JP2013229122A - 導電性基板、タッチパネル、および導電性基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基材11に透明導電層13および配線層14がその順で積層された積層構造を有する導電性基板10であって、前記配線層14は、銅を主成分とする配線本体15と、銅およびニッケルを含む合金を主成分とし前記配線本体15の前記透明基材11とは反対側の主面を被覆する第1の被覆層16とを有し、前記第1の被覆層16のニッケル含有量が30wt%〜70wt%である構成とする。
【選択図】図3
Description
そのようなタッチパネルの一例である特許文献1に記載の静電容量型タッチパネルは、2枚の導電性基板を貼り合わせた構造を有し、各導電性基板は、透明基材に金属酸化物で構成される透明導電層と、金属または合金で構成される配線層とが、その順で積層された構造を有する。そして、前記透明導電層は、透明基材の中央領域に位置検出のための電極部を有し、前記配線層は、前記中央領域を囲繞する周縁領域に前記電極部と電気的に接続された配線部を有する。
<導電性基板およびタッチパネル>
(タッチパネル)
図1は、本発明の一態様に係るタッチパネルを示す断面模式図である。図2は、本発明の一態様に係る導電性基板を示す平面図であって、図2(a)は第1の導電性基板を示し、図2(b)は第2の導電性基板を示す。なお、図2におけるA−A線の部分が図1の断面の切断位置である。
各導電性基板10,20について、アンダーコート層12,22は、パターニングされていない所謂べた膜として、または一部がパターニングされて形成されている。一方、透明導電層13,23および配線層14,24は、パターニングされている。
第1の導電性基板10と第2の導電性基板20とは、透明導電層13,23および配線層14,24のパターン形状が異なる以外は同じ構成である。したがって、以下では、第1の導電性基板10についてのみ説明し、第2の導電性基板20についての説明を省略する。だたし、以下の第1の導電性基板10に関する説明は、第2の導電性基板20にも適応される。
(透明基材)
透明基材11は、タッチパネルの用途に応じて、PET(ポリエチレンテレフタラート)、PEN(ポリエチレンナフタレート)、PES(ポリエーテルスルホン)、PC(ポリカーボネート)、PE(ポリエチレン)、PP(ポリプロピレン)、COP(シクロオレフィンポリマー)、COC(シクロオレフィンコポリマー)、PMMA(ポリメチルメタクリレート)、アクリル、シロキサン架橋型アクリルシリコーン樹脂、ナイロン、ウレタン等の有機材料や、ソーダガラス、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等の無機材料や、それら有機材料と無機材料との混成材料で形成することができる。材質は特には限定されない。
透明基材11が採用されているため、第1の導電性基板10は透明導電性基板である。なお、本願において透明とは、無色透明だけでなく有色透明も含まれる。また、完全な透明だけでなく、透明度の高い半透明も含まれる。
アンダーコート層12は、透明導電層13のパターン形状を見え難くして視認性を向上させる効果を奏する層である。アンダーコート層12は、透明基材11や透明導電層13よりも低い屈折率の材料からなる低屈折率層(1層のみ)や、低屈折率層と高屈折率層(低屈折率層よりも高い屈折率の材料からなる層)とを組み合わせた2層以上の層で形成される。視認性を向上させるアンダーコート層12の構成としては、特表2007−508639号、特開2008−98169号等で開示されている。
アンダーコート層12は、透明基材11と透明導電層13との間に、低屈折率層が高屈折率層よりも透明導電層13側に位置する状態で介在している。
低屈折率層の厚みは、視認性向上の観点から2nm〜20nmであることが好ましい。低屈折率層の材料としては、シリコンスズ酸化物、酸化ケイ素、酸化アルミ等の無機酸化物、それら無機酸化物のうちの複数を組み合わせで構成される組成物、フッソ系有機物素材、酸化ケイ素系ゾルゲル素材、酸化ケイ素系やフッソ系の微多孔質素材等が挙げられる。視認性および生産性の向上の観点からは、光屈折率が1.3〜1.5のものが特に好ましい。低屈折率層は、スパッタリング法、抵抗蒸着法、電子ビーム蒸着法、ウエットコーティング法等により形成することができる。
透明導電層13は、透明導電層13,23間の静電容量の変化により座標を検出するための層であり、金属酸化物で構成されている。透明導電層13を構成する金属酸化物としては、酸化インジウム一酸化スズ(ITO)、酸化インジウム一酸化スズ一酸化チタン(InTiTO)、酸化チタン(TiO)、酸化インジウム一酸化亜鉛(IZO)、酸化インジウム(In2O3)、タングステンドープ酸化インジウム(IWO)、チタンドープ酸化インジウム(ITiO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO2)、弗化スズ(SnF2)、アルミドープ酸化亜鉛(AZO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)、ガリウムアルミドープ酸化亜鉛(GAZO)等が挙げられる。
図3は、本発明の一態様に係る導電性基板を示す断面模式図であって、具体的には、図1に示す第1の導電性基板10の断面をより詳細に示した模式図である。図3に示すように、配線層14は、配線本体15と、配線本体15の透明基材11とは反対側の主面を被覆する第1の被覆層16と、配線本体15の透明基材側の主面を被覆する第2の被覆層17とを有する。配線本体14の各配線部14aは、配線本体15の一部である配線本体部分15aと、第1の被覆層16の一部である第1の被覆層部分16aと、第2の被覆層17の一部である第2の被覆層部分17aとで構成される。
なお、本願において主成分とは、最も多量に含有されている成分のことであり、通常70wt%以上、好ましくは80wt%以上、更に好ましくは90wt%以上含有する成分のことである。また、上記純金属の用語は、合金との差別化のために用いられており、銅100wt%を意味するものではない。したがって、銅の純金属には、銅以外の元素が不純物程度に含まれていても良い。
さらに、銅およびニッケルを含む合金は、ニッケル含有量が30wt%〜70wt%であることが好ましい。
第2の被覆層17は、透明導電層13上に形成されるため、透明導電層13との密着性が高い材料で構成されていることが好ましい。その点において、Cu−Ni−Tiは、透明導電層13を形成する金属酸化物との密着性が高い材料であるため好ましい。
導電性基板10の製造方法について説明する。図4は、本発明の一態様に係る導電性基板の製造方法を説明するための工程図である。
まず、図4(a)に示すように、準備した透明基材11上にアンダーコート層12を形成する。アンダーコート層12は、スパッタリング法、抵抗蒸着法、電子ビーム蒸着法などにより形成することができる。
第2の被覆層17の構成材料がCu−Niであり、配線本体15の構成材料がCuであり、第1の被覆層16の構成材料がCu−Niである場合は、塩化第二鉄をエッチャントとして使用してべた膜14Aをエッチングすることが好ましい。塩化第二鉄を使用すれば、配線本体15がサイドエッチングされ難い。近年、タッチパネル1の大型化や位置検出精度の向上のために、配線層14の配線部14aの数が増加しており、加えて、それら配線部14aが形成される周縁領域がタッチパネル1の狭額縁化のために狭小化していることから、各配線部14aの幅を狭くせざるを得ない状況が生じている。幅の狭い配線部14aを形成する場合に、配線部14aにおける配線本体部分15aにサイドエッチングが生じると、配線部14aが電気的に断線してしまうおそれがある。このような課題に対して、上記のように塩化第二鉄をエッチャントとしてべた膜14Aをエッチングすれば、配線本体15がサイドエッチングされ難いため好ましい。なお、エッチャントとしては、塩化第二鉄以外に、ペルオキソ二硫酸アンモニウム水溶液、過酸化水素水溶液などが挙げられる。
<実験>
以下では、実験結果に基づきながら、本発明に係る配線層の特徴について説明する。
[実験用サンプルの構成]
図5は、実施例に係る導電性基板の積層構造を示す断面模式図である。図6は、比較例に係る導電性基板の積層構造を示す断面模式図である。実験では、図5に示すような実施例1,2の導電性基板、および、図6に示すような比較例1〜3の導電性基板を、実験用のサンプルとして作製した。
配線層については各サンプルによって構成が異なる。具体的には、全てのサンプルにおいて配線本体がCuで構成されている点は共通しているが、第1の被覆層および第2の被覆層は構成が異なる。第1の被覆層について、実施例1,2はNi−Cuで構成され、比較例1は形成されておらず、比較例2はCuNで構成され、比較例3はNiで構成されている。第2の被覆層については、実施例2のみにNi−Cuで構成される第2の被覆層が形成されており、実施例1および比較例1〜3には第2の被覆層が形成されていない。なお、実施例1,2の第1の被覆層を構成するNi−Cuは、ニッケルと銅の組成比がNi:Cu=65:35(ニッケル含有量が65wt%)である。また、各サンプルのいずれにおいても、配線本体の厚みは120nm、第1の被覆層の厚みは20nm、第2の被覆層の厚みは20nmである。
各サンプルの配線層の腐食性を配線層の表面(透明基材とは反対側の主面)の反射率の変化により評価した。配線層の表層(配線層における透明基材とは反対側の主面近傍部分)が酸化して酸化被膜が生じると、配線層の表面の屈折率が変化して反射率が低下する。この現象を本願では配線層の腐食と呼んでいる。配線層が腐食すると、すなわち配線層の表層に酸化被膜が生じると、その酸化被膜によって配線層が高抵抗化するため好ましくない。反射率の低下が小さかった場合は、表層に酸化被膜が生じ難かったと、すなわち配線層が腐食し難かったと評価できる。
図7〜図10は、配線層の表面の分光反射率の測定結果を示すグラフであって、図7は実施例1の測定結果、図8は比較例1の測定結果、図9は比較例2の測定結果である。図10は比較例3の測定結果である。各図において、「10nm」、「20nm」、「30nm」、「40nm」は、第1の被覆層の厚みが10nm、20nm、30nm、40nmであることを示す。また、「Ini.」は、湿熱試験前の分光反射率を示す。「Aft.」は、湿熱試験後の分光反射率を示す。
次に、実施例1と実施例2のサンプルを用いて、第2の被覆層のサイドエッチング抑制効果について検討した。具体的には、実施例1,2のサンプルを、3種のエッチャントでエッチングして、サイドエッチングにより配線層の配線本体の実際のライン幅が、設計上のライン幅(レジストのライン幅)に対して、どの程度狭くなるのかを確認した。
その結果、まず、実施例1と実施例2の結果を比較すると、図11および図12に示すように、ペルオキソ二硫酸アンモニウム水溶液、塩化第二鉄水溶液、塩化第二鉄のいずれのエッチャントを使用した場合においても、第2の被覆層を有する実施例2は、第2の被膜層を有さない実施例1よりもサイドエッチング量が少なかった。すなわち、第2の被膜層を形成することによって、配線本体のサイドエッチングを抑制できることが分かった。次に、実施例1,2のいずれにおいても、塩化第二鉄が最もサイドエッチング量が少なく、エッチャントとして好適であった。
次に、実施例1と実施例2のサンプルを用いて、第2の被覆層によるピンホール防止効果を確認した。
まずは、第2の被覆層のピンホールの個数をカウントして、ピンホールの生じ易さを評価した。ピンポールの個数の測定は、サンプルの裏側から蛍光灯を用いて光を当てた状態で、各サンプルにおける50mm□(面積2.5×10-3m2)の範囲内において、光がピンホールを透過する箇所の数を、目視によりカウントして求めた。
図14は、ピンホールの最大幅の測定結果を示す表である。図14に示すように、第2の被膜層を有する実施例2は、第2の被膜層を有さない実施例1と比べて、ピンホールの最大幅が小さかった、すなわち大きなピンホールが生じ難かった。大きなピンホールが生じ難かった理由は、実施例2のピンホールの数が少なかったのと同じ理由であると考えられる。
以上、本発明の一態様に係る導電性基板、タッチパネル、および導電性基板の製造方法を具体的に説明してきたが、それらは、本発明に係る導電性基板、タッチパネル、および導電性基板の製造方法の構成および作用効果を分かり易く説明するための一例であって、本発明に係る導電性基板、タッチパネル、および導電性基板の製造方法は、それらの内容に限定されない。例えば、上記の材料、数値等は好ましいものを例示しているだけであり、それに限定されることはない。また、以下に説明するような変形例も考えられる。
本発明に係る配線層は、少なくとも、配線本体および第1の被覆層を備えていれば良い。第2の被覆層を有するか否かは任意である。第2の被覆層の代わりに別の層が含まれていても良いし、第2の被覆層に加えて別の層が含まれていても良い。別の層は、1層であっても良いし、複数層であっても良い。また、別の層は、配線本体に対して透明基材側に配置されていても良いし、透明基材とは反対側に配置されていても良い。
10,20,40 導電性基板
11,21,41 透明基材
12,22,42 アンダーコート層
13,23,43 透明導電層
14,24,44 配線層
15,25,45 配線本体
16,26,46 第1の被覆層
17,27,47 第2の被覆層
Claims (8)
- 透明基材に透明導電層および配線層がその順で積層された積層構造を有する導電性基板であって、
前記配線層は、銅を主成分とする配線本体と、銅およびニッケルを含む合金を主成分とし前記配線本体の前記透明基材とは反対側の主面を被覆する第1の被覆層とを有し、
前記第1の被覆層のニッケル含有量が30wt%〜70wt%であることを特徴とする導電性基板。 - 前記透明導電層は、前記透明基材の中央領域に電極部を有すると共に、前記中央領域を囲繞する周縁領域に前記電極部から延出した接続部を有するようパターニングされており、
前記配線層は、前記周縁領域に前記接続部と接触する配線部を有するようパターニングされていることを特徴とする請求項1記載の導電性基板。 - 前記第1の被覆層は、銅とニッケルの合金からなることを特徴とする請求項1または2に記載の導電性基板。
- 前記配線層は、銅およびニッケルを含む合金を主成分とし前記配線本体の前記透明基材側の主面を被覆する第2の被覆層をさらに有し、
前記第2の被覆層のニッケル含有量が30wt%〜70wt%であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の導電性基板。 - 前記第2の被覆層は、銅とニッケルの合金からなることを特徴とする請求項4に記載の導電性基板。
- 請求項1から5のいずれかに記載の導電性基板を備えることを特徴とするタッチパネル。
- 透明基材に透明導電層および配線層がその順で積層され、前記配線層は、銅を主成分とする配線本体と、銅およびニッケルを含む合金を主成分とし前記配線本体の前記透明基材とは反対側の主面を被覆する第1の被覆層と、銅およびニッケルを含む合金を主成分とし前記配線本体の前記透明基材側の主面を被覆する第2の被覆層とを有し、前記第1の被覆層および前記第2の被覆層のニッケル含有量が30wt%〜70wt%である導電性基板の製造方法であって、
前記透明基材に、前記透明導電層の構成材料からなるべた膜、前記第2の被覆層の構成材料からなるべた膜、前記配線本体の構成材料からなるべた膜、および、前記第1の被覆層の構成材料からなるべた膜をその順で積層させて、それらべた膜からなる積層体を形成する積層体形成工程と、
前記積層体をエッチングし、所定の形状にパターニングするパターニング工程と、
を含むことを特徴とする導電性基板の製造方法。 - 前記透明基材と前記透明導電層との間にさらにアンダーコート層を積層する工程を含み、前記アンダーコート層は、前記透明基材や前記透明導電層よりも低い屈折率の材料からなる低屈折率層や、前記低屈折率層と高屈折率層とを組み合わせた2層以上の層で形成されることを特徴とする請求項7に記載の導電性基板の製造方法。
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