JP6231841B2 - p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 - Google Patents
p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
2 ZnOバッファ層
3 n型ZnO層
4 アンドープZnO活性層
5 Cu、Ga共ドープp型ZnO層
5A 交互積層構造
5a GaドープZnO単結晶層
5b Cu層
6n n側電極
6p p側電極
7 ボンディング電極
11 ZnO基板
12 ZnOバッファ層
13 n型ZnO層
14 n型MgZnO層
15 活性層
15b MgZnO障壁層
15w ZnO井戸層
16 Cu、Ga共ドープp型MgZnO層
16A 交互積層構造
16a GaドープMgZnO単結晶層
16b Cu層
17n n側電極
17p p側電極
18 ボンディング電極
21 c面サファイア基板
22 MgOバッファ層
23 ZnOバッファ層
24 n型ZnO層
25 n型MgZnO層
26 活性層
27 Cu、Ga共ドープp型MgZnO層
28n n側電極
28p p側電極
29 ボンディング電極
51 ZnO基板
52 ZnOバッファ層
53 アンドープZnO層
54 交互積層構造
54a GaドープZnO単結晶層
54b Cu層
61a CuドープMgxZn1−xO単結晶層
61b Ga層
62a MgxZn1−xO単結晶層
62b Cu層
62c Ga層
63a MgxZn1−xO単結晶層
63b Cu、Ga層
64a CuドープMgxZn1−xO単結晶層
64b GaドープMgxZn1−xO単結晶層
61A〜64A 交互積層構造
71 真空チャンバ
72 Znソースガン
73 Oソースガン
74 Mgソースガン
75 Cuソースガン
76 Gaソースガン
77 ステージ
78 基板
79 膜厚計
80 RHEED用ガン
81 スクリーン
Claims (18)
- (a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を有し、
前記工程(a)が、
(a1)(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給して、前記IIIB族元素がドープされたMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a2)前記Mg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上にCuまたは/及びAgであるIB族元素を供給する工程と、
(a3)前記工程(a1)と前記工程(a2)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含み、
前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成するp型ZnO系半導体層の製造方法。 - (a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を有し、
前記工程(a)が、
(a4)(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)Cuまたは/及びAgであるIB族元素を供給して、前記IB族元素がドープされたMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a5)前記Mg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給する工程と、
(a6)前記工程(a4)と前記工程(a5)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含み、
前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成するp型ZnO系半導体層の製造方法。 - (a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を有し、
前記工程(a)が、
(a7)第1のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a8)前記第1のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素を含むIB族元素層を形成する工程と、
(a9)前記IB族元素層上に、第2のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a10)前記第2のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を含むIIIB族元素層を形成する工程と、
(a11)前記工程(a7)〜(a10)を繰り返して積層構造を形成する工程と
を含み、
前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成するp型ZnO系半導体層の製造方法。 - (a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を有し、
前記工程(a)が、
(a12)Mg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a13)前記Mg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを供給する工程と、
(a14)前記工程(a12)と前記工程(a13)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含み、
前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成するp型ZnO系半導体層の製造方法。 - (a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を有し、
前記工程(a)が、
(a15)Cuまたは/及びAgであるIB族元素がドープされた第1のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a16)前記第1のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素がドープされた第2のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a17)前記工程(a15)と前記工程(a16)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含み、
前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成するp型ZnO系半導体層の製造方法。 - 前記第2アニールを、前記第1アニールよりも低い温度で行う請求項1〜5のいずれか1項に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。
- 前記第1アニールを750℃〜800℃で行い、前記第2アニールを350℃〜400℃で行う請求項1〜6のいずれか1項に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。
- 前記第2アニールをO2雰囲気中で行う請求項1〜7のいずれか1項に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。
- 前記第2アニールを、キャリアガスに水蒸気を含ませた雰囲気中で行う請求項1〜7のいずれか1項に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。
- 基板上方に、n型ZnO系半導体層を形成する工程と、
前記n型ZnO系半導体層上方に、p型ZnO系半導体層を形成する工程と
を有し、
前記p型ZnO系半導体層を形成する工程は、
(a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を備え、
前記工程(a)が、
(a1)(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給して、前記IIIB族元素がドープされたMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a2)前記Mg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上にCuまたは/及びAgであるIB族元素を供給する工程と、
(a3)前記工程(a1)と前記工程(a2)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む
ZnO系半導体素子の製造方法。 - 基板上方に、n型ZnO系半導体層を形成する工程と、
前記n型ZnO系半導体層上方に、p型ZnO系半導体層を形成する工程と
を有し、
前記p型ZnO系半導体層を形成する工程は、
(a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を備え、
前記工程(a)が、
(a4)(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)Cuまたは/及びAgであるIB族元素を供給して、前記IB族元素がドープされたMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a5)前記Mg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給する工程と、
(a6)前記工程(a4)と前記工程(a5)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む
ZnO系半導体素子の製造方法。 - 基板上方に、n型ZnO系半導体層を形成する工程と、
前記n型ZnO系半導体層上方に、p型ZnO系半導体層を形成する工程と
を有し、
前記p型ZnO系半導体層を形成する工程は、
(a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を備え、
前記工程(a)が、
(a7)第1のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a8)前記第1のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素を含むIB族元素層を形成する工程と、
(a9)前記IB族元素層上に、第2のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a10)前記第2のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を含むIIIB族元素層を形成する工程と、
(a11)前記工程(a7)〜(a10)を繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む
ZnO系半導体素子の製造方法。 - 基板上方に、n型ZnO系半導体層を形成する工程と、
前記n型ZnO系半導体層上方に、p型ZnO系半導体層を形成する工程と
を有し、
前記p型ZnO系半導体層を形成する工程は、
(a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を備え、
前記工程(a)が、
(a12)Mg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a13)前記Mg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを供給する工程と、
(a14)前記工程(a12)と前記工程(a13)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む
ZnO系半導体素子の製造方法。 - 基板上方に、n型ZnO系半導体層を形成する工程と、
前記n型ZnO系半導体層上方に、p型ZnO系半導体層を形成する工程と
を有し、
前記p型ZnO系半導体層を形成する工程は、
(a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に、N2または希ガス雰囲気中で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施す工程と
を備え、
前記工程(a)が、
(a15)Cuまたは/及びAgであるIB族元素がドープされた第1のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a16)前記第1のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素がドープされた第2のMg x Zn 1−x O(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a17)前記工程(a15)と前記工程(a16)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む
ZnO系半導体素子の製造方法。 - 前記第2アニールを、前記第1アニールよりも低い温度で行う請求項10〜14のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- 前記第1アニールを750℃〜800℃で行い、前記第2アニールを350℃〜400℃で行う請求項10〜15のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- 前記第2アニールをO2雰囲気中で行う請求項10〜16のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
- 前記第2アニールを、キャリアガスに水蒸気を含ませた雰囲気中で行う請求項10〜16のいずれか1項に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
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