JP2014011188A - 半導体層の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】大面積で作製しても高い光電変換効率が得られる半導体層の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体層の製造方法は、第1主面およびその反対側の第2主面を有する基板1の第1主面上に金属元素を含む皮膜が配されている基体Aを準備する工程と、基体Aよりも外形の大きい第3主面を有する板状部材100の第3主面に、基体Aを第3主面の外周よりも内側に位置するように固定して、基体Aと板状部材100とから成る積層体AAを作製する工程と、積層体AAを加熱炉101内に配置する工程と、加熱炉101内にカルコゲン元素を供給しながら加熱して、皮膜を金属カルコゲナイドを含む半導体層にする工程とを具備する。
【選択図】図12
【解決手段】半導体層の製造方法は、第1主面およびその反対側の第2主面を有する基板1の第1主面上に金属元素を含む皮膜が配されている基体Aを準備する工程と、基体Aよりも外形の大きい第3主面を有する板状部材100の第3主面に、基体Aを第3主面の外周よりも内側に位置するように固定して、基体Aと板状部材100とから成る積層体AAを作製する工程と、積層体AAを加熱炉101内に配置する工程と、加熱炉101内にカルコゲン元素を供給しながら加熱して、皮膜を金属カルコゲナイドを含む半導体層にする工程とを具備する。
【選択図】図12
Description
本発明は、金属カルコゲナイドを含む半導体層の製造方法に関するものである。
太陽光発電等に使用される光電変換装置として、CISやCIGS等の金属カルコゲナイドを含む半導体層を光吸収層として用いたものがある。このような光電変換装置は、例えば特許文献1に記載されている。
このような金属カルコゲナイドを用いた光電変換装置は、複数の光電変換セルが平面的に並設された構成を有する。各光電変換セルは、ガラス等の基板の上に、金属電極等の下部電極と、光吸収層やバッファ層等からなる光電変換層と、透明電極や金属電極等の上部電極とが、この順に積層されて構成される。また、複数の光電変換セルは、隣り合う一方の光電変換セルの上部電極と他方の光電変換セルの下部電極とが接続導体によって電気的に接続されることで、電気的に直列に接続されている。
このような金属カルコゲナイドを含む半導体層は、下部電極上に金属を含む皮膜が形成され、この皮膜が、セレン等のカルコゲン元素を含む雰囲気で熱処理され、カルコゲン化されることによって形成される。
金属カルコゲナイドを含む半導体層は、量産性の向上のため、一辺が50cm以上の大面積で作製されることが要求される。しかしながら、大面積の皮膜を雰囲気ガスとの反応でカルコゲン化しようとすると、皮膜の全面を均一にカルコゲン化するのが困難である。そのため、光電変換効率を十分に高めることが困難である。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、大面積で作製しても高い光電変換効率が得られる半導体層の製造方法を提供する。
本発明の一実施形態に係る半導体層の製造方法は、第1主面およびその反対側の第2主面を有する基板の前記第1主面上に金属元素を含む皮膜が配されている基体を準備する工程と、前記基体よりも外形の大きい第3主面を有する板状部材の前記第3主面に、前記基体を前記第3主面の外周よりも内側に位置するように固定して、前記基体と前記板状部材とから成る積層体を作製する工程と、該積層体を加熱炉内に配置する工程と、該加熱炉内にカルコゲン元素を供給しながら加熱して、前記皮膜を金属カルコゲナイドを含む半導体層にする工程とを具備する。
本発明の上記実施形態によれば、半導体層を大面積で作製しても高い光電変換効率を得ることができる。
以下、本発明の一実施形態に係る半導体層の製造方法について、図面を参照しながら説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分については同一符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものであり、各図における各種構造のサイズおよび位置関係等は正確に図示されたものではない。
<(1)光電変換装置の構成>
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体層の製造方法を用いて作製した光電変換装置11の一例を示す斜視図である。図2は、図1の光電変換装置11のXZ断面図である。なお、図1から図16には、光電変換セル10の配列方向(図1の図面視左右方向)をX軸方向とする右手系のXYZ座標系が付されている。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体層の製造方法を用いて作製した光電変換装置11の一例を示す斜視図である。図2は、図1の光電変換装置11のXZ断面図である。なお、図1から図16には、光電変換セル10の配列方向(図1の図面視左右方向)をX軸方向とする右手系のXYZ座標系が付されている。
光電変換装置11は、基板1の第1主面(以下では、基板1の+Z側の主面を第1主面といい、反対側の−Z側の主面を第2主面という)上に複数の光電変換セル10が並設された構成を有している。図1では、図示の都合上、2つの光電変換セル10のみが示されているが、実際の光電変換装置11には、図面のX軸方向、或いは更に図面のY軸方向に、多数の光電変換セル10が平面的に(二次元的に)配列されている。
各光電変換セル10は、下部電極層2、第1の半導体層3、第2の半導体層4、上部電極層5、および集電電極7を主に備えている。光電変換装置11では、上部電極層5および集電電極7が設けられた側の主面が受光面となっている。また、光電変換装置11には、第1〜3溝部P1,P2,P3といった3種類の溝部が設けられている。
基板1は、複数の光電変換セル10を支持するものであり、例えば、ガラス、セラミックス、樹脂、または金属等の材料で構成されている。具体例として、例えば、基板1として、1〜3mm程度の厚さを有する青板ガラス(ソーダライムガラス)が挙げられる。
下部電極層2は、基板1の第1主面の上に設けられた導電層であり、例えば、モリブデン(Mo)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、または金(Au)等の金属、あるいはこれらの金属の積層構造体からなる。また、下部電極層2は、0
.2〜1μm程度の厚さを有し、例えば、スパッタリング法または蒸着法等の公知の薄膜形成方法によって形成される。
.2〜1μm程度の厚さを有し、例えば、スパッタリング法または蒸着法等の公知の薄膜形成方法によって形成される。
光吸収層としての第1の半導体層3は、下部電極層2の+Z側の主面(一主面とも言う)の上に設けられた、第1の導電型(ここではp型の導電型)を有する半導体層であり、1〜3μm程度の厚さを有している。そして、第1の半導体層3は、金属カルコゲナイドを主として含む半導体層である。金属カルコゲナイドとは、金属元素とカルコゲン元素との化合物である。また、カルコゲン元素とはVI−B族元素(16族元素ともいう)のうちのS、Se、Teをいう。金属カルコゲナイドとしては、I−B族元素(11族元素ともいう)とIII−B族元素(13族元素ともいう)とVI−B族元素との化合物であるI−III−VI族化合物、I−B族元素とII−B族元素(12族元素ともいう)とIV−B族元素(14族元素ともいう)とVI−B族元素との化合物であるI−II−IV−VI族化合物およびII−B族元素とVI−B族元素との化合物であるII−VI族化合物等が採用され得る。
I−III−VI族化合物としては、例えば、CuInSe2(二セレン化銅インジウム、
CISともいう)、Cu(In,Ga)Se2(二セレン化銅インジウム・ガリウム、CIGSともいう)、Cu(In,Ga)(Se,S)2(二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム、CIGSSともいう)が挙げられる。あるいは、第1の半導体層3は、薄膜の二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム層を表面層として有する二セレン化銅インジウム・ガリウム等の多元化合物半導体薄膜にて構成されていてもよい。
CISともいう)、Cu(In,Ga)Se2(二セレン化銅インジウム・ガリウム、CIGSともいう)、Cu(In,Ga)(Se,S)2(二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム、CIGSSともいう)が挙げられる。あるいは、第1の半導体層3は、薄膜の二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム層を表面層として有する二セレン化銅インジウム・ガリウム等の多元化合物半導体薄膜にて構成されていてもよい。
I−II−IV−VI族化合物としては、例えば、Cu2ZnSnS4(CZTSともいう)、Cu2ZnSn(S,Se)4(CZTSSeともいう)、およびCu2ZnSnSe4(CZTSeともいう)が挙げられる。また、II−VI族化合物としては、例えば、CdTe等が挙げられる。
第2の半導体層4は、第1の半導体層3の一主面の上に設けられた半導体層である。この第2の半導体層4は、第1の半導体層3の導電型とは異なる導電型(ここではn型の導電型)を有している。第1の半導体層3と第2の半導体層4との接合によって、第1の半導体層3で光電変換されて生じた正負キャリアが良好に電荷分離される。なお、導電型が異なる半導体とは、主要な伝導担体(キャリア)が異なる半導体のことである。また、上記のように第1の半導体層3の導電型がp型である場合、第2の半導体層4の導電型は、n型でなく、i型であっても良い。更に、第1の半導体層3の導電型がn型またはi型であり、第2の半導体層4の導電型がp型である態様も有り得る。
第2の半導体層4は、例えば、硫化カドミウム(CdS)、硫化インジウム(In2S3)、硫化亜鉛(ZnS)、酸化亜鉛(ZnO)、セレン化インジウム(In2Se3)、In(OH,S)、(Zn,In)(Se,OH)、および(Zn,Mg)O等の化合物半導体によって構成されている。そして、電流の損失が低減される観点から言えば、第2の半導体層4は、1Ω・cm以上の抵抗率を有するものとすることができる。なお、第2の半導体層4は、例えばケミカルバスデポジション(CBD)法等で形成される。
また、第2の半導体層4は、第1の半導体層3の一主面の法線方向に厚さを有する。この厚さは、例えば10〜200nmに設定される。
上部電極層5は、第2の半導体層4の上に設けられた、n型の導電型を有する透明導電膜であり、第1の半導体層3において生じた電荷を取り出す電極である。上部電極層5は、第2の半導体層4よりも低い抵抗率を有する物質によって構成されている。上部電極層5には、いわゆる窓層と呼ばれるものも含まれ、この窓層に加えて更に透明導電膜が設けられる場合には、これらが一体の上部電極層5とみなされても良い。
上部電極層5は、禁制帯幅が広く且つ透明で低抵抗の材料を主に含んでいる。このような材料としては、例えば、ZnO、In2O3およびSnO2等の金属酸化物半導体等が採用され得る。これらの金属酸化物半導体には、Al、B、Ga、In、FおよびSn等のうちの何れかの元素が含まれても良い。このような元素が含まれた金属酸化物半導体の具体例としては、例えば、AZO(Aluminum Zinc Oxide)、GZO(Gallium Zinc Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、ITO(Indium Tin Oxide)、FTO(Fluorine tin Oxide)等がある。
上部電極層5は、スパッタリング法、蒸着法、または化学的気相成長(CVD)法等によって、0.05〜3.0μmの厚さを有するように形成される。ここで、第1の半導体層3から電荷が良好に取り出される観点から言えば、上部電極層5は、1Ω・cm未満の抵抗率と、50Ω/□以下のシート抵抗とを有するものとすることができる。
第2の半導体層4および上部電極層5は、第1の半導体層3が吸収する光の波長領域に対して光を透過させ易い性質(光透過性とも言う)を有する素材によって構成され得る。これにより、第2の半導体層4と上部電極層5とが設けられることで生じる、第1の半導体層3における光の吸収効率の低下が低減される。
また、光透過性が高められると同時に、光反射のロスが防止される効果と光散乱効果とが高められ、更に光電変換によって生じた電流が良好に伝送される観点から言えば、上部電極層5は、0.05〜0.5μmの厚さとなるようにすることができる。更に、上部電極層5と第2の半導体層4との界面で光反射のロスが低減される観点から言えば、上部電極層5と第2の半導体層4との間で絶対屈折率が略同一となるようにすることができる。
集電電極7は、Y軸方向に離間して設けられ、それぞれがX軸方向に延在している。集電電極7は、導電性を有する電極であり、例えば、銀(Ag)等の金属からなる。
集電電極7は、第1の半導体層3において発生して上部電極層5において取り出された電荷を集電する役割を担う。集電電極7が設けられれば、上部電極層5の薄層化が可能となる。
集電電極7および上部電極層5によって集電された電荷は、第2溝部P2に設けられた接続導体6を通じて、隣の光電変換セル10に伝達される。接続導体6は、例えば、図2に示されるように集電電極7のY軸方向への延在部分によって構成されている。これにより、光電変換装置11においては、隣り合う光電変換セル10の一方の下部電極層2と、他方の集電電極7とが、第2溝部P2に設けられた接続導体6を介して電気的に直列に接続されている。なお、接続導体6は、これに限定されず、上部電極層5の延在部分によって構成されていてもよい。
集電電極5は、良好な導電性が確保されつつ、第1の半導体層3への光の入射量を左右する受光面積の低下が最小限にとどめられるように、50〜400μmの幅を有するものとすることができる。
<(2)光電変換装置の製造方法>
図3から図9は、光電変換装置11の製造途中の様子をそれぞれ模式的に示す断面図である。図3から図9で示される各断面図は、図2で示された断面に対応する部分の製造途中の様子を示す。なお、以下に示す光電変換装置11の製造工程において、第1の半導体層3の製造工程に、本発明の一実施形態に係る半導体層の製造方法を適用している。
図3から図9は、光電変換装置11の製造途中の様子をそれぞれ模式的に示す断面図である。図3から図9で示される各断面図は、図2で示された断面に対応する部分の製造途中の様子を示す。なお、以下に示す光電変換装置11の製造工程において、第1の半導体層3の製造工程に、本発明の一実施形態に係る半導体層の製造方法を適用している。
まず、図3で示されるように、洗浄された基板1の第1主面の略全面に、スパッタリング法等を用いて、Mo等からなる下部電極層2を成膜する。そして、下部電極層2の上面のうちのY方向に沿った直線状の形成対象位置からその直下の基板1の上面にかけて、第1溝部P1を形成する。第1溝部P1は、例えば、YAGレーザー等によるレーザー光を走査しつつ形成対象位置に照射することで溝加工を行なう、スクライブ加工によって形成することができる。図4は、第1溝部P1を形成した後の状態を示す図である。
第1溝部P1を形成した後、下部電極層2の上に、金属元素を含む皮膜3aを作製する。皮膜3aは、例えば、第1の半導体層3に含まれる金属カルコゲナイドがI−III−VI
族化合物であれば、Cu元素等のI−B族元素、およびIn元素やGa元素等のIII−B
族元素を含んでいればよい。また、第1の半導体層3に含まれる金属カルコゲナイドがI−II−IV−VI族化合物であれば、皮膜3aは、Cu等のI−B族元素、Zn等のII−B族元素、およびSn等のIV−B族元素を含んでいればよい。また、第1の半導体層3に含まれる金属カルコゲナイドがII−VI族化合物であれば、皮膜3aは、Cd等のII−B族元素を含んでいればよい。
族化合物であれば、Cu元素等のI−B族元素、およびIn元素やGa元素等のIII−B
族元素を含んでいればよい。また、第1の半導体層3に含まれる金属カルコゲナイドがI−II−IV−VI族化合物であれば、皮膜3aは、Cu等のI−B族元素、Zn等のII−B族元素、およびSn等のIV−B族元素を含んでいればよい。また、第1の半導体層3に含まれる金属カルコゲナイドがII−VI族化合物であれば、皮膜3aは、Cd等のII−B族元素を含んでいればよい。
皮膜3aの作製方法は特に限定されず、種々の方法を用いることができる。例えば、スパッタリング法や蒸着法等の薄膜形成方法を用いて作製してもよい。他の方法としては、例えば、後述する原料溶液を用いて、いわゆる塗布法または印刷法と称されるプロセスによって作製してもよい。なお、皮膜3aは複数層からなっていてもよい。図5は、皮膜3aを形成した後の状態を示す図である。以下では、この第1主面上に皮膜3aが配されている基板1を、基体Aという。
皮膜3aを塗布法または印刷法と称されるプロセスによって作製する場合に用いる原料溶液としては、例えば、金属元素に有機化合物が結合した有機錯体を有機溶媒等に溶解したものを用いることができる。なお、有機錯体とは、有機化合物が金属元素に配位結合またはイオン結合したものを含んでおり、有機酸と金属元素との塩も有機錯体に含まれるものとする。
なお、上記原料溶液にはカルコゲン元素を含んでいてもよい。原料溶液にカルコゲン元素を含んでいると、金属元素のカルコゲン化を良好に行なうことができ、金属カルコゲナイドを良好に形成することができる。原料溶液に含まれるカルコゲン元素としては、金属元素に配位した有機カルコゲン化合物であってもよい。有機カルコゲン化合物とは、カルコゲン元素を含む有機化合物であり、炭素元素とカルコゲン元素との共有結合を有する有機化合物である。有機カルコゲン化合物としては、例えば、チオールやスルフィド、ジスルフィド、セレノール、セレニド、ジセレニド、テルロール、テルリド、ジテルリド等がある。金属元素に有機カルコゲン化合物が配位した有機錯体を用いて皮膜3aを作製した場合、皮膜3aの内部からも金属元素とカルコゲン元素との反応が良好に進行し、光電変換効率の高い良好な第1の半導体層3を得ることができる。
次に図10の斜視図および図11の断面図に示すように、板状部材100の第3の主面(以下では、板状部材100の+Z側の主面を第3の主面といい、反対側の−Z側の主面を第4の主面という)上に基体Aを、皮膜3aが板状部材100とは反対側に位置するように固定して基体Aと板状部材100とが積層された積層体AAを作製する。板状部材100の第3主面は、基体Aよりも外形が大きく、−Z方向に平面視して、基体Aの外周を、板状部材100の外周よりも内側に位置するようにする。
そして、図12に示すように、積層体AAを加熱炉101内に配置し、加熱炉101内にカルコゲン元素を含む雰囲気ガスG1を供給しながら皮膜3aを加熱して、皮膜3aを金属カルコゲナイドを含む第1の半導体層3にする。このような方法により、加熱炉10
1内のカルコゲン元素を含む雰囲気ガスG2(図12の加熱炉101内に示す点線矢印が雰囲気ガスG2の流れを示している)を、基体Aの+Z側の主面全体に均一に流すことができる。つまり、板状部材100を用いずに基体Aのみを加熱炉101内に配置する場合、雰囲気ガスG2の流れは基体Aの端部で乱れやすくなり、皮膜3aの全面において均一にカルコゲン化を行なうことが困難である。一方、上記のように板状部材100を用いた場合、板状部材100の端部が基体Aの外周より外側に位置するため、雰囲気ガスG2の流れが乱れやすくなる部位を皮膜3aの端部よりも外側に遠ざけることができる。その結果、皮膜3aの全面においてより均一にカルコゲン化を行なうことができ、生成する第1の半導体層3の光電変換効率を高めることができる。
1内のカルコゲン元素を含む雰囲気ガスG2(図12の加熱炉101内に示す点線矢印が雰囲気ガスG2の流れを示している)を、基体Aの+Z側の主面全体に均一に流すことができる。つまり、板状部材100を用いずに基体Aのみを加熱炉101内に配置する場合、雰囲気ガスG2の流れは基体Aの端部で乱れやすくなり、皮膜3aの全面において均一にカルコゲン化を行なうことが困難である。一方、上記のように板状部材100を用いた場合、板状部材100の端部が基体Aの外周より外側に位置するため、雰囲気ガスG2の流れが乱れやすくなる部位を皮膜3aの端部よりも外側に遠ざけることができる。その結果、皮膜3aの全面においてより均一にカルコゲン化を行なうことができ、生成する第1の半導体層3の光電変換効率を高めることができる。
板状部材100としては、皮膜3aの熱処理の温度に耐える材料であればよく、例えば、アルミニウムやステンレス、42アロイ等の金属や、セラミックス等が挙げられる。板状部材100の厚みは、1〜10mmであればよい。
基体Aと板状部材100との固定方法としては、特に限定されない。例えば、ネジや板ばね、テープ、粘着剤等を用いた固定方法等がある。
基体Aと板状部材100との積層体AAを−Z方向に平面視したときに、基体Aの外周とそれに対応する板状部材100の外周との距離は、例えば10〜300mmであればよい。−Z方向に平面視したときの基体Aおよび板状部材100が長方形状の場合、板状部材100の4辺は、すべて基体Aの4辺よりも外側にあると、より均一な金属カルコゲナイドを形成しやすくなるが、4辺のうち少なくとも1辺において、板状部材100の辺が基体Aの辺よりも外側に位置する関係になっていてもよい。
上記積層体AAの加熱炉101内での配置の方向としては特に限定されず、図12の−Z方向が重力方向であってもよく、+Z方向が重力方向であってもよい。また、+X方向あるいは−X方向が重力方向となるようにしてもよい。
また、上記積層体AAは、板状部材100の第4主面(基体Aが配置されている第3主面とは反対側の主面)と加熱炉101の内壁101aとの間に間隔をあけて加熱炉101内に配置した場合、雰囲気ガスG2の内壁101aからの跳ね返りによって生じる気流の乱れの影響を受けにくくすることができ、皮膜3aの上方を流れる雰囲気ガスG2の流れをより均一にすることができる。このような積層体AAの配置方法としては、金属製等のラックに積層体AAを固定する等の方法がある。
また、量産性を高めるため、図12に示すように、複数枚の上記積層体AAを加熱炉101内に配置して、これらを同時に加熱してもよい。この場合、複数枚の積層体AAを、積層体AAの積層方向に互いに間隔をあけて加熱炉101内に配置してもよい。これにより、複数枚の積層体AAの各皮膜3aの上方を流れる雰囲気ガスG2の流れを均一にして、生成する複数の第1の半導体層3における特性ばらつきを少なくすることができる。
また、複数枚の積層体AAを上記のように積層体AAの積層方向に互いに間隔をあけ加熱炉101内に配置する場合、図12に示すように、積層方向に隣接する積層体AAのうち、一方の積層体AAの皮膜3aの主面と他方の積層体AAの第4主面とを対向させるようにしてもよい。これにより、複数の積層体AAにおける各皮膜3aのカルコゲン化の条件差をより小さくすることができ、生成する複数の第1の半導体層3における特性ばらつきをより少なくすることができる。
また、複数枚の積層体AAを、積層体AAの積層方向に互いに間隔をあけ加熱炉101内に配置する場合、積層方向に隣接する積層体AAのうち、一方の積層体AAの皮膜3a
の主面と他方の積層体の皮膜3aの主面とを対向させるようにしてもよい。これにより、複数の積層体AAにおける各皮膜3aのカルコゲン化の条件差をより小さくすることができるとともに、隣接する積層体AA同士の間隔のうち、第4主面同士が対向している間隔を近づけることによって加熱炉101内により多くの積層体AAを配置することができる。その結果、量産性をより向上できる。
の主面と他方の積層体の皮膜3aの主面とを対向させるようにしてもよい。これにより、複数の積層体AAにおける各皮膜3aのカルコゲン化の条件差をより小さくすることができるとともに、隣接する積層体AA同士の間隔のうち、第4主面同士が対向している間隔を近づけることによって加熱炉101内により多くの積層体AAを配置することができる。その結果、量産性をより向上できる。
加熱炉101は、内部に空洞を有し、この空洞内にカルコゲン元素を含む雰囲気ガスG1を注入する注入口102と、空洞内から雰囲気ガスG3を排出する排出口103とを具備している。また、加熱炉101はファン等の送風機104を具備しており、送風機104によって、空洞内に注入された雰囲気ガスG2が流動し、排出口103から空洞外へ排出される。また、加熱炉101は空洞内に配置した積層体AAを加熱するためのヒーター等の加熱手段(図示せず)を具備している。なお、図12において、注入口102は加熱炉101の−X側に設けられており、排出口103は+X側に設けられているが、これに限定されない。例えば、排出口103が+Y側や−Y側に設けられていてもよく、注入口102と同じ−X側に設けられていてもよい。
次にこの注入口102から、カルコゲン元素を含む雰囲気ガスG1を加熱炉101内に供給しながら、皮膜3aを加熱して、皮膜3aを、金属カルコゲナイドを含む第1の半導体層3にする。なお、カルコゲン元素を含む雰囲気とは、カルコゲン元素を、H2SやH2Se、H2Te等のカルコゲン化合物、または、硫黄蒸気やセレン蒸気、テルル蒸気等のカルコゲン単体の蒸気として具備する雰囲気である。この雰囲気には、窒素などの不活性ガスまたは水素等の還元性ガスを含めてもよい。
皮膜3aの加熱条件は、金属元素を金属カルコゲナイドの多結晶にすることのできる条件であればよく、例えば、皮膜3aの加熱温度が350〜650℃であり、皮膜3aの加熱時間が0.5〜5時間である。図6は、第1の半導体層3を形成した後の状態を示す図である。
第1の半導体層3を形成した後、第1の半導体層3の上に、第2の半導体層4および上部電極層5を順に形成する。
第2の半導体層4は、溶液成長法(CBD法とも言う)によって形成することができる。例えば、酢酸カドミウムとチオ尿素とをアンモニア水に溶解し、これに第1の半導体層3の形成まで行なった基板1を浸漬することで、第1の半導体層3の上にCdSを含む第2の半導体層4を形成することができる。
上部電極層5は、例えば、Snが含まれた酸化インジウム(ITO)等を主成分とする透明導電膜であり、スパッタリング法、蒸着法、またはCVD法等で形成することができる。図7は、第2の半導体層4および上部電極層5を形成した後の状態を示す図である。
上部電極層5が形成された後、上部電極層5の上面のうちのY方向に沿った直線状の形成対象位置からその直下の下部電極層2の上面にかけて、第2溝部P2を形成する。第2溝部P2は、例えば、40〜50μm程度のスクライブ幅のスクライブ針を用いたスクライビングを行なうことで形成できる。図8は、第2溝部P2を形成した後の状態を示す図である。第2溝部P2は、第1溝部P1よりも若干X方向(図中では+X方向)にずれた位置に形成する。
第2溝部P2を形成した後、集電電極7および接続導体6を形成する。集電電極7および接続導体6については、例えば、Ag等の金属粉が樹脂バインダー等に分散している導電性を有するペースト(導電ペーストとも言う)を、所望のパターンを描くように印刷し
、これを固化されることで形成できる。図9は、集電電極7および接続導体6を形成した後の状態を示す図である。
、これを固化されることで形成できる。図9は、集電電極7および接続導体6を形成した後の状態を示す図である。
集電電極7および接続導体6を形成した後、上部電極層5の上面のうちの直線状の形成対象位置からその直下の下部電極層2の上面にかけて、第3溝部P3を形成する。第3溝部P3の幅は、例えば、40〜1000μm程度とすることができる。また、第3溝部P3は、第2溝部P2と同様に、メカニカルスクライビングによって形成できる。このようにして、第3溝部P3の形成によって、図1および図2で示された光電変換装置11を製作したことになる。
<(3)光電変換装置の製造方法の他の例>
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
例えば、上記板状部材100に代えて、図13および図14に示すように、第3主面(基体Aが配置されている側の主面)に基体Aを収容するための凹部200aを有する板状部材200を用いてもよい。この凹部200a内に基体Aを嵌め込むことによって、積層体BBとする。これにより、積層体BBの上方を流れる雰囲気ガスG2の流れを、よりスムーズな流れにすることができ、皮膜3aのカルコゲン化をより均一に行なうことができる。
さらに、図14に示すように、この凹部200aの深さを、基体Aの厚さと同じにしてもよい。すなわち、凹部200aの周囲に位置する板状部材200の第3主面と皮膜3aの主面とが同一平面上に位置するようにしてもよい。これにより、積層体BBの上方を流れる雰囲気ガスG2の流れを、さらにスムーズにすることができる。
また、上記板状部材100に代えて、図15に示すような、第3主面(基体Aが配置されている側の主面)の外周部X1が外周に向かうにつれて第4主面(第3主面とは反対側の主面)側に傾斜した板状部材300を用いて、積層体CCを作製してもよい。また、上記板状部材200に代えて、図16に示すような、第3主面の外周部X2が外周に向かうにつれて第4主面側に傾斜した板状部材400を用いて、積層体DDを作製してもよい。これらの構成により、雰囲気ガスG2の流れに対する、板状部材300、400の側面での抵抗を低減でき、積層体CC、DDの上方を流れる雰囲気ガスG2の流れを、よりスムーズな流れにして、皮膜3aのカルコゲン化をより均一に行なうことができる。
また、板状部材300および板状部材400は、図15に示すように、第4主面の外周部Y1が外周に向かうにつれて第3主面側に傾斜していてもよい。この場合も、雰囲気ガスG2の流れに対する、板状部材300、400の側面での抵抗を低減でき、積層体CC、DDの上方を流れる雰囲気ガスG2の流れを、よりスムーズな流れにして、皮膜3aのカルコゲン化をより均一に行なうことができる。なお、図15では、傾斜した外周部X1と傾斜した外周部Y1をともに有する例を示しているが、どちらか一方だけを有していてもよい。
1:基板
2:下部電極層
3:第1の半導体層
3a:皮膜
4:第2の半導体層
5:上部電極層
6:接続導体
7:集電電極
10:光電変換セル
11:光電変換装置
100、200、300、400:板状部材
200a、400a:凹部
A:基体
AA、BB、CC、DD:積層体
2:下部電極層
3:第1の半導体層
3a:皮膜
4:第2の半導体層
5:上部電極層
6:接続導体
7:集電電極
10:光電変換セル
11:光電変換装置
100、200、300、400:板状部材
200a、400a:凹部
A:基体
AA、BB、CC、DD:積層体
Claims (9)
- 第1主面およびその反対側の第2主面を有する基板の前記第1主面上に金属元素を含む皮膜が配されている基体を準備する工程と、
前記基体よりも外形の大きい第3主面を有する板状部材の前記第3主面に、前記基体を前記第3主面の外周よりも内側に位置するように固定して、前記基体と前記板状部材とから成る積層体を作製する工程と、
該積層体を加熱炉内に配置する工程と、
該加熱炉内にカルコゲン元素を供給しながら加熱して、前記皮膜を金属カルコゲナイドを含む半導体層にする工程と
を具備する半導体層の製造方法。 - 前記板状部材の前記第3主面とは反対側の第4主面と前記加熱炉の内壁との間に間隔をあけて前記積層体を前記加熱炉内に配置する、請求項1に記載の半導体層の製造方法。
- 複数枚の前記積層体を、該積層体の積層方向に互いに間隔をあけて前記加熱炉内に配置する、請求項1または2に記載の半導体層の製造方法。
- 積層方向に隣接する前記積層体のうち、一方の前記積層体の皮膜の主面と他方の前記積層体の前記第4主面とを対向させる、請求項3に記載の半導体層の製造方法。
- 積層方向に隣接する前記積層体のうち、一方の前記積層体の皮膜の主面と他方の前記積層体の皮膜の主面とを対向させる、請求項3に記載の半導体層の製造方法。
- 前記板状部材として前記第3主面に凹部を有するものを用い、該凹部内に前記基体を嵌め込む、請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体層の製造方法。
- 前記凹部の深さを前記基体の厚さと同じにする、請求項6に記載の半導体層の製造方法。
- 前記板状部材として前記第3主面の外周部が外周に向かうにつれて前記第4主面側に傾斜したものを用いる、請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体層の製造方法。
- 前記板状部材として前記第4主面の外周部が外周に向かうにつれて前記第5主面側に傾斜したものを用いる、請求項1乃至8のいずれかに記載の半導体層の製造方法。
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JP2012144601A JP2014011188A (ja) | 2012-06-27 | 2012-06-27 | 半導体層の製造方法 |
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JP (1) | JP2014011188A (ja) |
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- 2012-06-27 JP JP2012144601A patent/JP2014011188A/ja active Pending
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