成し、接地された接地用導体７２６と導電性配管５０ａとを導電性結合部材４５ａで接続してもよい。この結果、従来に比べて導電性配管５０ａを接地するためのコストを低減できる。

ここで、図６等に示すように、導電性配管５０ａと絶縁性の外部配管５０ｂとの２本の配管５０ａ、５０ｂを接続することにより、施工の際の配廻性が優れる。また配管継手７１として、パネルマウント継手などの汎用品を用いることが可能であり、コスト低減の効果がある。そして、筐体１１の外部では絶縁性の外部配管５０ｂを用いることにより、コストの高い導電性配管５０ａの使用量を低減できる。
なお、導電性配管５０ａが大きく変形せず、導電性結合部材４５ａと擦れることにより導電性配管５０ａが損傷するおそれが小さい場合には、導電性結合部材４５ａは導電性のゴムに限らずより固い導電性樹脂を用いてもよい。図７に示した例では、導電性結合部材４５ａは、樹脂製の締結部材７２５によって接地用導体７２６に締結されている。

さらに図８には、接地された金属製のネジからなる接地用導体７２７が筐体１１を貫通し、導電性結合部材４５ｂを用いて接地用導体７２７と導電性配管５０ａと接続する例を示している。処理空間１１４側に突出した接地用導体７２７は導電性結合部材４５ｂにて覆われており、金属製の接地用導体７２７が腐食雰囲気に晒されないようになっている。接地用導体７２７と導電性結合部材４５ｂとは、例えばカーボン等の導電性材料を混合した導電性接着剤などを用いて張り合わせる。

さらにここで、絶縁体の配管継手７１にて外部配管と接続された導電性配管を介して供給される処理液の種類は、上述のＤＨＦやＤＩＷ、ＩＰＡに限られるものではない。例えばアルカリ性の処理液であり、有機性の汚れやパーティクルを除去するためのＳＣ−１（アンモニアと過酸化水素との混合水溶液）やその他の種類の薬液を用いる場合にも本発明は適用可能である。
これに加え、液処理装置は、カップ部２１の内側に支持プレート３１を配置し、ウエハＷを鉛直軸周りに回転させながら液処理を行う種類のものに限定されない。

Ｗ ウエハ
１１ 筐体
２１ カップ部
３１ 支持プレート
４１ ノズルブロック
４１１ ノズル
４２ ノズルアーム
４３ 回転軸
４４ 駆動部
４５、４５ａ、４５ｂ
導電性結合部材
５０ａ 導電性配管
５１ ＩＰＡ供給配管
５１３ 継手部
５１４ 外部配管
５２ ＤＩＷ供給配管
５２１ 外部配管
５３ ＤＨＦ供給配管
５４ 導電性の配管
５３１ 外部配管
７１、７１ａ、７１ｂ
配管継手
７１１ 本体部材
７１２、７１３
カバー部材
７２ 配管支持部
７２６ 接地用導体
７２７ 接地用導体

Claims (8)

1. 基板に処理液を供給して液処理を行う液処理装置において、
   基板に対する液処理が行われる液処理部と、
   前記液処理部を収納し、少なくとも前記液処理部を収納する内側の面が外側に対して絶縁体である筐体と、
   前記液処理部内の基板に処理液を供給するために前記筐体内に設けられた導電性配管と、
   前記筐体の外部に設けられた絶縁性の外部配管と、
   前記筐体に設けられ、前記導電性配管と前記外部配管とを接続するための絶縁体からなる継手と、
   前記筐体内にて前記導電性配管に電気的に接続され、前記筐体を貫通して当該筐体の外にて接地された接地用導体と、を備えたことを特徴とする液処理装置。
2. 前記導電性配管及び接地用導体のうち、前記筐体内に露出する部分は前記処理液に対する耐食性を備えた材料からなることを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
3. 前記耐食性を備えた材料は、導電性材料を混合した樹脂であることを特徴とする請求項２に記載の液処理装置。
4. 前記導電性配管が複数設けられ、これら導電性配管のうちの一の導電性配管は、前記筐体の外部から当該筐体の壁部を貫通して筐体の内部に配廻されると共に筐体の外部にて接地され、
   この接地された導電性配管と、前記絶縁性の外部配管と接続された他の導電性配管とを前記筐体内にて電気的に結合する結合部材を備え、前記接地された導電性配管は接地用導体を兼用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の液処理装置。
5. 前記複数の導電性配管は可撓性を有し、前記結合部材はこれら導電性配管の側面を保持する導電性ゴムであることを特徴とする請求項４に記載の液処理装置。
6. 前記接地用導体は、前記筐体の壁部を貫通すると共に、当該処理液に対する耐食性を備えた結合部材により前記導電性配管と電気的に接続されていることを特徴とする請求項２または３に記載の液処理装置。
7. 前記接地用導体は処理液に対して腐食性であり、前記筐体の壁部を貫通し、当該処理液に対する耐食性を備えた結合部材によって前記筐体の内部側の部分が覆われた状態で前記導電性配管と電気的に接続されていることを特徴とする請求項２または３に記載の液処理装置。
8. 前記筐体に隣接する位置には、前記導電性配管に処理液を供給する配管に設けられた弁体を覆うための金属製のカバー部材が設けられ、前記接地用導体は、このカバー部材を介して接地されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一つに記載の液処理装置。

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