CN103715225A - 有机el 装置、有机el 装置的制造方法以及电子设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供具有高发光质量、发光效率以及发光寿命的有机EL装置、有机EL装置的制造方法以及电子设备。有机EL装置(11)具备:具有子像素(34R)、(34G)、(34B)的像素(38),设置于子像素(34R)、(34G)、(34B)的阳极(24R)、(24G)、(24B),阴极(25),在阳极(24R)、(24G)与阴极(25)之间形成的发光层(63R)、(63G),在发光层(63R)、(63G)与阴极(25)之间和阳极(24B)与阴极(25)之间形成的发光层(63B),在发光层(63R)、(63G)与发光层(63B)之间和阳极(24B)与发光层(63B)之间形成的红外发光层(64)。
Description
技术领域
本发明涉及有机EL装置、有机EL装置的制造方法以及电子设备。背景技术
有机EL(电致发光)装置具有在阳极与阴极之间配置了含有发光层的功能层的结构。作为功能层,例如可举出从阳极侧依次层叠有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层的构成。并且,通过在阳极与阴极之间施加电压,从而从空穴输送层向发光层注入空穴,从电子输送层向发光层注入电子,使它们再结合而进行发光。
有机EL装置的发光层例如利用喷墨法等涂布方式(液相工艺)、蒸镀方式(气相工艺)形成。在喷墨法中,通过从喷墨头向规定的膜形成区域(子像素)喷出含有发光材料的油墨组合物,将喷出的油墨组合物干燥来形成发光层。涂布方式有图案形成性高、大面积化容易、材料的使用效率高等优点。
在利用这样的涂布方式形成的有机EL装置中,虽然红色(R)发光层、绿色(G)发光层在发光效率、发光寿命等特性方面达到实用水平,但难以说蓝色(B)发光层达到实用水平。另一方面,利用蒸镀方式形成的蓝色发光层在发光效率、发光寿命等特性方面达到实用水平。
因此,公开了一种有机EL装置的构成及其制造方法,所述有机EL装置具备用涂布方式形成的红色发光层和绿色发光层以及在包含红色发光层和绿色发光层上的整面用蒸镀方式形成的蓝色发光层(例如,参照专利文献1和专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2007-73532号公报
专利文献2:日本特开2011-108462号公报
发明内容
然而,根据专利文献1和专利文献2中记载的有机EL装置的构成,由于在红色发光层和绿色发光层上形成有蓝色发光层,所以如果从阳极注入到红色发光层和绿色发光层的空穴中,通过红色发光层和绿色发光层的空穴到达蓝色发光层而与电子再结合,则在蓝色发光层产生蓝色发光。这样,存在可能在来自红色发光层的红色发光和来自绿色发光层的绿色发光中产生来自蓝色发光层的蓝色发光的混色而导致色纯度降低,有机EL装置的发色质量降低的课题。
本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而进行的,可以作为以下的方式或应用例实现。
应用例1
本应用例涉及的有机EL装置,其特征在于,具备:具有第1子像素和第2子像素的像素、设置于上述第1子像素的第1阳极、设置于上述第2子像素的第2阳极、遍及上述第1子像素和上述第2子像素地设置的阴极、在上述第1子像素的上述第1阳极与上述阴极之间用涂布方式形成的具有发出第1颜色光的功能的第1发光层、遍及上述第1子像素和上述第2子像素地在上述第1发光层与上述阴极之间和上述第2阳极与上述阴极之间用蒸镀方式形成的具有发出第2颜色光的功能的第2发光层、以及至少设置于上述第1子像素的上述第1发光层与上述第2发光层之间的具有发出以可见光波长区域以外的波长为主的光的功能的第3发光层。
根据本应用例的构成,由于在第1发光层与第2发光层之间设有第3发光层,所以从阳极注入到第1发光层的空穴中,通过第1发光层而朝向第2发光层的空穴在第3发光层与电子再结合而被消耗。因此,与未设置第3发光层的情况相比,到达第2发光层的空穴变少,因此可抑制第1子像素中的第2颜色的发光。另外,在第1子像素和第2子像素中,即使空穴与电子在第3发光层中再结合,也发出可见光波长区域以外的波长的光,因此不会产生与第1颜色的发光和第2颜色的发光的混色。由此能够提高第1子像素中的第1颜色的发光的色纯度和第2子像 素中的第2颜色的发光的色纯度,因此能够提供具有高发色质量的有机EL装置。
应用例2
对于上述应用例涉及的有机EL装置,优选上述第3发光层具有发出红外光的功能。
根据本应用例的构成,由于第3发光层发出作为可见光波长区域以外的波长的光的红外光,所以能够在不产生与第1颜色的发光和第2颜色的发光的混色的情况下消耗通过了第1发光层的空穴。
应用例3
对于上述应用例涉及的有机EL装置,优选上述第3发光层的构成材料含有卟啉配合物或酞菁配合物。
根据本应用例的构成,由于第3发光层在其构成材料中含有卟啉配合物或酞菁配合物,所以能够发出红外光。
应用例4
根据上述应用例涉及的有机EL装置,优选上述第3发光层遍及上述第1子像素和上述第2子像素地用蒸镀方式形成,也设置于上述第2阳极和上述第2发光层之间。
根据本应用例的构成,由于用蒸镀方式形成第3发光层,所以与用涂布方式形成的情况相比,能够将第3发光层制成更致密的膜。另外,由于遍及第1子像素和第2子像素地形成,所以无需使用精密对准掩模等形成图案,因此能够实现有机EL装置的生产率提高和成本降低。
应用例5
对于上述应用例涉及的有机EL装置,优选进一步具备设置于上述第1子像素的上述第1阳极与上述第1发光层之间的第1空穴注入层、和设置于上述第2子像素的上述第2阳极与上述第3发光层之间的第2空穴注入层,上述第2子像素中的上述第2阳极与上述第2发光层之间的距离小于上述第1子像素中的上述第1阳极与上述第2发光层之间的 距离。
根据本应用例的构成,由于设有第1空穴注入层和第2空穴注入层,所以能够高效率地进行从第1阳极向第1发光层的空穴注入和从第2阳极向第2发光层的空穴注入。在此,在第2子像素中,在第2阳极与第2发光层之间未设置第1发光层,并且,第2子像素中的第2阳极与第2发光层之间的距离小于第1子像素中的第1阳极与第2发光层之间的距离。因此,在第2子像素中,与第1子像素相比,到达第2发光层的空穴变多,所以在第2发光层的第2颜色的发光效率提高。由这些结果,能够提供具有高发色质量的有机EL装置。
应用例6
对于上述应用例涉及的有机EL装置,优选上述像素进一步具有第3子像素,上述阴极遍及上述第1子像素、上述第2子像素和上述第3子像素地被设置,上述第3子像素具备:第3阳极、在上述第3阳极与上述阴极之间用涂布方式形成的具有发出第3颜色光的功能的第4发光层和设置于上述第3阳极与上述第4发光层之间的第3空穴注入层,上述第3发光层和上述第2发光层遍及上述第1子像素、上述第2子像素以及上述第3子像素地设置于上述第4发光层与上述阴极之间,上述第2子像素中的上述第2阳极与上述第3发光层之间的距离小于上述第3子像素中的上述第3阳极与上述第3发光层之间的距离。
根据本应用例的构成,通过用图案形成性优异的涂布方式形成的第1发光层和第4发光层以及用蒸镀方式形成的第2发光层,从而能够进行利用三种颜色的显示,因此能够提供可进行全彩色显示的有机EL装置。
应用例7
对于上述应用例涉及的有机EL装置,优选上述第1颜色为红色或绿色,上述第2颜色为蓝色,上述第3颜色为红色或绿色中与上述第1颜色不同的颜色。
根据本应用例的构成,可以使用以生产率优异的涂布方式得到实用的发光特性的红色发光材料和绿色发光材料,并且可以使用以涂布方式 没有得到实用的性能而以蒸镀方式达到实用的性能的蓝色发光材料。由此,能够提供可进行全彩色显示且发色质量、发光效率以及发光寿命优异的有机EL装置。
应用例8
本应用例涉及的电子设备,其特征在于,具备上述应用例的有机EL装置。
根据本应用例的构成,能够提供具备可显示高显示质量的图像、影像的显示装置的电子设备。
应用例9
本应用例涉及的有机EL装置的制造方法,其特征在于,具备具有第1子像素、第2子像素和第3子像素的像素;上述制造方法包括:在上述第1子像素形成第1阳极的工序,在上述第2子像素形成第2阳极的工序,在上述第3子像素形成第3阳极的工序,在上述第1阳极上形成第1空穴注入层的工序,在上述第2阳极上形成第2空穴注入层的工序,在上述第3阳极上形成第3空穴注入层的工序,在上述第1空穴注入层上用涂布方式形成具有发出红色光的功能的第1发光层的工序,在上述第3空穴注入层上用涂布方式形成具有发出绿色光的功能的第4发光层的工序,遍及上述第1子像素、上述第2子像素和上述第3子像素地在上述第1发光层上、上述第2空穴注入层上和上述第4发光层上用蒸镀方式形成具有发出以红外波长为主的光的功能的第3发光层工序,遍及上述第1子像素、上述第2子像素和上述第3子像素地在上述第3发光层上用蒸镀方式形成具有发出蓝色光的功能的第2发光层的工序,以及遍及上述第1子像素、上述第2子像素和上述第3子像素地在上述第2发光层上形成阴极的工序。
根据本应用例的制造方法,由于在第1发光层与第2发光层之间以及第4发光层与第2发光层之间设置第3发光层,所以从阳极注入到第1发光层和第4发光层的空穴中,通过第1发光层和第4发光层而朝向第2发光层的空穴在第3发光层与电子再结合而被消耗。因此,与未设置第3发光层的情况相比,到达第2发光层的空穴变少,因此能够抑制第1子像素和第3子像素中的蓝色的发光。另外,在第1子像素、第3 子像素以及第2子像素中,即使空穴与电子在第3发光层再结合,也可发出可见光波长区域以外的波长的光,所以不会产生与红色的发光、绿色的发光以及蓝色的发光的混色。由此能够提高第1子像素中的红色的发光的色纯度、第3子像素中的绿色的发光的色纯度以及第2子像素中的蓝色的发光的色纯度。另外,可以使用以图案形成性优异的涂布方式得到实用的发光特性的红色发光材料和绿色发光材料,并且可以使用以涂布方式没有得到实用的性能而以蒸镀方式达到实用的性能的蓝色发光材料,所以能够制造可进行全彩色显示且发色质量、发光效率以及发光寿命优异的有机EL装置。
附图说明
图1是表示第1实施方式涉及的有机EL装置的电气构成的等效电路图。
图2是表示第1实施方式涉及的有机EL装置的构成的示意俯视图。
图3是表示第1实施方式涉及的有机EL装置的结构的示意截面图。
图4是说明第1实施方式涉及的有机EL装置的制造方法的示意截面图。
图5是说明第1实施方式涉及的有机EL装置的制造方法的示意截面图。
图6是说明第1实施方式涉及的有机EL装置的制造方法的示意截面图。
图7是作为第2实施方式涉及的电子设备的一个例子而示意地表示电视机的构成的简要立体图。
具体实施方式
以下,参照附图对使本发明具体化的实施方式进行说明。使用的附图以可识别说明的部分的状态适当放大或缩小地显示。
另外,说明所需要的构成要素以外的部分有时省略图示。
应予说明,在以下的方式中,例如记载为“基板上”时表示以相接 的方式配置于基板上的情况,或介由其它构成物配置于基板上的情况,或一部分以相接的方式配置于基板上且另一部分介由其它构成物配置于基板上的情况。
第1实施方式
有机EL装置
首先,参照图对第1实施方式涉及的有机EL装置的构成进行说明。图1是表示第1实施方式涉及的有机EL装置的电气构成的等效电路图。图2是表示第1实施方式涉及的有机EL装置的构成的示意俯视图。
如图1所示,有机EL装置11是使用晶体管作为开关元件的有源矩阵型的有机EL装置。作为晶体管,可以是使用了薄膜半导体层的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,以下,称为TFT),也可以是在半导体基板本身形成通道的晶体管。
有机EL装置11具备:基板31、设置于基板31上的扫描线12、沿与扫描线12交叉的方向延伸的信号线13和与信号线13并列延伸的电源线14。在信号线13连接有具备移位寄存器、电平位移电路、视频线路以及模拟开关的信号线驱动电路15。另外,在扫描线12连接有具备移位寄存器和电平位移电路的扫描线驱动电路16。
子像素34的区域被扫描线12和信号线13划分。子像素34是有机EL装置11的显示的最小单位,例如,沿着扫描线12的延伸方向和信号线13的延伸方向呈矩阵状地排列。在各子像素34设有开关用晶体管21、驱动用晶体管23、保持电容22、阳极24、阴极25和发光功能层26。
由阳极24、阴极25和含有发光层的发光功能层26构成发光元件27。在发光元件27中,通过从阳极24侧注入的空穴与从阴极25侧注入的电子在发光功能层26的发光层再结合而得到发光。
在有机EL装置11中,如果驱动扫描线12而使开关用晶体管21成为开启状态,则介由信号线13供给的图像信号保持在保持电容22,根据保持电容22的状态决定驱动用晶体管23的源极与漏极之间的导通状态。并且,介由驱动用晶体管23与电源线14电连接时,电流从电源线 14流入阳极24,进而电流通过发光功能层26流入阴极25。
该电流成为与驱动用晶体管23的源极与漏极之间的导通状态相应的水平。此时,驱动用晶体管23的源极与漏极之间的导通状态,即,驱动用晶体管23的通道的导通状态被驱动用晶体管23的栅极的电位控制。并且,发光功能层26的发光层以与流过阳极24与阴极25之间的电流量相应的亮度而发光。
换言之,利用驱动用晶体管23控制发光元件27的发光状态时,驱动用晶体管23的源极和漏极中的任一方与电源线14电连接,驱动用晶体管23的源极和漏极中的任意另一方与发光元件27电连接。
如图2所示,有机EL装置11具备在基板31上具有大致矩形的平面形状的发光区域32。在有机EL装置11中,发光区域32是实质上对发光有贡献的区域。有机EL装置11可以在发光区域32的周围具备实质上对发光无贡献的虚设区域。
在发光区域32呈矩阵状地排列有子像素34。子像素34具有例如大致矩形的平面形状。子像素34的矩形形状的4个角可以圆弧状地形成。此时,子像素34的平面形状可以由4条边和与4个角对应的弯曲部构成。
本实施方式涉及的有机EL装置11具有:作为发出作为第1颜色的红色(R)的第1子像素的子像素34R、作为发出作为第2颜色的蓝色(B)的第2子像素的子像素34B和作为发出作为第3颜色的绿色(G)的第3子像素的子像素34G。与子像素34R、34G、34B对应地设有红色发光元件27R、绿色发光元件27G、蓝色发光元件27B。以下,不区分对应的颜色的情况下分别简记为子像素34、发光元件27。
在发光区域32的周围配置有2个扫描线驱动电路16和检测电路35。检测电路35是用于检测有机EL装置11的工作状况的电路。在基板31的外周部配置有阴极用配线33。另外,在基板31的一边侧设有柔性基板36。柔性基板36具备与各配线连接的驱动用IC37。
在本实施方式涉及的有机EL装置11中,由子像素34R、34G、34B构成作为形成图像时的一个单位的像素38。有机EL装置11通过在各 像素38中适当改变子像素34R、34G、34B的各自的亮度,从而能够射出各种颜色的光。由此,有机EL装置11能够进行全彩色显示或全彩色发光。
接着,参照图3对第1实施方式涉及的有机EL装置的结构进行说明。
图3是表示第1实施方式涉及的有机EL装置的结构的示意截面图。应予说明,在本说明书中,将图3中的有机EL装置11的阴极25侧称为上方。另外,在本说明书中,将从有机EL装置11的阴极25侧表面的法线方向观察称为“俯视”。
如图3所示,有机EL装置11具备:基板31、形成在基板31上的电路元件层43、阳极24(24R、24G、24B)、隔壁(bank)58、发光功能层26和阴极(共同电极)25。阳极24具有:设置于子像素34R的作为第1阳极的阳极24R、设置于子像素34B的作为第2阳极的阳极24B以及设置于子像素34G的作为第3阳极的阳极24G。以下,不区分对应的颜色的情况下简记为阳极24。
有机EL装置11是从发光功能层26发出的光在发光区域32(参照图2)向基板31侧射出的底部发射型。对于基板31而言,由于有机EL装置11是底部发射型,所以在基材中使用透光性材料。作为透光性材料,例如可举出玻璃、石英、树脂(塑料、塑料膜)等。
电路元件层43具备:基底保护膜45、驱动用晶体管23、第1层间绝缘膜54和第2层间绝缘膜55。基底保护膜45例如由硅氧化膜(SiO2)构成,覆盖基板31而形成。
驱动用晶体管23按每个子像素34(34R、34G、34B)形成在基底保护膜45上。驱动用晶体管23具有:半导体膜46、栅极绝缘膜52、栅极电极23g、漏极电极23d和源极电极23s。半导体膜46由多晶硅膜构成、在基底保护膜45上呈岛状地形成。在半导体膜46中,因杂质的导入而形成源极区域47和漏极区域48。并且,没有导入杂质的部分成为通道区域51。
栅极绝缘膜52由硅氧化膜等透明的绝缘膜构成,覆盖基底保护膜 45和半导体膜46而形成。在栅极绝缘膜52上形成有栅极电极23g。栅极电极23g由铝(Al)、钼(Mo)、钽(Ta)、钛(Ti)、钨(W)等构成,设置于俯视时与半导体膜46的通道区域51重叠的位置。
第1层间绝缘膜54例如由硅氧化膜(SiO2)、钛氧化膜(TiO2)等构成,覆盖栅极绝缘膜52和栅极电极23g而形成。在第1层间绝缘膜54上形成有源极电极23s和漏极电极23d。
源极电极23s介由设置于第1层间绝缘膜54的接触孔与半导体膜46的源极区域47电连接。漏极电极23d介由设置于第1层间绝缘膜54的接触孔与半导体膜46的漏极区域48导电连接。
第2层间绝缘膜55例如由硅氧化膜(SiO2)、钛氧化膜(TiO2)等构成,覆盖第1层间绝缘膜54、源极电极23s以及漏极电极23d而形成。第2层间绝缘膜55可以由丙烯酸树脂等构成。
阳极24(24R、24G、24B)按每个子像素34(34R、34G、34B)形成在第2层间绝缘膜55上。阳极24例如成为俯视时大致矩形状的形状。阳极24的膜厚没有特别限定,例如为10nm~200nm左右,优选为30nm~150nm左右。阳极24介由设置于第2层间绝缘膜55的接触孔与驱动用晶体管23的漏极电极23d电连接。
在第2层间绝缘膜55上,隔壁58设置成俯视时大致格子状。隔壁58例如是截面具有倾斜面的梯形形状,为了确保相邻的阳极24间的绝缘性,并且使子像素34的形状成为所希望的形状(例如,轨道形状),隔壁58以按规定宽度搭在阳极24的周边部上的方式形成。换言之,隔壁58的开口部成为子像素34的区域。
隔壁58例如由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等具有耐热性、耐溶剂性的有机材料构成。应予说明,如后所述,利用喷墨法等涂布方式形成发光功能层26中的部分层时,优选隔壁58的表面具有防液性。应予说明,在第2层间绝缘膜55与隔壁58之间例如可以设置由硅氧化膜(SiO2)等无机材料构成的绝缘层。
对于发光功能层26而言,每个子像素34(34R、34G、34B),即,每个发光元件27(27R、27G、27B)具有不同的构成。在子像素34R (红色发光元件27R)中,在被隔壁58围起的区域的阳极24R上利用涂布方式依次形成有作为第1空穴注入层的空穴注入层61R、空穴输送层62R和作为第1发光层(红色发光层)的发光层63R。
在子像素34G(绿色发光元件27G)中,在被隔壁58围起的区域的阳极24G上利用涂布方式依次形成有作为第3空穴注入层的空穴注入层61G、空穴输送层62G和作为第4发光层(绿色发光层)的发光层63G。
在子像素34B(蓝色发光元件27B)中,在被隔壁58围起的区域的阳极24B上利用涂布方式依次形成有作为第2空穴注入层的空穴注入层61B和空穴输送层62B。
空穴注入层61R、61G、61B具有提高来自阳极24R、24G、24B的空穴的注入效率的功能。空穴注入层61R、61G、61B的膜厚没有特别限定,例如为5nm~100nm左右,优选为5nm~50nm左右,更优选为10nm~40nm左右。以下,不区分对应的颜色时简记为空穴注入层61。
空穴输送层62R、62G、62B具有促进注入的空穴向发光层63R、63G、63B输送的功能。空穴输送层62R、62G、62B的膜厚没有特别限定,例如为5nm~100nm左右,优选为10nm~50nm左右。以下,不区分对应的颜色的情况下简记为空穴输送层62。
应予说明,对于子像素34R、34G、34B,可以是省略了空穴输送层62R、62G、62B的构成。
另外,发光层63R、63G的膜厚没有特别限定,例如为10nm~150nm左右,优选为20nm~100nm左右,更优选为50nm~80nm左右。
在发光层63R、63G,空穴输送层62B以及隔壁58上,遍及子像素34R、34G、34B地形成有作为第3发光层的红外发光层64,该红外发光层64具有发出作为可见光波长区域以外的波长的光的以红外的波长为主的光的功能。红外发光层64优选利用蒸镀方式形成。在用涂布方式形成的发光层63R、63G上用涂布方式形成红外发光层64时,可能在形成红外发光层64的工序中,在发光层63R、63G发生熔融、变质等而对发色质量造成影响,但能够抑制对这样的发光层63R、63G的发 色质量造成的影响。另外,如果用蒸镀方式形成,则与用涂布方式形成的情况相比,能够将红外发光层64制成更致密的膜。
红外发光层64的膜厚没有特别限定,例如为1nm~50nm左右,优选为5nm~20nm左右。应予说明,如果红外发光层64的膜厚变得过厚,则在子像素34B中,从阳极24侧向发光层63B输送的空穴中,在红外发光层64消耗的空穴变多而导致在发光层63B的发光效率降低。
在红外发光层64上利用蒸镀方式遍及子像素34R、34G、34B地形成具有发出蓝色光的功能的作为第2发光层(蓝色发光层)的发光层63B。由于红外发光层64和发光层63B遍及子像素34R、34G、34B地形成,所以无需使用精密对准掩模等形成图案,因此能够实现有机EL装置11的生产率提高和成本降低。发光层63B的膜厚没有特别限定,例如为5nm~100nm左右,优选为10nm~50nm左右。
在发光层63B上利用蒸镀方式形成有电子输送层65。电子输送层65具有促进从阴极25注入的电子向发光层63R、63G、63B输送的功能。电子输送层65的膜厚没有特别限定,例如为1nm~100nm左右,优选为5nm~50nm左右。应予说明,可以是省略了电子输送层65的构成。
在电子输送层65上利用蒸镀方式形成有电子注入层66。电子注入层66具有提高来自阴极25的电子的注入效率的功能。电子注入层66的膜厚没有特别限定,例如为0.01nm~100nm左右,优选为0.1nm~10nm左右。
由这些空穴注入层61R、61G、61B,空穴输送层62R、62G、62B,发光层63R、63G、63B,红外发光层64,电子输送层65和电子注入层66构成发光功能层26。在发光功能层26中,子像素34B中的阳极24B与发光层63B之间的距离小于子像素34R、34G中的阳极24R、24G与发光层63B之间的距离。
换言之,子像素34B中的空穴注入层61B的膜厚、空穴输送层62B的膜厚和红外发光层64的膜厚的总和小于子像素34R、34G中的空穴注入层61R、61G的膜厚、空穴输送层62R、62G的膜厚、发光层63R、63G的膜厚和红外发光层64的膜厚的总和。由此,与子像素34R、34G 相比,在子像素34B中到达发光层63B的空穴变多,所以能够提高在发光层63B的蓝色的发光效率。
在发光功能层26(电子输送层65)上,阴极25形成于基板31上的整面。阴极25的膜厚没有特别限定,例如为50nm~1000nm左右,优选为100nm~500nm左右。
在阴极25上设有密封基板(未图示)。密封基板用于保护发光元件27(27R、27G、27B)免受氧、水分或外力的影响。密封基板例如介由环氧树脂等粘接剂与阴极25接合。密封基板不限于平坦的基板,也可以由凹型的玻璃、金属等构成。
如上所述,有机EL装置11具有利用喷墨法等涂布方式(液相工艺)形成的发光层63R、63G和利用蒸镀方式(气相工艺)形成的发光层63B,能够进行基于3原色的全彩色显示。
涂布方式有图案形成性高、大面积化容易、材料的使用效率高等优点,生产率优异。然而,在利用涂布方式形成的发光层中,红色发光层和绿色发光层在发光效率、发光寿命(连续驱动的耐久性)等特性方面达到实用水平,但难以说蓝色发光层达到实用水平。另一方面,利用蒸镀方式形成的蓝色发光层在发光效率、发光寿命等特性方面达到实用水平,有时比利用涂布方式形成的红色发光层和绿色发光层优异。
然而,根据专利文献1和专利文献2中记载的有机EL装置的构成,在利用涂布方式形成的红色发光层和绿色发光层上利用蒸镀方式形成有蓝色发光层。因此,如果从阳极向红色发光层和绿色发光层注入的空穴中,通过了红色发光层和绿色发光层的空穴到达蓝色发光层而与电子再结合,则在蓝色发光层产生蓝色发光。这样,存在可能在来自红色发光层的红色发光和来自绿色发光层的绿色发光中产生来自蓝色发光层的蓝色发光的混色而导致色纯度降低,有机EL装置的发色质量降低的课题。
与此相对,在有机EL装置11中,利用蒸镀方式形成的发光层63B遍及3个子像素34R、34G、34B地被设置且在子像素34R、34G中位于发光层63R、63G的上层,在这方面与专利文献1和专利文献2中记载的有机EL装置相同。
然而,在有机EL装置11中,由于在发光层63R、63G与发光层63B之间设有红外发光层64,所以通过发光层63R、63G朝向发光层63B的空穴在介于发光层63R、63G与发光层63B之间的红外发光层64与电子再结合而被消耗。因此,与未设置红外发光层64的情况相比,在子像素34R、34G中到达发光层63B的空穴变少,因此能够抑制发光层63B的蓝色的发光。
另外,在子像素34R、34G、34B中,即使空穴与电子在红外发光层64再结合也发出红外光,所以不会产生与红色、绿色以及蓝色的发光的混色。
由此,能够提高子像素34R、34G、34B中的红色、绿色以及蓝色的发光的各自的色纯度,因此能够提供具有高发色质量的有机EL装置11。
各层的构成材料
接着,说明有机EL装置11的各层的构成材料。作为阳极24的构成材料没有特别限定,优选使用功函数大、导电性优异的材料。作为阳极24的构成材料,例如可举出ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(IndiumZinc Oxide)、In2O3、SnO2、添加氟的SnO2、添加Sb的SnO2、ZnO、添加Al的ZnO、添加Ga的ZnO等金属氧化物,Au、Pt、Ag、Cu或含有它们的合金等,可以使用其中的1种或组合2种以上使用。由于对阳极24要求透光性,所以优选使用上述的构成材料中具有透光性的金属氧化物。
作为空穴注入层61的构成材料没有特别限定,为了可利用涂布方式形成空穴注入层61,优选使用在导电性高分子材料(或导电性低聚物材料)中添加了电子接受性掺杂剂的离子传导性空穴注入材料。
作为这样的离子传导性空穴注入材料,例如可举出PEDOT/PSS(聚(3,4-乙撑二氧噻吩)-聚(苯乙烯磺酸酯))这样的聚噻吩系空穴注入材料、PANI/PSS(聚苯胺-聚(苯乙烯磺酸酯))这样的聚苯胺系空穴注入材料。
作为空穴输送层62的构成材料没有特别限定,为了可利用涂布方 式形成空穴输送层62,例如可以使用含有下述化学式1所示的TFB(聚(2,7-(9,9-二正辛基芴)-交替-(1,4-亚苯基-((4-仲丁基苯基)亚氨基-1,4-亚苯基))))(poly(2,7-(9,9-di-n-octylfluorene)-alt-(1,4-phenylene-((4-sec-butylphenyl)imino-1,4-phenylene))))等三苯胺系聚合物的材料。
化学式1
发光层63R、63G的构成材料没有特别限定,为了可利用涂布方式形成发光层63R、63G,优选能够进行溶液化或分散液化。因此,优选使用能够溶解或分散在溶剂或分散介质中的高分子材料和低分子发光材料。
作为红色的发光层63R的构成材料,例如可以使用下述化学式2所示的American Dye Source,Inc.制的ADS-111RE(聚[{9,9-二己基-2,7-双(1-氰基亚乙烯基)亚芴基}-交替-共-{2,5-双(N,N-二苯基氨基)-1,4-亚苯基}])(Poly[{9,9-dihexyl-2,7-bis(1-cyanovinylene)fluorenylene}-alt-co-{2,5-bis(N,N-diphenylamino)-1,4-phenylene}])。
化学式2
作为绿色的发光层63G的构成材料,例如,可以使用下述化学式3 所示的American Dye Source,Inc.制的ADS-109GE(聚[(9,9-二辛基-2,7-双{2-氰基亚乙烯基亚芴基})-交替-共-(2-甲氧基-5-{2-乙基己氧基}-1,4-亚苯基)])(Poly[(9,9-dioctyl-2,7-bis{2-cyanovinylenefluorenylene})-alt-co-(2-methoxy-5-{2-ethylhexyloxy}-1,4-phenylene)])。
化学式3
红外发光层64的构成材料可以使用在主体材料中掺杂了红外发光材料作为客体材料的物质。作为红外发光的客体材料,可优选使用卟啉配合物、酞菁配合物。作为卟啉配合物,例如可以使用下述化学式4所示的2,3,7,8,12,13,17,18-八乙基-21H,23H-卟吩铁(III)氯化物(2,3,7,8,12,13,17,18-Octaethyl-21H,23H-porphine iron(III)chloride)、下述化学式5所示的2,3,7,8,12,13,17,18-八乙基-21H,23H-卟吩镍(II)(2,3,7,8,12,13,17,18-Octaethyl-21H,23H-porphine nickel(II))。另外,也可以使用下述化学式6所示的5,10,15,20-四苯基-21H,23H-卟吩镍(II)(5,10,15,20-Tetraphenyl-21H,23H-porphine nickel(II))、下述化学式7所示的2,3,7,8,12,13,17,18-八乙基-21H,23H-卟啉铂(II)(Platinum(II)2,3,7,8,12,13,17,18-octaethyl-21H,23H-porphyrin)等。
化学式4
化学式5
化学式6
化学式7
作为红外发光层64的主体材料没有特别限定,例如可以使用下述化学式8所示的Alq3(三(8-羟基喹啉)铝)(tris(8-hydroxyquinolinato)aluminium)这样的金属配合物、下述化学式9所示的4,4’-双(N-咔唑基)-1,1’-联苯(4,4’-Bis(N-carbazolyl)-1,1’-biphenyl)这样的咔唑衍生物等。优选红外发光层64中的客体材料的含量(掺杂量)相对于主体材料以重量比计为0.1%~20%左右。
化学式8
化学式9
作为蓝色的发光层63B的构成材料没有特别限定,例如为了可利用蒸镀方式形成发光层63B,例如可举出下述化学式10所示的作为苯乙烯衍生物的蓝色发光材料的4,4’-双(2,2-二苯基乙烯-1-基)联苯(4,4’-Bis(2,2-diphenyl-ethen-1-yl)biphenyl)。
化学式10
另外,作为蓝色的发光层63B的构成材料,可以使用在主体材料中掺杂了蓝色发光材料作为客体材料的物质。主体材料具有由空穴和电子再结合生成激子的同时,使其激子的能量转移至蓝色发光材料(福斯特转移或德克斯特转移)来激发蓝色发光材料的功能。利用该主体材料的功能,能够高效地激发作为客体材料的蓝色发光材料而发光。
作为这样的主体材料,例如可举出蒽衍生物的下述化学式11所示的9,10-二(萘-2-基)蒽(9,10-Di(naphth-2-yl)anthracene)、下述化学式12所示的9-(4-(萘-1-基)-苯基)-10-(萘-2-基)蒽(9-(4-(naphth-1-yl)-phenyl)-10-(naphth-2-yl)anthracene)以及下述化学式13所示的 9,9’-二(联苯-2-基)-联蒽(9,9’-di(biphenyl-2-yl)-bianthracene),可以使用其中的1种或组合2种以上使用。
化学式11
化学式12
另外,作为客体材料(蓝色发光材料),例如可举出下述化学式14、下述化学式15以及下述化学式16所示的苯乙烯衍生物,可以使用其中的1种或组合2种以上使用。
化学式14
化学式15
化学式16
发光层63B中的客体材料的含量(掺杂量)例如相对于主体材料以重量比计为0.1%~20%左右,更优选为0.5%~10%左右。通过使客体材料的含量为这样的范围内,从而能够使发光层63B中的发光效率最佳化。
作为电子输送层65的构成材料没有特别限定,例如优选使用Alq3(参照上述化学式8)、Liq(8-羟基喹啉-锂)(8-Hydroxyquinolinolato-lithium)等以8-羟基喹啉或其衍生物为配体的有机金属配合物等喹啉衍生物。另外,也可以优选地使用tBu-PBD(2-(4’-叔丁基苯基)-5-(4’’-联苯基)-1,3,4-二唑)(2-(4’-tert-Butylphenyl)-5-(4’’-biphenyl)-1,3,4-oxadiazole)、BND(2,5,-双(1-萘基)-1,3,4-二唑)(2,5,-Bis(1-naphthyl)-1,3,4-oxadiazole)等二唑衍生物、噻咯衍生物、吡啶衍生物、嘧啶衍生物、喹喔啉衍生物、咪唑衍生物等。并且,可以使用其中的1种或组合2种以上使用。
电子注入层66的构成材料含有电子注入材料和金属材料。作为电 子注入材料,例如可举出碱金属、碱土金属、稀土金属、碱金属盐(氧化物、氟化物、氯化物等)、碱土金属盐(氧化物、氟化物、氯化物等)、稀土金属盐(氧化物、氟化物、氯化物等)、金属配合物等这样的电子注入材料,可以将其中的1种或2种以上与金属材料组合使用。
作为碱金属,例如可举出Li、Na、K、Rb、Cs。作为碱土金属,例如可举出Mg、Ca、Sr、Ba。作为稀土金属,例如可举出Nd、Sm、Y、Tb、Eu。作为碱金属盐,例如可举出LiF、Li2CO3、LiCl、NaF、Na2CO3、NaCl、CsF、Cs2CO3、CsCl。
作为碱土金属盐,例如可举出CaF2、CaCO3、SrF2、SrCO3、BaF2、BaCO3。作为稀土金属盐,例如可举出SmF3、ErF3。作为金属配合物,例如可举出Alq3、Liq等以8-羟基喹啉或其衍生物为配体的有机金属配合物。另外,作为金属材料,例如可举出Ag、Al、Cu、Au。
作为阴极25的构成材料,优选使用功函数小的材料。作为阴极25的构成材料,为了可使用蒸镀方式形成,例如可以使用Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rb、Au或含有它们的合金等,可以使用其中的1种或组合2种以上(例如作为多层的层叠体等)使用。
有机EL装置的制造方法
接下来,参照图说明第1实施方式涉及的有机EL装置的制造方法。图4~图6是说明第1实施方式涉及的有机EL装置的制造方法的示意截面图。应予说明,对于可以采用公知的方法的工序,省略详细的说明。
首先,如图4(a)所示,在基板31上利用公知的成膜技术、光刻技术形成电路元件层43(详细内容参照图3)。并且,在电路元件层43上,在每个子像素34(34R、34G、34B)上形成由ITO等构成的阳极24(24R、24G、24B)。
接下来,如图4(b)所示,在电路元件层43和阳极24上形成隔壁58。详细而言,首先,在电路元件层43(第2层间绝缘膜55)上和阳极24上涂布含有作为隔壁58的材料的丙烯酸树脂的溶液。然后,使涂布的溶液干燥而形成隔壁层。其后,在与该隔壁层中的子像素34(34R、 34G、34B)对应的区域形成开口部。由此,隔壁58完成。
在此,由于发光功能层26中的部分层是利用喷墨法等涂布方式形成的,所以优选隔壁58的表面具有防液性。作为使隔壁58具有防液性的方式,例如有如下方法,即,使用预先混入了氟等防液成分的树脂(例如丙烯酸树脂),在隔壁形成工序中的固化时使防液成分扩散集聚到树脂表层。
应予说明,在电路元件层43与隔壁58之间形成绝缘层时,例如利用CVD(Chemical Vapor Deposition)法等以覆盖在电路元件层43和阳极24上的方式对由硅氧化膜(SiO2)构成的绝缘膜进行成膜形成。然后,利用光刻技术和蚀刻技术在绝缘膜中与子像素34(34R、34G、34B)对应的区域形成开口部。
接下来,如图4(c)所示,在子像素34(34R、34G、34B)的各区域中,在被隔壁58围起的阳极24(24R、24G、24B)上利用涂布方式以例如5nm~100nm左右的膜厚形成空穴注入层61(61R、61G、61B)。
详细而言,利用液滴喷出法(例如,喷墨法)喷出含有空穴注入层61的材料的功能液。作为空穴注入层61的功能液,例如可以使用使PEDOT/PSS、PANI/PSS等溶解或分散在溶剂或分散介质中而得的功能液。在阳极24上涂布功能液后,通过使功能液干燥,在大气下进行煅烧而除去溶剂或分散介质,从而形成空穴注入层61。
接下来,如图5(a)所示,在子像素34(34R、34G、34B)的各区域,分别在空穴注入层61(61R、61G、61B)上利用涂布方式以例如5nm~100nm的膜厚形成空穴输送层62(62R、62G、62B)。
详细而言,利用液滴喷出法(例如,喷墨法)喷出含有空穴输送层62的材料的功能液。作为空穴输送层62的功能液,例如可以使用使TFB溶于环己基苯而得的油墨组合物。涂布后,使功能液干燥,在低氧环境下进行煅烧,由此形成空穴输送层62。
接下来,如图5(b)所示,在子像素34R中的空穴输送层62R上利用涂布方式以例如10nm~150nm左右的膜厚形成发光层63R。另外,在子像素34G中的空穴输送层62G上利用涂布方式以例如10nm~ 150nm左右的膜厚形成发光层63G。
详细而言,利用液滴喷出法(例如,喷墨法)喷出含有红色或绿色的发光材料的功能液,其后,使功能液干燥,在非活性气氛下进行煅烧。作为发光材料的功能液,例如可以使用将上述化学式2或上述化学式3所示的发光材料溶于溶剂而得的功能液。作为溶剂,可举出环己基苯等。
接下来,如图5(c)所示,遍及子像素34R、34G、34B,在子像素34R中的发光层63R上、子像素34G中的发光层63G上、子像素34B中的空穴输送层62B上和隔壁58上利用蒸镀方式形成红外发光层64。红外发光层64例如使用金属配合物、咔唑衍生物等主体材料和相对于主体材料以重量比计为0.1%~20%左右的卟啉配合物等客体材料,以1nm~50nm左右的膜厚形成。
接下来,如图6(a)所示,遍及子像素34R、34G、34B,在红外发光层64上利用蒸镀方式形成发光层63B。发光层63B例如使用蒽衍生物等主体材料和相对于主体材料以重量比计为0.1%~20%左右的苯乙烯衍生物等客体材料,以5nm~100nm左右的膜厚形成。
接下来,如图6(c)所示,遍及子像素34R、34G、34B,在电子输送层65上利用蒸镀方式形成电子注入层66。电子注入层66例如使用电子注入材料和金属材料以0.01nm~100nm左右的膜厚形成。由此,发光功能层26完成。
接下来,如图3所示,在电子输送层65上利用蒸镀方式形成阴极25。阴极25例如使用功函数小的金属材料以50nm~1000nm左右的膜厚形成。其后,虽未图示但在阴极25上介由环氧树脂等粘接剂接合密封基板。由此,有机EL装置11完成。
如以上说明的那样,根据第1实施方式可得到以下所示的效果。
(1)由于在发光层63R、63G与发光层63B之间设有红外发光层64,所以从阳极24注入到发光层63R、63G的空穴中,通过发光层63R、 63G朝向发光层63B的空穴在红外发光层64与电子再结合而被消耗。因此,与未设置红外发光层64的情况相比,到达发光层63B的空穴变少,因此可抑制子像素34R、34G中的蓝色的发光。由此能够提高红色和绿色的发光的色纯度。
(2)由于红外发光层64发出可见光波长区域以外的红外光,所以即使空穴和电子在红外发光层64再结合,也不会发生与子像素34R、34G、34B中的红色、绿色以及蓝色的发光的混色。由此能够提高子像素34R、34G、34B中的红色、绿色以及蓝色的发光的色纯度,因此能够提供具有高发色质量的有机EL装置11。
(3)红外发光层64由于在其构成材料中含有卟啉配合物,所以发出不产生与子像素34R、34G、34B中的红色、绿色以及蓝色的发光的混色的可见光波长区域以外的红外光,由此能够消耗通过发光层63R、63G的空穴。
(4)由于用蒸镀方式形成红外发光层64,所以与用涂布方式形成的情况相比,能够将红外发光层64制成更致密的膜。另外,由于能够遍及子像素34R、34G、34B地形成,所以无需使用精密对准掩模等形成图案,因此能够实现有机EL装置11的生产率提高和成本降低。
(5)由于设有空穴注入层61R、61G、61B,所以能够高效率地进行从阳极24R、24G向发光层63R、63G的空穴注入和从阳极24B向发光层63B的空穴注入。在此,在子像素34B中,在阳极24B与发光层63B之间未设置发光层63R、63G,并且,子像素34B中的阳极24B与发光层63B之间的距离小于子像素34R、34G中的阳极24R、24G与发光层63R、63G之间的距离。因此,在子像素34B中,与子像素34R、34G相比,到达发光层63B的空穴变多,因此在发光层63B的蓝色的发光效率提高。由这些结果能够提供具有高发色质量的有机EL装置11。
(6)将用生产率优异的涂布方式得到实用的发光特性的红色发光材料和绿色发光材料用于发光层63R、63G,并且将用涂布方式没有得到实用的性能而用蒸镀方式达到实用的性能的蓝色发光材料用于发光层63B。由此能够提供可进行全彩色显示且发色质量、发光效率以及发光寿命优异的有机EL装置11。
第2实施方式电子设备
接下来,说明第2实施方式涉及的电子设备的构成。图7是作为第2实施方式涉及的电子设备的一个例子而示意地表示电视机的构成的简要立体图。以下,参照图7说明第2实施方式涉及的电视机的构成。
如图7所示,第2实施方式涉及的电视机101具有:显示部102、框部103、脚部104以及遥控器(远距离控制器)105。在显示部102安装有第1实施方式涉及的有机EL装置11。框部103用于引导显示部102。脚部104用于以一定的高度固定显示部102和框部103。遥控器105例如用于使电视机101的电源ON/OFF、或改变频道等。
对于第2实施方式涉及的电视机101,由于在显示部102具备第1实施方式涉及的有机EL装置11,所以具有高发色质量、发光效率以及发光寿命。
应予说明,电子设备除电视机之外,例如还可以是显示器、移动电话、移动计算机、数码照相机、数字摄像机、车辆导航装置、音频设备等。即使是这些电子设备,通过具备第1实施方式涉及的有机EL装置11也能够提供发光寿命和发光效率优异、具有高发色质量的电子设备。
上述实施方式终究是表示本发明的一个方式,在本发明的范围内可以进行任意变形和应用。作为变形例,例如可考虑如下的变形例。
变形例1在第1实施方式涉及的有机EL装置11中,红外发光层64具备遍及子像素34R、34G、34B地形成的构成,但本发明不限于这样的方式。例如可以是通过用涂布方式形成红外发光层64等而在子像素34R、34G中,红外发光层64选择性地设置在发光层63R、63G上的构成。根据这样的构成,在未设置红外发光层64的子像素34B中,能够使从阳极24B到达发光层63B的空穴增多,因此能够提高蓝色的发光效率。
变形例2在第1实施方式涉及的有机EL装置11中,第3发光层(红外发光层64)具备发出红外光的构成,但本发明不限于这样的方式。第3发光层发出的光若是可见光波长区域以外的波长的光,就可以是红外光以外的光,例如是紫外光等。
变形例3第1实施方式涉及的有机EL装置11具有3个子像素34R、34G、34B,可以是发出红色、绿色、蓝色这三种颜色光的构成,但本发明不限于这样的方式。有机EL装置可以是具有子像素34R、34G中的任一个和子像素34B这2个子像素、发出两种颜色光的构成,也可以是除子像素34R、34G、34B以外,还具有1个以上发出其它颜色光的子像素的构成。
变形例4第1实施方式涉及的有机EL装置11可以是从发光功能层26发出的光向基板31侧射出的底部发射型,但本发明不限于这样的方式。有机EL装置可以是从发光功能层26发出的光向阴极25侧射出的顶部发射型。有机EL装置为顶部发射型时,可以使用MgAg、MgAl、MgAu、AlAg等金属或合金作为阴极25的构成材料。
符号说明
11…有机EL装置,24(24R、24G、24B)…阳极(第1阳极、第3阳极、第2阳极),25…阴极,26…发光功能层,34(34R、34G、34B)…子像素(第1子像素、第3子像素、第2子像素),38…像素,61(61R、61G、61B)…空穴注入层(第1空穴注入层、第3空穴注入层、第2空穴注入层),63R、63G、63B…发光层(第1发光层、第4发光层、第2发光层),64…红外发光层(第3发光层),101…作为电子设备的电视机。
Claims (9)
1.一种有机EL装置,其特征在于,具备:
具有第1子像素和第2子像素的像素,
设置于所述第1子像素的第1阳极,
设置于所述第2子像素的第2阳极,
遍及所述第1子像素和所述第2子像素地设置的阴极,
在所述第1子像素的所述第1阳极与所述阴极之间用涂布方式形成的具有发出第1颜色光的功能的第1发光层,
遍及所述第1子像素和所述第2子像素地在所述第1发光层与所述阴极之间和所述第2阳极与所述阴极之间用蒸镀方式形成的具有发出第2颜色光的功能的第2发光层,和
至少设置于所述第1子像素的所述第1发光层与所述第2发光层之间的具有发出以可见光波长区域以外的波长为主的光的功能的第3发光层。
2.根据权利要求1所述的有机EL装置,其特征在于,所述第3发光层具有发出红外光的功能。
3.根据权利要求2所述的有机EL装置,其特征在于,所述第3发光层的构成材料含有卟啉配合物或酞菁配合物。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的有机EL装置,其特征在于,所述第3发光层遍及所述第1子像素和所述第2子像素地用蒸镀方式形成,也设置于所述第2阳极与所述第2发光层之间。
5.根据权利要求4所述的有机EL装置,其特征在于,进一步具备:
设置于所述第1子像素的所述第1阳极与所述第1发光层之间的第1空穴注入层,和
设置于所述第2子像素的所述第2阳极与所述第3发光层之间的第2空穴注入层;
所述第2子像素中的所述第2阳极与所述第2发光层之间的距离小于所述第1子像素中的所述第1阳极与所述第2发光层之间的距离。
6.根据权利要求5所述的有机EL装置,其特征在于,所述像素进一步具有第3子像素,
所述阴极遍及所述第1子像素、所述第2子像素和所述第3子像素地被设置,
所述第3子像素具备:第3阳极、在所述第3阳极与所述阴极之间用涂布方式形成的具有发出第3颜色光的功能的第4发光层和设置于所述第3阳极与所述第4发光层之间的第3空穴注入层,
所述第3发光层和所述第2发光层遍及所述第1子像素、所述第2子像素和所述第3子像素,也设置于所述第4发光层与所述阴极之间,
所述第2子像素中的所述第2阳极与所述第3发光层之间的距离小于所述第3子像素中的所述第3阳极与所述第3发光层之间的距离。
7.根据权利要求6所述的有机EL装置,其特征在于,所述第1颜色为红色或绿色,所述第2颜色为蓝色,所述第3颜色为红色或绿色中与所述第1颜色不同的颜色。
8.一种电子设备,其特征在于,具备权利要求1~7中任一项所述的有机EL装置。
9.一种有机EL装置的制造方法,其特征在于,具备具有第1子像素、第2子像素和第3子像素的像素,
所述制造方法包括:
在所述第1子像素形成第1阳极的工序,
在所述第2子像素形成第2阳极的工序,
在所述第3子像素形成第3阳极的工序,
在所述第1阳极上形成第1空穴注入层的工序,
在所述第2阳极上形成第2空穴注入层的工序,
在所述第3阳极上形成第3空穴注入层的工序,
在所述第1空穴注入层上用涂布方式形成具有发出红色光的功能的第1发光层的工序,
在所述第3空穴注入层上用涂布方式形成具有发出绿色光的功能的第4发光层的工序,
遍及所述第1子像素、所述第2子像素和所述第3子像素,在所述第1发光层上、所述第2空穴注入层上和所述第4发光层上用蒸镀方式形成具有发出以红外波长为主的光的功能的第3发光层的工序,
遍及所述第1子像素、所述第2子像素和所述第3子像素,在所述第3发光层上用蒸镀方式形成具有发出蓝色光的功能的第2发光层的工序,和
遍及所述第1子像素、所述第2子像素和所述第3子像素,在所述第2发光层上形成阴极的工序。
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