KR101372488B1 - 하이브리드 밸브가 통합된 앰풀 - Google Patents

하이브리드 밸브가 통합된 앰풀 Download PDF

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케빈 에스. 그리핀
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

전구체 분배 시스템과 같은 화학물질 전달 시스템을 가지는 반도체 제조 툴은 분배 시스템의 일부로서 저장용기 조립체를 이용한다. 하나의 저장용기 조립체는: 내부 부피를 둘러싸는 하나 이상의 측벽, 상부 및 하부를 포함하는 캐니스터; 상기 내부 부피와 유체 소통하는 유입구 포트 및 배출구 포트; 상기 유입구 포트와 상기 내부 부피 사이의 유체 유동을 제어하기 위한 유입구 밸브; 그리고 상기 배출구 포트와 상기 내부 부피 사이의 유체 유동을 제어하기 위한 배출구 밸브를 포함하고, 상기 유입구 밸브 또는 배출구 밸브 중 하나 이상이 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함한다.

Description

하이브리드 밸브가 통합된 앰풀{AMPOULE WITH INTEGRATED HYBRID VALVE}
관련 출원의 상호-참조
본원은 2009년 4월 24일자로 출원된 미국 가명세서 출원 제 61/172,662 호를 기초로 우선권을 주장하며, 그러한 가명세서 출원은 모든 목적에 대해서 전체가 참조로서 본원에 포함된다.
반도체 산업에서 사용되는 많은 화학물질이 캐리어 가스(carrier gas)에 의해서 반응기 챔버로 공급된다. 일반적인 방식에서, 화학물질(들)을 수용하는 앰풀 저장용기를 캐리어 가스가 통과할 때, 캐리어 가스는 하나 또는 둘 이상의 화학물질을 "픽업(picks up; 포획)"한다. 전달 방법에 따라서, 앰풀이 전구체 분배 시스템(PDS) 외장(enclosure) 내에 설치될 수 있다.
앰풀의 안전한 이용, 서비스 및 교체를 위해서, 수동 및 자동 밸브의 네트워크가 통상적으로 요구된다. 밸브들의 네트워크는 여러 가지 목적을 위해서, 예를 들어 격리, 분리(diversion), 펌프-퍼지 및 전달을 위해서 사용된다. 통상적인 앰풀 저장용기 조립체는 유입구 포트 및 배출구 포트와 유체 소통되는 캐니스터(canister)를 포함한다. 수동 잠금 표지(lock-out tag-out) 밸브 및 공압식 밸브가 캐니스터와 유입구 포트 사이에 직렬로 연결된다. 유사하게, 수동 잠금 표지 밸브 및 공압식 밸브가 캐니스터와 배출구 포트 사이에 직렬로 연결된다. 잠금 표지 밸브들은 유체가 캐니스터로부터 누출되는 것을 방지하기 위한 확실한 방식을 제공한다. 공압식 밸브는 1) 유입구 포트로 유입되는 캐리어 가스의, 그리고 2) 배출구 포트를 빠져나가는 캐리어 가스 및 전구체의 조합체의, 유체 소통의 자동화된 제어를 제공한다.
그러나, 통상적인 저장용기 조립체는 많은 기능적인 단점을 가진다. 예를 들어, 반도체 제조에서 사용되는 화학물질의 일부는, 화학물질의 응축 및/또는 분해를 최소화하기 위해서, 반드시 잘 유지되는(well defined) 온도 및 압력 범위에서 유지되어야 한다. 직렬로 연결된 수동 및 공압식 밸브를 가지는 통상적인 저장용기 구성은 구불구불한 유체 경로 및 기묘한(odd) 물리적 형상을 초래하고, 이들 양자(경로 및 형상)는 요구되는 온도 범위 내에서 화학물질을 유지하는 것을 방해한다. 추가적으로, 통상적인 저장용기 조립체는 상당히 큰 공간을 차지하고 그리고 최적의 서비스 및/또는 교체 특성을 가지지 못한다.
그에 따라, 잘 유지되는 온도 및 압력 범위에서 화학물질을 유지할 수 있으면서도, 적은 공간을 차지하는 시스템이 요구된다 할 것이다.
개시된 실시예는 비교되는 통상적인 조립체에 대비하여 많은 이점을 가지는 개선된 저장용기 조립체에 관한 것으로서, 그러한 이점의 예를 들면, 적은 필요 공간, 보다 양호한 서비스 및/또는 교체 특성, 그리고 보다 양호한 열적 특성이 포함될 것이다. 개시된 실시예는, 보다 콤팩트한(compact) 저장용기 조립체를 제공함으로써, 잘 유지되는 온도 및 압력 범위에서 유지되어야 하는 화학물질의 저장을 개선한다.
실시예에 따라서, 저장용기 조립체는 내부 부피를 둘러싸는 하나 이상의 측벽, 상부 및 하부를 가지는 캐니스터를 포함한다. 저장용기 조립체는 내부 부피와 유체 소통하는 유입구 포트 및 내부 부피와 유체 소통하는 배출구 포트를 추가로 포함한다. 또한, 저장용기 조립체는 유입구 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 유입구 밸브를 포함한다. 저장용기 조립체는 또한 배출구 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 배출구 밸브를 포함한다. 유입구 밸브 또는 배출구 밸브 중 하나 이상이 이중-기능(dual-function) 하이브리드 밸브를 포함한다.
다른 실시예에서, 분배 시스템은 저장용기 조립체, 유입구 유체 라인 및 배출구 유체 라인을 포함한다. 저장용기 조립체는 캐니스터를 포함하고, 상기 캐니스터는 내부의 부피를 둘러싸는 하나 이상의 측벽, 상부 및 하부를 포함한다. 저장용기 조립체는 유입구 포트, 배출구 포트 및 충진(fill) 포트를 포함하고, 이들 포트들의 각각은 내부 부피와 유체 소통한다. 유입구 포트 및 배출구 포트는 유입구 유체 라인 및 배출구 유체 라인과 각각 결합(couple)되도록 구성된다. 저장용기 조립체는 유입구 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 유입구 밸브를 포함한다. 저장용기 조립체는 배출구 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 배출구 밸브를 포함한다. 저장용기 조립체는 충진 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 충진 밸브를 포함한다. 유입구 밸브, 배출구 밸브 및 충진 밸브가 캐니스터와 탈착가능하게 결합되고, 그리고 밸브들의 각각은 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함한다.
본원 발명의 특성 및 이점을 보다 깊게 이해할 수 있도록, 이하의 구체적인 설명 및 첨부 도면들을 참조할 수 있을 것이다. 본원 발명의 다른 측면(aspects), 목적, 및 이점들은 첨부 도면들 및 이하의 구체적인 설명으로부터 보다 명확하게 이해될 수 있을 것이다. 구체적인 설명 및 특정 실시예들을 여러 실시예로 기재하기는 하였지만, 그러한 구체적인 설명 및 특정 실시예들은 단지 설명을 위한 것이고 그리고 본원 발명의 범위를 불필요하게 제한하기 위한 것이 아님을 이해하여야 할 것이다.
상세한 설명의 이하의 부분 및 도면들을 참조함으로써, 본원 발명의 특성 및 이점들을 보다 더 이해할 수 있을 것이다. 도면들은 이하의 상세한 설명의 부분에 포함된다.
도 1은 본원의 실시예에서 설명된 바와 같은 저장용기 조립체의 사시도이다.
도 2는 본원의 실시예에서 설명된 바와 같은 저장용기 조립체의 다른 사시도이다.
도 3은 본원의 실시예에서 설명된 바와 같은 저장용기 조립체의 분해 사시도이다.
도 4는 본원의 실시예에서 설명된 바와 같은, 4개의 저장용기 조립체가 설치된 것을 도시하는, 전구체 분배 시스템 외장의 사시도이다.
첨부 도면에서, 유사한 성분 및/또는 피쳐(feature; 특징부)가 동일한 참조 부호를 가질 수 있을 것이다. 또한, 동일한 타입의 여러 성분들이 참조 부호에 후속하는 선(dash) 및 제 2 부호에 의해서 구분될 수 있을 것이며, 그러한 선 및 제 2 부호는 유사한 성분들을 서로 구별할 수 있을 것이다. 만약 명세서에서 제 1 참조 부호만이 사용되었다면, 그에 관한 설명은 제 2 참조 부호와 관계없이 동일한 제 1 참조 부호를 가지는 유사한 성분들 중 어느 하나에도 적용될 수 있을 것이다.
여기에서 설명된 여러 측면들 및 실시예들에 따라서, 개선된 저장용기 조립체가 제공된다. 그러한 저장용기 조립체는, 전구체 분배 시스템(PDS)과 연관되어 사용될 때 및/또는 반도체 제조와 연관되어 사용될 때, 특히 유리할 수 있을 것이다.
반도체 제조에서 이용되는 전구체 전달 시스템에서의 용도와 관련하여 실시예들이 설명되어 있지만, 본원 발명의 분야가 이들 용도로 제한될 필요가 없다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
저장용기 조립체는 저장용기 캐니스터와 유입구 포트 사이의 유체 소통을 제어하기 위해서 하나 또는 둘 이상의 공압식 밸브와 직렬로 연결된 하나 또는 둘 이상의 수동 잠금 표지 밸브를 포함할 수 있다. 유사하게, 저장용기 조립체는 캐니스터와 배출구 포트 사이의 유체 소통을 제어하기 위해서 하나 또는 둘 이상의 공압식 밸브와 직렬로 연결된 하나 또는 둘 이상의 수동 잠금 표지 밸브를 포함할 수 있다. 잠금 표지 밸브는 캐니스터로부터 유체가 누출되는 것을 방지하기 위한 확실한 방식을 제공한다. 공압식 밸브는 1) 유입구 포트로 유입되는 캐리어 가스의, 그리고 2) 배출구 포트를 빠져나가는 캐리어 가스 및 전구체의 조합체의, 유체 소통의 자동화된 제어를 제공한다.
저장용기 조립체는 반도체 제조 프로세스에서 사용되는 화학물질과 같은 위험하고(harsh) 및/또는 민감한 화학물질을 저장하기 위해서 사용될 수 있다. 반도체 제조에서 사용되는 일부 화학물질은, 화학물질의 응축 및/또는 분해를 최소화하기 위해서, 잘 유지되는 온도 및 압력 범위에서 유지되어야 한다. 개시된 실시예는 직렬로 연결된 수동 및 공압식 밸브를 구비하는 것에 대한 대안을 제공하며, 그러한 직렬로 연결된 수동 및 공압식 밸브는 구불구불한 유체 경로 및 기묘한 물리적 형상을 초래하고, 이들 양자(경로 및 형상)는 요구되는 온도 범위 내에서 화학물질을 유지하는 것을 방해한다. 개시된 실시예는 통상적인 저장용기 조립체 보다 적은 공간을 차지하는 저장용기 조립체를 제공한다. 개시된 실시예는 또한 통상적인 저장용기 조립체에 대비하여 서비스 및/또는 교체 특성이 개선된 저장용기 조립체를 제공한다.
도면을 참조하면, 특히 도 1을 참조하면, 실시예에 따른 저장용기 조립체는 전체적으로 참조 부호 '10'으로 표시되어 있다. 저장용기 조립체(10)는 원통형 측벽(14), 하부(도시하지 않음) 및 상부(16)를 구비하는 캐니스터(12)를 포함한다. 캐니스터는 반도체 제조에서 이용되는 전구체 화학물질과 같은 유체 또는 가스를 수용하도록 구성된다. 저장용기 조립체(10)는 유입구 포트(18), 배출구 포트(20), 충진 포트(22)(충진 포트 플러그(24)가 설치된 상태로 도시됨), 준위(level) 센서 조립체(26), 및 핸들 조립체(28)를 포함한다. 유입구 포트(18)와 캐니스터(12) 사이의 유체 소통은 이중-기능 하이브리드 유입구 밸브(30)에 의해서 제어된다. 이중-기능 하이브리드 유입구 밸브(30)는 공압식 밸브 부분(32) 및 수동 잠금 표지 모듈(34)을 포함한다. 이중-기능 하이브리드 밸브는 상업적으로 이용가능하다. 예를 들어, 이중-기능 하이브리드 밸브를 Fujikin of America, Inc. 로부터 입수할 수 있다. 도시된 이중-기능 하이브리드 밸브가 공압식 밸브를 채용하고 있으나, 다른 타입의 밸브(예를 들어, 전기 밸브)도 이용될 수 있을 것이다. 배출구 포트(20)와 캐니스터 사이의 유체 소통은 이중-기능 하이브리드 배출구 밸브(36)에 의해서 제어된다. 충진 포트(22)와 캐니스터(12) 사이의 유체 소통은 이중-기능 하이브리드 충진 밸브(38)에 의해서 제어될 수 있으며, 그 충진 밸브는 사용 중에 캐니스터를 자동적으로 재충진할 수 있는 능력을 제공한다. 준위 센서 조립체(26)는 캐니스터(12) 내의 유체의 준위를 모니터링한다. 핸들 조립체(28)는 2개의 수평 배향된 수용부(44, 46)를 둘러싸는 2개의 파지(gripping) 표면(40, 42)을 포함한다. 수용부(44, 46)는 승강 부재(도시하지 않음)를 수용하기 위해서 이용될 수 있으며, 상기 승강 부재는 (예를 들어, 저장용기 조립체를 전구체 분배 시스템(PDS)으로 설치하는 동안에, 또는 전구체 분배 시스템(PDS)으로부터 분리하는 동안에) 저장용기 조립체를 이동시키는데 이용될 수 있을 것이다. 핸들 조립체(28)가 캐니스터(12)로 부착될 수 있도록 그리고 그로부터 탈착될 수 있도록, 핸들 조립체(28)가 구성될 수 있을 것이다. 핸들 조립체는 또한 충격 손상에 민감할 수 있는 성분들과 같은 저장용기 조립체의 부분들에 대한 차폐부(shield)를 제공하도록 구성될 수 있을 것이다.
도 2는 도 1의 저장용기 조립체(10)를 다른 관찰 방향에서 도시한다. 저장용기 조립체(10)는 캐니스터(12)와 결합된 유입구 밸브 인터페이스(interface) 부재(48)를 더 포함한다. 이중-기능 하이브리드 유입구 밸브(30)는 유입구 밸브 인터페이스 부재(48)와 결합된다. 유입구 밸브 인터페이스 부재(48)는 유입구 포트(18)와 유입구 밸브(30) 사이의 그리고 유입구 밸브(30)와 캐니스터(12) 사이의 유체 소통을 위한 내부 유체 채널을 포함한다. 저장용기 조립체(10)는 배출구 밸브 인터페이스 부재(50) 및 충진 밸브 인터페이스 부재(52)를 더 포함하고, 이들 부재들은 유입구 밸브 인터페이스 부재(48)와 유사하게 구성된다.
저장용기 조립체(10)(도 1 및 도 2 양자 모두에 도시된 바와 같음)는 많은 기능적 이점을 제공하는 구성을 가진다. 예를 들어, 캐니스터 외부의 성분들이 캐니스터의 상부에 근접하여(예를 들어, 캐니스터의 상부로부터 6인치 이내에) 배치된다. 이러한 콤팩트한 구성은 전술한 통상적인 저장용기 조립체에 대비하여 단축된 외부 유체 경로를 가지는 저장용기 조립체를 초래하고, 그에 따라 저장용기 조립체의 내용물을 필요 온도 범위 내에서 유지하기 위해서 (예를 들어, 히트 블랭킷(heat blankets)에 의해서) 가열되어야 하는 캐니스터 외부 영역을 감소시킨다. 저장용기 조립체(10)의 구성은 또한 수평 및 평행 상태로 배향된(parallel orientation) 유입구 포트(18) 및 배출구 포트(20)를 구비한다. 도 4와 관련하여 이하에서 보다 구체적으로 설명하는 바와 같이, 유입구 포트 및 배출구 포트의 그러한 배향에 의해서 저장용기 조립체를 전구체 분배 시스템(PDS)으로 그리고 그로부터 수평으로 설치 및 분리할 수 있게 된다. 핸들 수용부들은 저장용기 조립체의 설치 및 분리 중에 승강 장치를 이용할 수 있게 한다.
도 3은 저장용기 조립체(10)의 분해 사시도이다. 도 3은 핸들 조립체(28)를 도시하고, 그러한 핸들 조립체는 4개의 핸들 부착 볼트(54)를 이용하여 캐니스터(12)에 결합될 수 있다. 핸들 부착 볼트(54) 중의 2개는 캐니스터의 상부의 나사형(threaded) 볼트 구멍과 결합되고 그리고 핸들 부착 볼트 중의 2개는 유입구 밸브 인터페이스 부재(48) 및 배출구 밸브 인터페이스 부재(50)의 상부에 위치된 나사형 볼트 구멍과 결합된다. 핸들 조립체는 충진 포트(22)를 위한 간극을 제공하기 위한 조각된(sculpted) 영역(56)을 포함한다. 이중-기능 하이브리드 유입구 밸브(30)가 유입구 밸브 인터페이스 부재(48)로부터 변위된 상태로 도시되어 있다. 유입구 밸브(30)는 4개의 유입구 밸브 부착 볼트(58)(하나의 볼트(58)는 보이지 않는다)에 의해서 유입구 밸브 인터페이스 부재와 결합된다. 유입구 밸브 가스켓(60)이 유입구 밸브와 유입구 밸브 인터페이스 부재 사이에 배치될 수 있다. 유사한 장치가 충진 밸브(38) 및 배출구 밸브(36)에 대해서 사용될 수 있다. 준위 센서 조립체(26)가 캐니스터로부터 변위되어 도시되어 있다.
도 4는 PDS 외장(100)의 사시도이며, 여기에서는 4개의 설치된 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4), 4개의 지지 부재(102-1, 102-2, 102-3, 102-4), 그리고 질량 유동 제어부의 뱅크(bank of mass flow controller; 104)가 도시되어 있다. 4개의 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)가 PDS 외장(100) 내로 장착된다. 2개의 저장용기 조립체(10-3 및 10-4)가 상부 열(row)에 장착되고 그리고 2개의 저장용기 조립체(10-1 및 10-2)가 하부 열에 장착된다. 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)의 상부 및 하부 열이 PDS 외장(100) 내에서 수직방향으로 서로 상하로 위치된다. 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)는 2개의 지지 부재에 의해서 각각 지지된다. 하부 저장용기 조립체(10-1 및 10-2)는 지지 부재(102-1 및 102-2)에 의해서 지지되는 한편, 상부 저장용기 조립체(10-3 및 10-4)는 지지 부재(102-3 및 102-4)에 의해서 지지된다. 저장용기 조립체의 유입구 및 배출구 포트가 PDS 외장(100)의 유입구 및 배출구 공급 라인에 각각 연결된다. 유입구 및 배출구 공급 라인이 수평방향으로 배향되고 평행하도록 구성될 수 있으며, 그에 따라 저장용기 조립체의 유입구 및 배출구 포트와의 용이한 결합을 도울 수 있을 것이다. 저장용기 조립체는 PDS 외장의 전방을 통해서 로딩(적재)되고 언로딩될 수 있을 것이다. 로딩 및 언로딩 중에, 핸들 조립체(28-1, 28-2, 28-3, 28-4)를 통해서, 승강 기구를 이용하여 저장용기 조립체를 승강/이동시킬 수 있을 것이다. 저장용기 조립체가 지지 부재 상에 로딩될 수 있고 그리고 정위치로 슬라이딩될 수 있으며, 그에 따라 PDS 외장(100)에 위치된 유입구 및 배출구 공급 라인이 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)의 유입구 및 배출구 포트에 연결될 수 있게 된다. 하나의 실시예에서, 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)가 지지 부재(102-1, 102-2, 102-3, 102-4) 상에 위치된 후에, 저장용기 조립체를 조작하여 저장용기 조립체의 유입구 및 배출구 포트를 유입구 및 배출구 공급 라인과 정렬시킬 수 있도록, 지지 부재(102-1, 102-2, 102-3, 102-4)가 조정될 수 있다. 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)의 유입구 및 배출구 포트가 유입구 및 배출구 공급 라인과 정렬되면, 사용자는 0-링 피팅(fitting), 금속 가스켓 페이스(face) 등과 같은 가스 라인 피팅을 이용하여 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)의 유입구 및 배출구 포트와 유입구 및 배출구 공급 라인을 연결할 수 있다.
캐니스터 외부의 성분들이 캐니스터의 상부에 근접하여(예를 들어, 캐니스터의 상부로부터 6 인치 이내에) 배치되기 때문에, 이러한 구성을 가지지 않는 경우 보다, 더 많은 수의 저장용기 조립체가 PDS 외장(100) 내로 수직으로 로딩될 수 있을 것이다. 추가적으로, 도 1-2를 참조하여 전술한 바와 같은 단축된 외부 경로로 인해서, 또한, PDS 외장(100)에서의 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)의 보다 용이한 조작성을 가질 수 있을 것이다. 질량 유동 제어부(104)의 뱅크가 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)의 배출구에 결합되고 그리고 저장용기 조립체(10)로부터 기판 프로세싱 장치(도시하지 않음)로의 물질 유동을 조정하기 위해서 이용된다.
지지 부재(102-1, 102-2, 102-3, 102-4)를 가로질러 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)를 슬라이딩 시킴으로써, 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)가 조작될 수 있을 것이다. 다른 실시예에서, 저장용기 조립체(10-1, 10-2, 10-3, 10-4)가 상부에 로딩될 때 지지 부재가 이동될 수 있도록, 지지 부재(102-1, 102-2, 102-3, 102-4)가 조정가능하게 제조될 수 있다. 지지 부재(102-1, 102-2, 102-3, 102-4)는 그 지지 부재들을 밀어 냄으로서 이동될 수 있고 또는 지지 부재(102-1, 102-2, 102-3, 102-4)의 이동을 유발하는 핸드 크랭킹(hand cranking) 장치 또는 스텝퍼 모터와 같은 다소 더 정교한 수단에 의해서 이동될 수 있다. 지지 부재의 이동은 3 방향(즉, x, y, 또는 z 방향) 모두를 따라서 이루어질 수 있다.
일 실시예에 따라서, 캐니스터를 포함하는 저장용기 조립체가 제공되고, 상기 캐니스터는 내부 부피를 둘러싸는 하나 이상의 측벽, 상부 및 하부를 포함한다. 저장용기 조립체는 상기 내부 부피와 유체 소통하는 유입구 포트 및 상기 내부 부피와 유체 소통하는 배출구 포트를 포함한다. 저장용기 조립체는 유입구 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 유입구 밸브를 포함한다. 저장용기 조립체는 배출구 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 배출구 밸브를 포함한다. 하나 이상의 유입구 밸브 또는 배출구 밸브가 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함한다.
저장용기 조립체는 많은 수의 옵션을 포함할 수 있다. 예를 들어, 캐니스터가 전구체 가스를 수용하도록 구성될 수 있다. 유입구 밸브 및 배출구 밸브가 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함할 수 있다. 저장용기 조립체는 유입구 포트를 실질적으로 수평인 유입구 공급 라인과 결합하기 위한 유입구 커플링 및 배출구 포트를 실질적으로 수평인 배출구 공급 라인과 결합하기 위한 배출구 커플링을 더 포함할 수 있고, 상기 유입구 및 배출구 공급 라인은 실질적으로 평행할 수 있다. 유입구 포트 및 배출구 포트가 캐니스터의 상부를 통해서 내부 부피와 유체 소통될 수 있고 그리고 유입구 및 배출구 밸브 각각이 상기 상부 위쪽으로 6인치 만큼 오프셋되는 수평 평면 아래쪽에 배치될 수 있다. 저장용기 조립체는 상기 캐니스터와 탈착가능하게 결합되는 핸들 조립체를 포함할 수 있다. 핸들 조립체는 제 1 파지 표면 및 제 2 파지 표면을 포함할 수 있다. 핸들 조립체는 승강 부재를 수용하기 위한 하나 이상의 실질적으로 수평인 수용부를 포함할 수 있다. 제 1 및/또는 제 2 파지 표면은 승강 부재를 수용하기 위한 실질적으로 수평인 수용부를 둘러쌀 수 있다. 저장용기 조립체는 캐니스터와 결합되는 유입구 밸브 인터페이스 부재를 포함할 수 있고, 그리고 유입구 밸브는 유입구 밸브 인터페이스 부재와 탈착가능하게 결합될 수 있다. 유입구 밸브는, 유입구 밸브의 종축(longitudinal axis)이 캐니스터의 상부 표면에 실질적으로 평행하도록 유입구 밸브 인터페이스 부재와 결합될 수 있다. 저장용기 조립체는 캐니스터와 결합되는 배출구 밸브 인터페이스 부재를 포함할 수 있고, 그리고 배출구 밸브는 배출구 밸브 인터페이스 부재와 탈착가능하게 결합될 수 있다. 배출구 밸브는, 배출구 밸브의 종축이 캐니스터의 상부 표면에 실질적으로 평행하도록 배출구 밸브 인터페이스 부재와 결합될 수 있다. 유입구 밸브 인터페이스 부재는 내부 부피와 유입구 밸브 사이의 유체 소통을 위한 제 1 유입구 채널 및 유입구 밸브와 유입구 포트 사이의 유체 소통을 위한 제 2 유입구 채널을 포함할 수 있다. 배출구 밸브 인터페이스 부재는 내부 부피와 배출구 밸브 사이의 유체 소통을 위한 제 1 배출구 채널 및 배출구 밸브와 배출구 포트 사이의 유체 소통을 위한 제 2 배출구 채널을 포함할 수 있다. 유입구 밸브 및/또는 배출구 밸브가 공압식으로 작동되는 밸브 및 잠금 표지 모듈을 포함할 수 있다. 저장용기 조립체는 내부 부피와 유체 소통하는 충진 포트를 포함할 수 있고 그리고 충진 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 충진 밸브를 포함할 수 있다. 충진 밸브는 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함할 수 있다. 저장용기 조립체는 캐니스터와 결합된 충진 밸브 인터페이스 부재를 포함할 수 있고, 그리고 충진 밸브가 충진 밸브 인터페이스 부재와 탈착가능하게 결합될 수 있다. 충진 밸브 인터페이스 부재는 내부 부피와 충진 밸브 사이의 유체 소통을 위한 제 1 충진 채널 및 충진 밸브와 충진 포트 사이의 유체 소통을 위한 제 2 충진 채널을 포함할 수 있다.
다른 실시예에 따라서, 분배 시스템이 제공되며, 여기에서 분배 시스템은 유입구 유체 라인, 배출구 유체 라인 및 저장용기 조립체를 포함한다. 유입구 유체 라인은 저장용기 조립체로 물질(예를 들어, 캐리어 가스)을 제공한다. 배출구 유체 라인은 저장용기 조립체로부터 물질(예를 들어, 캐리어 가스 및 화학물질(들))을 제거한다. 저장용기 조립체는 캐니스터를 포함하고, 상기 캐니스터는 내부의 부피를 둘러싸는 하나 이상의 측벽, 상부 및 하부를 포함한다. 저장용기 조립체는 유입구 포트, 배출구 포트 및 충진 포트를 포함하고, 각각의 포트는 내부 부피와 유체 소통된다. 유입구 포트 및 배출구 포트는 유입구 유체 라인 및 배출구 유체 라인과 각각 결합되도록 구성된다. 저장용기 조립체는 유입구 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 유입구 밸브를 포함한다. 저장용기 조립체는 배출구 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 배출구 밸브를 포함한다. 저장용기 조립체는 충진 포트와 내부 부피 사이의 유체 소통을 제어하기 위한 충진 밸브를 포함한다. 유입구 밸브, 배출구 밸브 및 충진 밸브는 캐니스터와 탈착가능하게 결합되고 그리고 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함한다.
분배 시스템은 많은 수의 옵션을 포함할 수 있다. 예를 들어, 저장용기 조립체가 핸들 조립체를 포함할 수 있고, 그러한 핸들 조립체는 제 1 파지 표면 및 제 2 파지 표면을 포함한다. 제 1 및 제 2 파지 표면의 각각은 승강 부재를 수용하기 위한 것으로서 실질적으로 수평인 수용부를 둘러쌀 수 있다. 핸들 조립체는 캐니스터에 탈착가능하게 부착될 수 있다. 유입구 밸브, 배출구 밸브 및/또는 충진 밸브가 공압식으로 작동되는 밸브를 포함할 수 있고 그리고 잠금 표지 모듈을 포함할 수 있다. 저장용기 조립체는 유입구 포트를 유입구 유체 라인과 결합하기 위한 유입구 커플링을 포함할 수 있고 그리고 배출구 포트를 배출구 유체 라인과 결합하기 위한 배출구 커플링을 포함할 수 있다. 저장용기 조립체를 분배 시스템으로 결합하는 동안에 저장용기 조립체의 실질적으로 수직인 운동이 필요 없도록, 유입구 커플링 및 배출구 커플링이 구성될 수 있다. 캐니스터는 전구체 가스를 수용하도록 구성될 수 있다.
여기에서 설명된 예들 및 실시예들이 설명을 위한 것이고 그리고 본원 발명이 그러한 예들 및 실시예들로 한정되지 않는다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 개시된 예들 및 실시예들에 비추어 볼 때 여러 가지 변형 또는 변경이 소위 당업자에게 제시될 수 있을 것이고 그리고 본원의 사상 및 범위 및 특허청구범위의 범주 내에 포함될 수 있을 것이다. 여러 가지 서로 다른 조합들이 가능할 것이고, 그러한 조합은 본원 발명의 일부로서 간주된다.

Claims (21)

  1. 저장용기 조립체로서:
    내부 부피를 둘러싸는, 하나 이상의 측벽, 상부 및 하부를 포함하는 캐니스터(canister);
    상기 내부 부피와 유체 소통하는 유입구 포트;
    상기 유입구 포트와 상기 내부 부피 사이의 유체 유동을 제어하기 위한 유입구 밸브;
    상기 캐니스터와 결합된 유입구 밸브 인터페이스 부재 ― 상기 유입구 밸브 인터페이스 부재는, 상기 내부 부피와 상기 유입구 밸브 사이의 제 1 유입구 채널 및 상기 유입구 밸브와 상기 유입구 포트 사이의 제 2 유입구 채널을 포함하고, 상기 유입구 밸브는, 상기 유입구 밸브의 종축(longitudinal axis)이 상기 캐니스터의 상부 표면에 평행하도록 상기 유입구 밸브 인터페이스 부재와 결합됨 ―;
    상기 내부 부피와 유체 소통하는 배출구 포트;
    상기 배출구 포트와 상기 내부 부피 사이의 유체 유동을 제어하기 위한 배출구 밸브; 및
    상기 캐니스터와 결합된 배출구 밸브 인터페이스 부재 ― 상기 배출구 밸브 인터페이스 부재는, 상기 내부 부피와 상기 배출구 밸브 사이의 제 1 배출구 채널 및 상기 배출구 밸브와 상기 배출구 포트 사이의 제 2 배출구 채널을 포함하고, 상기 배출구 밸브는, 상기 배출구 밸브의 종축이 상기 캐니스터의 상기 상부 표면에 평행하도록 상기 배출구 밸브 인터페이스 부재와 결합됨 ―;
    를 포함하며,
    상기 유입구 밸브 및 상기 배출구 밸브는 각각, 공압식 밸브 부분 및 수동 잠금 표지(lock-out tag-out) 모듈을 포함하는 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함하는,
    저장용기 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐니스터는 전구체 가스를 수용하는,
    저장용기 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유입구 포트 및 상기 배출구 포트 각각은, 상기 캐니스터의 상기 상부를 통해서 상기 내부 부피와 유체 소통하고, 상기 유입구 밸브 및 상기 배출구 밸브 각각은, 상기 상부의 위쪽으로 6인치 만큼 오프셋된(offset) 수평 평면의 아래쪽에 배치되는,
    저장용기 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 유입구 밸브는 상기 유입구 밸브 인터페이스 부재와 탈착가능하게(demountably) 결합되고, 상기 배출구 밸브는 상기 배출구 밸브 인터페이스 부재와 탈착가능하게 결합되는,
    저장용기 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유입구 포트를 수평인 유입구 공급 라인과 결합하기 위한 유입구 커플링; 및
    상기 배출구 포트를 수평인 배출구 공급 라인과 결합하기 위한 배출구 커플링을 더 포함하는,
    저장용기 조립체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 유입구 공급 라인 및 상기 배출구 공급 라인은 평행한,
    저장용기 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 내부 부피와 유체 소통하는 충진(fill) 포트; 및
    상기 충진 포트와 상기 내부 부피 사이의 유체 유동을 제어하기 위한 충진 밸브를 더 포함하고,
    상기 충진 밸브는 공압식 밸브 부분 및 수동 잠금 표지 모듈을 포함하는 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함하는,
    저장용기 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 캐니스터와 결합된 충진 밸브 인터페이스 부재를 더 포함하고, 상기 충진 밸브는 상기 충진 밸브 인터페이스 부재와 탈착가능하게 결합되는,
    저장용기 조립체.
  9. 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 8 항에 있어서,
    상기 충진 밸브 인터페이스 부재는, 상기 내부 부피와 상기 충진 밸브 사이의 제 1 충진 채널 및 상기 충진 밸브와 상기 충진 포트 사이의 제 2 충진 채널을 포함하는,
    저장용기 조립체.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐니스터와 탈착가능하게 결합된 핸들 조립체를 더 포함하고, 상기 핸들 조립체는 제 1 파지(gripping) 표면 및 제 2 파지 표면을 포함하는,
    저장용기 조립체.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 핸들 조립체는, 상기 저장용기 조립체를 이동시키는데 이용될 수 있는 승강 부재를 수용하도록 구성된, 수용하기 위한 하나 이상의 수평인 수용부를 포함하는,
    저장용기 조립체.
  12. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 파지 표면 및 상기 제 2 파지 표면 각각은, 상기 저장용기 조립체를 이동시키는데 이용될 수 있는 승강 부재를 수용하도록 구성된 수평인 수용부를 둘러싸는,
    저장용기 조립체.
  13. 분배 시스템으로서:
    저장용기 조립체로 물질을 제공하기 위한 유입구 유체 라인; 및
    상기 저장용기 조립체로부터 상기 물질을 제거하기 위한 배출구 유체 라인
    을 포함하고;
    상기 저장용기 조립체는:
    내부 부피를 둘러싸는, 하나 이상의 측벽, 상부 및 하부를 포함하는 캐니스터;
    상기 내부 부피와 유체 소통하는, 유입구 포트, 배출구 포트, 및 충진 포트 ― 상기 유입구 포트 및 상기 배출구 포트는 상기 유입구 유체 라인 및 상기 배출구 유체 라인과 각각 결합됨 ―;
    상기 유입구 포트와 상기 내부 부피 사이의 유체 유동을 제어하기 위한 유입구 밸브;
    상기 배출구 포트와 상기 내부 부피 사이의 유체 유동을 제어하기 위한 배출구 밸브;
    상기 충진 포트와 상기 내부 부피 사이의 유체 유동을 제어하기 위한 충진 밸브;
    상기 캐니스터와 결합된 유입구 밸브 인터페이스 부재 ― 상기 유입구 밸브 인터페이스 부재는, 상기 내부 부피와 상기 유입구 밸브 사이의 제 1 유입구 채널 및 상기 유입구 밸브와 상기 유입구 포트 사이의 제 2 유입구 채널을 포함하고, 상기 유입구 밸브는, 상기 유입구 밸브의 종축이 상기 캐니스터의 상부 표면에 평행하도록 상기 유입구 밸브 인터페이스 부재와 결합됨 ―; 및
    상기 캐니스터와 결합된 배출구 밸브 인터페이스 부재 ― 상기 배출구 밸브 인터페이스 부재는, 상기 내부 부피와 상기 배출구 밸브 사이의 제 1 배출구 채널 및 상기 배출구 밸브와 상기 배출구 포트 사이의 제 2 배출구 채널을 포함하고, 상기 배출구 밸브는, 상기 배출구 밸브의 종축이 상기 캐니스터의 상기 상부 표면에 평행하도록 상기 배출구 밸브 인터페이스 부재와 결합됨 ―;
    를 더 포함하며,
    상기 유입구 밸브, 상기 배출구 밸브 및 상기 충진 밸브 각각은, 상기 캐니스터와 탈착가능하게 결합되고, 그리고 공압식 밸브 부분 및 수동 잠금 표지 모듈을 포함하는 이중-기능 하이브리드 밸브를 포함하는,
    분배 시스템.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 저장용기 조립체는:
    상기 유입구 포트를 상기 유입구 유체 라인과 결합하기 위한 유입구 커플링; 및
    상기 배출구 포트를 상기 배출구 유체 라인과 결합하기 위한 배출구 커플링을 더 포함하고,
    상기 유입구 커플링 및 상기 배출구 커플링은, 상기 저장용기 조립체를 상기 분배 시스템에 결합하는 동안에 상기 저장용기 조립체의 수직인 운동이 필요 없도록 구성되는,
    분배 시스템.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 캐니스터는 전구체 가스를 수용하는,
    분배 시스템.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 저장용기 조립체는 핸들 조립체를 더 포함하고, 상기 핸들 조립체는 제 1 파지 표면 및 제 2 파지 표면을 포함하며, 상기 제 1 파지 표면 및 상기 제 2 파지 표면 각각은, 상기 저장용기 조립체를 이동시키는데 이용될 수 있는 승강 부재를 수용하도록 구성된 수평인 수용부를 둘러싸는,
    분배 시스템.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 핸들 조립체는 상기 캐니스터와 탈착가능하게 결합되는,
    분배 시스템.
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