JP2014072120A - 有機el装置、有機el装置の製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 85
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 66
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 66
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 22
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 10
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 claims description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 332
- 239000010408 film Substances 0.000 description 66
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 27
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 22
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 21
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 15
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 14
- -1 N, N-diphenylamino Chemical group 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 4
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 3
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 3
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 3
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 2
- VEQPNABPJHWNSG-UHFFFAOYSA-N Nickel(2+) Chemical compound [Ni+2] VEQPNABPJHWNSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 2
- AIYUHDOJVYHVIT-UHFFFAOYSA-M caesium chloride Chemical compound [Cl-].[Cs+] AIYUHDOJVYHVIT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001716 carbazoles Chemical class 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- HHNHBFLGXIUXCM-GFCCVEGCSA-N cyclohexylbenzene Chemical compound [CH]1CCCC[C@@H]1C1=CC=CC=C1 HHNHBFLGXIUXCM-GFCCVEGCSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229960003540 oxyquinoline Drugs 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 2
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 2
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 2
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- LCAKAXJAQMMVTQ-UHFFFAOYSA-N 1-(2,2-diphenylethenyl)-2-phenylbenzene Chemical group C=1C=CC=C(C=2C=CC=CC=2)C=1C=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 LCAKAXJAQMMVTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MJQNQKYYOCSNKD-UHFFFAOYSA-N 2-naphthalen-1-yl-1,3,4-oxadiazole Chemical compound O1C=NN=C1C1=CC=CC2=CC=CC=C12 MJQNQKYYOCSNKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIZUPBYFLORCRA-UHFFFAOYSA-N 9,10-dinaphthalen-2-ylanthracene Chemical compound C12=CC=CC=C2C(C2=CC3=CC=CC=C3C=C2)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=C(C=CC=C2)C2=C1 VIZUPBYFLORCRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJXDQWDZCFNHMC-UHFFFAOYSA-N 9-(2-phenylphenyl)-1-[9-(2-phenylphenyl)anthracen-1-yl]anthracene Chemical compound c1ccc(cc1)-c1ccccc1-c1c2ccccc2cc2cccc(-c3cccc4cc5ccccc5c(-c5ccccc5-c5ccccc5)c34)c12 JJXDQWDZCFNHMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFUDMQLBKNMONU-UHFFFAOYSA-N 9-[4-(4-carbazol-9-ylphenyl)phenyl]carbazole Chemical group C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2N1C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=C1 VFUDMQLBKNMONU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUQICFLRSLDXDP-UHFFFAOYSA-N 9-naphthalen-2-yl-10-(4-naphthalen-1-ylphenyl)anthracene Chemical compound C12=CC=CC=C2C(C2=CC3=CC=CC=C3C=C2)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=C(C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 RUQICFLRSLDXDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- PZLNLWNVQWLVRU-UHFFFAOYSA-K Cl[Fe](Cl)Cl.N1C(C=C2C(=C(CC)C(C=C3C(=C(CC)C(=C4)N3)CC)=N2)CC)=C(CC)C(CC)=C1C=C1C(CC)=C(CC)C4=N1 Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl.N1C(C=C2C(=C(CC)C(C=C3C(=C(CC)C(=C4)N3)CC)=N2)CC)=C(CC)C(CC)=C1C=C1C(CC)=C(CC)C4=N1 PZLNLWNVQWLVRU-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- LNDJVIYUJOJFSO-UHFFFAOYSA-N cyanoacetylene Chemical group C#CC#N LNDJVIYUJOJFSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000005567 fluorenylene group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229940079865 intestinal antiinfectives imidazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FQHFBFXXYOQXMN-UHFFFAOYSA-M lithium;quinolin-8-olate Chemical compound [Li+].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 FQHFBFXXYOQXMN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- JZRYQZJSTWVBBD-UHFFFAOYSA-N pentaporphyrin i Chemical compound N1C(C=C2NC(=CC3=NC(=C4)C=C3)C=C2)=CC=C1C=C1C=CC4=N1 JZRYQZJSTWVBBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRGDZIGMBDGFTC-UHFFFAOYSA-N platinum(2+) Chemical compound [Pt+2] HRGDZIGMBDGFTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- 229940083082 pyrimidine derivative acting on arteriolar smooth muscle Drugs 0.000 description 1
- 150000003230 pyrimidines Chemical class 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 150000003252 quinoxalines Chemical class 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003967 siloles Chemical class 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNHJECZULSZAQK-UHFFFAOYSA-N tetraphenylporphyrin Chemical compound C1=CC(C(=C2C=CC(N2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3N2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 YNHJECZULSZAQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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Abstract
【課題】高い発光品質、発光効率、及び発光寿命を有する有機EL装置、有機EL装置の製造方法、及び電子機器を提供する。
【解決手段】有機EL装置11は、サブ画素34R,34G,34Bを有する画素38と、サブ画素34R,34G,34Bに設けられた陽極24R,24G,24Bと、陰極25と、サブ画素34R,34Gの陽極24R,24Gと陰極25との間に塗布方式で形成された赤色、緑色を発光する機能を有する発光層63R,63Gと、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、発光層63R,63Gと陰極25との間と、陽極24Bと陰極25との間とに蒸着方式で形成された青色を発光する機能を有する発光層63Bと、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、発光層63R,63Gと発光層63Bとの間と、陽極24Bと発光層63Bとの間とに蒸着方式で形成された赤外光を発光する機能を有する赤外発光層64とを備えている。
【選択図】図3
【解決手段】有機EL装置11は、サブ画素34R,34G,34Bを有する画素38と、サブ画素34R,34G,34Bに設けられた陽極24R,24G,24Bと、陰極25と、サブ画素34R,34Gの陽極24R,24Gと陰極25との間に塗布方式で形成された赤色、緑色を発光する機能を有する発光層63R,63Gと、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、発光層63R,63Gと陰極25との間と、陽極24Bと陰極25との間とに蒸着方式で形成された青色を発光する機能を有する発光層63Bと、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、発光層63R,63Gと発光層63Bとの間と、陽極24Bと発光層63Bとの間とに蒸着方式で形成された赤外光を発光する機能を有する赤外発光層64とを備えている。
【選択図】図3
Description
本発明は、有機EL装置、有機EL装置の製造方法、及び電子機器に関する。
有機EL(エレクトロルミネッセンス)装置は、陽極と陰極との間に発光層を含む機能層を配置した構造を有している。機能層としては、例えば、陽極側から順に正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層が積層された構成を挙げることができる。そして、陽極と陰極との間に電圧を印加することによって、正孔輸送層から正孔が、電子輸送層から電子が発光層に注入され、これらが再結合することで発光が行われる。
有機EL装置の発光層は、例えば、インクジェット法等の塗布方式(液相プロセス)や蒸着方式(気相プロセス)を用いて形成される。インクジェット法では、発光材料を含むインク組成物をインクジェットヘッドから所定の膜形成領域(サブ画素)に吐出し、吐出されたインク組成物を乾燥することにより発光層が形成される。塗布方式は、パターニング性が高いこと、大面積化が容易であること、材料の使用効率が高いこと、等の利点がある。
このような塗布方式を用いて形成された有機EL装置では、赤色(R)発光層、緑色(G)発光層は、発光効率や発光寿命等の特性において実用レベルにあるものの、青色(B)発光層は実用レベルに到達したとは言い難い。一方、蒸着方式を用いて形成された青色発光層は、発光効率や発光寿命等の特性において実用レベルに到達している。
そこで、塗布方式で形成された赤色発光層及び緑色発光層と、赤色発光層及び緑色発光層上を含む全面に蒸着方式で形成された青色発光層とを備えた有機EL装置の構成及びその製造方法が開示されている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
しかしながら、特許文献1及び特許文献2に記載の有機EL装置の構成によれば、赤色発光層及び緑色発光層上に青色発光層が形成されているため、陽極から赤色発光層及び緑色発光層に注入された正孔のうち、赤色発光層及び緑色発光層を通過した正孔が青色発光層に到達して電子と再結合すると、青色発光層で青色発光が生じてしまう。そうすると、赤色発光層からの赤色発光及び緑色発光層からの緑色発光に青色発光層からの青色発光の混色が生じて色純度が低下し、有機EL装置の発色品質が低下するおそれがあるという課題があった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る有機EL装置は、第1サブ画素と第2サブ画素とを有する画素と、前記第1サブ画素に設けられた第1陽極と、前記第2サブ画素に設けられた第2陽極と、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素とに亘って設けられた陰極と、前記第1サブ画素の前記第1陽極と前記陰極との間に塗布方式で形成された、第1の色を発光する機能を有する第1発光層と、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素とに亘って、前記第1発光層と前記陰極との間と、前記第2陽極と前記陰極との間と、に蒸着方式で形成された、第2の色を発光する機能を有する第2発光層と、少なくとも前記第1サブ画素の前記第1発光層と前記第2発光層との間に設けられた、可視光波長域以外の波長の光を発光する機能を有する第3発光層と、を備えていることを特徴とする。
本適用例の構成によれば、第1発光層と第2発光層との間に第3発光層が設けられているので、陽極から第1発光層に注入された正孔のうち第1発光層を通過して第2発光層に向かう正孔は、第3発光層で電子と再結合して消費される。そのため、第3発光層が設けられていない場合に比べて、第2発光層まで到達する正孔が少なくなるので、第1サブ画素における第2の色の発光が抑えられる。また、第1サブ画素及び第2サブ画素において、第3発光層で正孔と電子とが再結合しても、可視光波長域以外の波長の光が発光されるので、第1の色の発光及び第2の色の発光との混色は生じない。これにより、第1サブ画素における第1の色の発光の色純度と、第2サブ画素における第2の色の発光の色純度とを高めることができるので、高い発色品質を有する有機EL装置を提供することができる。
[適用例2]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記第3発光層は、赤外光を発光する機能を有することが好ましい。
本適用例の構成によれば、第3発光層が可視光波長域以外の波長の光である赤外光を発光するので、第1の色の発光及び第2の色の発光との混色を生じさせることなく、第1発光層を通過した正孔を消費することができる。
[適用例3]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記第3発光層の構成材料は、ポルフィリン錯体またはフタロシアニン錯体を含むことが好ましい。
本適用例の構成によれば、第3発光層は、その構成材料にポルフィリン錯体またはフタロシアニン錯体を含んでいるので、赤外光を発光することができる。
[適用例4]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記第3発光層は、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素とに亘って蒸着方式で形成され、前記第2陽極と前記第2発光層との間にも設けられていることが好ましい。
本適用例の構成によれば、第3発光層が蒸着方式で形成されているので、塗布方式で形成される場合に比べて、第3発光層をより緻密な膜とすることができる。また、第1サブ画素と第2サブ画素とに亘って形成されるため、精密アライメントマスク等を用いたパターニングを必要としないので、有機EL装置の生産性向上及びコスト低減を図ることができる。
[適用例5]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記第1サブ画素の前記第1陽極と前記第1発光層との間に設けられた第1正孔注入層と、前記第2サブ画素の前記第2陽極と前記第3発光層との間に設けられた第2正孔注入層と、をさらに備え、前記第2サブ画素における前記第2陽極と前記第2発光層との間の距離は、前記第1サブ画素における前記第1陽極と前記第2発光層との間の距離よりも小さいことが好ましい。
本適用例の構成によれば、第1正孔注入層と第2正孔注入層とが設けられているので、第1陽極から第1発光層への正孔注入と、第2陽極から第2発光層への正孔注入と、が効率良く行われる。ここで、第2サブ画素においては第2陽極と第2発光層との間に第1発光層が設けられておらず、かつ、第2サブ画素における第2陽極と第2発光層との間の距離は、第1サブ画素における第1陽極と第2発光層との間の距離よりも小さい。そのため、第2サブ画素においては、第1サブ画素と比べて、第2発光層まで到達する正孔が多くなるので、第2発光層での第2の色の発光効率が向上する。これらの結果により、高い発色品質を有する有機EL装置を提供することができる。
[適用例6]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記画素は第3サブ画素をさらに有し、前記陰極は、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って設けられ、前記第3サブ画素は、第3陽極と、前記第3陽極と前記陰極との間に塗布方式で形成された第3の色を発光する機能を有する第4発光層と、前記第3陽極と前記第4発光層との間に設けられた第3正孔注入層と、を備え、前記第3発光層と前記第2発光層とは、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第4発光層と前記陰極との間にも設けられ、前記第2サブ画素における前記第2陽極と前記第3発光層との間の距離は、前記第3サブ画素における前記第3陽極と前記第3発光層との間の距離よりも小さいことが好ましい。
本適用例の構成によれば、パターニング性に優れる塗布方式で形成された第1発光層及び第4発光層と、蒸着方式で形成された第2発光層とにより、3色での表示が可能となるため、フルカラー表示が可能な有機EL装置を提供することができる。
[適用例7]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記第1の色は赤色または緑色であり、前記第2の色は青色であり、前記第3の色は赤色または緑色のうち前記第1の色と異なる色であることが好ましい。
本適用例の構成によれば、生産性に優れる塗布方式で実用的な発光特性が得られている赤色発光材料及び緑色発光材料を用いるとともに、塗布方式では実用的な性能が得られていないものの、蒸着方式では実用的な性能に達している青色発光材料を用いることができる。これにより、フルカラー表示が可能で発色品質、発光効率、及び発光寿命に優れる有機EL装置を提供することができる。
[適用例8]本適用例に係る電子機器は、上記適用例の有機EL装置を備えたことを特徴とする。
本適用例の構成によれば、高い表示品質の画像や映像の表示が可能な表示装置を備えた電子機器を提供することができる。
[適用例9]本適用例に係る有機EL装置の製造方法は、第1サブ画素と第2サブ画素と第3サブ画素とを有する画素を備え、前記第1サブ画素に第1陽極を形成する工程と、
前記第2サブ画素に第2陽極を形成する工程と、前記第3サブ画素に第3陽極を形成する工程と、前記第1陽極上に第1正孔注入層を形成する工程と、前記第2陽極上に第2正孔注入層を形成する工程と、前記第3陽極上に第3正孔注入層を形成する工程と、前記第1正孔注入層上に赤色を発光する機能を有する第1発光層を塗布方式で形成する工程と、前記第3正孔注入層上に緑色を発光する機能を有する第4発光層を塗布方式で形成する工程と、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第1発光層上と前記第2正孔注入層上と前記第4発光層上とに、赤外光を発光する機能を有する第3発光層を蒸着方式で形成する工程と、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第3発光層上に、青色を発光する機能を有する第2発光層を蒸着方式で形成する工程と、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第2発光層上に陰極を形成する工程と、を備えていることを特徴とする。
前記第2サブ画素に第2陽極を形成する工程と、前記第3サブ画素に第3陽極を形成する工程と、前記第1陽極上に第1正孔注入層を形成する工程と、前記第2陽極上に第2正孔注入層を形成する工程と、前記第3陽極上に第3正孔注入層を形成する工程と、前記第1正孔注入層上に赤色を発光する機能を有する第1発光層を塗布方式で形成する工程と、前記第3正孔注入層上に緑色を発光する機能を有する第4発光層を塗布方式で形成する工程と、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第1発光層上と前記第2正孔注入層上と前記第4発光層上とに、赤外光を発光する機能を有する第3発光層を蒸着方式で形成する工程と、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第3発光層上に、青色を発光する機能を有する第2発光層を蒸着方式で形成する工程と、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第2発光層上に陰極を形成する工程と、を備えていることを特徴とする。
本適用例の製造方法によれば、第1発光層と第2発光層との間、及び第4発光層と第2発光層との間に第3発光層を設けるので、陽極から第1発光層及び第4発光層に注入された正孔のうち第1発光層及び第4発光層を通過して第2発光層に向かう正孔は、第3発光層で電子と再結合して消費される。そのため、第3発光層を設けない場合に比べて、第2発光層まで到達する正孔が少なくなるので、第1サブ画素及び第3サブ画素における青色の発光が抑えられる。また、第1サブ画素、第3サブ画素、及び第2サブ画素において、第3発光層で正孔と電子とが再結合しても、可視光波長域以外の波長の光が発光されるので、赤色の発光、緑色の発光、及び青色の発光との混色は生じない。これにより、第1サブ画素における赤色の発光の色純度と、第3サブ画素における緑色の発光の色純度と、第2サブ画素における青色の発光の色純度と、を高めることができる。また、パターニング性に優れる塗布方式で実用的な発光特性が得られている赤色発光材料及び緑色発光材料を用いるとともに、塗布方式では実用的な性能が得られていないものの、蒸着方式では実用的な性能に達している青色発光材料を用いることができるため、フルカラー表示が可能で発色品質、発光効率、及び発光寿命に優れる有機EL装置を製造することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。また、説明に必要な構成要素以外は図示を省略する場合がある。
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
(第1の実施形態)
<有機EL装置>
まず、第1の実施形態に係る有機EL装置の構成について図を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である。図2は、第1の実施形態に係る有機EL装置の構成を示す模式平面図である。
<有機EL装置>
まず、第1の実施形態に係る有機EL装置の構成について図を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である。図2は、第1の実施形態に係る有機EL装置の構成を示す模式平面図である。
図1に示すように、有機EL装置11は、スイッチング素子としてトランジスターを用いたアクティブマトリックス型の有機EL装置である。トランジスターとしては、薄膜半導体層を用いた薄膜トランジスター(Thin Film Transistor、以下、TFTと呼ぶ)であってもよいし、半導体基板自体にチャネルが形成されるトランジスターであってもよい。
有機EL装置11は、基板31と、基板31上に設けられた走査線12と、走査線12に対して交差する方向に延びる信号線13と、信号線13に並列に延びる電源線14とを備えている。信号線13には、シフトレジスター、レベルシフター、ビデオライン、及びアナログスイッチを備えた信号線駆動回路15が接続されている。また、走査線12には、シフトレジスター及びレベルシフターを備えた走査線駆動回路16が接続されている。
走査線12と信号線13とによりサブ画素34の領域が区画されている。サブ画素34は、有機EL装置11の表示の最小単位であり、例えば、走査線12の延在方向と信号線13の延在方向とに沿ってマトリックス状に配列されている。各サブ画素34には、スイッチング用トランジスター21と、駆動用トランジスター23と、保持容量22と、陽極24と、陰極25と、発光機能層26とが設けられている。
陽極24と、陰極25と、発光層を含む発光機能層26とによって発光素子27が構成される。発光素子27では、陽極24側から注入される正孔と、陰極25側から注入される電子とが発光機能層26の発光層で再結合することにより発光が得られる。
有機EL装置11では、走査線12が駆動されてスイッチング用トランジスター21がオン状態になると、信号線13を介して供給される画像信号が保持容量22に保持され、保持容量22の状態に応じて駆動用トランジスター23のソースとドレインの間の導通状態が決まる。そして、駆動用トランジスター23を介して電源線14に電気的に接続したとき、電源線14から陽極24に電流が流れ、さらに発光機能層26を通じて陰極25に電流が流れる。
この電流は、駆動用トランジスター23のソースとドレインの間の導通状態に応じたレベルとなる。このとき、駆動用トランジスター23のソースとドレインとの間の導通状態、すなわち、駆動用トランジスター23のチャネルの導通状態は、駆動用トランジスター23のゲートの電位により制御される。そして、発光機能層26の発光層は、陽極24と陰極25との間に流れる電流量に応じた輝度で発光する。
換言すれば、発光素子27の発光状態を駆動用トランジスター23により制御するとき、駆動用トランジスター23のソース及びドレインのいずれか一方が電源線14に電気的に接続され、駆動用トランジスター23のソース及びドレインのいずれか他方が発光素子27に電気的に接続される。
図2に示すように、有機EL装置11は、基板31上に、略矩形の平面形状を有する発光領域32を備えている。発光領域32は、有機EL装置11において、実質的に発光に寄与する領域である。有機EL装置11は、発光領域32の周囲に、実質的に発光に寄与しないダミー領域を備えていてもよい。
発光領域32には、サブ画素34がマトリックス状に配列されている。サブ画素34は、例えば略矩形の平面形状を有している。サブ画素34の矩形形状の4つの角は丸く形成されていてもよい。この場合、サブ画素34の平面形状は、4つの辺と4隅に対応する湾曲部から構成されてもよい。
本実施形態に係る有機EL装置11は、第1の色としての赤色(R)を発光する第1サブ画素としてのサブ画素34Rと、第2の色としての青色(B)を発光する第2サブ画素としてのサブ画素34Bと、第3の色としての緑色(G)を発光する第3サブ画素としてのサブ画素34Gと、を有している。サブ画素34R,34G,34Bに対応して、赤色発光素子27R、緑色発光素子27G、青色発光素子27Bが設けられている。以下では、対応する色を区別しない場合には、それぞれ単にサブ画素34、発光素子27と記す。
発光領域32の周囲には、2つの走査線駆動回路16と検査回路35とが配置されている。検査回路35は、有機EL装置11の作動状況を検査するための回路である。基板31の外周部には、陰極用配線33が配置されている。また、基板31の一辺側には、フレキシブル基板36が設けられている。フレキシブル基板36は、各配線と接続された駆動用IC37を備えている。
本実施形態に係る有機EL装置11では、サブ画素34R,34G,34Bにより、画像を形成する際の一つの単位である画素38が構成される。有機EL装置11は、それぞれの画素38においてサブ画素34R,34G,34Bのそれぞれの輝度を適宜変えることで、種々の色の光を射出することができる。これにより、有機EL装置11は、フルカラー表示またはフルカラー発光が可能である。
続いて、第1の実施形態に係る有機EL装置の構造について図3を参照して説明する。図3は、第1の実施形態に係る有機EL装置の構造を示す模式断面図である。なお、本明細書では、図3における有機EL装置11の陰極25側を上方と呼ぶ。また、本明細書では、有機EL装置11の陰極25側表面の法線方向から見ることを「平面視」と呼ぶ。
図3に示すように、有機EL装置11は、基板31と、基板31上に形成された回路素子層43と陽極24(24R,24G,24B)と隔壁(バンク)58と発光機能層26と陰極(共通電極)25と、を備えている。陽極24は、サブ画素34Rに設けられた第1陽極としての陽極24Rと、サブ画素34Bに設けられた第2陽極としての陽極24Bと、サブ画素34Gに設けられた第3陽極としての陽極24Gと、を有する。以下では、対応する色を区別しない場合には、単に陽極24と記す。
有機EL装置11は、発光機能層26から発した光が発光領域32(図2参照)において基板31側に射出されるボトムエミッション型である。基板31は、有機EL装置11がボトムエミッション型であることから、基材に透光性材料が用いられる。透光性材料としては、例えば、ガラス、石英、樹脂(プラスチック、プラスチックフィルム)等があげられる。
回路素子層43は、下地保護膜45と、駆動用トランジスター23と、第1層間絶縁膜54と、第2層間絶縁膜55とを備えている。下地保護膜45は、例えば、シリコン酸化膜(SiO2)からなり、基板31を覆って形成されている。
駆動用トランジスター23は、下地保護膜45上に、サブ画素34(34R,34G,34B)毎に形成されている。駆動用トランジスター23は、半導体膜46とゲート絶縁膜52とゲート電極23gとドレイン電極23dとソース電極23sとを有している。半導体膜46は、ポリシリコン膜からなり、下地保護膜45上に島状に形成されている。半導体膜46には、ソース領域47及びドレイン領域48が不純物の導入によって形成されている。そして、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域51となっている。
ゲート絶縁膜52は、シリコン酸化膜等の透明な絶縁膜からなり、下地保護膜45と半導体膜46とを覆って形成されている。ゲート絶縁膜52上には、ゲート電極23gが形成されている。ゲート電極23gは、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、タングステン(W)等からなり、平面視で半導体膜46のチャネル領域51に重なる位置に設けられている。
第1層間絶縁膜54は、例えば、シリコン酸化膜(SiO2)、チタン酸化膜(TiO2)等からなり、ゲート絶縁膜52とゲート電極23gとを覆って形成されている。第1層間絶縁膜54上には、ソース電極23sとドレイン電極23dとが形成されている。
ソース電極23sは、第1層間絶縁膜54に設けられたコンタクトホールを介して、半導体膜46のソース領域47に電気的に接続されている。ドレイン電極23dは、第1層間絶縁膜54に設けられたコンタクトホールを介して、半導体膜46のドレイン領域48に導電接続されている。
第2層間絶縁膜55は、例えば、シリコン酸化膜(SiO2)、チタン酸化膜(TiO2)等からなり、第1層間絶縁膜54とソース電極23sとドレイン電極23dとを覆って形成されている。第2層間絶縁膜55は、アクリル樹脂等で構成されていてもよい。
陽極24(24R,24G,24B)は、第2層間絶縁膜55上に、サブ画素34(34R,34G,34B)毎に形成されている。陽極24は、例えば、平面視で略矩形状の形状となっている。陽極24の膜厚は、特に限定されないが、例えば10nm〜200nm程度であり、好ましくは30nm〜150nm程度である。陽極24は、第2層間絶縁膜55に設けられたコンタクトホールを介して、駆動用トランジスター23のドレイン電極23dに電気的に接続されている。
第2層間絶縁膜55上には、隔壁58が、平面視で略格子状に設けられている。隔壁58は、例えば、断面が傾斜面を有する台形状であり、隣り合う陽極24間の絶縁性を確保するとともに、サブ画素34の形状を所望の形状(例えば、トラック形状)にするために、陽極24の周縁部に所定幅で乗り上げるように形成されている。換言すれば、隔壁58の開口部が、サブ画素34の領域となる。
隔壁58は、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶剤性を有する有機材料からなる。なお、後述するように、発光機能層26のうちの一部の層をインクジェット法等の塗布方式を用いて形成する場合は、隔壁58の表面が撥液性を有していることが望ましい。なお、第2層間絶縁膜55と隔壁58との間に、例えば、シリコン酸化膜(SiO2)等の無機材料からなる絶縁層が設けられていてもよい。
発光機能層26は、サブ画素34(34R,34G,34B)毎、すなわち、発光素子27(27R,27G,27B)毎に異なる構成を有している。サブ画素34R(赤色発光素子27R)においては、隔壁58によって囲まれた領域の陽極24R上に、第1正孔注入層としての正孔注入層61Rと、正孔輸送層62Rと、第1発光層(赤色発光層)としての発光層63Rとが、塗布方式によって順に形成されている。
サブ画素34G(緑色発光素子27G)においては、隔壁58によって囲まれた領域の陽極24G上に、第3正孔注入層としての正孔注入層61Gと、正孔輸送層62Gと、第4発光層(緑色発光層)としての発光層63Gとが、塗布方式によって順に形成されている。
サブ画素34B(青色発光素子27B)においては、隔壁58によって囲まれた領域の陽極24B上に、第2正孔注入層としての正孔注入層61Bと、正孔輸送層62Bとが、塗布方式によって順に形成されている。
正孔注入層61R,61G,61Bは、陽極24R,24G,24Bからの正孔の注入効率を向上する機能を有する。正孔注入層61R,61G,61Bの膜厚は、特に限定されないが、例えば5nm〜100nm程度であり、好ましくは5nm〜50nm程度であり、より好ましくは10nm〜40nm程度である。以下では、対応する色を区別しない場合には、単に正孔注入層61と記す。
正孔輸送層62R,62G,62Bは、注入された正孔の発光層63R,63G,63Bへの輸送を促進する機能を有する。正孔輸送層62R,62G,62Bの膜厚は、特に限定されないが、例えば5nm〜100nm程度であり、好ましくは10nm〜50nm程度である。以下では、対応する色を区別しない場合には、単に正孔輸送層62と記す。なお、サブ画素34R,34G,34Bにおいて、正孔輸送層62R,62G,62Bを省略した構成としてもよい。
また、発光層63R,63Gの膜厚は、特に限定されないが、例えば10nm〜150nm程度であり、好ましくは20nm〜100nm程度であり、より好ましくは50nm〜80nm程度である。
発光層63R,63G、正孔輸送層62B、及び隔壁58上には、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、可視光波長域以外の波長の光である赤外光を発光する機能を有する第3発光層としての赤外発光層64が形成されている。赤外発光層64は、蒸着方式を用いて形成されていることが好ましい。塗布方式で形成された発光層63R,63G上に塗布方式で赤外発光層64を形成する場合、赤外発光層64を形成する工程において発光層63R,63Gに溶融や変質等が生じて発色品質に影響を及ぼすおそれがあるが、このような発光層63R,63Gの発色品質への影響を抑えることができる。また、蒸着方式で形成されていると、塗布方式で形成される場合に比べて、赤外発光層64をより緻密な膜とすることができる。
赤外発光層64の膜厚は、特に限定されないが、例えば1nm〜50nm程度であり、好ましくは5nm〜20nm程度である。なお、赤外発光層64の膜厚が厚くなり過ぎると、サブ画素34Bにおいて、陽極24側から発光層63Bへ輸送される正孔のうち、赤外発光層64で消費される正孔が多くなってしまい、発光層63Bでの発光効率の低下を招くこととなる。
赤外発光層64上には、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、青色を発光する機能を有する第2発光層(青色発光層)としての発光層63Bが蒸着方式により形成されている。赤外発光層64と発光層63Bとは、サブ画素34R,34G,34Bに亘って形成されるため、精密アライメントマスク等を用いたパターニングを必要としないので、有機EL装置11の生産性向上及びコスト低減を図ることができる。発光層63Bの膜厚は、特に限定されないが、例えば5nm〜100nm程度であり、好ましくは10nm〜50nm程度である。
発光層63B上には、電子輸送層65が蒸着方式により形成されている。電子輸送層65は、陰極25から注入された電子の発光層63R,63G,63Bへの輸送を促進する機能を有する。電子輸送層65の膜厚は、特に限定されないが、例えば1nm〜100nm程度であり、好ましくは5nm〜50nm程度である。なお、電子輸送層65を省略した構成としてもよい。
電子輸送層65上には、電子注入層66が蒸着方式により形成されている。電子注入層66は、陰極25からの電子の注入効率を向上する機能を有する。電子注入層66の膜厚は、特に限定されないが、例えば0.01nm〜100nm程度であり、好ましくは0.1nm〜10nm程度である。
これらの正孔注入層61R,61G,61Bと、正孔輸送層62R,62G,62Bと、発光層63R,63G,63Bと、赤外発光層64と、電子輸送層65と、電子注入層66とにより、発光機能層26が構成される。発光機能層26において、サブ画素34Bにおける陽極24Bと発光層63Bとの間の距離は、サブ画素34R,34Gにおける陽極24R,24Gと発光層63Bとの間の距離よりも小さい。
換言すれば、サブ画素34Bにおける正孔注入層61Bの膜厚と正孔輸送層62Bの膜厚と赤外発光層64の膜厚との総和は、サブ画素34R,34Gにおける正孔注入層61R,61Gの膜厚と正孔輸送層62R,62Gの膜厚と発光層63R,63Gの膜厚と赤外発光層64の膜厚との総和よりも小さい。これにより、サブ画素34Bにおいては、サブ画素34R,34Gと比べて、発光層63Bまで到達する正孔が多くなるので、発光層63Bでの青色の発光効率が向上する。
発光機能層26(電子輸送層65)上には、陰極25が、基板31上の全面に形成されている。陰極25の膜厚は、特に限定されないが、例えば50nm〜1000nm程度であり、好ましくは100nm〜500nm程度である。
陰極25上には、封止基板(図示しない)が設けられている。封止基板は、発光素子27(27R,27G,27B)を、酸素や水分あるいは外力から保護するためのものである。封止基板は、例えば、エポキシ等の接着剤を介して陰極25と接合される。封止基板は、平坦な基板に限定されず、凹型のガラスや金属等で構成されていてもよい。
上述のように、有機EL装置11は、インクジェット法等の塗布方式(液相プロセス)によって形成された発光層63R,63Gと、蒸着方式(気相プロセス)よって形成された発光層63Bとを有しており、3原色でのフルカラー表示が可能である。
塗布方式は、パターニング性が高いこと、大面積化が容易であること、材料の使用効率が高いこと、等の利点があり、生産性に優れる。しかしながら、塗布方式を用いて形成された発光層では、赤色発光層及び緑色発光層は発光効率や発光寿命(連続駆動の耐久性)等の特性において実用レベルにあるものの、青色発光層は実用レベルに到達したとは言い難い。一方、蒸着方式を用いて形成された青色発光層は、発光効率や発光寿命等の特性において実用レベルに到達しており、塗布方式を用いて形成された赤色発光層及び緑色発光層よりも優れる場合がある。
ところで、特許文献1及び特許文献2に記載の有機EL装置の構成によれば、塗布方式によって形成された赤色発光層及び緑色発光層上に、青色発光層が蒸着方式により形成されている。そのため、陽極から赤色発光層及び緑色発光層に注入された正孔のうち、赤色発光層及び緑色発光層を通過した正孔が青色発光層に到達して電子と再結合すると、青色発光層で青色発光が生じてしまう。そうすると、赤色発光層からの赤色発光及び緑色発光層からの緑色発光に青色発光層からの青色発光の混色が生じて色純度が低下し、有機EL装置の発色品質が低下するおそれがあるという課題があった。
これに対して、有機EL装置11では、蒸着方式により形成された発光層63Bが、3つのサブ画素34R,34G,34Bに亘って設けられており、サブ画素34R,34Gにおいて発光層63R,63Gの上層に位置している点では、特許文献1及び特許文献2に記載の有機EL装置と同様である。
しかしながら、有機EL装置11では、発光層63R,63Gと発光層63Bとの間に赤外発光層64が設けられているので、発光層63R,63Gを通過して発光層63Bに向かう正孔は、発光層63R,63Gと発光層63Bとの間に介在する赤外発光層64で電子と再結合して消費される。そのため、赤外発光層64が設けられていない場合に比べて、サブ画素34R,34Gにおいて、発光層63Bまで到達する正孔が少なくなるので、発光層63Bの青色の発光が抑えられる。
また、サブ画素34R,34G,34Bにおいて、赤外発光層64で正孔と電子とが再結合しても赤外光が発光されるので、赤色、緑色、及び青色の発光との混色は生じない。これにより、サブ画素34R,34G,34Bにおける赤色、緑色、及び青色の発光のそれぞれの色純度を高めることができるので、高い発色品質を有する有機EL装置11を提供することができる。
<各層の構成材料>
続いて、有機EL装置11の各層の構成材料を説明する。陽極24の構成材料としては、特に限定されないが、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料が好適に用いられる。陽極24の構成材料としては、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、In2O3、SnO2、フッ素添加SnO2、Sb添加SnO2、ZnO、Al添加ZnO、Ga添加ZnO等の金属酸化物、Au、Pt、Ag、Cu、またはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。陽極24には光透過性が求められるため、上述した構成材料のうち、光透過性を有する金属酸化物が好適に用いられる。
続いて、有機EL装置11の各層の構成材料を説明する。陽極24の構成材料としては、特に限定されないが、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料が好適に用いられる。陽極24の構成材料としては、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、In2O3、SnO2、フッ素添加SnO2、Sb添加SnO2、ZnO、Al添加ZnO、Ga添加ZnO等の金属酸化物、Au、Pt、Ag、Cu、またはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。陽極24には光透過性が求められるため、上述した構成材料のうち、光透過性を有する金属酸化物が好適に用いられる。
正孔注入層61の構成材料としては、特に限定されないが、塗布方式を用いて正孔注入層61を形成し得るように、導電性高分子材料(または導電性オリゴマー材料)に電子受容性ドーパントを添加したイオン伝導性正孔注入材料が好適に用いられる。
このようなイオン伝導性正孔注入材料としては、例えば、PEDOT/PSS(Poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-poly(styrenesulfonate))のようなポリチオフォン系正孔注入材料や、PANI/PSS(Polyaniline-poly(styrenesulfonate))のようなポリアニリン系正孔注入材料が挙げられる。
正孔輸送層62の構成材料としては、特に限定されないが、塗布方式を用いて正孔輸送層62を形成し得るように、例えば、下記化1に示すTFB(poly(2,7-(9,9-di-n-octylfluorene)-alt-(1,4-phenylene-((4-sec-butylphenyl)imino-1,4-phenylene))))等のトリフェニルアミン系ポリマーを含んだ材料を用いることができる。
発光層63R,63Gの構成材料は、特に限定されないが、塗布方式を用いて発光層63R,63Gを形成し得るように、溶液化または分散液化できることが望ましい。そこで、溶媒または分散媒に溶解または分散することができる、高分子材料及び低分子発光材料が好適に用いられる。
赤色の発光層63Rの構成材料としては、例えば、下記化2に示すアメリカンダイソース社(American Dye Source,Inc.)製のADS−111RE(Poly[{9,9-dihexyl-2,7-bis(1-cyanovinylene)fluorenylene}-alt-co-{2,5-bis(N,N−diphenylamino)-1,4-phenylene}])を用いることができる。
緑色の発光層63Gの構成材料としては、例えば、下記化3に示すアメリカンダイソース社(American Dye Source,Inc.)製のADS−109GE(Poly[(9,9-dioctyl-2,7-bis{2-cyanovinylenefluorenylene})-alt-co-(2-methoxy-5-{2-ethylhexyloxy}-1,4-phenylene)])を用いることができる。
赤外発光層64の構成材料は、赤外発光材料をゲスト材料としてホスト材料にドープしたものを用いることができる。赤外発光するゲスト材料としては、ポルフィリン錯体やフタロシアニン錯体を好適に用いることができる。ポルフィリン錯体として、例えば、下記化4に示す2,3,7,8,12,13,17,18-Octaethyl-21H,23H-porphine iron(III) chloride、下記化5に示す2,3,7,8,12,13,17,18-Octaethyl-21H,23H-porphine nickel(II)を用いることができる。また、下記化6に示す5,10,15,20-Tetraphenyl-21H,23H-porphine nickel(II)、下記化7に示すPlatinum(II)2,3,7,8,12,13,17,18-octaethyl-21H,23H-porphyrin等も用いることができる。
赤外発光層64のホスト材料としては、特に限定されないが、例えば、下記化8に示すAlq3(tris(8-hydroxyquinolinato)aluminium)のような金属錯体や、下記化9に示す4,4'-Bis(N-carbazolyl)-1,1'-biphenylのようなカルバゾール誘導体等を用いることができる。赤外発光層64におけるゲスト材料の含有量(ドープ量)は、ホスト材料に対して重量比で0.1%〜20%程度であることが好ましい。
青色の発光層63Bの構成材料としては、特に限定されないが、例えば、蒸着方式を用いて発光層63Bを形成し得るように、例えば、下記化10に示すスチリル誘導体の青色発光材料である4,4'-Bis(2,2-diphenyl-ethen-1-yl)biphenylが挙げられる。
また、青色の発光層63Bの構成材料としては、青色発光材料をゲスト材料としてホスト材料にドープしたものを用いることができる。ホスト材料は、正孔と電子との再結合により励起子を生成するとともに、その励起子のエネルギーを青色発光材料に移動(フェルスター移動またはデクスター移動)させて青色発光材料を励起する機能を有する。このホスト材料の機能により、ゲスト材料である青色発光材料が効率よく励起され、発光する。
このようなホスト材料としては、例えば、アントラセン誘導体の下記化11に示す9,10-Di(naphth-2-yl)anthracene、下記化12に示す9-(4-(naphth-1-yl)-phenyl)-10-(naphth-2-yl)anthracene、及び下記化13に示す9,9’-di(biphenyl-2-yl)-bianthraceneが挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、ゲスト材料(青色発光材料)としては、例えば、下記化14、下記化15、及び下記化16に示すスチリル誘導体が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
発光層63Bにおけるゲスト材料の含有量(ドープ量)は、例えば、ホスト材料に対して重量比で0.1%〜20%程度であり、0.5%〜10%程度であることがより好ましい。ゲスト材料の含有量をこのような範囲内とすることで、発光層63Bにおける発光効率を最適化することができる。
電子輸送層65の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、Alq3(上記化8参照)やLiq(8-Hydroxyquinolinolato-lithium)等の8−キノリノールまたはその誘導体を配位子とする有機金属錯体等のキノリン誘導体を好適に用いることができる。また、tBu−PBD(2-(4'-tert-Butylphenyl)-5-(4"-biphenyl)-1,3,4-oxadiazole)やBND(2,5,-Bis(1-naphthyl)-1,3,4-oxadiazole)等のオキサジアゾール誘導体、シロール誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、イミダゾール誘導体等も好適に用いることができる。そして、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
電子注入層66の構成材料は、電子注入材料と金属材料とを含んでいる。電子注入材料としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属、アルカリ金属塩(酸化物、フッ化物、塩化物等)、アルカリ土類金属塩(酸化物、フッ化物、塩化物等)、希土類金属塩(酸化物、フッ化物、塩化物等)、金属錯体等のような電子注入材料が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上と金属材料とを組み合わせて用いることができる。
アルカリ金属としては、例えば、Li、Na、K、Rb、Csが挙げられる。アルカリ土類金属としては、例えば、Mg、Ca、Sr、Baが挙げられる。希土類金属としては、例えば、Nd、Sm、Y、Tb、Euが挙げられる。アルカリ金属塩としては、例えば、LiF、Li2CO3、LiCl、NaF、Na2CO3、NaCl、CsF、Cs2CO3、CsClが挙げられる。
アルカリ土類金属塩としては、例えば、CaF2、CaCO3、SrF2、SrCO3、BaF2、BaCO3が挙げられる。希土類金属塩としては、例えば、SmF3、ErF3が挙げられる。金属錯体としては、例えば、Alq3やLiq等の8−キノリノールなしいその誘導体を配位子とする有機金属錯体が挙げられる。また、金属材料としては、例えば、Ag、Al、Cu、Auが挙げられる。
陰極25の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いることが好ましい。陰極25の構成材料としては、蒸着方式を用いて形成し得るように、例えば、Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rb、Au、またはこれらを含む合金等が用いられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて(例えば、複数層の積層体等として)用いることができる。
<有機EL装置の製造方法>
次に、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を図を参照して説明する。図4〜図6は、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を説明する模式断面図である。なお、公知の方法を採用することができる工程については、詳細な説明を省略する。
次に、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を図を参照して説明する。図4〜図6は、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を説明する模式断面図である。なお、公知の方法を採用することができる工程については、詳細な説明を省略する。
まず、図4(a)に示すように、基板31上に、公知の成膜技術やフォトリソ技術を用いて回路素子層43(詳細は、図3参照)を形成する。そして、回路素子層43上に、サブ画素34(34R,34G,34B)毎に、ITO等からなる陽極24(24R,24G,24B)を形成する。
次に、図4(b)に示すように、回路素子層43及び陽極24上に、隔壁58を形成する。詳しくは、まず、隔壁58の材料であるアクリル樹脂を含む溶液を回路素子層43(第2層間絶縁膜55)上及び陽極24上に塗布する。そして、塗布した溶液を乾燥させて隔壁層を形成する。その後、この隔壁層におけるサブ画素34(34R,34G,34B)に対応する領域に開口部を形成する。これにより、隔壁58が完成する。
ここで、発光機能層26のうちの一部の層はインクジェット法等の塗布方式を用いて形成されるので、隔壁58の表面が撥液性を有していることが望ましい。隔壁58に撥液性を持たせる方式としては、例えば、フッ素等の撥液成分を予め混入させた樹脂(例えばアクリル樹脂)を用い、隔壁形成工程におけるキュア時において撥液成分を樹脂表層に拡散集積させる方法がある。
なお、回路素子層43と隔壁58との間に絶縁層を形成する場合は、例えば、シリコン酸化膜(SiO2)からなる絶縁膜を、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等により、回路素子層43及び陽極24上を覆うように成膜形成する。そして、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術を用いて、絶縁膜のうちサブ画素34(34R,34G,34B)に対応する領域に開口部を形成する。
次に、図4(c)に示すように、サブ画素34(34R,34G,34B)の各領域において、隔壁58によって囲まれた陽極24(24R,24G,24B)上に、正孔注入層61(61R,61G,61B)を、塗布方式により、例えば5nm〜100nm程度の膜厚で形成する。
詳しくは、正孔注入層61の材料を含んだ機能液を液滴吐出法(例えば、インクジェット法)により吐出する。正孔注入層61の機能液としては、例えば、PEDOT/PSSやPANI/PSS等を溶媒または分散媒に溶解または分散させたものを用いることができる。陽極24上に機能液を塗布した後、機能液を乾燥させ大気下で焼成して溶媒または分散媒を除去することにより、正孔注入層61が形成される。
続いて、図5(a)に示すように、サブ画素34(34R,34G,34B)の各領域において、正孔注入層61(61R,61G,61B)上に、正孔輸送層62(62R,62G,62B)をそれぞれ、塗布方式により、例えば5nm〜100nmの膜厚で形成する。
詳しくは、正孔輸送層62の材料を含んだ機能液を液滴吐出法(例えば、インクジェット法)により吐出する。正孔輸送層62の機能液としては、例えば、TFBをシクロヘキシルベンゼンに溶解させたインク組成物を用いることができる。塗布した後、機能液を乾燥させ低酸素環境下で焼成することにより、正孔輸送層62が形成される。
次に、図5(b)に示すように、サブ画素34Rにおける正孔輸送層62R上に、発光層63Rを、塗布方式により、例えば10nm〜150nm程度の膜厚で形成する。また、サブ画素34Gにおける正孔輸送層62G上に、発光層63Gを、塗布方式により、例えば10nm〜150nm程度の膜厚で形成する。
詳しくは、赤色または緑色の発光材料を含んだ機能液を液滴吐出法(例えば、インクジェット法)により吐出し、その後機能液を乾燥させ、不活性雰囲気下で焼成する。発光材料の機能液としては、例えば、上記化2または上記化3で示された発光材料が溶媒に溶解されたものを用いることができる。溶媒としては、シクロヘキシルベンゼンなどが挙げられる。
次に、図5(c)に示すように、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、サブ画素34Rにおける発光層63R上と、サブ画素34Gにおける発光層63G上と、サブ画素34Bにおける正孔輸送層62B上と、隔壁58上とに、赤外発光層64を、蒸着方式により形成する。赤外発光層64は、例えば、金属錯体やカルバゾール誘導体等のホスト材料と、ホスト材料に対して重量比で0.1%〜20%程度のポルフィリン錯体等のゲスト材料とを用いて、1nm〜50nm程度の膜厚で形成する。
次に、図6(a)に示すように、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、赤外発光層64上に発光層63Bを、蒸着方式により形成する。発光層63Bは、例えば、アントラセン誘導体等のホスト材料と、ホスト材料に対して重量比で0.1%〜20%程度のスチリル誘導体等のゲスト材料とを用いて、5nm〜100nm程度の膜厚で形成する。
次に、図6(b)に示すように、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、発光層63B上に電子輸送層65を、蒸着方式により形成する。電子輸送層65は、例えば、キノリン誘導体やオキサジアゾール誘導体等を用いて、1nm〜100nm程度の膜厚で形成する。
次に、図6(c)に示すように、サブ画素34R,34G,34Bに亘って、電子輸送層65上に電子注入層66を、蒸着方式により形成する。電子注入層66は、例えば、電子注入材料と金属材料とを用いて、0.01nm〜100nm程度の膜厚で形成する。これにより、発光機能層26が完成する。
次に、図3に示すように、電子輸送層65上に陰極25を蒸着方式により形成する。陰極25は、例えば、仕事関数の小さい金属材料を用いて、50nm〜1000nm程度の膜厚で形成する。その後、図示しないが、陰極25上にエポキシ等の接着剤を介して封止基板を接合する。以上により、有機EL装置11が完成する。
以上説明したように、第1の実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
(1)発光層63R,63Gと発光層63Bとの間に赤外発光層64が設けられているので、陽極24から発光層63R,63Gに注入された正孔のうち発光層63R,63Gを通過して発光層63Bに向かう正孔は、赤外発光層64で電子と再結合して消費される。そのため、赤外発光層64が設けられていない場合に比べて、発光層63Bまで到達する正孔が少なくなるので、サブ画素34R,34Gにおける青色の発光が抑えられる。これにより、赤色及び緑色の発光の色純度を高めることができる。
(2)赤外発光層64が可視光波長域以外の赤外光を発光するので、赤外発光層64で正孔と電子とが再結合しても、サブ画素34R,34G,34Bにおける赤色、緑色、及び青色の発光との混色は生じない。これにより、サブ画素34R,34G,34Bにおける赤色、緑色、及び青色の発光の色純度を高めることができるので、高い発色品質を有する有機EL装置11を提供することができる。
(3)赤外発光層64は、その構成材料にポルフィリン錯体を含んでいるので、サブ画素34R,34G,34Bにおける赤色、緑色、及び青色の発光との混色が生じない可視光波長域以外の赤外光を発光することにより、発光層63R,63Gを通過した正孔を消費することができる。
(4)赤外発光層64が蒸着方式で形成されているので、塗布方式で形成される場合に比べて、赤外発光層64をより緻密な膜とすることができる。また、サブ画素34R,34G,34Bに亘って形成されるため、精密アライメントマスク等を用いたパターニングを必要としないので、有機EL装置11の生産性向上及びコスト低減を図ることができる。
(5)正孔注入層61R,61G,61Bが設けられているので、陽極24R,24Gから発光層63R,63Gへの正孔注入と陽極24Bから発光層63Bへの正孔注入とが効率良く行われる。ここで、サブ画素34Bにおいては陽極24Bと発光層63Bとの間に発光層63R,63Gが設けられておらず、かつ、サブ画素34Bにおける陽極24Bと発光層63Bとの間の距離は、サブ画素34R,34Gにおける陽極24R,24Gと発光層63R,63Gとの間の距離よりも小さい。そのため、サブ画素34Bにおいては、サブ画素34R,34Gと比べて、発光層63Bまで到達する正孔が多くなるので、発光層63Bでの青色の発光効率が向上する。これらの結果により、高い発色品質を有する有機EL装置11を提供することができる。
(6)生産性に優れる塗布方式で実用的な発光特性が得られている赤色発光材料及び緑色発光材料を発光層63R,63Gに用いるとともに、塗布方式では実用的な性能が得られていないものの、蒸着方式では実用的な性能に達している青色発光材料を発光層63Bに用いることができる。これにより、フルカラー表示が可能で発色品質、発光効率、及び発光寿命に優れる有機EL装置11を提供することができる。
(第2の実施形態)
<電子機器>
次に、第2の実施形態に係る電子機器の構成を説明する。図7は、第2の実施形態に係る電子機器の一例として、テレビの構成を模式的に示す概略斜視図である。以下、第2の実施形態に係るテレビの構成を、図7を参照して説明する。
<電子機器>
次に、第2の実施形態に係る電子機器の構成を説明する。図7は、第2の実施形態に係る電子機器の一例として、テレビの構成を模式的に示す概略斜視図である。以下、第2の実施形態に係るテレビの構成を、図7を参照して説明する。
図7に示すように、第2の実施形態に係るテレビ101は、表示部102と、枠部103と、脚部104と、リモコン(リモートコントローラー)105とを有する。表示部102には、第1の実施形態に係る有機EL装置11が実装されている。枠部103は、表示部102をガイドするために用いられる。脚部104は、表示部102及び枠部103を一定の高さで固定するために用いられる。リモコン105は、例えば、テレビ101の電源をON/OFFしたり、チャンネルを変えたりするために用いられる。
第2の実施形態に係るテレビ101は、表示部102に、第1の実施形態に係る有機EL装置11を備えているので、高い発色品質、発光効率、及び発光寿命を有している。
なお、電子機器は、テレビの他に、例えば、ディスプレイ、携帯電話機、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カーナビゲーション装置、オーディオ機器等であってもよい。これらの電子機器であっても、第1の実施形態に係る有機EL装置11を備えることで、発光寿命及び発光効率に優れ、高い発色品質を有する電子機器を提供することができる。
上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形及び応用が可能である。変形例としては、例えば、以下のようなものが考えられる。
(変形例1)
第1の実施形態に係る有機EL装置11では、赤外発光層64が、サブ画素34R,34G,34Bに亘って形成された構成を備えていたが、本発明はこのような形態に限定されない。例えば、赤外発光層64を塗布方式で形成すること等により、赤外発光層64がサブ画素34R,34Gにおいて発光層63R,63G上に選択的に設けられた構成としてもよい。このような構成にすれば、赤外発光層64が設けられないサブ画素34Bにおいて、陽極24Bから発光層63Bに到達する正孔をより多くできるので、青色の発光効率を向上させることができる。
第1の実施形態に係る有機EL装置11では、赤外発光層64が、サブ画素34R,34G,34Bに亘って形成された構成を備えていたが、本発明はこのような形態に限定されない。例えば、赤外発光層64を塗布方式で形成すること等により、赤外発光層64がサブ画素34R,34Gにおいて発光層63R,63G上に選択的に設けられた構成としてもよい。このような構成にすれば、赤外発光層64が設けられないサブ画素34Bにおいて、陽極24Bから発光層63Bに到達する正孔をより多くできるので、青色の発光効率を向上させることができる。
(変形例2)
第1の実施形態に係る有機EL装置11では、第3発光層(赤外発光層64)が赤外光を発光する構成を備えていたが、本発明はこのような形態に限定されない。第3発光層が発光する光は、可視光波長域以外の波長の光であれば、赤外光以外の光、例えば紫外光等であってもよい。
第1の実施形態に係る有機EL装置11では、第3発光層(赤外発光層64)が赤外光を発光する構成を備えていたが、本発明はこのような形態に限定されない。第3発光層が発光する光は、可視光波長域以外の波長の光であれば、赤外光以外の光、例えば紫外光等であってもよい。
(変形例3)
第1の実施形態に係る有機EL装置11は、3つのサブ画素34R,34G,34Bを有し、赤色、緑色、青色の3色を発光する構成であったが、本発明はこのような形態に限定されない。有機EL装置は、サブ画素34R,34Gのいずれかとサブ画素34Bとの2つのサブ画素を有し2色を発光する構成であってもよいし、サブ画素34R,34G,34Bの他に他の色を発光する1つ以上のサブ画素を有する構成であってもよい。
第1の実施形態に係る有機EL装置11は、3つのサブ画素34R,34G,34Bを有し、赤色、緑色、青色の3色を発光する構成であったが、本発明はこのような形態に限定されない。有機EL装置は、サブ画素34R,34Gのいずれかとサブ画素34Bとの2つのサブ画素を有し2色を発光する構成であってもよいし、サブ画素34R,34G,34Bの他に他の色を発光する1つ以上のサブ画素を有する構成であってもよい。
(変形例4)
第1の実施形態に係る有機EL装置11は、発光機能層26から発した光が基板31側に射出されるボトムエミッション型であったが、本発明はこのような形態に限定されない。有機EL装置は、発光機能層26から発した光が陰極25側に射出されるトップエミッション型であってもよい。有機EL装置がトップエミッション型である場合は、陰極25の構成材料として、MgAg、MgAl、MgAu、AlAg等の金属または合金を用いることができる。
第1の実施形態に係る有機EL装置11は、発光機能層26から発した光が基板31側に射出されるボトムエミッション型であったが、本発明はこのような形態に限定されない。有機EL装置は、発光機能層26から発した光が陰極25側に射出されるトップエミッション型であってもよい。有機EL装置がトップエミッション型である場合は、陰極25の構成材料として、MgAg、MgAl、MgAu、AlAg等の金属または合金を用いることができる。
11…有機EL装置、24(24R,24G,24B)…陽極(第1陽極、第3陽極、第2陽極)、25…陰極、26…発光機能層、34(34R,34G,34B)…サブ画素(第1サブ画素、第3サブ画素、第2サブ画素)、38…画素、61(61R,61G,61B)…正孔注入層(第1正孔注入層、第3正孔注入層、第2正孔注入層)、63R,63G,63B…発光層(第1発光層、第4発光層、第2発光層)、64…赤外発光層(第3発光層)、101…電子機器としてのテレビ。
Claims (9)
- 第1サブ画素と第2サブ画素とを有する画素と、
前記第1サブ画素に設けられた第1陽極と、
前記第2サブ画素に設けられた第2陽極と、
前記第1サブ画素と前記第2サブ画素とに亘って設けられた陰極と、
前記第1サブ画素の前記第1陽極と前記陰極との間に塗布方式で形成された、第1の色を発光する機能を有する第1発光層と、
前記第1サブ画素と前記第2サブ画素とに亘って、前記第1発光層と前記陰極との間と、前記第2陽極と前記陰極との間と、に蒸着方式で形成された、第2の色を発光する機能を有する第2発光層と、
少なくとも前記第1サブ画素の前記第1発光層と前記第2発光層との間に設けられた、可視光波長域以外の波長の光を発光する機能を有する第3発光層と、
を備えていることを特徴とする有機EL装置。 - 請求項1に記載の有機EL装置であって、
前記第3発光層は、赤外光を発光する機能を有することを特徴とする有機EL装置。 - 請求項2に記載の有機EL装置であって、
前記第3発光層の構成材料は、ポルフィリン錯体またはフタロシアニン錯体を含むことを特徴とする有機EL装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の有機EL装置であって、
前記第3発光層は、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素とに亘って蒸着方式で形成され、前記第2陽極と前記第2発光層との間にも設けられていることを特徴とする有機EL装置。 - 請求項4に記載の有機EL装置であって、
前記第1サブ画素の前記第1陽極と前記第1発光層との間に設けられた第1正孔注入層と、
前記第2サブ画素の前記第2陽極と前記第3発光層との間に設けられた第2正孔注入層と、をさらに備え、
前記第2サブ画素における前記第2陽極と前記第2発光層との間の距離は、前記第1サブ画素における前記第1陽極と前記第2発光層との間の距離よりも小さいことを特徴とする有機EL装置。 - 請求項5に記載の有機EL装置であって、
前記画素は第3サブ画素をさらに有し、
前記陰極は、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って設けられ、
前記第3サブ画素は、第3陽極と、前記第3陽極と前記陰極との間に塗布方式で形成された第3の色を発光する機能を有する第4発光層と、前記第3陽極と前記第4発光層との間に設けられた第3正孔注入層と、を備え、
前記第3発光層と前記第2発光層とは、前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第4発光層と前記陰極との間にも設けられ、
前記第2サブ画素における前記第2陽極と前記第3発光層との間の距離は、前記第3サブ画素における前記第3陽極と前記第3発光層との間の距離よりも小さいことを特徴とする有機EL装置。 - 請求項6に記載の有機EL装置であって、
前記第1の色は赤色または緑色であり、前記第2の色は青色であり、前記第3の色は赤色または緑色のうち前記第1の色と異なる色であることを特徴とする有機EL装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の有機EL装置を備えていることを特徴とする電子機器。
- 第1サブ画素と第2サブ画素と第3サブ画素とを有する画素を備え、
前記第1サブ画素に第1陽極を形成する工程と、
前記第2サブ画素に第2陽極を形成する工程と、
前記第3サブ画素に第3陽極を形成する工程と、
前記第1陽極上に第1正孔注入層を形成する工程と、
前記第2陽極上に第2正孔注入層を形成する工程と、
前記第3陽極上に第3正孔注入層を形成する工程と、
前記第1正孔注入層上に赤色を発光する機能を有する第1発光層を塗布方式で形成する工程と、
前記第3正孔注入層上に緑色を発光する機能を有する第4発光層を塗布方式で形成する工程と、
前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第1発光層上と前記第2正孔注入層上と前記第4発光層上とに、赤外光を発光する機能を有する第3発光層を蒸着方式で形成する工程と、
前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第3発光層上に、青色を発光する機能を有する第2発光層を蒸着方式で形成する工程と、
前記第1サブ画素と前記第2サブ画素と前記第3サブ画素とに亘って、前記第2発光層上に陰極を形成する工程と、を備えていることを特徴とする有機EL装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012219135A JP2014072120A (ja) | 2012-10-01 | 2012-10-01 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、及び電子機器 |
US14/029,203 US9123665B2 (en) | 2012-10-01 | 2013-09-17 | Organic EL device, method for manufacturing the same, and electronic apparatus |
TW102135195A TW201415625A (zh) | 2012-10-01 | 2013-09-27 | 有機el裝置、有機el裝置之製造方法及電子機器 |
CN201310455230.2A CN103715225A (zh) | 2012-10-01 | 2013-09-29 | 有机el 装置、有机el 装置的制造方法以及电子设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012219135A JP2014072120A (ja) | 2012-10-01 | 2012-10-01 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、及び電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014072120A true JP2014072120A (ja) | 2014-04-21 |
Family
ID=50384317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012219135A Pending JP2014072120A (ja) | 2012-10-01 | 2012-10-01 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、及び電子機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9123665B2 (ja) |
JP (1) | JP2014072120A (ja) |
CN (1) | CN103715225A (ja) |
TW (1) | TW201415625A (ja) |
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- 2013-09-17 US US14/029,203 patent/US9123665B2/en active Active
- 2013-09-27 TW TW102135195A patent/TW201415625A/zh unknown
- 2013-09-29 CN CN201310455230.2A patent/CN103715225A/zh active Pending
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---|---|
US20140091287A1 (en) | 2014-04-03 |
CN103715225A (zh) | 2014-04-09 |
US9123665B2 (en) | 2015-09-01 |
TW201415625A (zh) | 2014-04-16 |
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