JP2013218772A5 - - Google Patents
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Description
なお、図3では、消去ベリファイに着目して図示されており、プログラムベリファイや、ソフトプログラムベリファイなどについては省略されている。
まず、ステートマシン62の制御のもと、一旦セクタの全メモリセルに対してプリプログラムが行われる(ステップS10)。これにより、セクタの全メモリセルが書き込み状態となる。
まず、ステートマシン62の制御のもと、一旦セクタの全メモリセルに対してプリプログラムが行われる(ステップS10)。これにより、セクタの全メモリセルが書き込み状態となる。
一方、消去ベリファイによる検証結果が“Pass”であった場合には、ステートマシン62は、セクタの最後のアドレスのメモリセルまで検証結果が“Pass”となったか判定する(ステップS14)。セクタの最後のアドレスのメモリセルまで検証結果が“Pass”となっていない場合、ステートマシン62は、内部アドレス生成回路61にアドレスをインクリメントさせ(ステップS15)、ステップS11からの処理を繰り返す。
ここでは、プリプログラム後のメモリセルの閾値電圧Vtがおよそ6V(Vd:ドレイン電圧=1V、Id:セル電流=10μA)としている。これを初期閾値分布とし、図3に示した消去ベリファイと、消去パルスの印加が交互に行われていくと、図4の閾値電圧分布401→402→403→404の方向に、全体の閾値電圧分布が徐々に低いVt側に移っていく。消去ベリファイが進むほど閾値電圧分布がブロードになっていくのは、消去パルスの印加がセクタ単位で行われるためである。
図6の場合、Vg=3.0Vのとき、選択メモリセルに流れるIbは、“Pass”となる10μAまで達していない(曲線601)。しかし、同一ビット線上に非選択メモリセルが10ビット接続されている場合には、Ibは、“Pass”となるレベルに達している(曲線603)。このように、非選択メモリセルのリーク電流の影響で、選択メモリセルの消去状態を判定できない可能性がある。
スイッチ部54xは、図2に示したXデコーダ54の一部を模式的に示したものであり、スイッチSW1,SW2,SW3,SW4,SW5,SW6を有している。スイッチSW1は、ワード線WLr1に電圧Verを印加するか、ワード線WLr1の電位を0Vにするか切り替える。スイッチSW2は、ワード線WLr2に電圧Vpgまたは電圧(Ver−ΔV)を印加するか、ワード線WLr2の電位を0Vにするか切り替える。スイッチSW3は、ワード線WLr3に電圧Vspgまたは電圧(Ver−ΔV)を印加するか、ワード線WLr3の電位を0Vにするか切り替える。スイッチSW4は、ワード線WLr4に電圧(Ver−ΔV)を印加するか、ワード線WLr4の電位を0Vにするか切り替える。スイッチSW5は、ワード線WLr5に電圧(Ver−ΔV)を印加するか、ワード線WLr5の電位を0Vにするか切り替える。スイッチSW6は、ワード線WLr6に電圧(Ver−ΔV)を印加するか、ワード線WLr6の電位を0Vにするか切り替える。
消去ベリファイ時の信号VPの電位レベルが、前述した消去ベリファイ用のリファレンスセル70aのゲート電圧(電圧Ver)となる。また、消去ベリファイ時には、抵抗R1,R2間のノードから取り出される電圧(信号VPを抵抗分圧した電圧)が、ダミーセル70dのゲート電圧(電圧Ver−ΔV)となる。
図10の例では、リファレンスセルアレイ52aでは、複数のリファレンスセル70のうち、ビット線BLr1、ワード線WLr3、ソース線SLrに接続されているものが、プログラムベリファイ用のリファレンスセル70bである。また、複数のリファレンスセル70のうち、ビット線BLr3、ワード線WLr5、ソース線SLrに接続されているものが、ソフトプログラムベリファイ用のリファレンスセル70cである。
レベルシフタ160〜164は、NAND回路150,151,152,154,155の出力信号を、ゲート電圧発生部59aから出力される信号VPを用いて昇圧する。
トランジスタ170,175はインバータとなっている。トランジスタ170,175のゲートにはレベルシフタ160の出力信号が入力され、トランジスタ170のソースには信号VPが供給され、トランジスタ175のソースは接地されている。また、トランジスタ170,175のドレインはワード線WLr1に接続されている。
トランジスタ170,175はインバータとなっている。トランジスタ170,175のゲートにはレベルシフタ160の出力信号が入力され、トランジスタ170のソースには信号VPが供給され、トランジスタ175のソースは接地されている。また、トランジスタ170,175のドレインはワード線WLr1に接続されている。
プログラムベリファイ時には、ステートマシン62により、モード信号VRp,PGM,VRが“1”、図10に示されている他のモード信号は“0”と設定される。これにより、プログラムベリファイ用の電圧レベルの信号VPが、ワード線WLr3に供給され、他のワード線WLr1,WLr2,WLr4〜WLr6は0Vのままである。
図10に示した例では、消去ベリファイ用、プログラムベリファイ用またはソフトプログラムベリファイ用のリファレンスセル70a,70b,70cをそれぞれ1つとしたがこれに限定されない。リファレンスセルアレイ52aにおいて、さらにビット線を設けて、そのビット線にリファレンスセルを接続するようにしてもよい。
RAM203は、CPU201が実行するプログラムやアプリケーションプログラムの少なくとも一部が一時的に格納される。電源オフ時には、データが消去されるので、RAM203中のデータは、たとえば、一旦不揮発性メモリ202に格納される。
A/D変換部204は、入出力信号のA/D変換を行う。
A/D変換部204は、入出力信号のA/D変換を行う。
また、以上の実施の形態では、メモリセル及びリファレンスセルをNチャネル型セルで構成した場合について説明したが、本発明はメモリセル及びリファレンスセルをPチャネル型セルで構成した場合にも適用できる。この場合は、ワード線に供給する第1〜第3のゲート電圧の大小の関係を逆にすればよい。
Claims (4)
- N個のメモリセルに接続された第1ビット線を有するメモリセルアレイと、
N個より少ないM個のリファレンスセルに接続された第2ビット線を有するリファレンスセルアレイと、
前記第1ビット線に流れる第1の電流と、前記第2ビット線に流れる第2の電流とを比較する比較部と、
消去ベリファイ時に、前記N個のメモリセルに含まれる第1のメモリセルに接続される第1選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、前記M個のリファレンスセルに含まれる第1のリファレンスセルに接続される第2選択ワード線に前記第1のゲート電圧を供給し、前記メモリセルアレイに接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、前記リファレンスセルアレイに接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給するゲート電圧発生部と、を有し、
前記第2の非選択ワード線に接続されたリファレンスセルに流れる電流は、前記第1の非選択ワード線に接続されたメモリセルに流れる電流より大きいことを特徴とする不揮発性メモリ。 - 前記リファレンスセルはNチャネル型セルで構成されており、前記第3のゲート電圧は前記第2のゲート電圧よりも高いことを特徴とする、請求項1記載の不揮発性メモリ。
- 不揮発性メモリと、
前記不揮発性メモリを制御するプロセッサと、を有し、
前記不揮発性メモリは、
N個のメモリセルに接続された第1ビット線を有するメモリセルアレイと、
N個より少ないM個のリファレンスセルに接続された第2ビット線を有するリファレンスセルアレイと、
前記第1ビット線に流れる第1の電流と、前記第2ビット線に流れる第2の電流とを比較する比較部と、
消去ベリファイ時に、前記N個のメモリセルに含まれる第1のメモリセルに接続される第1選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、前記M個のリファレンスセルに含まれる第1のリファレンスセルに接続される第2選択ワード線に前記第1のゲート電圧を供給し、前記メモリセルアレイに接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、前記リファレンスセルアレイに接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給するゲート電圧発生部と、を有し、
前記第2の非選択ワード線に接続されたリファレンスセルに流れる電流は、前記第1の非選択ワード線に接続されたメモリセルに流れる電流より大きいことを特徴とする電子装置。 - N個のメモリセルに接続された第1ビット線を有するメモリセルアレイと、N個より少ないM個のリファレンスセルに接続された第2ビット線を有するリファレンスセルアレイと、を有する不揮発性メモリの前記メモリセルの状態を検証する際に、
比較部が、前記第1ビット線に流れる第1の電流と、前記第2ビット線に流れる第2の電流とを比較し、
ゲート電圧発生部が、消去ベリファイ時に、前記N個のメモリセルに含まれる第1のメモリセルに接続される第1選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、前記M個のリファレンスセルに含まれる第1のリファレンスセルに接続される第2選択ワード線に前記第1のゲート電圧を供給し、前記メモリセルアレイに接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、前記リファレンスセルアレイに接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給し、
前記第2の非選択ワード線に接続されたリファレンスセルに流れる電流は、前記第1の非選択ワード線に接続されたメモリセルに流れる電流より大きいことを特徴とする検証方法。
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