JP5237917B2 - ZnO系化合物半導体の製造方法 - Google Patents
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Description
2 バッファー層
3 n型半導体層
4 活性層
5 p型半導体層
6 p型透光性電極
7 ボンディング用パッド電極
8 n型電極
11 超高真空容器
12 反射高速電子線回折(RHEED)用ガン
13 反射高速電子線回折(RHEED)用スクリーン
14 亜鉛(Zn)ソースガン
15 酸素(O)ラジカルソースガン
16 基板加熱ヒータ
17 基板
18 マグネシウム(Mg)ソースガン
19 窒素(N)ラジカルソースガン
20 ガリウム(Ga)ソースガン
21、23 O2用マスフローコントローラ(MFC)
22 N2用マスフローコントローラ(MFC)
Claims (2)
- 単結晶表面を有する基板を準備する工程と、
亜鉛ビームと、酸素を含むガスをラジカル化した酸素ラジカルビームと、N2ガスとO2ガスとを混合したガスをラジカル化した窒素ラジカルビームとを、前記基板上に同時に照射して、窒素添加p型ZnO系化合物半導体を結晶成長する工程とを有し、
前記N2ガスとO2ガスとを混合したガスの混合比O2/N2が、0より大きく1以下であるZnO系化合物半導体の製造方法。 - 前記混合比O2/N2が0より大きく0.5以下である請求項1記載のZnO系化合物半導体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009250116A JP5237917B2 (ja) | 2009-10-30 | 2009-10-30 | ZnO系化合物半導体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009250116A JP5237917B2 (ja) | 2009-10-30 | 2009-10-30 | ZnO系化合物半導体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011096884A JP2011096884A (ja) | 2011-05-12 |
JP5237917B2 true JP5237917B2 (ja) | 2013-07-17 |
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ID=44113491
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009250116A Active JP5237917B2 (ja) | 2009-10-30 | 2009-10-30 | ZnO系化合物半導体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5237917B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103843146B (zh) * | 2011-09-29 | 2016-03-16 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件 |
WO2013047629A1 (en) | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
KR20140074384A (ko) | 2011-10-14 | 2014-06-17 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR20130046357A (ko) | 2011-10-27 | 2013-05-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
JP6082562B2 (ja) | 2011-10-27 | 2017-02-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP6017243B2 (ja) | 2012-09-26 | 2016-10-26 | スタンレー電気株式会社 | ZnO系半導体素子、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 |
JP5988041B2 (ja) * | 2013-02-14 | 2016-09-07 | 東京エレクトロン株式会社 | ZnO含有膜成長用の原料供給源、ZnO含有膜の製造装置、製造方法及びZnO含有膜を含む発光素子 |
WO2018052097A1 (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 株式会社Flosfia | 半導体膜の製造方法及び半導体膜並びにドーピング用錯化合物及びドーピング方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4212413B2 (ja) * | 2003-05-27 | 2009-01-21 | シャープ株式会社 | 酸化物半導体発光素子 |
JP4455890B2 (ja) * | 2004-01-06 | 2010-04-21 | スタンレー電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3945782B2 (ja) * | 2005-09-06 | 2007-07-18 | シチズン東北株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP5360789B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2013-12-04 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | p型酸化亜鉛薄膜及びその作製方法 |
JP2008243979A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Rohm Co Ltd | 酸化物薄膜形成方法 |
JP4953879B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2012-06-13 | スタンレー電気株式会社 | 半導体装置とその製造方法、及びテンプレート基板 |
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2009
- 2009-10-30 JP JP2009250116A patent/JP5237917B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011096884A (ja) | 2011-05-12 |
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A521 | Written amendment |
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