JP2014067913A - ZnO系半導体素子、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 (a)基板上方に、n型ZnO系半導体層を形成する。(b)n型ZnO系半導体層上方にZnO系半導体活性層を形成する。(c)ZnO系半導体活性層上方に、第1のp型ZnO系半導体層を形成する。(d)第1のp型ZnO系半導体層上方に、第2のp型ZnO系半導体層を形成する。工程(d)は、(d1)膜上にCuまたは/及びAgであるIB族元素が供給され、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素がドープされたn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶膜を形成する工程と、(d2)膜上にIB族元素が供給された、n型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶膜をアニールして、IB族元素がドープされたp型膜とする工程とを含む。工程(c)において、IB族元素及びIIIB族元素の拡散を低減する元素がドープされた第1のp型ZnO系半導体層を形成する。
【選択図】 図8
Description
2 ZnOバッファ層
3 n型ZnO層
4 アンドープZnO活性層
5n、5p 拡散防止層
6 Cu、Ga共ドープp型ZnO層
6A 交互積層構造
6a GaドープZnO単結晶膜
6b Cu層
7n n側電極
7p p側電極
8 ボンディング電極
11 ZnO基板
12 ZnOバッファ層
13 n型ZnO層
14 n型MgZnO層
15 活性層
15b MgZnO障壁層
15w ZnO井戸層
16n、16p 拡散防止層
17 Cu、Ga共ドープp型MgZnO層
17A 交互積層構造
17a GaドープMgZnO単結晶膜
17b Cu層
18n n側電極
18p p側電極
19 ボンディング電極
21 c面サファイア基板
22 MgOバッファ層
23 ZnOバッファ層
24 n型ZnO層
25 n型MgZnO層
26 活性層
27n、27p 拡散防止層
28 Cu、Ga共ドープp型MgZnO層
29n n側電極
29p p側電極
30 ボンディング電極
51 ZnO基板
52 ZnOバッファ層
53 アンドープZnO層
54 交互積層構造
54a GaドープZnO単結晶層
54b Cu層
61 ZnO基板
62 ZnOバッファ層
63 アンドープZnO層
64 Nドープp型MgZnO層
65 交互積層構造
71 真空チャンバ
72 Znソースガン
73 Oソースガン
74 Mgソースガン
75 Cuソースガン
76 Gaソースガン
77 Nソースガン
78 ステージ
79 基板
80 膜厚計
81 RHEED用ガン
82 スクリーン
Claims (14)
- (a)基板上方に、n型ZnO系半導体層を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体層上方にZnO系半導体活性層を形成する工程と、
(c)前記ZnO系半導体活性層上方に、第1のp型ZnO系半導体層を形成する工程と、
(d)前記第1のp型ZnO系半導体層上方に、第2のp型ZnO系半導体層を形成する工程と
を有し、
前記工程(d)は、
(d1)膜上にCuまたは/及びAgであるIB族元素が供給され、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素がドープされたn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶膜を形成する工程と、
(d2)膜上に前記IB族元素が供給された、前記n型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶膜をアニールして、前記IB族元素がドープされたp型膜とする工程と
を含み、
前記工程(c)において、前記IB族元素及び前記IIIB族元素の拡散を低減する元素がドープされた前記第1のp型ZnO系半導体層を形成する
ZnO系半導体素子の製造方法。 - 前記工程(c)において、N、P、As、及びSbからなる群より選択される一以上の元素をp型ドーパントとして用いる請求項1に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- 前記工程(c)において、前記第1のp型ZnO系半導体層を、NがドープされたMgZnOで構成する請求項1に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- 前記工程(c)において、前記第1のp型ZnO系半導体層に、Nを1.0×1019cm−3以上ドープする請求項1または3に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- 前記工程(c)において、前記第1のp型ZnO系半導体層を300℃以上800℃未満の温度で形成する請求項1〜4のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- 前記工程(c)において、VI/IIフラックス比を1より大きく2以下として前記第1のp型ZnO系半導体層を形成する請求項1〜5のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- 前記工程(d1)において、前記n型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶膜と前記IB族元素層が交互に積層された交互積層構造を形成する請求項1〜6のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- n型ZnO系半導体層と、
前記n型ZnO系半導体層上方に形成されたZnO系半導体活性層と、
前記ZnO系半導体活性層上方に形成された第1のp型ZnO系半導体層と、
前記第1のp型ZnO系半導体層上方に形成された第2のp型ZnO系半導体層と、
前記n型ZnO系半導体層に電気的に接続されたn側電極と、
前記第2のp型ZnO系半導体層に電気的に接続されたp側電極と
を有し、
前記第2のp型ZnO系半導体層は単結晶層であって、
(i)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、(ii)B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とが共ドープされ、
前記IB族元素の濃度は、1×1019cm−3以上で、前記第2のp型ZnO系半導体層の厚さ方向にほぼ一定であり、
前記第1のp型ZnO系半導体層には、前記第2のp型ZnO系半導体層に共ドープされる前記IB族元素及び前記IIIB族元素の拡散を低減する元素がドープされている
ZnO系半導体素子。 - 前記第1のp型ZnO系半導体層にドープされている元素が、N、P、As、及びSbからなる群より選択される一以上の元素である請求項8に記載のZnO系半導体素子。
- 前記第1のp型ZnO系半導体層は、NがドープされたMgZnOで構成される請求項8に記載のZnO系半導体素子。
- 前記第1のp型ZnO系半導体層には、Nが1.0×1019cm−3以上ドープされている請求項8または10に記載のZnO系半導体素子。
- 前記IB族元素の濃度[IB]及び前記IIIB族元素の濃度[IIIB]は、それぞれ前記第1のp型ZnO系半導体層内の、前記第2のp型ZnO系半導体層側と前記ZnO系半導体活性層側とで、2桁以上の差がある請求項8〜11のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子。
- 前記第2のp型ZnO系半導体層における前記IB族元素の濃度[IB]と、前記IIIB族元素の濃度[IIIB]とが、1<[IB]/[IIIB]<100を満たす請求項8〜12のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子。
- 前記第2のp型ZnO系半導体層における前記IB族元素の濃度[IB]と、前記IIIB族元素の濃度[IIIB]とが、2≦[IB]/[IIIB]≦50を満たす請求項13に記載のZnO系半導体素子。
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