JP5665712B2 - 光電変換装置 - Google Patents
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Description
<(1−1)光電変換装置の概略構成>
光電変換装置100は、図1または図2に示すように、基板1と、該基板1の一主面上に平面的に並べられた複数の光電変換セル10とを備えている。隣り合う光電変換セル10は溝部P3によって分離されている。すなわち、光電変換装置100では、所定の配列方向(本実施形態では+X方向)に沿って、溝部P3を介して複数の光電変換セル10が基板1の一主面上に配列されている。図1では、図示の都合上、溝部P1が上面透視されており、点線で示されている。また、図1では、3つの光電変換セル10の一部のみが示されている。但し、光電変換装置100には、図面の左右方向に、多数(例えば、8個)の光電変換セル10が平面的に(二次元的に)配列されていても良い。そして、例えば、光電変換装置100のX軸方向の両端部に、発電による電圧および電流を得るための電極が設けられ得る。なお、光電変換装置100には、例えば、多数の光電変換セル10がマトリックス状に配置されていても良い。
各光電変換セル10は、電極層としての下部電極2、光電変換層3、上部電極層4および線状導電部5を備えている。また、各光電変換セル10には、溝部P1および溝部P2が設けられている。そして、光電変換装置100では、線状導電部5が設けられた側の主面が受光面となっている。
半導体である。また、光吸収層31の導電型がn型であり、バッファ層32の導電型がp型であっても良い。ここでは、光吸収層31とバッファ層32との間にヘテロ接合領域が形成されている。このため、光電変換セル10では、ヘテロ接合領域を形成する光吸収層31とバッファ層32とにおいて光電変換が生じ得る。
10から延伸されている下部電極層2に接続する。
溝部P1は、Y軸方向に直線状に延在している。1以上の該溝部P1が配されていることで、複数の電極層2がX軸方向に分離されている。すなわち、溝部P1は、隣り合う電極層間に設けられた間隙に相当する。図2では、2つの電極層2が示されている。溝部P1には、直上に配された光吸収層31の延在部分が埋入している。すなわち、光吸収層31は、電極層間に位置する間隙(溝部P1)を覆うように配置されている。これにより、隣り合う光電変換セル10において、一方の光電変換セル10の下部電極層2と、他方の光電変換セル10の下部電極層2とが電気的に分離されている。溝部P1の幅は、例えば、40〜400μm以下程度であれば良い。
余の領域とがある。そして、この残余の領域が、発電に寄与する領域(発電寄与領域とも言う)となる。
下部電極層2は、図3で示されるように、複数の結晶粒2pを有している。この隣接する結晶粒2pの間には、粒界が存在している。複数の結晶粒2pは、下部電極層2の厚み方向(+Z方向)に連なっている。
ここで、上記構成を有する光電変換装置100の製造プロセスの一例について説明する。図4は、光電変換装置100の製造フローを例示するフローチャートである。以下では、I−III−VI族化合物半導体を主に含む光吸収層31が塗布法あるいは印刷法が用いられて形成され、さらにバッファ層32が形成される場合を例として説明する。
ライビングなどによって形成され得る。
<(3)変形例>
なお、本発明は上記一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
位置1Bを通過するときの速度を、基板の位置1Aおよび位置1Cを通過するときの速度の2倍以上に設定すれば良い。これにより、1つの結晶粒2pが屈曲されやすい。
2:下部電極層(電極層)
2p:結晶粒
2c:湾曲部
2g:結晶粒群
3:光電変換層
31:光吸収層
32:バッファ層
4:上部電極層
5:線状導電部
5a:集電部
5b:連結部
5c:垂下部
10:光電変換セル
12:結晶粒
21:ロードロック室
22:成膜室
23:アンロードロック室
24a〜24c:搬送機構
25a〜25d:ゲートバルブ
26a〜26c:供給ライン
27a〜27c:真空ポンプ
28:ヒーター
29:スパッタリングターゲット
30:DC電源
P1、P2、P3:溝部
100:光電変換装置
200:スパッタリング装置
Claims (4)
- 基板と、
該基板上に設けられた電極層と、
該電極層上に設けられた光電変換層とを備え、
前記電極層は、屈曲部を有している複数の結晶粒からなり、該結晶粒が前記電極層の厚み方向に連なって湾曲部を有するように配列されている、光電変換装置。 - 前記結晶粒の配列は、前記湾曲部を複数有しており、これら湾曲部が同じ方向に湾曲している、請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記電極層は、複数の層で構成されており、これら層のそれぞれにおいて前記湾曲部を有している、請求項1または請求項2に記載の光電変換装置。
- 前記電極層は、モリブデンからなる、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光電変換装置。
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JP2011212525A JP5665712B2 (ja) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | 光電変換装置 |
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JP2011212525A Active JP5665712B2 (ja) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | 光電変換装置 |
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