JP2013225659A - 基板処理装置、メンテナンス方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定枚数の各種基板を処理する処理室と、少なくとも各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、ダミーキャリアが基板収容部上から搬出されるときのダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を保持する記憶部と、ダミーキャリアが基板収容部に再投入されると記憶部が保持する膜厚値に基づいてダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定する管理部と、を少なくとも備えて基板処理装置を構成する。
【選択図】 図6
Description
所定枚数の各種基板を処理する処理室と、
少なくとも前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上から搬出されるときの当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を保持する記憶部と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると前記記憶部が保持する膜厚値に基づいて当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定する管理部と、
を備えた基板処理装置が提供される。
所定枚数の各種基板を処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
前記基板処理装置の定期メンテナンスのために、前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出する工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出するときに、当該ダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値を保持しておく工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上に再投入する工程と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、保持している膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記定期メンテナンスの後における前記各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法が提供される。
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
他装置で使用したダミー基板を収納したダミーキャリアを前記基板収容部上に投入する工程と、
前記基板収容部上に投入されたダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値についての情報を取得する工程と、
取得情報に基づき前記基板収容部上のダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記基板収容部上にダミーキャリアが投入された後における当該ダミーキャリア内の各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法が提供される。
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種である製品基板を収納したキャリアまたは前記各種基板の他の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
前記製品基板を収納した前記キャリアを前記基板収容部上に載置する載置工程と、
前記基板収容部上の前記キャリアから搬出した前記製品基板に対する処理を前記処理室内にて行う処理工程と、
前記載置工程を開始する前に、前記ダミー基板を収納した前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出する工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出するときに、当該ダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値を保持しておく工程と、
前記処理工程の後に、前記ダミーキャリアを前記基板収容部上に再投入する工程と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、保持している膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記ダミーキャリアの再投入後における前記各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法が提供される。
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置に接続されて用いられるコンピュータに、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上から搬出されるときの当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を保持するステップと、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると前記記憶部が保持する膜厚値に基づいて当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定するステップと、
を実行させるプログラムが提供される。
以下に、本発明の第1の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
本実施形態に係る基板処理装置は、処理手順及び処理条件が定義されたレシピに基づく基板処理プロセスを実行することで基板に対する処理を行うものであり、複数枚の基板に対して同時に処理を行う多枚葉式の基板処理装置として構成されたものである。
基板処理装置10の真空側には、真空気密可能な真空搬送室TM(Transfer Module)と、予備室としてのロードロック室LM(Load Lock Module)1,LM2と、複数の基板Wを一括処理する処理室としてのプロセスチャンバPM(Process Module)1,PM2と、が設けられている。ロードロック室LM1,LM2、プロセスチャンバPM1,PM2は、真空搬送室TMの外周を囲むように配置されている。
一方、基板処理装置10の大気側には、上述の通り、ロードロック室LM1,LM2に接続されたフロントモジュールである大気搬送室EFEM(Equipment Front End Module)と、大気搬送室EFEMに接続され、例えば1ロット分、25枚の基板Wを収納した基板収納手段としてのキャリアCA1〜CA3を載置する基板収容部としてのロードポートLP1〜LP3と、が設けられる。
以上のように構成された基板処理装置10は、その処理動作が装置コントローラ部20からの指示によって制御される。装置コントローラ部20は、基板処理装置10の内部に設けられたものであってもよいし、あるいは基板処理装置10とは別体で設置されて通信回線等を介して電気的に接続されるものであってもよい。
次に、本実施形態に係る基板処理装置10の動作について、図1を参照しながら説明する。以下の説明において、基板処理装置10の各部の動作は装置コントローラ部20により制御される。その制御に従いつつ基板処理装置10が行う基板処理工程は、半導体装置の製造工程の一工程として実施される。
基板処理工程では、先ず、スタンバイ処理として、真空搬送室TM内及びプロセスチャンバPM1,PM2内を真空排気して、真空搬送圧の状態にしておく。また、併せて、大気搬送室EFEM内には、略大気圧になるようにクリーンエアを供給する。
所定の基板枚数の基板WがプロセスチャンバPM1内に搬送された後は、プロセスチャンバPM1内に処理ガスを供給したり基板Wを加熱したりなどして、基板Wに対して所定の処理、例えばプラズマ等を用いた成膜処理等を実施する。このとき、プロセスチャンバPM2内においても、同一の、或いは異なる内容の基板処理が同時進行される場合もある。
必要な処理が全て完了したら、上述した基板搬入の場合とは逆の手順で、例えばプロセスチャンバPM1内部の基板載置台ST11〜ST15に設置されている処理済の基板Wを搬出する。これにより、処理済みの製品基板は、例えばロードポートLP1に載置されたキャリアCA1に搬出されて空きスロットに収納される。また、ダミー基板については、例えばロードポートLP3に載置されたダミーキャリアC3に搬出されて空きスロットに収納される。処理済みの全ての基板Wを所定のキャリアCA1,C3等に収納したら、ダミー基板を収納したダミーキャリアC3はロードポートLP3に常駐させたまま、処理済みの製品基板を収納したキャリアCA1をロードポートLP1から搬出して、基板処理工程を完了する。
次に、上述した基板処理工程における一連の処理動作でのダミー基板の運用について、さらに詳しく説明する。
本実施形態の基板処理装置10では、ダミー基板を、以下に述べる二つの用途で使用する。
ところで、ダミー基板は、繰り返し使用されるので、例えば基板処理が成膜処理であると、複数回使用されるうちに堆積膜が累積していく。そのため、ダミー基板を過剰に使用すると、累積膜厚が増大し、パーティクルが発生し、また膜応力の過多や繰り返し使用による熱履歴によりダミー基板の反りや変形等が発生してしまい、搬送エラーを起こしやすくなる。このことから、本実施形態の基板処理装置10では、装置コントローラ部20がダミー基板の累積膜厚を管理する。
ダミーキャリアC3のロードポートLP3上への再投入については、上述したアラート出力またはアラーム出力に応じて行われるものの他に、以下に述べる第1〜第4の再投入態様によるものがある。
基板処理装置10については、定期メンテナンスを行う必要がある。定期メンテナンスとしては、例えば、フロントモジュールである大気搬送室EFEMのオーバーホールや、大気搬送室EFEM内の大気ロボットAR等の搬送系のグリスアップが挙げられる。このような定期メンテナンスを行う場合には、大気搬送室EFEMに接続するロードポートLP1〜LP3上にキャリアCA1〜CA3,C3が載置されていると、当該キャリアCA1〜CA3,C3が作業の邪魔になってしまうおそれがある。そのため、定期メンテナンスを行う場合には、例えばロードポートLP3上にダミーキャリアC3があれば、収容するダミー基板の累積膜厚値がアラート閾値に達していないときでも、そのダミーキャリアC3が一旦ロードポートLP3上から搬出される。そして、定期メンテナンスの作業終了後に、ダミーキャリアC3がロードポートLP3上に再投入されることになる。
基板処理装置10が用いられる半導体装置の製造現場では、当該基板処理装置10と他装置(例えば、縦型の基板処理装置や定期メンテナンスに入った他の基板処理装置10)との間で、ダミー基板を共用することがある。このような場合には、他装置で使用したダミー基板(使用済みであるが累積膜厚値がアラート閾値に達していないもの)を基板処理装置10にて再利用することが考えられる。つまり、再利用するダミー基板を収容したダミーキャリアC3が、ロードポートLP3上に投入されることになる。以下、ここでの投入についても「再投入」と称する。
基板処理装置10については、装置の改変作業を行う必要が生じる場合がある。改変作業としては、装置を動作させるソフトウエアのバージョンアップのための作業が挙げられる。また、例えば突発的な異常発生による復旧処理のために、装置の構成部品を改変(交換)することもあり得る。このような改変作業を行う場合には、その作業後に動作確認を行うことが必須となるが、その動作確認中に装置が予期せぬ動作を行うこともあり得る。そのため、ロードポートLP1〜LP3上にキャリアCA1〜CA3,C3が載置されていると、予期せぬ動作によりキャリア破損等のトラブルやこれに類する事態が発生してしまうことが懸念される。このことから、装置の改変作業を行う場合には、例えばロードポートLP3上にダミーキャリアC3があれば、収容するダミー基板の累積膜厚値がアラート閾値に達していないときでも、そのダミーキャリアC3が一旦ロードポートLP3上から搬出される。そして、装置の改変作業が終了し、その作業後の動作確認が完了した後に、ダミーキャリアC3がロードポートLP3上に再投入されることになる。
基板処理装置10においては、例えば、ロードポートLP1〜LP3上のキャリアCA1〜CA3に収納される製品基板の枚数がプロセスチャンバPM1,PM2での一括処理枚数(例えば5枚)の倍数であり、長期間にわたってダミー基板を必要としないことがわかっている場合がある。その場合には、ダミーキャリアC3をロードポートLP3上から搬出し、なるべく製品基板を収納するキャリアCA1〜CA3のためにロードポートLP1〜LP3を確保して、効率的な運用を図ることが想定される。そして、このような運用を図る場合には、ダミー基板を必要としない期間が経過した後に、ダミーキャリアC3がロードポートLP3上に再投入されることになる。
以上に挙げた第1〜第4の再投入態様において、ロードポートLP3上からのダミーキャリアC3の搬出時にダミー基板の累積膜厚値を含む情報がゼロクリアされてしまうと、再投入されたダミーキャリアC3におけるダミー基板に実際に累積している膜厚値と、装置コントローラ部20が認識している膜厚値との間には、乖離が発生してしまう。このことから、本実施形態に係る基板処理装置10における装置コントローラ部20は、以下に説明するように、ダミーキャリアC3が再投入された際に各ダミー基板の累積膜厚値の再設定を行えるように構成されている。
以下、本実施形態に係る基板処理装置10における装置コントローラ部20の機能構成について、図5を用いて説明する。図5は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置10の装置コントローラ部20における機能構成を示すブロック図である。
次に、本実施形態に係る基板処理装置10において、ダミーキャリアC3がロードポートLP3上へ再投入された際に、ダミー基板の累積膜厚値を自動設定する処理動作を、図面に基づいて説明する。
図6は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置10でのダミーキャリア再投入時の自動設定処理の動作例を示すフローチャートである。なお、ここでは、上述した第1の再投入態様(すなわち定期メンテナンスの実施)によって、ダミーキャリアC3の再投入を行う場合を例に挙げて説明する。
上述した一連の手順によれば、同一キャリアIDのダミーキャリアC3が再投入されると、その再投入時に、当該ダミーキャリアC3内の各ダミー基板の累積膜厚値が、ロードポートLP3上からのキャリア搬出時と同内容に自動で再設定される。ところが、何らかの理由で上述した一連の手順を利用できない場合が生じてしまうことも考えられる。
また、本実施形態に係る基板処理装置10は、以下に述べる手順によっても、各ダミー基板の累積膜厚値の再設定を行うことが可能である。図8は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置10でのダミーキャリア再投入時のダミー基板情報設定処理の動作例を示すフローチャートである。
本実施形態によれば、以下に挙げる一つ又はそれ以上の効果を奏する。
め設定された累積膜厚の閾値までダミー基板を有効に利用することができる。例えば、プロセスチャンバPM1,PM2で1回あたりSiO膜10nm程度の成膜処理を行う場合に、ダミー基板の累積膜厚値の閾値をSiO膜1000nmとすると、一つのダミー基板を100回まで利用することができる。さらに詳しくは、例えば、1日に成膜処理を4回ずつ、1回あたりダミー基板を1枚利用したとして、2つのプロセスチャンバPM1,PM2で計算すると、1日あたりのダミー基板利用回数は4回×1枚×2つ=8回となり、ダミーキャリアC3にダミー基板が25枚あると、全てのダミー基板が累積膜厚の閾値に到達するまでの回数は25枚×100回=2500回となり、その閾値到達に要する日数は2500回÷8回=約300日となる。このように、一旦使用を開始したダミーキャリアC3は、約300日という長期間にわたって使用し続けられるため、例えば定期メンテナンス等によってロードポートLP3上から一時的に搬出される可能性が高い。そのため、本実施形態のように、各ダミー基板の累積膜厚値を再設定できるようにして、累積膜厚の閾値まで各ダミー基板を有効に利用できるようにすることは、利点が大きいと言える。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
本実施形態においては、主として、ダミーキャリアC3のロードポートLP3上への再投入の際にダミー基板の累積膜厚値を再設定する処理動作が、上述した第1の実施形態の場合とは異なる。
図9は、本発明の第2の実施形態に係る基板処理装置10でのダミーキャリア再投入時の自動設定処理の動作例を示すフローチャートである。なお、ここでも、上述した第1の実施形態の場合と同様に、第1の再投入態様(すなわち定期メンテナンスの実施)によって、ダミーキャリアC3の再投入を行う場合を例に挙げて説明する。
上述した一連の手順によれば、同一キャリアIDのダミーキャリアC3が再投入されると、その再投入時に、当該ダミーキャリアC3内の各ダミー基板の累積膜厚値が、ロードポートLP3上からのキャリア搬出時と同内容に自動で再設定される。ところが、何らかの理由で上述した一連の手順を利用できない場合が生じてしまうことも考えられる。
また、本実施形態に係る基板処理装置10は、以下に述べる手順によっても、各ダミー基板の累積膜厚値の再設定を行うことが可能である。図11は、本発明の第2の実施形態に係る基板処理装置10でのダミーキャリア再投入時のダミー基板情報設定処理の動作例を示すフローチャートである。
なお、基板処理装置10とホストコンピュータ30との間では、基板処理装置10からホストコンピュータ30に対して、ダミー基板のステータス変化に応じて累積膜厚値をイベント報告(SEMI E90 基板トラッキング仕様)することがある。このようなイベント報告を行う場合には、上述したようなホストコンピュータ30からのキャリア認証メッセージを利用したメンテナンス情報設定処理(図10参照)又はダミー基板情報設定処理(図11参照)を行うのにあたり、イベント報告された累積膜厚値を利用してキャリア認証メッセージにおける付加データを設定することが考えられる。
本実施形態によれば、上述した第1の実施形態の場合において説明した効果に加えて、以下に挙げる一つ又はそれ以上の効果を奏する。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室を備えた基板処理装置であって、
少なくとも前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上から搬出されるときの当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を保持する記憶部と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると前記記憶部が保持する膜厚値に基づいて当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定する管理部と、
を備えた基板処理装置が提供される。
好ましくは、
付記1の基板処理装置であって、
前記記憶部は、前記ダミーキャリアが前記基板収容部上から搬出されるときに、当該ダミーキャリアを識別する識別子を前記膜厚値と関連付けて保持する基板処理装置が提供される。
また好ましくは、
付記1の基板処理装置であって、
前記基板収容部上の前記ダミーキャリアについてのメンテナンス情報として当該ダミーキャリア内のダミー基板の累積膜厚値を含む情報を出力するメンテナンス情報出力部と、
前記メンテナンス情報出力部が出力するメンテナンス情報に含まれる累積膜厚値を編集する第一設定部と、を有し、
前記管理部は、前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、前記第一設定部で編集された後の累積膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の全ダミー基板の膜厚値を再設定する基板処理装置が提供される。
また好ましくは、
付記1の基板処理装置であって、
前記基板収容部上の前記ダミーキャリア内の各ダミー基板についての情報として当該各ダミー基板の累積膜厚値を含む情報を一覧形式で出力する情報出力部と、
前記情報出力部が出力する累積膜厚値を各ダミー基板別に編集する第二設定部と、
を有し、
前記管理部は、前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、前記第二設定部で編集された後の累積膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定する基板処理装置が提供される。
また好ましくは、
前記基板処理装置を管理する管理装置に接続されて用いられ、
前記管理装置から前記ダミー基板の累積膜厚値に関する付加データが添付されたキャリア認証メッセージを受け付けるように構成された付記1乃至付記4のいずれか一つに記載の基板処理装置が提供される。
また好ましくは、
付記5の基板処理装置であって、
前記管理部は、前記キャリア認証メッセージを受け付けると、当該キャリア認証メッセージに添付された前記付加データにおける累積膜厚値に基づき、前記ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定する基板処理装置が提供される。
本発明の他の一態様によれば、
所定枚数の各種基板を処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
前記基板処理装置の定期メンテナンスのために、前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出する工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出するときに、当該ダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値を保持しておく工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上に再投入する工程と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、保持している膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記定期メンテナンスの後における前記各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法が提供される。
本発明の他の一態様によれば、
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
他装置で使用したダミー基板を収納したダミーキャリアを前記基板収容部上に投入する工程と、
前記基板収容部上に投入されたダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値についての情報を取得する工程と、
取得情報に基づき前記基板収容部上のダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記基板収容部上にダミーキャリアが投入された後における当該ダミーキャリア内の各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法が提供される。
本発明の他の一態様によれば、
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
前記基板処理装置の改変作業のために、前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出する工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出するときに、当該ダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値を保持しておく工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上に再投入する工程と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、保持している膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、 前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記改変作業の後における前記各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法が提供される。
本発明の他の一態様によれば、
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種である製品基板を収納したキャリアまたは前記各種基板の他の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いて、
前記製品基板を収納した前記キャリアを前記基板収容部上に載置する載置工程と、前記載置工程を開始する前に、前記ダミー基板を収納した前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出する工程と、前記製品基板に対する処理を前記処理室内にて行う基板処理工程と、
を含む半導体装置の製造方法が提供される。
また好ましくは、
前記製品基板の収納枚数が10枚以下になると、前記ダミーキャリアを再投入する付記10の半導体装置の製造方法が提供される。
本発明の他の一態様によれば、
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種である製品基板を収納したキャリアまたは前記各種基板の他の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
前記製品基板を収納した前記キャリアを前記基板収容部上に載置する載置工程と、
前記基板収容部上の前記キャリアから搬出した前記製品基板に対する処理を前記処理室内にて行う処理工程と、
前記載置工程を開始する前に、前記ダミー基板を収納した前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出する工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出するときに、当該ダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値を保持しておく工程と、
前記処理工程の後に、前記ダミーキャリアを前記基板収容部上に再投入する工程と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、保持している膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記ダミーキャリアの再投入後における前記各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法が提供される。
本発明の他の一態様によれば、
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置に接続されて用いられるコンピュータに、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上から搬出されるときの当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を保持するステップと、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると前記記憶部が保持する膜厚値に基づいて当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定するステップと、
を実行させるプログラムが提供される。
本発明の他の一態様によれば、
所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置に接続されて用いられるコンピュータに、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上から搬出されるときの当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を保持するステップと、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると前記記憶部が保持する膜厚値に基づいて当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定するステップと、
を実行させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
20 装置コントローラ部
43 ダミーキャリア制御部
44 データ記憶部
46 材料管理部
CA1〜CA3 キャリア
C3 ダミーキャリア
LP1〜LP3 ロードポート
PM1,PM2 プロセスチャンバ
W 基板
Claims (5)
- 所定枚数の各種基板を処理する処理室と、
少なくとも前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上から搬出されるときの当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を保持する記憶部と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると前記記憶部が保持する膜厚値に基づいて当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定する管理部と、
を備えた基板処理装置。 - 所定枚数の各種基板を処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
前記基板処理装置の定期メンテナンスのために、前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出する工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出するときに、当該ダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値を保持しておく工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上に再投入する工程と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、保持している膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記定期メンテナンスの後における前記各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法。 - 所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
他装置で使用したダミー基板を収納したダミーキャリアを前記基板収容部上に投入する工程と、
前記基板収容部上に投入されたダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値についての情報を取得する工程と、
取得情報に基づき前記基板収容部上のダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記基板収容部上にダミーキャリアが投入された後における当該ダミーキャリア内の各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法。 - 所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種である製品基板を収納したキャリアまたは前記各種基板の他の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置にて用いられるメンテナンス方法であって、
前記製品基板を収納した前記キャリアを前記基板収容部上に載置する載置工程と、
前記基板収容部上の前記キャリアから搬出した前記製品基板に対する処理を前記処理室内にて行う処理工程と、
前記載置工程を開始する前に、前記ダミー基板を収納した前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出する工程と、
前記ダミーキャリアを前記基板収容部上から搬出するときに、当該ダミーキャリア内に収納されている各ダミー基板に累積した膜厚値を保持しておく工程と、
前記処理工程の後に、前記ダミーキャリアを前記基板収容部上に再投入する工程と、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると、保持している膜厚値に基づき、当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値の再設定を行う工程と、
前記再設定がされた後の膜厚値に応じて前記ダミーキャリアの再投入後における前記各ダミー基板を用いた処理を行う工程と、
を含むメンテナンス方法。 - 所定枚数の各種基板を一括で処理する処理室と、前記各種基板の一種であるダミー基板を収納したダミーキャリアが載置される基板収容部と、を備えた基板処理装置に接続されて用いられるコンピュータに、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上から搬出されるときの当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を保持するステップと、
前記ダミーキャリアが前記基板収容部上に再投入されると前記記憶部が保持する膜厚値に基づいて当該ダミーキャリア内の各ダミー基板の膜厚値を再設定するステップと、
を実行させるプログラム。
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