JP2014041327A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4554665B2 (ja) * 2006-12-25 2010-09-29 富士フイルム株式会社 パターン形成方法、該パターン形成方法に用いられる多重現像用ポジ型レジスト組成物、該パターン形成方法に用いられるネガ現像用現像液及び該パターン形成方法に用いられるネガ現像用リンス液
JP5830493B2 (ja) * 2012-06-27 2015-12-09 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法及び半導体デバイスの製造方法
JP5850873B2 (ja) * 2012-07-27 2016-02-03 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、それを用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法
JP5873826B2 (ja) * 2012-07-27 2016-03-01 富士フイルム株式会社 パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法
KR101869312B1 (ko) * 2014-07-31 2018-06-20 후지필름 가부시키가이샤 패턴 형성 방법, 레지스트 패턴, 전자 디바이스의 제조 방법, 및 전자 디바이스
TWI561920B (en) * 2014-12-22 2016-12-11 Chi Mei Corp Photosensitive polysiloxane composition, protecting film, and element having the protecting film
KR102432661B1 (ko) * 2015-07-07 2022-08-17 삼성전자주식회사 극자외선용 포토레지스트 조성물 및 이를 이용하는 포토레지스트 패턴의 형성 방법
US9957339B2 (en) 2015-08-07 2018-05-01 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Copolymer and associated layered article, and device-forming method
US9815930B2 (en) * 2015-08-07 2017-11-14 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Block copolymer and associated photoresist composition and method of forming an electronic device
JP7000716B2 (ja) * 2016-09-02 2022-02-10 Jsr株式会社 組成物、硬化膜および有機el・液晶表示素子
JP6701363B2 (ja) 2016-09-29 2020-05-27 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法及び電子デバイスの製造方法
IL270030B2 (en) 2017-04-21 2023-12-01 Fujifilm Corp A photosensitive composition for EUV light, a method for patterning and a method for producing an electronic device
JPWO2019203140A1 (ja) 2018-04-20 2021-04-22 富士フイルム株式会社 Euv光用感光性組成物、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法
IL280627B2 (en) 2018-09-07 2025-10-01 Fujifilm Corp Radiation-sensitive or actinic ray-sensitive resin composition, durable layer, method for forming a pattern, and method for manufacturing an electronic device
JPWO2020105505A1 (ja) 2018-11-22 2021-10-21 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法
JP7471828B2 (ja) 2019-01-18 2024-04-22 住友化学株式会社 レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP7412186B2 (ja) 2019-01-18 2024-01-12 住友化学株式会社 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
WO2020158417A1 (ja) 2019-01-28 2020-08-06 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法
WO2020158313A1 (ja) 2019-01-28 2020-08-06 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法
EP3919980A4 (en) 2019-01-28 2022-03-30 FUJIFILM Corporation ACTIVE PHOTOSENSITIVE OR RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION, RESIST FILM, PATTERNING METHOD AND METHOD OF MAKING AN ELECTRONIC DEVICE
JPWO2020203073A1 (https=) 2019-03-29 2020-10-08
TWI836094B (zh) 2019-06-21 2024-03-21 日商富士軟片股份有限公司 感光化射線性或感放射線性樹脂組合物、光阻膜、圖案形成方法、電子裝置之製造方法
CN113993843A (zh) 2019-06-28 2022-01-28 富士胶片株式会社 感光化射线性或感放射线性树脂组合物、图案形成方法、抗蚀剂膜及电子器件的制造方法
KR102665652B1 (ko) 2019-06-28 2024-05-21 후지필름 가부시키가이샤 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물의 제조 방법, 패턴 형성 방법, 전자 디바이스의 제조 방법
WO2021095202A1 (ja) * 2019-11-14 2021-05-20 共栄社化学株式会社 熱硬化性樹脂組成物、硬化膜、複層塗膜の形成方法、エステル化合物、及び、重合体
CN114787717B (zh) 2019-12-09 2026-01-23 富士胶片株式会社 处理液、图案形成方法
WO2021199841A1 (ja) 2020-03-30 2021-10-07 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、レジスト膜、電子デバイスの製造方法
EP4130879A4 (en) 2020-03-31 2023-09-20 FUJIFILM Corporation METHOD FOR MANUFACTURING RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERNS
IL296306A (en) 2020-03-31 2022-11-01 Fujifilm Corp Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film, pattern forming method, and method for manufacturing electronic device
TWI772001B (zh) 2020-04-30 2022-07-21 台灣積體電路製造股份有限公司 樹脂、光阻組成物和半導體裝置的製造方法
US12085855B2 (en) * 2020-04-30 2024-09-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Resin, photoresist composition, and method of manufacturing semiconductor device
CN115769146A (zh) 2020-05-29 2023-03-07 富士胶片株式会社 感光化射线性或感放射线性树脂组合物、图案形成方法、抗蚀剂膜、电子器件的制造方法、化合物、化合物的制造方法
WO2021251083A1 (ja) 2020-06-10 2021-12-16 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法
CN115997167B (zh) 2020-06-10 2025-07-04 富士胶片株式会社 感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜
JP7637598B2 (ja) * 2020-09-03 2025-02-28 信越化学工業株式会社 ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
KR20250029997A (ko) 2021-01-22 2025-03-05 후지필름 가부시키가이샤 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법
CN116888168A (zh) 2021-03-31 2023-10-13 富士胶片株式会社 脱硫代羰基硫基化聚合物的制造方法
EP4317197A4 (en) 2021-03-31 2024-10-16 FUJIFILM Corporation PROCESS FOR PRODUCING POLYMERIZED POLYMER BY REVERSIBLE ADDITION CHAIN TRANSFER AND FRAGMENTATION
CN117136334A (zh) 2021-04-16 2023-11-28 富士胶片株式会社 感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法、电子器件的制造方法及化合物
JPWO2023026969A1 (https=) 2021-08-25 2023-03-02
CN118451368A (zh) 2021-12-10 2024-08-06 富士胶片株式会社 感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法
WO2023120250A1 (ja) 2021-12-23 2023-06-29 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び化合物
EP4481493A4 (en) 2022-02-16 2025-09-03 Fujifilm Corp ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE FILM, PATTERN FORMING METHOD, ELECTRONIC DEVICE PRODUCTION METHOD, AND COMPOUND
JPWO2023162565A1 (https=) 2022-02-25 2023-08-31
WO2024143131A1 (ja) 2022-12-27 2024-07-04 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及びオニウム塩
WO2024185543A1 (ja) 2023-03-07 2024-09-12 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法及び電子デバイスの製造方法
JPWO2024185674A1 (https=) 2023-03-07 2024-09-12
EP4682633A1 (en) 2023-03-16 2026-01-21 FUJIFILM Corporation Actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, resist film, pattern formation method, and electronic device manufacturing method

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08101507A (ja) 1994-09-30 1996-04-16 Japan Synthetic Rubber Co Ltd 感放射線性樹脂組成物
US6090526A (en) * 1996-09-13 2000-07-18 Shipley Company, L.L.C. Polymers and photoresist compositions
TWI289238B (en) * 2000-01-13 2007-11-01 Fujifilm Corp Negative resist compositions using for electronic irradiation
JP3844069B2 (ja) * 2002-07-04 2006-11-08 信越化学工業株式会社 レジスト材料及びパターン形成方法
JP4222850B2 (ja) * 2003-02-10 2009-02-12 Spansion Japan株式会社 感放射線性樹脂組成物、その製造法並びにそれを用いた半導体装置の製造方法
CN1980962A (zh) * 2003-03-10 2007-06-13 三井化学株式会社 酸感应性共聚物及其用途
KR20060068798A (ko) * 2004-12-17 2006-06-21 삼성전자주식회사 감광성 폴리머, 이를 포함하는 포토레지스트 조성물 및이를 이용한 포토레지스트 패턴 형성 방법
JP4719542B2 (ja) * 2005-09-21 2011-07-06 富士フイルム株式会社 ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
JP5557550B2 (ja) * 2009-02-20 2014-07-23 富士フイルム株式会社 電子線又はeuv光を用いた有機溶剤系現像又は多重現像パターン形成方法
CN102792227B (zh) * 2010-03-11 2014-11-12 富士胶片株式会社 正型感光性树脂组合物、固化膜的形成方法、固化膜、液晶显示装置、以及有机el显示装置
US8865389B2 (en) * 2010-09-28 2014-10-21 Fujifilm Corporation Actinic-ray- or radiation-sensitive resin composition, actinic-ray- or radiation-sensitive film therefrom and method of forming pattern
JP5292377B2 (ja) 2010-10-05 2013-09-18 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法
JP5445430B2 (ja) * 2010-11-15 2014-03-19 信越化学工業株式会社 パターン形成方法
JP5856991B2 (ja) * 2012-05-21 2016-02-10 富士フイルム株式会社 化学増幅型レジスト組成物、ネガ型化学増幅型レジスト組成物、それを用いたレジスト膜、レジスト塗布マスクブランクス、フォトマスクの製造方法及びパターン形成方法、並びに、電子デバイスの製造方法
JP5850873B2 (ja) * 2012-07-27 2016-02-03 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、それを用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法
JP5965855B2 (ja) * 2012-07-27 2016-08-10 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、それを用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法、並びに樹脂
JP5894953B2 (ja) * 2012-07-27 2016-03-30 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、それを用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法
JP5873826B2 (ja) * 2012-07-27 2016-03-01 富士フイルム株式会社 パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法

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