JP2013257041A - 直方体の流体貯蔵・計量分配容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】直方体形状の流体貯蔵・計量分配容器を含む流体貯蔵・計量分配装置及び、こうした流体貯蔵・計量分配装置および/または使用時換気ガス清浄器を、換気されたガスキャビネット内に含む一体型ガスキャビネットアセンブリを開示する。たとえば、ガスキャビネットから供給された処理ガスが、有毒又は有害な特性のものである場合、ガスキャビネットは、物理的吸着剤及び化学吸着媒体の使用によって、運転の安全面で強化されることが可能である。
【選択図】図3
Description
本発明は、一般には、直方体形状を有する流体貯蔵・計量分配容器を含む流体貯蔵・計量分配装置、およびかかる流体貯蔵・計量分配装置を含む一体型ガスキャビネットアセンブリに関する。
吸着剤式の流体貯蔵・計量分配装置は、半導体製造用途で、様々な半導体製造装置の作業用のガス供給として、近年使用されるようになってきている。
1つの実施態様では、本発明は、流体貯蔵・計量分配装置であって、内部容積を有する流体貯蔵・計量分配容器であり内部容積が流体を吸着して保持する物理的吸着剤を含みかつ容器から計量分配するために流体が該吸着剤から脱着可能である容器と、脱着された流体を容器から計量分配するため容器に連結された計量分配アセンブリと、を備え、流体貯蔵・計量分配容器は直方体形態である、流体貯蔵・計量分配装置に関する。
囲まれた内部容積の輪郭を定め、キャビネットからのガスを計量分配するように構成された上記内部容積内の流路回路を含む、ガスキャビネットと;
ガスキャビネットの内部容積内に配置されかつガス供給関係において流路回路へ連結されたガス供給源であって、上記ガス供給源は、少なくとも1つの直方体形態の流体貯蔵・計量分配容器を備え、上記流体貯蔵・計量分配容器の各々は、上記ガスを吸着して保持する物理的吸着剤を含み、さらに、流路回路への流れのために容器からの上記ガスの計量分配用に上記流体貯蔵・計量分配容器へ連結された計量分配アセンブリを備えている、ガス供給源と;
を備える、ガスキャビネットアセンブリに関する。
本発明は、物理的吸着剤式の流体貯蔵・計量分配装置は、直方体構造を有する流体貯蔵・計量分配容器を使用して組み立てられてもよい、という発見に基づいており、該直方体構造は、脱着処理の性質と程度、容器内の物理的吸着媒体にとって実現可能な装填密度、及び半導体製造作業用のこうした容器を備えた流体貯蔵・計量分配装置の有用性、に関して驚くべき予想外の利点を備えている。
Claims (111)
- 手動で運搬可能な流体貯蔵・計量分配装置であって、
内部容積を有する流体貯蔵・計量分配容器であり前記内部容積が流体を吸着して保持する物理的吸着剤を含み、かつ、前記容器から計量分配するために前記流体が該吸着剤から脱着可能である容器と、
脱着された流体を前記容器から計量分配するため前記容器に連結された計量分配アセンブリと、を備え、
前記流体貯蔵・計量分配容器は直方体形態である、
流体貯蔵・計量分配装置。 - 前記物理的吸着剤は、前記容器の前記内部容積内の吸着床を構成する分割形態である、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記分割形態は、球状、粒状、顆粒、ペレット、環状、小板、錠剤、円筒形押出物、立方体形状、及び成形された幾何学的に規則的および不規則な形状からなる群から選択される形態を含む、請求項2に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記物理的吸着剤は、モノリス形態である、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記モノリス形態は、ブロック、煉瓦およびブールからなる群から選択される、請求項4に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記モノリス形態は、単一のモノリス物品を含む、請求項4に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記モノリス形態は、複数の別個のモノリス物品を含む、請求項4に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記容器の前記内部容積は、前記物理的吸着剤の別個のモノリス物品を75個未満含む、請求項7に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記容器の前記内部容積は、前記物理的吸着剤の別個のモノリス物品を20個未満含む、請求項7に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記容器の前記内部容積は、前記物理的吸着剤の別個のモノリス物品を8個未満含む、請求項7に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記容器の前記内部容積は、前記物理的吸着剤の別個のモノリス物品を4個未満含む、請求項7に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記モノリス物理的吸着剤は、前記容器の前記内部容積にサイズおよび形状が適合した吸着剤塊を提供する、請求項4に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記吸着剤塊は、前記容器の前記内部容積の少なくとも60%を占める、請求項12に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記吸着剤塊は、前記容器の前記内部容積の約75〜約95%を占める、請求項12に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記物理的吸着剤は、有機樹脂の熱分解生成物である、請求項4に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記物理的吸着剤は、前記容器内のその場で形成される、請求項15に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記複数の別個のモノリス物品の各々は、前記容器の前記内部容積の高さの0.3〜1.0倍の長さと、前記容器の長方形断面積の0.1〜0.5倍の断面積とを有する、請求項7に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記複数の別個のモノリス物品の各々は、直方体形状を有する、請求項7に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記複数の別個のモノリス物品の各々は、前記容器の前記内部容積において、隣接モノリス部材と接触する面で、横方向及び/又は長手方向に隣接する、請求項7に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記複数の別個のモノリス物品の各々は、中実の円筒形態を有する、請求項7に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記流体は、半導体製造において有用性がある流体を含む、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記流体は、アルシン、ホスフィン、セレン化水素、テルル化水素、三フッ化窒素、三フッ化ホウ素、三塩化ホウ素、ジボラン、トリメチルシラン、テトラメチルシラン、ジシラン、シラン、ゲルマンおよび有機金属気体試薬からなる群から選択される流体種を含む、請求項21に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記流体は、前記内部容積内の圧力が約1500トル以下である、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記流体は、前記内部容積内の圧力が約700トル以下である、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記流体は、前記内部容積内の圧力が約400〜約700トルの範囲である、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記容器は、金属、ガラス、セラミック、ガラス質材料、ポリマーおよび複合材料からなる群から選択される構造材料を含む、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記容器は、金属の構造材料を含む、請求項26に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記金属は、鋼材、ステンレス鋼、アルミニウム、銅、真鋳、青銅およびそれらの合金からなる群から選択される、請求項27に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記物理的吸着剤は、炭素、活性炭、金属添着炭、分子篩(アルミノ珪酸塩)材料、多孔質シリコン、シリカ、アルミナ、スチレン、ジビニルベンゼン高分子材料、吸着粘土および機能化焼結ガラス媒体からなる群から選択される吸着剤材料を含む、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記物理的吸着剤は、炭素を含む、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記物理的吸着剤は、活性炭を含む、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記計量分配アセンブリは、前記容器から脱着された流体を計量分配するため、前記容器の上部分に連結されている、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記容器に取り外し可能に固定されたキャップをさらに備える、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記計量分配アセンブリは、前記キャップによって保護されるよう囲繞されている、請求項33に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記キャップは、その中に開口部を有する、請求項33に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記キャップは、直方体形状を有する、請求項35に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記キャップは、前記容器の断面と同一の広がりを持つ断面である、請求項36に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記開口部は、前記キャップを用いて前記装置を手動搬送するよう適合されたサイズである、請求項35に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記装置の搬送用に、前記容器に固定されたハンドルをさらに備える、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記容器は、心棒を覆って引き抜き加工した鍛造金属体を含む、請求項1に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- 前記鍛造金属体は、アルミニウムで形成される、請求項40に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
- ガスキャビネットアセンブリであって、
(a)囲まれた内部容積の輪郭を定め、前記キャビネットからのガスを計量分配するように構成された前記内部容積内の流路回路を含む、ガスキャビネットと、
(b)前記ガスキャビネットの前記内部容積内に配置されかつガス供給関係において前記流路回路へ連結されたガス供給源であって、前記ガス供給源は、少なくとも1つの直方体形態の流体貯蔵・計量分配容器を備え、前記流体貯蔵・計量分配容器の各々は、前記ガスを吸着して保持する物理的吸着剤を含み、さらに、前記流路回路への流れのために前記容器からの前記ガスの計量分配用に前記流体貯蔵・計量分配容器へ連結された計量分配アセンブリを備える、ガス供給源と、
を備える、ガスキャビネットアセンブリ。 - 少なくとも2つの直方体形態の流体貯蔵・計量分配容器を備える、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記少なくとも2つの直方体形態の流体貯蔵・計量分配容器の連続した容器が、互いに並んで配置される、請求項43に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記少なくとも2つの直方体形態の流体貯蔵・計量分配容器の連続する容器が、それらが面する壁面で互いに隣接して配置される、請求項43に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記ガスキャビネットは、換気される、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 換気ガスの供給源は、前記ガスキャビネットの前記内部容積を通る換気ガス流のために、前記ガスキャビネットへ連結され、これを換気する、請求項46に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記換気ガスの供給源は、空気供給源を含む、請求項47に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記ガスキャビネットは、半導体製造設備の建物の排気系統に対して換気される、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記ガスキャビネットは、処理・再循環装置に対して換気され、そこで換気されたガスは処理され、前記ガスキャビネットへ再利用される、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記ガスキャビネットは、イオン注入システムのガスボックスを備える、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記流路回路に連結された少なくとも2つの容器と、前記流路回路へのガス供給用に、ガスを使い切った容器を切り離すと同時にガスが満杯の容器を作動させるよう構成された監視・制御装置と、を備える、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記監視・制御装置は、マイクロプロセッサ制御装置に接続され、かつ、所定時間又は1つ以上の監視されている処理状態が所定の設定点範囲にある間、前記稼動中の容器を操作するよう構成された、周期タイマを備える、請求項52に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記流路回路は、前記ガスキャビネット内の前記ガス貯蔵・計量分配容器の各々からのガスの流れを制御する弁を備えており、前記弁の各々は前記監視・制御装置に信号伝送ラインで接続された自動弁作動装置に連結されており、前記監視・制御装置は汎用のプログラム可能なコンピュータを備え、該コンピュータは、前記ガスキャビネットアセンブリの第1所定期間の操作の間、第1容器からのガスの計量分配を伴う操作であって、前記第1弁からのガス流を制御する前記弁の前記自動弁作動装置の作動と前記ガスキャビネットアセンブリの前記第1所定期間の操作の終了時に前記第1容器からのガス流を制御する前記弁の遮断とによる操作と、前記ガスキャビネットアセンブリの第2の所定期間の操作の間、第2容器からのガスの計量分配を伴う操作であって、前記第2容器からのガス流を制御する前記弁の前記自動弁作動装置の作動と前記ガスキャビネットアセンブリの前記第2の所定期間の操作の終了時に前記第2容器からのガス流を制御する前記弁の遮断とによる操作と、を実施するようプログラム可能に構成される、請求項52に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記ガスキャビネットは換気され、そこを通る換気ガス流のために構成されており、前記換気されたガスキャビネットから放出する前に前記換気ガスを浄化するため、前記ガスキャビネット内に使用時(point−of−use)清浄器をさらに備え、そこから汚染物質を除去する、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記使用時清浄器は、前記換気ガスから汚染物質を除去するため、前記汚染物質に反応する化学吸着剤材料を含む、請求項55に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記化学吸着剤材料は、閾限界値(TLV)濃度未満まで前記汚染物質を除去することが有効である、請求項56に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記使用時清浄器は、前記ガスキャビネットの壁に取り付けられる、請求項55に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記使用時清浄器用の終点検知器をさらに備える、請求項55に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記使用時清浄器は、中に浄化媒体を含む清浄器ハウジングを備え、前記浄化媒体は前記汚染物質と接触して変色を起こし、前記ハウジングは、前記浄化媒体の完全消耗を視覚的に判定するため、中に覗き窓を有する、請求項59に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記使用時清浄器は、中に浄化媒体を含む清浄器ハウジングを備え、前記浄化媒体は前記汚染物質と接触して変色を起こし、前記ガスキャビネットアセンブリはさらに、前記変色を検知し前記浄化媒体の完全消耗を示す出力を生成する比色センサを含む、請求項59に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記出力は、前記ガスキャビネット内のガス流制御弁を遮断し、前記消耗した浄化媒体が新しい浄化媒体と交換されるまで、前記ガスキャビネットアセンブリの運転の再開を阻止するよう構成される、請求項61に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記使用時清浄器は浄化媒体を含み、さらに前記ガスキャビネットアセンブリは有毒ガス監視(TGM)装置を備え、該装置は(i)前記浄化媒体からの前記汚染物質の漏出を検知し、(ii)前記浄化媒体の完全消耗を示す出力を生成するよう構成される、請求項59に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記使用時清浄器は浄化媒体を含み、さらに前記ガスキャビネットアセンブリはプログラム可能な論理制御(PLC)装置を備え、該装置は、前記浄化媒体の投入時からガス貯蔵・計量分配容器の交換回数を数え、前記浄化媒体の交換の必要性を示す出力を提供するよう構成される、請求項59に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記PLC装置は、(i)前記使用時清浄器が露出される単一のガス貯蔵・計量分配容器からのガスの量と、(ii)入力された浄化媒体の処理能力に基づいて、前記浄化媒体が消耗する前に実行可能なガス貯蔵・計量分配容器の交換回数とを計算するよう構成される、請求項64に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、前記容器の前記内部容積内の吸着床を構成する分割形態である、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記分割形態は、球状、粒状、顆粒、ペレット、環状、小板、錠剤、円筒形押出物、立方体形状、及び成形された幾何学的に規則的および不規則な形状からなる群から選択される形態を含む、請求項66に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、モノリス形態である、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記モノリス形態は、ブロック、煉瓦およびブールからなる群から選択される、請求項68に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記モノリス形態は、単一モノリス物品を含む、請求項68に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記モノリス形態は、複数の別個のモノリス物品を含む、請求項68に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記容器の前記内部容積は、前記物理的吸着剤の別個のモノリス物品を75個未満含む、請求項71に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記容器の前記内部容積は、前記物理的吸着剤の別個のモノリス物品を20個未満含む、請求項71に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記容器の前記内部容積は、前記物理的吸着剤の別個のモノリス物品を8個未満含む、請求項71に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記容器の前記内部容積は、前記物理的吸着剤の別個のモノリス物品を4個未満含む、請求項71に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記モノリス物理的吸着剤は、前記容器の前記内部容積にサイズ及び形状が適合した吸着剤塊を提供する、請求項68に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記吸着剤塊は、前記容器の前記内部容積の少なくとも60%を占める、請求項76に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記吸着剤塊は、前記容器の前記内部容積の約75〜約95%を占める、請求項76に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、有機樹脂の熱分解生成物である、請求項68に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、前記容器内のその場で形成される、請求項68に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記複数の別個のモノリス物品の各々は、前記容器の前記内部容積の高さの0.3〜1.0倍の長さと、前記容器の長方形断面面積の0.1〜0.5倍の断面面積とを有する、請求項71に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記複数の別個のモノリス物品の各々は、直方体形状を有する、請求項71に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記複数の別個のモノリス物品の各々は、前記容器の前記内部容積において、隣接モノリス部材と接触する面で、横方向及び/又は長手方向に境を接している、請求項71に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記複数の別個のモノリス物品の各々は、中実の円筒形態を有する、請求項71に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記流体は、半導体製造において有用性がある流体である、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記流体は、アルシン、ホスフィン、セレン化水素、テルル化水素、三フッ化窒素、三フッ化ホウ素、三塩化ホウ素、ジボラン、トリメチルシラン、テトラメチルシラン、ジシラン、シラン、ゲルマンおよび有機金属気体試薬からなる群から選択される流体種を含む、請求項85に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記流体は、前記内部容積内の圧力が約1500トル未満である、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記流体は、前記内部容積内の圧力が約700トル未満である、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記流体は、前記内部容積内の圧力が約400〜約700トルの範囲である、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記容器は、金属、ガラス、セラミック、ガラス質材料、ポリマーおよび複合材料からなる群から選択される構造材料を含む、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記容器は、金属の構造材料を含む、請求項90に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記金属は、鋼材、ステンレス鋼、アルミニウム、銅、真鋳、青銅およびそれらの合金からなる群から選択される、請求項91に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、炭素、活性炭、金属添着炭、分子篩(アルミノ珪酸塩)材料、多孔質シリコン、シリカ、アルミナ、スチレン、ジビニルベンゼン高分子材料、吸着粘土および機能化焼結ガラス媒体からなる群から選択される吸着剤材料を含む、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、炭素を含む、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、活性炭を含む、請求項42に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- ガスキャビネットを含むガスキャビネットアセンブリの設置面積を削減する方法であって、該ガスキャビネットは、前記ガスキャビネットの運転における容器交換のために手動で運搬可能な、ガス貯蔵・計量分配容器を少なくとも1つ含むガス供給源を含み、前記ガスキャビネットは前記ガスを吸着して保持する物理的吸着剤を含み、前記方法は、前記少なくとも1つガス貯蔵・計量分配容器の各々を直方体形態の容器として提供するステップを含む、方法。
- 直方体形態の各前記容器は、シートメタルから組み立てられる、請求項96に記載の方法。
- 前記ガス供給源は、2つ以上のガス貯蔵・計量分配容器を備え、連続するガス貯蔵・計量分配容器を互いに並んだ位置関係に配置するステップを含む、請求項96に記載の方法。
- 連続するガス貯蔵・計量分配容器を、それらの面する壁に沿って互いに境を接する位置関係に配置するステップを含む、請求項98に記載の方法。
- 少なくともいくつかの前記ガス貯蔵・計量分配容器を、前記ガスキャビネットの1つ以上の壁に対して隣接する位置関係に配置するステップを含む、請求項98に記載の方法。
- 低圧でガスを貯蔵及び計量分配する方法であって、
直方体形態を有する手動で運搬可能な容器を組み立てるステップと、
前記ガスに対して吸着親和性を有する物理的吸着剤を前記容器に配置するステップと、
前記物理的吸着剤に吸着させるため前記ガスを前記容器へ充填するステップと、
前記容器を、作動可能弁を含む弁ヘッドで密閉して、前記物理的吸着剤と吸着されたガスを封入し、前記容器の外部環境からこれを隔離するステップと、
前記物理的吸着剤から前記吸着されたガスを脱着するステップと、
前記弁ヘッドの前記作動可能弁を作動させ、ガスの計量分配のために前記容器から前記作動可能弁を通してガスを流すステップと、
を含む方法。 - 半導体製造設備の排気清浄器への流体負担量を軽減する方法であって、該設備は換気されたガスキャビネットを備え、該ガスキャビネットは前記ガスキャビネットの運転において換気ガスが流される時に通るガスキャビネットで、前記方法は、
前記ガスキャビネットから放出する前に前記換気ガスを前記ガスキャビネット内の浄化媒体と接触させて、該換気ガスから浄化可能な汚染物質を除去するステップと、
浄化された換気ガスを前記ガスキャビネットから放出するステップと、を含み、
それによって、前記半導体製造設備の前記消耗した清浄器による、放出された換気ガスの処理の必要性を不要にする、方法。 - 補給換気ガスの要求を軽減するため、前記浄化された換気ガスを前記換気されたガスキャビネットへ再循環するステップを含む、請求項102に記載の方法。
- 前記浄化媒体は、前記換気ガスから汚染物質を除去するため、前記汚染物質と反応する化学吸着剤を含む、請求項102に記載の方法。
- ガスキャビネットアセンブリであって、
囲まれた内部容積の輪郭を定め、前記キャビネットからの処理ガスを計量分配するように構成された前記内部容積内の流路回路を含む、換気されたガスキャビネットと、
前記ガスキャビネットの前記内部容積内に配置されかつガス供給関係において前記流路回路へ連結された、処理ガス供給源と、
前記換気されたガスキャビネットへ換気ガスを供給するように構成された、換気ガス供給源と、
前記換気されたガスキャビネットから換気ガスを放出するための、換気ガス出口と、
前記換気されたガスキャビネットの前記内部容積内に配置され、前記換気されたガスキャビネットから前記換気ガス出口を通って前記換気ガスを放出する前に前記換気ガスから浄化可能な汚染物質を除去するよう構成された、使用時清浄器と、
を備える、ガスキャビネットアセンブリ。 - 前記使用時清浄器は、前記換気ガスから汚染物質を反応除去するため、前記換気ガス内の汚染物質と反応する化学吸着剤媒体を含む、請求項105に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記処理ガス供給源は、前記処理ガスに対して吸着親和性を有する物理的吸着剤を含むガス貯蔵・計量分配容器を備える、請求項105に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、炭素を含む、請求項107に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記物理的吸着剤は、活性炭を含む、請求項107に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記処理ガスは、半導体製造において有用性があるガスを含む、請求項105に記載のガスキャビネットアセンブリ。
- 前記処理ガスは、アルシン、ホスフィン、セレン化水素、テルル化水素、三フッ化窒素、三フッ化ホウ素、三塩化ホウ素、ジボラン、トリメチルシラン、テトラメチルシラン、ジシラン、シラン、ゲルマンおよび有機金属気体試薬からなる群から選択されるガスを含む、請求項110に記載のガスキャビネットアセンブリ。
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