JP2014019038A - 無機薄膜付き導電材用基板、透明電極付き基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明フィルム基板上に、下地層、透明誘電体層、透明導電膜層が順に積層された透明導電膜付き基板において、エッチング処理される透明導電膜層に直接接していない下地層であるSiOx(1.2<x<2.2)の表面自由エネルギーを60mN/m以上140mN/m以下、屈折率を1.45〜2.00にする。
【選択図】図1
Description
O2/ArがSiOy≧SiOxである。
本発明に係る透明電極付き基板は、タッチパネル用として用い、中でもパターンの見え難さの観点から静電容量式タッチパネルとして特に好ましく用いることができる。
透明フィルム基板1として125μmのPETフィルムを用い、透明フィルム基板の片面に6.5μmのハードコート層、他面に5.4μmのハードコート層を形成したハードコート付き基板を使用した。なお、ハードコート層はいずれもウレタン系樹脂からなり、屈折率は1.53であった。上記ハードコート透明フィルム基材1を装置内にセット後、圧力を0.1Pa以下にして、連続して以下の製膜を行った。
実施例1の上に以下の条件で透明導電膜層を製膜した。透明導電膜層は、インジウム錫複合酸化物(錫酸化物含量5重量%)をターゲットとして用い、基板温度を25℃、酸素/アルゴン比(1/100)混合ガス中、装置内圧力0.5Paにおいて電力2.2W/cm2でスパッタリングを行い、ITO層を形成した。得られたITO層の膜厚は24nm、屈折率は1.88であった。
透明フィルム基板1として125μmのPETフィルムを用い、透明フィルム基板の片面に6.5μmのハードコート層、他面に5.4μmのハードコート層を形成したハードコート付き基板を使用した。なお、ハードコート層はいずれもウレタン系樹脂からなり、屈折率は1.53であった。上記ハードコート層上に、SiOx、高屈折率層、低屈折率層、透明導電膜層を順次積層した。透明フィルム基材1を装置内にセット後、圧力を0.1Pa以下として、連続して以下の製膜を行った。透明フィルム基材1の表面温度が82℃となるように表面処理を行った後、連続して、SiOxはSiO1.5をターゲットとして用い、基板温度を25℃、アルゴン500sccmガス中、装置内圧力0.67Paにおいて2.0W/cm2の電力でスパッタリングを行い、SiOx層を形成した。得られたSiOx層の膜厚は10nm、屈折率は1.50であった。
実施例3の上に以下の条件で透明導電膜層を製膜した。透明導電膜層は、インジウム錫複合酸化物(錫酸化物含量5重量%)をターゲットとして用い、基板温度を25℃、酸素/アルゴン比(1/100)混合ガス中、装置内圧力0.5Paにおいて電力2.2W/cm2でスパッタリングを行い、ITO層を形成した。得られたITO層の膜厚は24nm、屈折率は1.88であった。
透明フィルム基板1として125μmのPETフィルムを用い、透明フィルム基板の片面に6.5μmのハードコート層、他面に5.4μmのハードコート層を形成したハードコート付き基板を使用した。なおハードコート層はいずれもウレタン系樹脂からなり、屈折率は1.53であった。上記ハードコート層上に、SiOx、高屈折率層、低屈折率層、透明導電膜層を順次積層した。透明フィルム基材1の表面温度が82℃となるように表面処を行った後、連続して、SiOxはSiCをターゲットとして用い、基板温度を25℃、酸素/アルゴン比(7/250)混合ガス中、において2.2W/cm2の電力を用い、単位巻取り速度あたりの膜厚でスパッタリングを行い、SiOx層を形成した。得られたSiOx層の膜厚は20nm、屈折率は1.48であった。
実施例3の上に以下の条件で透明導電膜層を製膜した。透明導電膜層は、インジウム錫複合酸化物(錫酸化物含量5重量%)をターゲットとして用い、基板温度を25℃、酸素/アルゴン比(1/100sccm)混合ガス中、装置内圧力0.5Paにおいて電力2.2W/cm2でスパッタリングを行い、ITO層を形成した。得られたITO層の膜厚は24nm、屈折率は1.88であった。
透明フィルム基板1として125μmのPETフィルムを用い、透明フィルム基板の片面に6.5μmのハードコート層、他面に5.4μmのハードコート層を形成したハードコート付き基板を使用した。なおハードコート層はいずれもウレタン系樹脂からなり、屈折率は1.53であった。上記ハードコート層上に、SiOx、高屈折率層、低屈折率層、透明導電膜層を順次積層した。まず、透明フィルム基材1の表面温度が85℃となるように非接触で表面処理を行った。
実施例7の上に以下の条件で透明導電膜層を製膜した。透明導電膜層は、インジウム錫複合酸化物(錫酸化物含量5重量%)をターゲットとして用い、基板温度を25℃、酸素/アルゴン比(1/100sccm)混合ガス中、装置内圧力0.35Paにおいて電力4.5W/cm2でスパッタリングを行い、ITO層を形成した。得られたITO層の膜厚は28nm、屈折率は1.88であった。
透明フィルム基板1として125μmのPETフィルムを用い、透明フィルム基板の片面に6.5μmのハードコート層、他面に5.4μmのハードコート層を形成したハードコート付き基板を使用した。なお、ハードコート層はいずれもウレタン系樹脂からなり、屈折率は1.53であった。上記ハードコート層上に、SiOx、高屈折率層、低屈折率層、透明導電膜層を順次積層した。まず、透明フィルム基材1の表面温度が90℃となるように非接触で表面処理を行った。
実施例7の上に以下の条件で透明導電膜層を製膜した。透明導電膜層は、インジウム錫複合酸化物(錫酸化物含量5重量%)をターゲットとして用い、基板温度を25℃、酸素/アルゴン比(1/100sccm)混合ガス中、装置内圧力0.35Paにおいて電力4.5W/cm2でスパッタリングを行い、ITO層を形成した。得られたITO層の膜厚は28nm、屈折率は1.88であった。パターニングは、透明導電膜層を形成後の透明電極をフォトリソグラフィにより形成した。
SiOx層の膜厚を35nmとした以外は、実施例9と同様に製膜を行った。このとき、表面自由エネルギーは68mN/mであり、150℃で1h熱処理を行ったあとに測定を行うと、65mN/mであった。また、Saが0.60nm、Sdsが6300(1/μm2)であった。
以下の比較例においては、下地層を形成する前の段階では非接触の加熱処理は行っていない。透明フィルム基板1として125μmのPETフィルムを用い、透明フィルム基板1の片面に6.5μmのハードコート層、他面に5.4μmのハードコート層を形成したハードコート付き基板を使用した。なおハードコート層はいずれもウレタン系樹脂からなり、屈折率は1.53であった。上記ハードコート層上に、SiOx、高屈折率層、低屈折率層、透明導電膜層を順次積層した。
比較例1に記載の無機薄膜の上に実施例1と同様の条件で透明導電膜層を製膜した。上記の無機薄膜を150℃で1時間熱処理した後、45℃の2%NaOHaqに2分に浸漬した。このとき発生するクラックが、JIS K 5600 8−4に記載の密度5とクラックが非常に多く発生した。
透明フィルム基板1として125μmのPETフィルムを用い、透明フィルム基板1の片面に6.5μmのハードコート層、他面に5.4μmのハードコート層を形成したハードコート付き基板を使用した。なおハードコート層はいずれもウレタン系樹脂からなり、屈折率は1.53であった。上記ハードコート層上に、SiOx、高屈折率層、低屈折率層、透明導電膜層を順次積層した。
比較例3に記載の無機薄膜の上に実施例1と同様の条件で透明導電膜層を製膜した。上記の無機薄膜を150℃で1時間熱処理した後、45℃の2%NaOHaqに2分に浸漬した。このとき発生するクラックが、JIS K 5600 8−4に記載の密度5とクラックが非常に多く発生した。
3 SiOx層
5 透明誘電体層
7 透明導電膜層
Claims (8)
- 透明フィルム基板の少なくとも一方の面上にSiOxと透明誘電体層が順に積層された無機薄膜付き導電材用基板において、
前記SiOx(1.2<x<2.2)は、屈折率が1.45〜2.00であり、前記透明誘電体層側の面における表面自由エネルギーが60mN/m以上140mN/m以下であることを特徴とする無機薄膜付き導電材用基板。 - 前記SiOxの平均粗さが0.3nm以上1.2nm以下、サミット密度が3000(1/μm2)以上9500(1/μm2)以下である請求項1に記載の無機薄膜付き導電材用基板。
- 前記SiOxの膜厚は1〜40nmである請求項1又は2に記載の無機薄膜付き導電材用基板。
- 請求項1から3のいずれかに記載された無機薄膜付き導電材用基板に透明導電膜層が積層され、上記透明導電膜層がウエットエッチングによりパターニングされることで構成される透明電極付き基板。
- 透明フィルム基板に下地層であるSiOxと透明誘電体層と透明導電膜層を順に積層し、上記透明導電膜層をウエットエッチングによりパターニングすることにより透明電極付き基板を製造する方法において、
前記SiOxは、前記透明フィルム基板をチャンバ内に導入し、前記チャンバ内の圧力を1×10-1Pa以下にして該透明電極付き基板の表面温度を70℃〜150℃になるように加熱部と非接触で加熱した後、スパッタリング法により形成することで、前記SiOxの前記透明誘電体層側の面における表面自由エネルギーを60mN/m以上140mN/m以下にしたことを特徴とする透明電極付き基板の製造方法。 - 前記SiOx層の製膜時の不活性ガスの分圧に対する分子量28の分圧の比が、5.0×10-4以下である請求項5に記載の透明電極付き基板の製造方法。
- 前記SiOx層の製膜時の圧力を0.2Pa以下にしておく請求項5又は6に記載の透明電極付き基板の製造方法。
- 前記透明誘電体層の少なくとも一層が酸化ケイ素を主成分とする層(以下SiOy層)であり、製膜時に導入されるO2とAr量の比であるO2/ArがSiOy≧SiOxである請求項5から7のいずれかに記載の透明電極付き基板の製造方法。
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