JP2014006052A - 薄膜抵抗体温度センサとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板10上に白金薄膜により形成された抵抗体12と、抵抗体12を被覆した結晶化ガラスから成るバリア層20を備える。バリア層20を覆った保護膜22と、抵抗体12の両端の接続端部12aに積層された電極パッド16を有する。バリア層20は、Al2O3が35質量%以上、SiO2が10質量%以上25質量%以下であって、Al2O3がCaO又はSrOよりも多い配合割合で存在する結晶化ガラスより成る。バリア層20は、抵抗体12と電極パッド16の抵抗体12側の一部を覆うように積層されている。
【選択図】図1
Description
12 抵抗体
14 絶縁基板
16 電極パッド
18 リード端子
20 バリア層
22 保護膜
Claims (9)
- 絶縁基板上に白金薄膜により形成された抵抗体と、この抵抗体を被覆した結晶化ガラスから成るバリア層と、前記バリア層を覆った保護膜と、前記抵抗体の両端の接続端部に積層された電極パッドとを備え、前記バリア層は、Al2O3が35質量%以上、SiO2が10質量%以上25質量%以下であって、Al2O3がCaO又はSrOよりも多い配合割合で存在する結晶化ガラスより成ることを特徴とする薄膜抵抗体温度センサ。
- 前記バリア層は、前記抵抗体と前記電極パッドの前記抵抗体側の一部を覆うように積層されている請求項1記載の薄膜抵抗体温度センサ。
- 前記バリア層は、Al2O3−ZnO−SiO2−CaO−BaOの各酸化物、又はAl2O3−ZnO−SiO2−SrO−BaOの各酸化物から成る材料である請求項1又は2記載の薄膜抵抗体温度センサ。
- 前記バリア層は、CaAl2O4若しくはSrAl2O4のスピネル構造酸化物、又はCaAl2O4とSrAl2O4のスピネル構造酸化物を含む請求項3記載の薄膜抵抗体温度センサ。
- 前記保護膜は、Si−Ba−Al−Zr系(質量割合50:20:10:10:他)のガラスセラミックスから成り、前記バリア層及び前記電極パッドとリード端子を覆っている請求項1記載の薄膜抵抗体温度センサ。
- 絶縁基板上に白金薄膜により抵抗体を形成し、この抵抗体を、Al2O3が35質量%以上、SiO2が10質量%以上25質量%以下であって、Al2O3がCaO又はSrOよりも多い配合割合で存在する結晶化ガラスで被覆してバリア層を形成し、この後、前記抵抗体の接続端部に電極パッド材料を塗布して熱処理し電極パッドを形成し、前記電極パッドにリード端子を溶接し、前記バリア層と前記電極パッドを覆って保護膜を形成することを特徴とする薄膜抵抗体温度センサの製造方法。
- 前記バリア層の形成前に、前記抵抗体の抵抗値を調整するトリミングを行う請求項6記載の薄膜抵抗体温度センサの製造方法。
- 前記バリア層は、前記抵抗体のトリミング箇所を除いて形成され、前記バリア層の形成後に前記抵抗体の抵抗値を調整するトリミングを行う請求項6記載の薄膜抵抗体温度センサの製造方法。
- 前記リード端子は、溶接により前記電極パッドに接続する請求項6記載の薄膜抵抗体温度センサの製造方法。
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