JP2014029940A - 光検出器、これを用いた撮像装置、及び光検出器の製造方法 - Google Patents
光検出器、これを用いた撮像装置、及び光検出器の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光検出器10は、不純物がドープされていない基板16と、基板16に対して垂直に延びる量子井戸層及び障壁層とを含む量子井戸構造15と、基板16に対して水平な方向から量子井戸構造15を挟み込む一対の電極層17a,17bと、を有する。
【選択図】図3
Description
不純物がドープされていない基板と、
前記基板に対して垂直に延びる量子井戸層と障壁層を含む量子井戸構造と、
前記基板に対して水平な方向から前記量子井戸構造を挟み込む一対の電極層と、
を有する。
(付記1)
不純物がドープされていない基板と、
前記基板に対して垂直に延びる量子井戸層と障壁層とを含む量子井戸構造と、
前記基板に対して水平な方向から前記量子井戸構造を挟み込む一対の電極層と、
を有することを特徴とする光検出器。
(付記2)
前記基板は、所定の結晶面から一定の方向に階段状に傾斜した傾斜基板であることを特徴とする付記1に記載の光検出器。
(付記3)
前記量子井戸構造は、前記量子井戸層と前記障壁層とが、前記基板と水平な方向に周期的に繰り返される多重量子井戸であり、
前記多重量子井戸の周期は、前記傾斜基板のテラス幅の1/n(nは自然数)倍であることを特徴とする付記2に記載の光検出器。
(付記4)
前記量子井戸構造の上部に、前記基板に対して水平に反射体が配置されていることを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載の光検出器。
(付記5)
前記反射体は、分布型反射器であることを特徴とする付記4に記載の光検出器。
(付記6)
前記量子井戸構造は、赤外帯域に吸収ピーク波長を有することを特徴とする付記1〜5のいずれかに記載の光検出器。
(付記7)
付記1〜6のいずれかに記載の光検出器がアレイ状に配置された撮像素子アレイと、前記撮像素子アレイに電気的に接続される回路基板と、
を有する撮像装置。
(付記8)
不純物がドープされていない基板上に、前記基板と垂直方向に伸びる量子井戸層と障壁層とが前記基板と水平な方向に周期的に繰り返される多重量子井戸層を形成し、
前記多重量子井戸層の所定の箇所に不純物を注入して、一定の周期数の多重量子井戸に隣接する一対の電極層を形成する、
工程を含むことを特徴とする光検出器の製造方法。
(付記9)
前記多重量子井戸層は、ステップフロー成長モードを利用して、分数層超格子構造を繰り返し形成することによって、前記基板と垂直方向に形成されることを特徴とする付記8に記載の光検出器の製造方法。
16 半導体基板
18 バッファ層
12、32 障壁層
13、33 量子井戸層
15、35 多重量子井戸(量子井戸構造)
17a、17b 電極層
22 下部障壁層
23 上部障壁層
45 撮像素子アレイ
50 撮像装置
51 回路基板
Claims (7)
- 不純物がドープされていない基板と、
前記基板に対して垂直に延びる量子井戸層と障壁層とを含む量子井戸構造と、
前記基板に対して水平な方向から前記量子井戸構造を挟み込む一対の電極層と、
を有することを特徴とする光検出器。 - 前記基板は、所定の結晶面から一定の方向に階段状に傾斜した傾斜基板であることを特徴とする請求項1に記載の光検出器。
- 前記量子井戸構造は、前記量子井戸層と前記障壁層が、前記基板と水平な方向に周期的に繰り返される多重量子井戸であり、
前記多重量子井戸の周期は、前記傾斜基板のテラス幅の1/n(nは自然数)倍であることを特徴とする請求項2に記載の光検出器。 - 前記量子井戸構造の上部に、前記基板に対して水平に反射体が配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光検出器。
をさらに有することを特徴とする前記基板に対して - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光検出器がアレイ状に配置された撮像素子アレイと、
前記撮像素子アレイに電気的に接続される回路基板と、
を有する撮像装置。 - 不純物がドープされていない基板上に、前記基板と垂直方向に伸びる量子井戸層と障壁層とが前記基板と水平な方向に周期的に繰り返される多重量子井戸層を形成し、
前記多重量子井戸層の所定の箇所に不純物を注入して、一定の周期数の多重量子井戸に隣接する一対の電極層を形成する、
工程を含むことを特徴とする光検出器の製造方法。 - 前記多重量子井戸層は、ステップフロー成長モードを利用して、分数層超格子構造を繰り返し形成することによって、前記基板と垂直方向に形成されることを特徴とする請求項5に記載の光検出器の製造方法。
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