JP3945782B2 - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
半導体発光素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3945782B2 JP3945782B2 JP2005257781A JP2005257781A JP3945782B2 JP 3945782 B2 JP3945782 B2 JP 3945782B2 JP 2005257781 A JP2005257781 A JP 2005257781A JP 2005257781 A JP2005257781 A JP 2005257781A JP 3945782 B2 JP3945782 B2 JP 3945782B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor light
- single crystal
- light emitting
- emitting device
- crystal substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/28—Materials of the light emitting region containing only elements of group II and group VI of the periodic system
- H01L33/285—Materials of the light emitting region containing only elements of group II and group VI of the periodic system characterised by the doping materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/086—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/16—Oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/024—Group 12/16 materials
- H01L21/02403—Oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02433—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02551—Group 12/16 materials
- H01L21/02554—Oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02576—N-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02609—Crystal orientation
Description
ZnO単結晶基板を用いた半導体発光素子は、例えば次の特許文献1,2,3などに開示されており、またサファイヤ基板上ではあるが、窒素(N)を導入したZnO結晶の製造方法及びZnO系LEDの製造方法が特許文献4に開示されている。
そして、図10に示す例では、n形ZnO薄膜上に第二電極(n形オーミック電極)104を形成しており、図11に示す例では、ZnOバルク単結晶基板100の裏面側に第二電極(n形オーミック電極)104を形成している。
この発明はこのような背景に鑑みてなされたものであり、n形ZnOバルク単結晶基板上に高品質なZnOのp形層を確実に形成し、量産性に優れ、充分な発光出力が得られ、安価で環境性にも優れた半導体発光素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
それによって、上記n形ZnOバルク単結晶基板の抵抗率を0.5Ω・cm以下にするのが望ましい。
上記亜鉛原子を含む面は、n形ZnOバルク単結晶のc(0001)面(Zn面)、m(10−10)面、a(11−20)面のうちのいずれかであればよい。
その場合、上記n形ZnOバルク単結晶基板の面方位が、上記c(0001)面、m(10−10)面、a(11−20)面のうちのいずれかに対して、±1度以内にあっても結晶性の良い成膜が可能である。
上記p形層において、ドープされた窒素濃度が原子個数で2×1017/cm3〜1×1021/cm3であるとよい。
このように、この発明による半導体発光素子は、上記n形ZnOバルク単結晶基板上に、上記p形層を直接形成することができる。
上記p形層を形成する過程において、上記窒素と酸素の分圧比を1対0.5〜5にするとよい。
この発明による半導体発光素子の製造方法によれば、その半導体発光素子を効率よく製造することができる。
〔半導体発光素子の実施形態〕
図1はこの発明による半導体発光素子の一実施形態を示す模式的な断面図である。
この半導体発光素子1は、ドナー不純物のドーピングによって低抵抗化したn形ZnOバルク単結晶基板10上に、p形層11として窒素をドープしたZnO系化合物からなる半導体薄膜(p形窒素ドープZnO膜)が直接形成され、接合面(界面)15でpn接合されている。このp形層11は、n形ZnOバルク単結晶基板10上に、その格子情報に則って結晶成長するエピタキシャル成長で直接形成される。
そして、そのp形層11上に第一電極12としてp形オーミック電極を、n形ZnOバルク単結晶基板10の裏面に第二電極13としてn形オーミック電極をそれぞれ形成している。
これにより、直列抵抗分の増加を抑えることができるため、pn接合および発光についての特性を大幅に向上させることができた。
しかし、n形ZnOバルク単結晶基板10の面方位がc(0001)面、m(10−10)面、a(11−20)面に対して、それぞれ±1度以内にあれば、テラスと呼ばれる平らな部分が広くほとんど凹凸のない場合だけでなく、ステップを含む面が現れても、この程度の角度までは結晶性の良い成膜が可能である。
このようにすることによって、n形ZnOバルク単結晶基板10上に直接高品質なZnO系半導体薄膜によるp形層11を確実に形成することができる。
これまでバッファ層を必要とした理由に界面不純物がZnO単結晶基板上に存在する場合があり、それにともなう結晶欠陥や転位の厚さ方向への成長をバッファ層にて制御させる必要があった。しかし、この発明により、n形ZnOバルク単結晶基板上にp形層を形成するための前処理として、n形ZnOバルク単結晶基板10に平坦化のための熱処理を行う工程と、減圧容器内にて高真空中でn形ZnOバルク単結晶基板表面をクリーニングするための熱処理を行う工程と、窒素雰囲気中においてプラズマ処理を施し、n形ZnOバルク単結晶基板表面の平坦化とクリーニングを行う工程とを行うことによって、バッファ層を不要とし、かつ、窒素雰囲気中でのプラズマ処理においては、p形層11における窒素リッチ層11aを形成することができた。
図5に、この発明による半導体発光素子の製造方法に使用するZnO薄膜成長装置の一例として、プラズマアシスト付きの反応性蒸着法を用いた結晶成長装置(以下、「反応性蒸着装置」という)を示す。
反応性蒸着装置は、減圧容器であるベルジャ20と、酸素と窒素を導入するための図示しない気体供給装置と、ベルジャ20内を真空状態にするための真空ポンプを含む。このベルジャ20の壁面を貫通して、酸素と窒素を導入するための気体供給口21と、真空ポンプによって排気するための排気口22が設けられている。
ベルジャ20内は、図示しない真空ポンプにより薄膜形成時には真空状態に保たれる。ベルジャ20内での薄膜成長や真空度等については、図示しない制御パネルによって適宜制御される。また、プラズマ発生用コイル40に対しても同様に制御パネルによって出力等を適宜制御される。
まず、図示していないアニール用電気炉にn形ZnOバルク単結晶基板を入れて800〜1000℃にて2H(時間)加熱し、表面の平坦化処理を行う。この熱処理の温度が800℃より低いと平坦化が十分なされず、1000℃を超えるとZnやO原子が抜けて欠陥が発生してしまう。
プラズマ出力が100Wより小さいかまたは処理時間が5分より短いと処理の効果が減少してしまう。また、プラズマ出力が300Wより大きいかまたは処理時間が30分より長いと基板にダメージを与えてしまう。
プラズマ出力は50〜250Wの間で行う。プラズマ出力が50Wより低いと成膜できず、また250Wより高いと成膜レートが高くなりすぎて結晶性が著しく悪くなる。
このようにして、n形ZnOバルク単結晶基板10上へのp形層11の形成を、減圧容器であるベルジャ20内で固体金属元素源であるルツボ30から高純度の亜鉛を蒸発させ、その亜鉛に酸素と窒素とをn形ZnOバルク単結晶基板10上または蒸発した亜鉛がその基板10に達するまでの過程で反応させることによって、窒素をドープしたZnO系化合物からなる半導体薄膜をn形ZnOバルク単結晶基板10上に直接成膜して行う。
図7は、I−V(電流−電圧)特性を示す線図である。室温15〜20℃で測定した結果、良好な整流特性を得た。
図8は、フォトルミネッセンス(PL)スペクトルを示す線図である。横軸は光子エネルギー(eV)であり、1.24/eV(μm)が発光波長である。縦軸は発光強度(a.u.)である。a.u.は任意単位であり、発光強度の相対的な大きさを示す。測定条件は、堀場製作所製のPhotoluminor−Uを使用し、温度:4K、スリット幅:0.1mm、露光時間:600msec、励起光源:He−Cdレーザ(325nm、20mW)で測定した。
測定条件は、浜松フォトニクス社製のPHOTONIC MULTI−CHANNEL ANALYZERを使用し、温度:15〜20℃、露光時間:30sec、印加電圧:35Vで測定した。
11:p形層(p形窒素ドープZnO膜) 11a:窒素リッチ層
12:第一電極(p形オーミック電極) 13:第二電極(n形オーミック電極)
15:接合面(pn接合面/界面) 20:ベルジャ(減圧容器)
21:気体供給口 22:排気口 23:基板マスク 24:支持部材
25:基板加熱用のヒータ 26:温度センサ 30:ルツボ
31:ルツボ加熱用のヒータ 32:温度センサ 33:シャッタ
35,36:電極端子 40:プラズマ発生用コイル
Claims (14)
- ドナー不純物のドーピングによって低抵抗化したn形ZnOバルク単結晶基板上に、p形層として窒素をドープしたZnO系化合物からなる半導体薄膜が直接形成されてpn接合されていることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1に記載の半導体発光素子において、
前記n形ZnOバルク単結晶基板が、Al、Fe、Ga、B、Inのいずれかあるいはそれらの組み合わせによるドナー不純物を、原子の個数で1.0×1017/cm3以上ドーピングさせて低抵抗化されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1又は2に記載の半導体発光素子において、
前記n形ZnOバルク単結晶基板は、抵抗率が0.5Ω・cm以下であることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体発光素子において、
前記n形ZnOバルク単結晶基板の前記p形層が形成される面は、亜鉛原子を含む面であることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項4に記載の半導体発光素子において、
前記亜鉛原子を含む面は、c(0001)面、m(10−10)面、a(11−20)面のうちのいずれかであることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項5に記載の半導体発光素子において、
前記n形ZnOバルク単結晶基板の面方位が、前記c(0001)面、m(10−10)面、a(11−20)面のうちのいずれかに対して、±1度以内にあることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体発光素子において、
前記p形層には、前記n形ZnOバルク単結晶基板との接合面の近傍に、窒素濃度が該p形層の他の部分より高い窒素リッチ層が形成されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項7に記載の半導体発光素子において、
前記p形層において、ドープされた窒素濃度が原子の個数で2×1017/cm3〜1×1021/cm3であることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の半導体発光素子を製造する半導体発光素子の製造方法であって、
前記n形ZnOバルク単結晶基板上への前記p形層の形成を、減圧容器内で固体金属元素源から高純度の亜鉛を蒸発させ、その蒸発した亜鉛に酸素と窒素とを前記n形ZnOバルク単結晶基板上または該蒸発した亜鉛が該基板に達するまでの過程で反応させることによって、窒素をドープしたZnO系化合物からなる半導体薄膜を前記n形ZnOバルク単結晶基板上に直接成膜して行うことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 請求項9に記載の半導体発光素子の製造方法において、
前記p形層を形成するための前処理として、前記n形ZnOバルク単結晶基板に平坦化のための熱処理を800〜1000℃にて行う工程と、前記減圧容器内にて高真空中で前記n形ZnOバルク単結晶基板表面をクリーニングするための熱処理を500〜700℃にて行う工程と、窒素雰囲気中においてプラズマ処理を施し、前記n形ZnOバルク単結晶基板表面の平坦化とクリーニングを行う工程とを有することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 請求項9又は10に記載の半導体発光素子の製造方法において、
前記p形層を形成する過程において、前記窒素と酸素の分圧比を1対0.5〜5とすることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記p形層の形成を、プラズマアシスト付きの反応性蒸着法によって行う請求項9乃至11のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記p形層の形成を、有機金属気相成長(MOCVD)法によって行う請求項9乃至11のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記p形層の形成を、金属亜鉛元素源を用いる分子線エピタキシー成長(MBE)法によって行う請求項9乃至11のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005257781A JP3945782B2 (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
CNB2006800326141A CN100555687C (zh) | 2005-09-06 | 2006-09-05 | 半导体发光元件及其制造方法 |
US12/065,795 US7964868B2 (en) | 2005-09-06 | 2006-09-05 | Semiconductor light-emitting device and method of manufacturing the same |
PCT/JP2006/317569 WO2007029711A1 (ja) | 2005-09-06 | 2006-09-05 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
KR1020087006091A KR100984086B1 (ko) | 2005-09-06 | 2006-09-05 | 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법 |
TW095132814A TW200746454A (en) | 2005-09-06 | 2006-09-06 | Semiconductor light-emitting device and fabricating method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005257781A JP3945782B2 (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007032318A Division JP2007129271A (ja) | 2007-02-13 | 2007-02-13 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007073672A JP2007073672A (ja) | 2007-03-22 |
JP3945782B2 true JP3945782B2 (ja) | 2007-07-18 |
Family
ID=37835830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005257781A Expired - Fee Related JP3945782B2 (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7964868B2 (ja) |
JP (1) | JP3945782B2 (ja) |
KR (1) | KR100984086B1 (ja) |
CN (1) | CN100555687C (ja) |
TW (1) | TW200746454A (ja) |
WO (1) | WO2007029711A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008123545A1 (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-16 | Rohm Co., Ltd. | ZnO系薄膜 |
JP5025326B2 (ja) * | 2007-05-14 | 2012-09-12 | ローム株式会社 | 酸化物半導体受光素子 |
JP5019326B2 (ja) * | 2008-02-23 | 2012-09-05 | シチズンホールディングス株式会社 | MgaZn1−aO単結晶薄膜の作製方法 |
JP5392708B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2014-01-22 | 国立大学法人東京農工大学 | ヘテロエピタキシャル成長方法 |
DE102008039183A1 (de) * | 2008-08-20 | 2010-02-25 | Humboldt-Universität Zu Berlin | Verfahren zum Herstellen eines zinkoxidhaltigen Materials und ein Halbleiterbauelement mit einem zinkoxidhaltigen Material |
JP5682938B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2015-03-11 | シチズンホールディングス株式会社 | 半導体発光素子 |
JP5651298B2 (ja) * | 2008-10-24 | 2015-01-07 | シチズン時計マニュファクチャリング株式会社 | プラズマ援用反応性薄膜形成装置およびそれを用いた薄膜形成方法 |
JP2010100913A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Citizen Tohoku Kk | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
JP5638772B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2014-12-10 | スタンレー電気株式会社 | 酸化亜鉛系半導体の成長方法及び半導体発光素子の製造方法 |
JP5355221B2 (ja) | 2009-05-25 | 2013-11-27 | スタンレー電気株式会社 | 酸化亜鉛系半導体の成長方法及び半導体発光素子の製造方法 |
JP5589310B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2014-09-17 | 株式会社ニコン | 被膜形成物の製造方法 |
JP5237917B2 (ja) * | 2009-10-30 | 2013-07-17 | スタンレー電気株式会社 | ZnO系化合物半導体の製造方法 |
KR20130043063A (ko) | 2011-10-19 | 2013-04-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제작 방법 |
CN102676994B (zh) * | 2012-06-07 | 2014-07-16 | 上海硅酸盐研究所中试基地 | 具有内禀铁磁性的ZnO基稀磁半导体薄膜及其制备方法 |
CN104638019B (zh) * | 2015-02-02 | 2017-07-25 | 青岛大学 | 一种氧化锌纳米纤维同质p‑n结器件及其制备方法 |
KR102446411B1 (ko) | 2015-12-16 | 2022-09-22 | 삼성전자주식회사 | 멀티층 그래핀 및 그 형성방법과 멀티층 그래핀을 포함하는 소자 및 그 제조방법 |
TWI617047B (zh) * | 2017-06-30 | 2018-03-01 | 膠囊化基板、製造方法及具該基板的高能隙元件 | |
US11949043B2 (en) * | 2020-10-29 | 2024-04-02 | PlayNitride Display Co., Ltd. | Micro light-emitting diode |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20020084455A1 (en) * | 1999-03-30 | 2002-07-04 | Jeffery T. Cheung | Transparent and conductive zinc oxide film with low growth temperature |
JP4567910B2 (ja) | 2001-05-01 | 2010-10-27 | スタンレー電気株式会社 | 半導体結晶の成長方法 |
US6624441B2 (en) * | 2002-02-07 | 2003-09-23 | Eagle-Picher Technologies, Llc | Homoepitaxial layers of p-type zinc oxide and the fabrication thereof |
JP2003282434A (ja) | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Ngk Insulators Ltd | ZnO系エピタキシャル成長基板、ZnO系エピタキシャル下地基板、及びZnO系膜の製造方法 |
US6887736B2 (en) * | 2002-06-24 | 2005-05-03 | Cermet, Inc. | Method of forming a p-type group II-VI semiconductor crystal layer on a substrate |
JP4270885B2 (ja) * | 2003-01-09 | 2009-06-03 | シャープ株式会社 | 酸化物半導体発光素子 |
JP4252809B2 (ja) | 2003-01-15 | 2009-04-08 | スタンレー電気株式会社 | ZnO結晶の製造方法及びZnO系LEDの製造方法 |
JP2004247411A (ja) | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Sharp Corp | 半導体発光素子および製造方法 |
JP2004247681A (ja) | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Sharp Corp | 酸化物半導体発光素子 |
JP4045499B2 (ja) | 2003-03-27 | 2008-02-13 | 信越半導体株式会社 | ZnO系半導体素子の製造方法 |
CN100337336C (zh) * | 2003-12-05 | 2007-09-12 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种氧化锌同质结p-n结材料及其制备方法 |
JP4868709B2 (ja) * | 2004-03-09 | 2012-02-01 | 三洋電機株式会社 | 発光素子 |
-
2005
- 2005-09-06 JP JP2005257781A patent/JP3945782B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-09-05 KR KR1020087006091A patent/KR100984086B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-09-05 CN CNB2006800326141A patent/CN100555687C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-05 WO PCT/JP2006/317569 patent/WO2007029711A1/ja active Application Filing
- 2006-09-05 US US12/065,795 patent/US7964868B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-06 TW TW095132814A patent/TW200746454A/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200746454A (en) | 2007-12-16 |
CN100555687C (zh) | 2009-10-28 |
KR20080035694A (ko) | 2008-04-23 |
WO2007029711A1 (ja) | 2007-03-15 |
CN101258617A (zh) | 2008-09-03 |
US20090267063A1 (en) | 2009-10-29 |
TWI333698B (ja) | 2010-11-21 |
KR100984086B1 (ko) | 2010-09-30 |
US7964868B2 (en) | 2011-06-21 |
JP2007073672A (ja) | 2007-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3945782B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
KR100884883B1 (ko) | 아연산화물 반도체 및 이를 제조하기 위한 방법 | |
US8137458B2 (en) | Epitaxial growth of ZnO with controlled atmosphere | |
JP5072397B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子およびその製造方法 | |
US8154018B2 (en) | Semiconductor device, its manufacture method and template substrate | |
JP2016145144A (ja) | ダイヤモンド積層構造、ダイヤモンド半導体形成用基板、ダイヤモンド半導体装置およびダイヤモンド積層構造の製造方法 | |
JP2007129271A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JPH08264899A (ja) | 窒化ガリウム系半導体の製造方法 | |
JPH10290051A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
Cheng et al. | Fabrication of tunable n-Zn1-xCdxO/p-GaN heterojunction light-emitting diodes | |
JP5682938B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2000049378A (ja) | 発光素子用窒化物半導体及びその製造方法 | |
KR20070030507A (ko) | p형 산화아연(ZnO) 박막 제조방법 및 이를 이용한산화아연계 광전소자 제조방법 | |
JP2015154005A (ja) | 鉄シリサイド半導体、鉄シリサイド半導体薄膜の製造方法、並びに発光素子及び受光素子 | |
JP2000196146A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2012059874A (ja) | ZnO系半導体層の製造方法及びZnO系半導体発光素子の製造方法 | |
CN111128689B (zh) | 极性控制方法、氮化物薄膜制备方法和氮化物薄膜 | |
JP5076236B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2011091077A (ja) | ZnO系化合物半導体素子 | |
JPH0529653A (ja) | 半導体素子 | |
JP2008243979A (ja) | 酸化物薄膜形成方法 | |
JP6419472B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP5612521B2 (ja) | ZnO系半導体膜製造方法、及びZnO系半導体発光素子製造方法 | |
JP5727208B2 (ja) | ZnO系半導体層の製造方法及びZnO系半導体発光素子の製造方法 | |
JP5547989B2 (ja) | ZnO系半導体素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070327 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3945782 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100420 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130420 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140420 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |